本發(fā)明是有關(guān)于一種顯示面板及觸控顯示裝置，且特別是有關(guān)于采用鈍化層的顯示面板及觸控顯示裝置。

背景技術(shù)：

隨著科技的進(jìn)步，各式電子裝置不斷推陳出新。觸控面板與顯示面板的問(wèn)世是電子科技的一項(xiàng)重大突破。顯示面板具備輕、薄、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，使得顯示面板已取代傳統(tǒng)映像管顯示器。觸控面板能夠提供使用者直覺(jué)式的操作介面，廣泛受到使用者的歡迎，也成為輸入設(shè)備的主流。

在制程中，顯示面板或觸控面板需通過(guò)曝光、顯影、蝕刻等制程形成數(shù)層導(dǎo)線結(jié)構(gòu)。然而，含銅或鋁等高導(dǎo)電性的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)通常容易遭到腐蝕，而降低產(chǎn)品可靠度。許多具備抗腐蝕材料的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)無(wú)法進(jìn)行蝕刻制程。因此，業(yè)界致力于開(kāi)發(fā)具備高導(dǎo)電性、可蝕刻性及高抗腐蝕性的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是有關(guān)于一種顯示面板及觸控顯示裝置，其利用鈍化層的形成，使得導(dǎo)線結(jié)構(gòu)具備高導(dǎo)電性、可蝕刻性及高抗腐蝕性。

根據(jù)本發(fā)明，提出一種顯示面板。顯示面板包括一基板及至少一導(dǎo)線結(jié)構(gòu)。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)設(shè)置于基板之上。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)包括一金屬層及一鈍化層。金屬層的材質(zhì)包括鎳、銅及鈦的合金。鈍化層至少覆蓋于金屬層的一表面的一部分。鈍化層的材質(zhì)包括一鎳氧化物及一鈦氧化物。

根據(jù)本發(fā)明，提出一種觸控顯示裝置。觸控顯示裝置包括一顯示面板及一觸控面板。觸控面板包括一基板及一導(dǎo)線結(jié)構(gòu)。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)設(shè)置于基板的上。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)包括一金屬層及一鈍化層。金屬層的材質(zhì)包括鎳、銅及鈦的合金。鈍化層至少覆蓋于金屬層的一表面的一部分。鈍化層的材質(zhì)包括一鎳氧化物及一鈦 氧化物。

附圖說(shuō)明

為讓本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作詳細(xì)說(shuō)明，其中：

圖1繪示一導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖2A～2F繪示導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的制造方法的流程圖。

圖3繪示一觸控顯示裝置的示意圖。

圖4繪示圖3的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖5A～5E繪示導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的制造方法的流程圖。

圖6繪示另一觸控顯示裝置的示意圖。

圖7繪示圖6的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖8繪示另一導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖9繪示另一觸控顯示裝置的示意圖。

圖10繪示圖9的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)、第一電極、第二電極及間隔絕緣層的俯視圖。

圖11繪示顯示面板的部分結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖12繪示圖11的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖13繪示圖11的顯示面板沿截面線A-A的剖面圖。

110、210、610：基板

120、220、320、420、520、620、630：導(dǎo)線結(jié)構(gòu)

