印刷用掩膜以及使用該掩膜的印刷方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在被印刷物印刷圖案的掩膜以及使用該掩膜的印刷方法，詳細而言，涉及一種通過形成掩膜基材與保持部件的層疊構造，來抑制圖案的錯位、變形的印刷用掩膜以及使用該掩膜的印刷方法。
【背景技術】
[0002]以往的印刷用絲網掩模成為例如在鋪絲于網板版框的網板篩網上形成抗蝕劑圖案的結構。網板篩網的材料能夠使用絲、尼龍、聚酯等樹脂纖維、不銹鋼篩網等?？刮g劑圖案在網板篩網涂覆感光乳劑并使之干燥而形成感光膜后，使光掩模密接于該感光膜，并進行曝光、顯影而形成。
[0003]在印刷時，使拉伸設置于網板版框的絲網掩模在印刷面上分離微小的距離來設置，向該絲網掩模上供給墨水(或是漿)。然后，邊通過刮板的壓力將絲網掩模按壓于印刷面，邊從絲網掩模的開口部將墨水推出到印刷面上，從而將圖案轉印到印刷面上(例如，參照專利文獻1)。
[0004]專利文獻1:日本特開平9-216330號公報
[0005]然而，在上述以往的印刷用掩膜以及印刷方法中，存在因通過刮板延展墨水時所施加的壓力，使抗蝕劑圖案偏移、變形而影響圖案精度的問題。特別是，細長的直線狀的配線以窄間距配置的圖案等中，抗蝕劑圖案容易在與配線的延設方向正交的橫向偏移、變形，從而圖案精度的降低變得顯著。

【發(fā)明內容】

[0006]因此，為應對這樣的問題點，本發(fā)明所要解決的課題在于提供一種通過形成掩膜基材與保持部件的層疊構造，來抑制圖案的錯位、變形的印刷用掩膜以及使用該掩膜的印刷方法。
[0007]為了解決上述課題，本發(fā)明的印刷用掩膜的特征在于，具備:掩膜基材，其具有形成于印刷面?zhèn)炔⑴c待印刷的圖案相對應的印刷槽圖案、與貫通于該印刷槽圖案的底面且內徑小于其底面寬度的貫通孔；以及保持部件，其層疊于上述掩膜基材并具有經由上述掩膜基材的貫通孔而與上述印刷槽圖案內連通以填充轉印材料的開口圖案，上述印刷槽圖案在上述貫通孔以外的周邊區(qū)域連接。
[0008]另外，上述貫通孔也可以在上述印刷槽圖案的底面設置有多個。
[0009]另外，上述掩膜基材也可以由樹脂膜構成，上述保持部件由片狀且上述開口圖案在長邊方向以及短邊方向的至少一方以規(guī)定間距形成的磁性金屬材料構成。
[0010]再者，也可以還具備制版框，其包圍上述掩膜基材與上述保持部件的周圍而拉伸設置上述掩膜基材與上述保持部件。
[0011]為了解決上述課題，本發(fā)明的印刷方法使用印刷用掩膜來進行印刷，上述印刷用掩膜具備:掩膜基材，其具有形成于印刷面?zhèn)炔⑴c待印刷的圖案相對應的印刷槽圖案、與貫通于該印刷槽圖案的底面且內徑小于其底面寬度的貫通孔；以及保持部件，其層疊于上述掩膜基材并具有經由上述掩膜基材的貫通孔而與上述印刷槽圖案內連通以填充轉印材料的開口圖案，上述印刷槽圖案在上述貫通孔以外的周邊區(qū)域連接，上述印刷方法包括:在被印刷物的印刷面上配置并固定上述印刷用掩膜的印刷面的工序、在上述保持部件涂覆轉印材料并從上述保持部件的開口圖案經由上述掩膜基材的貫通孔向上述印刷槽圖案內填充轉印材料的工序、使上述掩膜基材的印刷槽圖案內的轉印材料覆蓋于上述被印刷物而轉印圖案的工序、以及將上述印刷用掩膜從上述被印刷物剝離的工序。
[0012]另外，上述保持部件也可以由片狀的磁性金屬材料構成，配置并固定上述印刷用掩膜的印刷面的工序從與上述被印刷物的印刷面相反的一側由磁力吸引并固定。
[0013]另外，上述轉印材料也可以包括光致抗蝕劑，在上述被印刷物印刷形成光致抗蝕劑的圖案。
[0014]根據本發(fā)明的印刷用掩膜，形成具有印刷槽圖案以及貫通孔的掩膜基材與具有開口圖案的保持部件的層疊構造，上述印刷槽圖案在貫通孔以外的周邊區(qū)域連接，從而能夠抑制形成于掩膜基材的印刷槽圖案的錯位、變形。
