印版及制備所述印版的方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種印版和制備該印版的方法。根據(jù)本發(fā)明的印版為包括溝槽圖案的印版。所述溝槽圖案具有形成有彼此不相交的線性圖案的區(qū)域。所述形成有線性圖案的區(qū)域是一方形區(qū)域，其中形成了至少兩條線，每條線均具有一線性圖案。另外，形成線性圖案的區(qū)域還包含一區(qū)域，在該區(qū)域中線性圖案的線寬度（W）及深度（D）、方形區(qū)域中未形成線性圖案的區(qū)域的比率（R）以及用以形成對應(yīng)于所述線性圖案的圖案的掩膜圖案的開口線寬度（W0）滿足特定的關(guān)系式。根據(jù)本發(fā)明的印版可防止轉(zhuǎn)移到印版上的墨水接觸底部。
【專利說明】印版及制備所述印版的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本申請要求享有于2011年9月2日在KIPO遞交的韓國專利申請N0.10-2011-0089242的優(yōu)先權(quán)，其公開的內(nèi)容全部以參考的方式并入本文。
[0002]本發(fā)明涉及一種印版及其制造方法。更具體而言，本發(fā)明涉及一種印版以及制造所述印版的方法，所述印版可防止轉(zhuǎn)移至印版上的油墨發(fā)生底部接觸現(xiàn)象。
【背景技術(shù)】
[0003]在平面顯示器(FPD)(例如液晶顯示器(IXD)或等離子顯示面板(PDP))的制造中，需要用于形成例如電極、黑矩陣、彩色濾光片、隔板、薄膜晶體管等的各種圖案的方法。
[0004]就圖案形成方法而言，經(jīng)常使用通過使用光刻膠與光掩膜來獲得光刻膠圖案，經(jīng)由曝光及顯影來選擇性地移除光刻膠圖案來形成圖案和使用該圖案的方法。所述光掩膜方法的問題在于，經(jīng)常使用例如光刻膠或顯影劑的材料，需要使用昂貴的光掩膜以及需要進(jìn)行許多處理步驟或處理時間持續(xù)時間長。
[0005]為了解決上述問題，提出了直接印刷圖案形成材料而不使用光刻膠的方法，例如通過噴墨印刷或激光轉(zhuǎn)印的方法。這些方法之一為膠印方法，其中使用印版將圖案材料轉(zhuǎn)移至橡皮布，然后將所述橡皮布的圖案轉(zhuǎn)移至基板。
[0006]使用印版的膠印方法的優(yōu)點在于，與相關(guān)技術(shù)中使用光刻膠的方法相比，材料消耗較少且工藝比較簡單，并且與噴墨印刷或激光轉(zhuǎn)印相比，處理速度較快。然而，膠印方法的缺點在于，對具有不同圖案的基板分別需要印版，以及一般由玻璃制成的印版的制備是復(fù)雜和昂貴的工藝。
[0007]下圖1示意說明了反向膠印工藝及凹版膠印工藝。在相關(guān)【技術(shù)領(lǐng)域】中的印版的情況下(反向平版及凹版平版的情況下)，一般使用通過使用光掩膜原料制造印版的方法。然而，當(dāng)在這種方式中使用厚的印版時，根據(jù)印刷設(shè)備的驅(qū)動模式，在所述印版的斷電時間期間發(fā)生推動所述印版的現(xiàn)象對圖案化能力有很大的影響。為了解決這個問題，當(dāng)通過光掩膜在相關(guān)技術(shù)中使用光刻法來制造印版時，所述印版具有下述問題:印版最小的線寬度取決于實現(xiàn)曝光機(jī)器及實現(xiàn)掩膜的能力，同時由于掩膜、曝光機(jī)器等的成本而使其制造成本非常高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008][技術(shù)問題]
[0009]本發(fā)明致力提供一種薄的印版以及制備所述印版的方法，所述印版能經(jīng)由簡單的工藝來制造，且所述印版可印刷精細(xì)的圖案，并防止轉(zhuǎn)移至印版上的油墨發(fā)生底部接觸現(xiàn)象。
[0010][技術(shù)方案]