121、221、421、521、621、631：金屬層

122、422、522、622、632：鈍化層

130、230：光阻層

223、423：黑化層

521a：底層

521b：中間層

521c：頂層

530：第一電極

540：第二電極

550：間隔絕緣層

560：保護(hù)絕緣層

660：金屬遮蔽線

670：數(shù)據(jù)線路

680：液晶分子

900：人眼

2000、3000、5000：觸控顯示裝置

2100、3100、5100、6100：顯示面板

2200、3200：觸控面板

2300、3300、4300：保護(hù)玻璃

2400：軟性電路板

2500：異方性導(dǎo)電膠

A：截面線

W2：寬度

具體實(shí)施方式

請(qǐng)參照?qǐng)D1，其繪示一導(dǎo)線結(jié)構(gòu)120的示意圖。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)120包括一金屬層121及一鈍化層122。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)120設(shè)置于一基板110上?；?10例如是一玻璃基板、一可撓式基板、或已配置圖案的陣列基板。金屬層121的材質(zhì)包括鎳(Ni)、銅(Cu)及鈦(Ti)的合金。舉例來(lái)說(shuō)，金屬層121包含62％鎳、35％銅及3％鈦。注入氧氣或空氣時(shí)，金屬層121暴露于氧氣或空氣中，使其形成的鈍化層122會(huì)至少覆蓋于金屬層121的一表面的一部分。鈍化層122的材質(zhì)包括一鎳氧化物(NiOx)及一鈦氧化物(TiOx)，其中x表示自然數(shù)。

由于導(dǎo)線結(jié)構(gòu)120的金屬層121添加銅，故其阻抗低，符合高導(dǎo)電性的要求。經(jīng)實(shí)驗(yàn)證明，當(dāng)金屬層121的厚度在200納米(nm)時(shí)，其阻抗為1.7～4.3ohm/sq。

并且，在濕蝕刻制程中，導(dǎo)線結(jié)構(gòu)120的金屬層121能夠被鋁酸溶液(1.5～8％硝酸、8～20％醋酸、60～80％磷酸的混和液)蝕刻，符合制程要求。

再者，鈍化層122能夠避免金屬層121在空氣中腐蝕。經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn)證明，導(dǎo)線結(jié)構(gòu)120在高溫且高濕環(huán)境(65℃、90％RH)靜置240小時(shí)之后，鈍化層122能夠有效避免金屬層121遭到腐蝕。

請(qǐng)參照?qǐng)D2A～2F，其繪示導(dǎo)線結(jié)構(gòu)120的制造方法的流程圖。如圖2A所示，提供基板110。接著，如圖2B所示，形成金屬層121于基板110上。然后，如圖2C所示，注入氧氣或空氣，使金屬層121暴露于氧氣或空氣中，而形成鈍化層122于金屬層121上。接著，如圖2D所示，形成一光阻層130于鈍化層122及金屬層121上。然后，如圖2E所示，以光阻層130為遮罩，濕蝕刻鈍化層122及金屬層121。接著，如圖2F所示，移除光阻層130，將金屬層121的蝕刻斷面暴露于空氣中，使得金屬層121的斷面處能夠形成鈍化層122。如此一來(lái)，金屬層121的頂面及側(cè)面都能夠被鈍化層122良好包覆，以避免金屬層121遭到腐蝕。

上述導(dǎo)線結(jié)構(gòu)120具備高導(dǎo)電性、可蝕刻性、及高抗腐蝕性，使得導(dǎo)線結(jié)構(gòu)120可廣泛應(yīng)用于顯示面板、觸控面板、及觸控顯示裝置。請(qǐng)參照?qǐng)D3～4，圖3繪示一觸控顯示裝置2000的示意圖，圖4繪示圖3的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220的俯視圖。觸控顯示裝置2000包括一顯示面板2100、一觸控面板2200及一保護(hù)玻璃2300。顯示面板2100例如是一液晶顯示面板(LCD panel)、一有機(jī)發(fā)光二極管顯示面板(OLED panel)或一電子紙面板(Electronic Paper)。觸控面板2200包括兩層導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220及兩層基板210。一層導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220是為觸控面板220的驅(qū)動(dòng)電極(Tx)，另一層導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220是為觸控面板2200的感應(yīng)電極(Rx)。在此實(shí)施例中，導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220包括一金屬層221、一鈍化層222及一黑化層223。黑化層223設(shè)置于金屬層221的頂面，鈍化層222設(shè)置于金屬層221的側(cè)面。黑化層223是為金屬氧化物、金屬氮化物或金屬氮氧化物。黑化層223用以降低人眼900前的反光，以提供使用者較舒適的視覺(jué)效果。