[0015]另外，根據本發(fā)明的印刷方法，在涂覆、填充轉印材料的工序中，印刷槽圖案在貫通孔以外的周邊區(qū)域連接，從而能夠抑制因通過刮板延展轉印材料時所施加的壓力，使形成于掩膜基材的印刷槽圖案錯位、變形。因此，即使是細微接近的圖案，也能夠減少印刷后的圖案的錯位、變形，而進行圖案精度較高的印刷。
【附圖說明】
[0016]圖1是表示本發(fā)明的印刷用掩膜的實施方式的簡要結構的立體圖。
[0017]圖2A放大顯示圖1所示的印刷用掩膜的一部分的區(qū)域，是一部分區(qū)域的俯視圖。
[0018]圖2B放大顯示圖1所示的印刷用掩膜的一部分的區(qū)域，是沿著圖2A的Χ1-ΧΓ線的剖視圖。
[0019]圖2C放大顯示圖1所示的印刷用掩膜的一部分的區(qū)域，是沿著圖2A的X2-X2’線的剖視圖。
[0020]圖3A表示使用本發(fā)明的印刷用掩膜的印刷方法，是表示墨水的涂覆工序的立體圖。
[0021]圖3B表示使用本發(fā)明的印刷用掩膜的印刷方法，是沿著圖3A的Y-Y’線的放大剖視圖。
[0022]圖4A表示使用本發(fā)明的印刷用掩膜的印刷方法，是表示將印刷用掩膜從被印刷物剝離的工序的立體圖。
[0023]圖4B表示使用本發(fā)明的印刷用掩膜的印刷方法，是沿著圖4A的Ζ1-ΖΓ線的印刷用掩膜的放大剖視圖。
[0024]圖4C表示使用本發(fā)明的印刷用掩膜的印刷方法，是沿著圖4A的Z2-Z2’線的被印刷物的放大剖視圖。
[0025]圖5是表示保持部件的開口圖案的其他構成例的俯視圖。
【具體實施方式】
[0026]以下，基于附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。
[0027]圖1是表示本發(fā)明的印刷用掩膜的實施方式的圖。該印刷用掩膜在印刷面轉印并印刷作為轉印材料的墨水(或者漿、光致抗蝕劑等)的圖案，構成為具備復合掩膜1與金屬框(制版框)2。復合掩膜1拉伸設置于方形的金屬框2的內側，以施加張力的狀態(tài)被保持。
[0028]在圖2A、圖2B以及圖2C中，上述復合掩膜1如放大表示由圖1的點劃線包圍的區(qū)域100那樣，成為層疊了作為掩膜基材的樹脂膜4與保持部件3的復合構造。在樹脂膜4的印刷面(下表面)側形成有與待印刷的圖案相對應的印刷槽圖案4a。另外，在印刷槽圖案4a的底面形成有貫通孔4b。該樹脂膜4的厚度例如為12μπι?24μπι左右。另外，在本例子中，多個直線狀的印刷槽圖案4a鄰接配置。
[0029]在上述樹脂膜4的印刷面的上表面?zhèn)仍O置有由片狀的磁性金屬材料構成的保持部件3，其具有在短邊方向以恒定間距配置的狹縫狀的開口圖案3a。該保持部件3在印刷時用于通過磁力保持并固定復合掩膜1，能夠通過磁力保持的厚度例如為30μπι左右。保持部件3的開口圖案3a經由貫通孔4b與印刷槽圖案4a連通。該貫通孔4b的內徑小于印刷槽圖案4a的底面寬度以及開口圖案3a的內徑，開口圖案3a與印刷槽圖案4a之間經由一個或者多個貫通孔4b連通。
[0030]這里，如圖2C所示，在本發(fā)明中，上述復合掩膜1在與圖2B不同的區(qū)域中，在印刷槽圖案4a的底面的貫通孔4b以外的周邊區(qū)域(鄰接的貫通孔4b之間的區(qū)域)4c連接。
[0031]g卩，掩膜基材4的貫通孔4b使開口圖案3a與印刷槽圖案4a連通，從而供涂覆于保持部件3的墨水從開口圖案3a經由貫通孔4b填充于印刷槽圖案4a內的方式發(fā)揮作用。另外，通過貫通孔4b以外的周邊區(qū)域4c連接，以抑制鄰接的印刷槽圖案4a的偏移、變形的方式發(fā)揮作用。
[0032]根據上述結構的印刷用掩膜，由于鄰接的印刷槽圖案4a在印刷槽圖案4a的底面的貫通孔4b以外的周邊區(qū)域4c連接，因此能夠抑制印刷槽圖案4a的錯位、變形。例如，即使是直線狀的較長的配線等