[0011]本發(fā)明提供一種印版，所述印版包括:溝槽圖案，其中所述溝槽圖案包括由彼此不相交的線性圖案組成的區(qū)域，且所述由線性圖案組成的區(qū)域是在所述區(qū)域中包含線性圖案的兩條或更多條線的方形區(qū)域，且所述由線性圖案組成的區(qū)域包含一區(qū)域，在所述區(qū)域中線性圖案的線寬度(W)及深度(D)、以及在方形區(qū)域中不包含線性圖案的區(qū)域的比率(R)與用以形成對應(yīng)于所述線性圖案的圖案的掩膜圖案的開口線寬度(aperture line width)(Wtl)滿足下列關(guān)系式I和2。
[0012][關(guān)系式I]
[0013]ff=2D+ff0+X
[0014][關(guān)系式2]
[0015]D ≥ 42.9exp (-R/0.35) -1.5
[0016]在此，X為常數(shù)，
[0017]D、W、W。和X是以微米為單位的數(shù)值，以及
[0018]R為大于O且小于I的數(shù)值。
[0019]本發(fā)明提供一種印版，所述印版包括:溝槽圖案，其中所述溝槽圖案包括由網(wǎng)狀圖案組成的區(qū)域，且所述由網(wǎng)狀圖案組成的區(qū)域是在所述區(qū)域中包含構(gòu)成所述網(wǎng)狀圖案的線的三個或更多個交叉點的方形區(qū)域，且所述由網(wǎng)狀圖案組成的區(qū)域包含一區(qū)域，在所述區(qū)域中網(wǎng)狀圖案的線寬度(W)及深度(D)、以及在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案的區(qū)域的比率(R)與用以形成對應(yīng)于所述網(wǎng)狀圖案的圖案的掩膜圖案的開口線寬度(Wtl)滿足下列關(guān)系式I和4。
[0020][關(guān)系式I]
[0021]ff=2D+ff0+X
[0022][關(guān)系式4]
[0023]D ≥ 33.8exp (-R/0.235) +0.82
[0024]在此，X為常數(shù)，
[0025]DUtl和X是以微米為單位的數(shù)值，以及
[0026]R為大于O且小于I的數(shù)值。
[0027]另外，本發(fā)明提供一種印版，所述印版包括:溝槽圖案，其中所述溝槽圖案包括由網(wǎng)狀圖案和網(wǎng)狀圖案的分段圖案組成的區(qū)域，且所述區(qū)域是在所述區(qū)域中包含構(gòu)成所述網(wǎng)狀圖案的線的三個或更多個交叉點的方形區(qū)域，且所述區(qū)域包含一區(qū)域，在所述區(qū)域中網(wǎng)狀圖案的線寬度(W)及深度(D)、以及在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案和網(wǎng)狀圖案的分段圖案的區(qū)域的比率(R)與用以形成對應(yīng)于所述網(wǎng)狀圖案和網(wǎng)狀圖案的分段圖案的圖案的掩膜圖案的開口線寬度(Wtl)滿足下列關(guān)系式I和4。
[0028][關(guān)系式I]
[0029]ff=2D+ff0+X
[0030][關(guān)系式4]
[0031 ] D ^ 33.8exp (-R/0.235) +0.82
[0032]在此，X為常數(shù)，
[0033]DUtl和X是以微米為單位的數(shù)值，以及
[0034]R為大于O且小于I的數(shù)值。
[0035]此外，本發(fā)明提供一種通過使用所述印版制造的印刷制品，其包含對應(yīng)于所述印版的溝槽圖案的印刷圖案。[0036]而且，本發(fā)明提供一種包含所述印刷制品的觸屏感應(yīng)器。
[0037][有益效果]