作為驅(qū)動(dòng)電極的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220與作為感應(yīng)電極的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220交錯(cuò)排列于不同層的基板210上。如圖4所示，導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220為網(wǎng)格狀。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220的線寬W2為0.08～10微米(μm)，且導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220的開(kāi)口率為85～99﹪。如此一來(lái)，導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220同時(shí)具有高導(dǎo)電性及高透光率，而能夠取代透明導(dǎo)電膜，作為驅(qū)動(dòng)電極及感應(yīng)電極。

請(qǐng)?jiān)賲⒄請(qǐng)D3，于周邊線路區(qū)域，觸控顯示裝置2000可以更包括一軟性電路板2400及一異方性導(dǎo)電膠2500。異方性導(dǎo)電膠2500設(shè)置于軟性電路板2400及黑化層223之間，以導(dǎo)通導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220及軟性電路板2400。也就是說(shuō)，黑化層223同時(shí)具有抗反光性及導(dǎo)電性，使得金屬層221上設(shè)置了黑化層223之后，仍可通過(guò)異方性導(dǎo)電膠2500電性連接至軟性電路板2400。

請(qǐng)參照?qǐng)D5A～5E，其繪示含有黑化層223的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220的制造方法的流程圖。如圖5A所示，提供基板210。接著，如圖5B所示，形成金屬層221及黑化層223于基板210上。然后，如圖5C所示，形成一光阻層230于黑化層223上。接著，如圖5D所示，以光阻層230為遮罩，濕蝕刻黑化層223及金屬層221。然后，如圖5E所示，移除光阻層230，并注入氧氣或空氣，使金屬層221的蝕刻斷面暴露于氧氣或空氣中，而于金屬層221的蝕刻斷面形成鈍化層222。如此一來(lái)，金屬層221的頂面及側(cè)面分別被黑化層223及鈍化層222良好包覆，以避免金屬層221遭到腐蝕。

請(qǐng)參照?qǐng)D6～7，圖6繪示另一觸控顯示裝置3000的示意圖，圖7繪示圖6的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)320的俯視圖。觸控顯示裝置3000包括一顯示面板3100、一觸控面板3200及一保護(hù)玻璃3300。觸控面板3200包括單層導(dǎo)線結(jié)構(gòu)320及單層基板310。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)320設(shè)置于基板310上。部分的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)320作為觸控面板3200的驅(qū)動(dòng)電極，另一部分的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)320作為觸控面板3200的感應(yīng)電極。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)320可采用圖3的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220，在此不再重復(fù)敘述。

在另一實(shí)施例中，顯示面板3100與觸控面板3200可采用內(nèi)嵌式技術(shù)(Touch On Display或In-cell Touch)，將導(dǎo)線結(jié)構(gòu)320直接制作于顯示面板3100的上基板的背面，以省略基板310。

請(qǐng)參照?qǐng)D8，其繪示另一導(dǎo)線結(jié)構(gòu)420的示意圖。在圖3的實(shí)施例中，人眼900由上方觀看觸控顯示裝置2000。黑化層223設(shè)置于金屬層222的頂面，以有效避免金屬層221于人眼900前可能產(chǎn)生的反光。在圖8的實(shí)施例中，導(dǎo)線結(jié)構(gòu)420可直接設(shè)置于保護(hù)玻璃4300上。因此，黑化層423設(shè)置于金屬層421的一底面(即金屬層421與保護(hù)玻璃4300之間)，而鈍化層422則形成于金屬層421的頂面及側(cè)面。如此一來(lái)，黑化層423可有效避免金屬層421于人眼900前可能產(chǎn)生的反光。鈍化層422也可有效保護(hù)金屬層421不被腐蝕。