[0038]根據(jù)本發(fā)明的印版可在溝槽圖案中包含線性圖案、網(wǎng)狀圖案等，且線性圖案和網(wǎng)狀圖案的線寬度、深度、節(jié)距等可滿足特定關(guān)系式，從而可防止轉(zhuǎn)移至印版上的油墨的底部接觸現(xiàn)象。另外，根據(jù)本發(fā)明的印版可包含金屬層或金屬氧化物層的反射板，此確認(rèn)轉(zhuǎn)移至印版的油墨厚度，相應(yīng)地，可維持并控制印刷輥橡皮布的適當(dāng)?shù)母稍餇顟B(tài)。此外，在印版制造期間，可通過激光器來制備具有細(xì)線的印版，且當(dāng)使用所述印版印刷期間可防止推印版而造成的圖案變形。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0039]圖1是說明反向膠印過程及凹版印刷過程的示意圖。
[0040]圖2是本發(fā)明示例性實施方式的印版及使用所述印版的印刷制品的顯微相片。
[0041]圖3是說明本發(fā)明示例性實施方式的關(guān)于印版水平印刷方向的線性圖案的蝕刻深度的底部接觸的結(jié)果圖。
[0042]圖4是說明根據(jù)本發(fā)明示例性實施方式的印版的網(wǎng)狀圖案的蝕刻深度的底部接觸結(jié)果示意圖。
[0043]圖5是說明根據(jù)本發(fā)明示例性實施方式的包含反射層的印版的示意圖。
【具體實施方式】
[0044]在下文中，將詳細(xì)說明本發(fā)明。
[0045]在本申請文 件中，“底部接觸現(xiàn)象”是指以下這種現(xiàn)象，當(dāng)用印刷輥將油墨轉(zhuǎn)移到印版上時，印刷輥的油墨接觸印版的溝槽圖案內(nèi)面的底部而轉(zhuǎn)移油墨，并因此產(chǎn)生最終印刷制品圖案的缺陷。
[0046]為防止轉(zhuǎn)移到印版的墨水的底部接觸現(xiàn)象，根據(jù)本發(fā)明中印版的蝕刻深度，導(dǎo)出可實施的印版溝槽圖案的線寬度、節(jié)距、蝕刻深度等的關(guān)系式。
[0047]根據(jù)本發(fā)明的印版的一個示例性實施方式，所述印版包括:溝槽圖案，其中所述溝槽圖案包括由彼此不相交的線性圖案組成的區(qū)域，且所述由線性圖案組成的區(qū)域是在所述區(qū)域中包含線性圖案的兩條或更多條線的方形區(qū)域，且所述由線性圖案組成的區(qū)域包含一區(qū)域，在所述區(qū)域中線性圖案的線寬度(W)及深度(D)、以及在方形區(qū)域中不包含線性圖案的區(qū)域的比率(R)與用以形成對應(yīng)于所述線性圖案的圖案的掩膜圖案的開口線寬度(Wtl)滿足下列關(guān)系式I和2。
[0048][關(guān)系式I]
[0049]ff=2D+ff0+X
[0050][關(guān)系式2]
[0051 ] D ^ 42.9exp (-R/0.35) —1.5
[0052]在此，X為常數(shù)，
[0053]D、W、W。和X是以微米為單位的值，以及
[0054]R為大于O且小于I的值。
[0055]在關(guān)系式I中，X為根據(jù)形成印版的基板材料種類的數(shù)值，且X表示在所述基板材料的蝕刻過程中的CD膨脹校正值。更具體而言，X具有O至2微米范圍內(nèi)的數(shù)值。
[0056]下圖3說明根據(jù)各個蝕刻深度對于印版的各種線寬度與節(jié)距的底部接觸的結(jié)果。更具體而言，圖3是說明根據(jù)各個蝕刻深度對于在線性圖案中印版的各種線寬度與節(jié)距的底部接觸結(jié)果的示意圖，所述線性圖案設(shè)置在印版的水平印刷方向。
[0057]根據(jù)圖3的結(jié)果，可確認(rèn)轉(zhuǎn)移到印版上的油墨的底部接觸現(xiàn)象發(fā)生在相當(dāng)于圖的較低區(qū)域的所有部分。此時，在重復(fù)的圖案的情況下，在500 μ mx500 μ m的單位面積內(nèi)，開口率可通過圖3的開口率計算公式來定義。
[0058]在包含線性圖案的二條或更多條線的方形區(qū)域中，所述線性圖案的線寬度(W)及節(jié)距(P)、以及在方形區(qū)域中不包含線性圖案的區(qū)域的比率(R)滿足下列關(guān)系式3。
[0059][關(guān)系式3]
[0060]R=P (P-W) /P2= (P-W) /P
[0061]其中，W、P和X是以微米為單位的值，以及
[0062]R為大于O且小于I的值。
[0063]線性圖案可為規(guī)則的或不規(guī)則的圖案。此外，線性圖案可包含直線、曲線、Z字形線或其組合。
[0064]滿足關(guān)系式 I與2的區(qū)域可為總溝槽圖案區(qū)域的50%以上，70%以上及80%以上，但不限定于此范圍。
[0065]所述溝槽圖案包含兩個或更多個圖案，所述兩個或更多個圖案具有不同的在方形區(qū)域中不包含線性圖案的區(qū)域的比率(R)，所述兩個或更多個圖案具有相同的深度(D)，且基于具有最小的不包含線性圖案的區(qū)域的比率(R)的圖案，所述深度(D)滿足關(guān)系式I和2。
[0066]此外，所述溝槽圖案包含兩個或更多個圖案，所述兩個或更多個圖案具有不同的在方形區(qū)域中不包含線性圖案的區(qū)域的比率(R)，所述兩個或更多個圖案的深度(D)分別滿足關(guān)系式I和2。
[0067]因此，為了防止轉(zhuǎn)移到印版上的油墨的底部接觸現(xiàn)象，對于在印版的水平印刷方向的線性圖案，通過使用所述關(guān)系式可以選擇所需要的數(shù)值并將其賦予對應(yīng)于圖3中的圖的上部區(qū)域的線寬度、節(jié)距、蝕刻深度等。
[0068]根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實施方式的印版是如下的印版，所述印版包括:溝槽圖案，其中所述溝槽圖案包括由網(wǎng)狀圖案組成的區(qū)域，且所述由網(wǎng)狀圖案組成的區(qū)域是在所述區(qū)域中包含構(gòu)成所述網(wǎng)狀圖案的線的三個或更多個交叉點的方形區(qū)域，且所述由網(wǎng)狀圖案組成的區(qū)域包含一區(qū)域，在所述區(qū)域中網(wǎng)狀圖案的線寬度(W)及深度(D)、以及在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案的區(qū)域的比率(R)與用以形成對應(yīng)于所述網(wǎng)狀圖案的圖案的掩膜圖案的開口線寬度(Wtl)滿足下列關(guān)系式I和4。
[0069][關(guān)系式I]
[0070]ff=2D+ff0+X
[0071][關(guān)系式4]
[0072]D ≥ 33.8exp (-R/0.235) +0.82
[0073]在此，X為常數(shù)，
[0074]DUtl和X是以微米為單位的數(shù)值，以及[0075]R為大于O且小于I的數(shù)值。
[0076]在關(guān)系式I中，X為根據(jù)形成印版的基板材料種類的值，且X表示在蝕刻所述基板材料時的⑶膨脹校正值。更具體而言，X具有O至2微米范圍內(nèi)的值。
[0077]下圖4說明了根據(jù)各個蝕刻深度對于印版的各種線寬度與節(jié)距的底部接觸的結(jié)果。更具體而言，圖4是說明了根據(jù)各個蝕刻深度對于在網(wǎng)狀圖案(例如方形圖案)中印版的各種線寬度與節(jié)距的底部接觸結(jié)果的示意圖。
[0078]根據(jù)圖4的結(jié)果，可確認(rèn)轉(zhuǎn)移到印版上的油墨的底部接觸現(xiàn)象發(fā)生在相當(dāng)于圖的較低區(qū)域的所有部分。此時，在重復(fù)的圖案的情況下，在500 μ mx500 μ m的單位面積內(nèi)，開口率可通過圖4的開口率計算公式來定義。
[0079]在包含構(gòu)成所述網(wǎng)狀圖案的線的三個或更多個交叉點的方形區(qū)域，網(wǎng)狀圖案的線寬度(W)和節(jié)距(P)、以及在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案的區(qū)域的比率(R)滿足下列關(guān)系式5。