請(qǐng)?jiān)賲⒄請(qǐng)D9及10，圖9繪示另一觸控顯示裝置5000的示意圖，圖10繪示圖9的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)520、第一電極530、第二電極540及間隔絕緣層550的俯視圖。觸控顯示裝置5000采用內(nèi)嵌式技術(shù)(Touch On Display或In-cell Touch)及架橋技術(shù)，而直接于顯示面板5100上形成第一電極530及第二電極540。第一電極530為驅(qū)動(dòng)電極與感應(yīng)電極的其中之一，第二電極540為驅(qū)動(dòng)電極與感應(yīng)電極的其中的另一。間隔絕緣層550覆蓋部分的第二電極540。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)520設(shè)置于間隔絕緣層550上，并連接相鄰的第一電極530。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)520、第一電極530、第二電極540、間隔絕緣層550設(shè)置于一基板上，以形成一觸控面板。此基板例如是液晶面板5100的上基板。

導(dǎo)線結(jié)構(gòu)520包括一金屬層521及一鈍化層522。金屬層521包括一底層521a、一中間層521b及一頂層521c。中間層521b設(shè)置于底層521a上，頂層521c設(shè)置于中間層521b上。底層521a與頂層521c的材質(zhì)包括鎳、銅及鈦的合金。中間層521b的材質(zhì)包括鋁。底層521a與頂層521c的厚度為中間層521b的厚度為也就是說(shuō)，此實(shí)施例的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)520的金屬層521更夾置了一層導(dǎo)電性良好的中間層521b，以提高導(dǎo)線結(jié)構(gòu)520的導(dǎo)電性。

鈍化層522則覆蓋頂層521c的一頂面、頂層521c的一側(cè)面及底層521a的一側(cè)面。保護(hù)絕緣層560則覆蓋導(dǎo)線結(jié)構(gòu)520、第一電極530及第二電極540。

在此實(shí)施例中，由于鈍化層522覆蓋了導(dǎo)線結(jié)構(gòu)520的大部分表面，因此有效提供導(dǎo)線結(jié)構(gòu)520良好的抗腐蝕性。相較于，采用鉬氮合金、鋁、鉬氮合金三層結(jié)構(gòu)的導(dǎo)線，此實(shí)施例的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)520具備更優(yōu)良的抗腐蝕性。

請(qǐng)參照?qǐng)D11～13，圖11繪示顯示面板6100的部分結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖12繪示圖11的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620、630的俯視圖，圖13繪示圖11的顯示面板6100沿截面線A-A的剖面圖。如圖13所示，顯示面板6100包括一基板610、一導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620、一導(dǎo)線結(jié)構(gòu)630、一金屬遮蔽線660及一數(shù)據(jù)線路670。金屬遮蔽線660及數(shù)據(jù)線路670位于不同層。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620遮蔽一條數(shù)據(jù)線路670及兩條金屬遮蔽線660，導(dǎo)線結(jié)構(gòu)630遮蔽一條數(shù)據(jù)線路670。

導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620是為共同電極，導(dǎo)線結(jié)構(gòu)630是為像素電極630。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620及導(dǎo)線結(jié)構(gòu)630位于同一層。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620包括金屬層621及鈍化層622， 導(dǎo)線結(jié)構(gòu)630包括金屬層631及鈍化層623。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620、630類似于圖3的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)220，在此不再重復(fù)敘述。導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620及導(dǎo)線結(jié)構(gòu)630之間產(chǎn)生水平電場(chǎng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)液晶分子680水平排列。

在此實(shí)施例中，以導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620、630取代透明導(dǎo)電膜，使得導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620、630的厚度可以由降低至以下。如此一來(lái)，導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620、630的側(cè)面的面積可以大幅縮小，避免過(guò)多的液晶分子680受到側(cè)面形成的非水平電場(chǎng)的影響。

相較于透明導(dǎo)電膜，導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620、630能夠改善遮蔽金屬遮蔽線660及數(shù)據(jù)線路670的微漏光或雜閃光。

再者，此實(shí)施例的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620、630含有鈍化層622、632。因此，相較于鉬鈦合金(Mo-Ti)，導(dǎo)線結(jié)構(gòu)620、630能夠具有更好的抗腐蝕性。

雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的修改和完善，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)以權(quán)利要求書(shū)所界定的為準(zhǔn)。