[0080][關(guān)系式5]
[0081]R= (P-W) 2/P2=(l-W/P)2
[0082]此處，W、P和X是以微米為單位的值，以及
[0083]R為大于O且小于I的值。
[0084]所述網(wǎng)狀圖案 可為規(guī)則的或不規(guī)則的圖案。
[0085]滿足關(guān)系式I與4的區(qū)域占總的溝槽圖案區(qū)域的50%以上，70%以上及80%以上，但不限定于此范圍。
[0086]所述溝槽圖案包含兩個或更多個圖案，所述兩個或更多個圖案具有不同的在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案的區(qū)域的比率(R)，所述兩個或更多個圖案具有相同的深度(D)，且基于具有最小的不包含網(wǎng)狀圖案的區(qū)域的比率(R)的圖案，所述深度(D)滿足關(guān)系式I和4。
[0087]此外，所述溝槽圖案包含兩個或更多個圖案，所述兩個或更多個圖案具有不同的在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案的區(qū)域的比率(R)，所述兩個或更多個圖案的深度(D)分別滿足關(guān)系式I和4。
[0088]因此，為了防止轉(zhuǎn)移到印版上的油墨的底部接觸現(xiàn)象，對于在印版的網(wǎng)狀圖案，通過使用所述關(guān)系式可以選擇所需要的數(shù)值并將其賦予對應(yīng)于圖4中的圖的上部區(qū)域的線寬度、節(jié)距、蝕刻深度等。
[0089]另外，根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實施方式的印版為如下的印版，所述印版包括:溝槽圖案，其中所述溝槽圖案包括由網(wǎng)狀圖案和網(wǎng)狀圖案的分段圖案組成的區(qū)域，且所述區(qū)域是在所述區(qū)域中包含構(gòu)成所述網(wǎng)狀圖案的線的三個或更多個交叉點的方形區(qū)域，且所述區(qū)域包含一區(qū)域，在該區(qū)域中網(wǎng)狀圖案的線寬度(W)及深度(D)、以及在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案和網(wǎng)狀圖案的分段圖案的區(qū)域的比率(R)與用以形成對應(yīng)于所述網(wǎng)狀圖案和網(wǎng)狀圖案的分段圖案的圖案的掩膜圖案的開口線寬度(Wtl)滿足下列關(guān)系式I和4。
[0090][關(guān)系式I]
[0091]ff=2D+ff0+X
[0092][關(guān)系式4]
[0093]D ≥33.8exp (-R/0.235) +0.82[0094]在此，X為常數(shù)，
[0095]D、W、W。和X是以微米為單位的值，以及
[0096]R為大于O且小于I的值。
[0097]在關(guān)系式I中，X為根據(jù)形成印版的基板材料種類的值，且X表示在蝕刻所述基板材料時的⑶膨脹校正值。更具體而言，X具有O至2微米范圍內(nèi)的值。
[0098]在包含構(gòu)成所述網(wǎng)狀圖案的線的三個或更多個交叉點的方形區(qū)域，網(wǎng)狀圖案及網(wǎng)狀圖案的分段圖案的線寬度(W)和節(jié)距(P)、以及在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案及網(wǎng)狀圖案的分段圖案的區(qū)域的比率(R)滿足下列關(guān)系式5。
[0099][關(guān)系式5]
[0100]R= (P-W) 2/P2=(l-W/P)2
[0101]此處，W、P和X是以微米為單位的值，以及
[0102]R為大于O且小于I的值。
[0103]滿足關(guān)系式I與4的區(qū)域可占總的溝槽圖案區(qū)域的50%以上，70%以上及80%以上，但不限定于此范圍。
[0104]在根據(jù)本發(fā)明的印版中，所述溝槽圖案可包含圖案彼此不相交的線性圖案、網(wǎng)狀圖案或其全部。
[0105]在根據(jù)本發(fā)明的印版中，所述溝槽圖案的深度可以是ΙΟΟμπι以下、50μπι以下、10 μ m以下、5μηι以下及2μηι以下。
[0106]如上所述，當(dāng)油墨轉(zhuǎn)移到所述印版上時，根據(jù)本發(fā)明的印版中的溝槽圖案基本不發(fā)生底部接觸現(xiàn)象。
[0107]根據(jù)本發(fā)明的印版的又一示例性實施方式是包含所述溝槽圖案的印版，并且包含反射層，該反射層包含在除了所述印版的溝槽圖案外的區(qū)域的至少一些區(qū)域內(nèi)。
[0108]所述反射層可包含在除了所述溝槽圖案外的區(qū)域上的至少一些區(qū)域中。也就是說，所述反射層可包含在具有轉(zhuǎn)移到印版上的油墨的區(qū)域中的一些區(qū)域內(nèi)。
[0109]所述反射層可包含選自反射率在5%以上的各種金屬及金屬氧化物中的一種或多種，但是當(dāng)考慮在制造印版期間基板材料與金屬或金屬氧化物之間的粘著強(qiáng)度及由此引起的CD損失時，優(yōu)選所述反射層包含選自由鉻、鑰、鎢及其氧化物中的一種或多種。尤其是，優(yōu)選所述反射層選自金屬和金屬氧化物，當(dāng)涂布抗蝕墨水時，通過抗蝕墨水由所述金屬和金屬氧化物可產(chǎn)生足夠的反射。
[0110]所述反射層可以形成為包含選自由金屬和金屬氧化物中的一種或多種的單層，也可以形成為包含選自金屬和金屬氧化物中的一種或多種的兩層或更多層的多層。
[0111]另外可包括改善印版和反射層之間的粘著強(qiáng)度的層。用來改善粘著強(qiáng)度的層用來改善基板材料和金屬或金屬氧化物之間的粘著強(qiáng)度，且所述層可通過使用在本領(lǐng)域中已知的材料與方法來形成。
[0112]與在反向膠印工藝中印刷具有透明度的薄膜相比，根據(jù)本發(fā)明的印版可更有效地被應(yīng)用。
[0113]在反向膠印工藝中最重要的因素是在印刷期間維持橡皮布的適當(dāng)?shù)母稍餇顟B(tài)。然而，基本上即使由具有高沸點的溶劑(尤其是減少溶脹的具有高沸點的溶劑)引起的橡皮布的體積膨脹不是明顯的，通過橡皮布的溶脹來測定厚度的變化的方法(在維持橡皮布的適當(dāng)干燥狀態(tài)的控制方法中常使用該方法)很大地影響印刷特性，因此難以判定所述方法為優(yōu)選的方法。
[0114]為了在本發(fā)明中持續(xù)地反饋油墨的適當(dāng)干燥狀態(tài)，通過將包含選自金屬和金屬氧化物中的一種或多種的反射層引入到印版上，通過印刷設(shè)備可確認(rèn)斷電期間留在印版上的油墨的干燥狀態(tài)，并且通過機(jī)械地進(jìn)行所述反饋來使橡皮布維持在適當(dāng)?shù)臓顟B(tài)。為了此目的，在制造根據(jù)本發(fā)明的印版期間，在剝離金屬層(例如最終的Cr)或金屬氧化物層之前，立即使用能夠獲得掩蓋特性的材料(例如光刻膠或聚酰亞胺膠帶)來使所述材料提供金屬層或金屬氧化物層保留在印版的各種部分上。
[0115]通過上述方法來控制橡皮布的干燥狀態(tài)從結(jié)果上看是更合適的方法，因為對應(yīng)于要被印刷的目標(biāo)物的墨水的狀態(tài)得到直接監(jiān)控，且本發(fā)明的要旨為在用于所述方法的印版上導(dǎo)入反射層。
[0116]因此，在根據(jù)本發(fā)明的印版中，所述反射層也可用于測量轉(zhuǎn)移到所述印版的墨水的厚度。所以，可維持并控制印刷輥橡皮布的適當(dāng)?shù)母稍餇顟B(tài)，且所述橡皮布的干燥狀態(tài)的控制可造成直接監(jiān)控對應(yīng)于要被印刷的目標(biāo)物的墨水的狀態(tài)。
[0117]所述反射層的反射率沒有特別限制，但可為5%以上、10%以上、50%以上及90%以上。
[0118]反射層的厚度沒有特別限制,但可為200nm以下及Ιμπι以下。
[0119]所述反射層的數(shù)值范圍(如寬度等)沒有特別限制，且在不破壞觸屏的有效屏幕部分的范圍內(nèi)，數(shù)值越大越好。
[0120]在根據(jù)本發(fā)明的印版中，除了印版的溝槽圖案之外的區(qū)域厚度可在0.05mm至
0.3mm、大于0.3mm且2mm以下、以及大于2mm且5_以下。
[0121]在根據(jù)本發(fā)明的印版中，所述溝槽圖案可包含其中圖案彼此相交的線性圖案、網(wǎng)狀圖案或同時包含兩者。
[0122]下圖2說明了根據(jù)本發(fā)明的印版的顯微照片及印刷制品的顯微照片。根據(jù)本發(fā)明的印版的優(yōu)點在于，可以確保通過未加改變地應(yīng)用LCD玻璃的平整度伴隨的整體均一性，以及在蝕刻期間在每一區(qū)域的蝕刻均勻性，并且通過激光器進(jìn)行圖案化可制備具有精細(xì)線條的印版，而且可確認(rèn)可防止在印刷期間通過上述的印版的推動而造成的圖案的扭曲。
[0123]另外，根據(jù)本發(fā)明的制備印版的方法的示例性實施方式包括:1)在基板材料上形成反射層，2)使所述反射層圖案化，及3)使用所述圖案化的反射層作為掩膜來使所述基板材料圖案化。
[0124]在根據(jù)本發(fā)明的制備印版的方法中，在步驟I)中可以使用本領(lǐng)域中已知的材料來作為基板材料，其更具體的實施例包含玻璃、塑料膜、不銹鋼基板等，但不限于此。
[0125]在根據(jù)本發(fā)明的印版中，可以使用透明玻璃基板材料作為步驟I)的基板材料，且所述透明玻璃基板材料的厚度優(yōu)選為0.3mm至2mm。也就是說，在本發(fā)明中可使用典型的IXD玻璃(0.63mm)通過直接激光圖案化來制備印版。
[0126]在根據(jù)本發(fā)明的制備印版的方法中，步驟2)可包括2-1)在所述反射層上形成光刻膠層，然后使所述光刻膠層圖案化，以及2-2)使用已圖案化的光刻膠層作為掩膜來使所述反射層圖案化。
[0127]在根據(jù)本發(fā)明的制備印版的方法中，在步驟3)中所述基板材料的圖案化可通過使用激光器來進(jìn)行。所述激光器可選自ND-YAG激光器、二氧化碳激光器、半導(dǎo)體激光器、皮秒激光器和飛秒激光器，但不限于此
[0128]另外，本發(fā)明提供了一種通過使用所述印版制備的印刷制品，其包含對應(yīng)于所述印版的溝槽圖案的印刷圖案。
[0129]所述印刷圖案的最大線寬度及最小線寬度的差異可為50 μ m以下。
[0130]此外，本發(fā)明提供了一種包含所述印刷制品的觸屏感應(yīng)器。
[0131]除了觸屏感應(yīng)器包含通過使用根據(jù)本發(fā)明的印版印刷的印刷制品之外，所述觸屏感應(yīng)器可使用本領(lǐng)域已知的材料、制造方法等。
[0132]以下將參照實施例對本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述。然而，以下實施例是用于說明本發(fā)明，而不應(yīng)解釋為限制本發(fā)明的范圍。
[0133]〈實施例〉
[0134]圖5說明了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的包含反射層的印版。更具體而言，根據(jù)圖5的印版為網(wǎng)型印版，其是通過使用IXD玻璃(0.63mm)制造的且在溝槽圖案中具有5 μ m的深度、13 μ m的線寬度及300 μ m的節(jié)距。此外，所述反射層由Cr (1300 A) /CrOx(400 <\)組成并且Cr/CrOx中與玻璃接觸的一部分是CrOx。所述反射層由4個在所述印版上具有2cmxlcm大小的矩形組成。
[0135]如圖5的說明，根據(jù)本發(fā)明的印版的溝槽圖案的線寬度、深度、節(jié)距等滿足特定關(guān)系式，因此大大防止了轉(zhuǎn)移到印版上的油墨的底部接觸現(xiàn)象。此外，根據(jù)本發(fā)明的印版在除了印版上溝槽圖案之外的區(qū)域的至少一些區(qū)域內(nèi)可包含反射層來確認(rèn)轉(zhuǎn)移到印版的油墨的厚度，所以可維持并控制印刷輥橡皮布的適當(dāng)干燥狀態(tài)。另外在所述印版制造期間，通過使用激光器可以制備具有精細(xì)線條的印版，且在使用所述印版印刷期間，可防止由推動所述印版所造成的圖案的扭曲。
【權(quán)利要求】
1.一種印版,其包括: 溝槽圖案， 其中所述溝槽圖案包括由彼此不相交的線性圖案組成的區(qū)域，且所述由線性圖案組成的區(qū)域是在所述區(qū)域中包含線性圖案的兩條或更多條線的方形區(qū)域，且所述由線性圖案組成的區(qū)域包含一區(qū)域，在該區(qū)域中線性圖案的線寬度(W)及深度(D)、以及在方形區(qū)域中不包含線性圖案的區(qū)域的比率(R)與用以形成對應(yīng)于所述線性圖案的圖案的掩膜圖案的開口線寬度(Wtl)滿足下列關(guān)系式I和2: [關(guān)系式I] ff=2D+ff0+X [關(guān)系式2]
D ≥42.9exp (-R/0.35)-1.5
其中，X為常數(shù)， D、W、W0和X是以微米為單位的值，以及 R為大于O且小于I的值。
2.權(quán)利要求1所述的印版，其中，在方形區(qū)域中的線性圖案的線寬度(W)及節(jié)距(P)、以及在方形區(qū)域中不包含線性圖案的區(qū)域的比率(R)另外滿足下列關(guān)系式3: [關(guān)系式3]
R=P (P-W) /P2= (P-W) /P 其中，W、P和X是以微米為單位的值，以及 R為大于O且小于I的值。
3.權(quán)利要求1所述的印版，其中，所述線性圖案為規(guī)則的或不規(guī)則的圖案。
4.權(quán)利要求1所述的印版，其中，所述線性圖案包含直線、曲線、Z形線或其組合。
5.權(quán)利要求1所述的印版，其中，滿足關(guān)系式I與2的區(qū)域占總溝槽圖案區(qū)域的50%以上。
6.權(quán)利要求1所述的印版，其中，所述溝槽圖案包含兩個或更多個圖案，所述兩個或更多個圖案具有不同的在方形區(qū)域中不包含線性圖案的區(qū)域的比率(R)，所述兩個或更多個圖案具有相同的深度(D)，且基于具有最小的不包含線性圖案的區(qū)域的比率(R)的圖案，所述深度(D)滿足關(guān)系式I和2。
7.權(quán)利要求1所述的印版，其中，所述溝槽圖案包含兩個或更多個圖案，所述兩個或更多個圖案具有不同的在方形區(qū)域中不包含線性圖案的區(qū)域的比率(R)，并且所述兩個或更多個圖案的深度(D)分別滿足關(guān)系式I和2。
8.—種印版,其包括: 溝槽圖案， 其中所述溝槽圖案包括由網(wǎng)狀圖案組成的區(qū)域，且所述由網(wǎng)狀圖案組成的區(qū)域是在所述區(qū)域中包含構(gòu)成所述網(wǎng)狀圖案的線的三個或更多個交叉點的方形區(qū)域，且所述由網(wǎng)狀圖案組成的區(qū)域包含一區(qū)域，在該區(qū)域中網(wǎng)狀圖案的線寬度(W)及深度(D)、以及在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案的區(qū)域的比率(R)與用以形成對應(yīng)于所述網(wǎng)狀圖案的圖案的掩膜圖案的開口線寬度(Wtl)滿足下列關(guān)系式I和4: [關(guān)系式I]ff=2D+ff0+X
[關(guān)系式4]
D ≥ 33.8exp (-R/0.235) +0.82
其中，X為常數(shù)， D、W、W0和X是以微米為單位的數(shù)值，以及 R為大于O且小于I的數(shù)值。
9.權(quán)利要求8所述的印版，其中，在方形區(qū)域中的網(wǎng)狀圖案的線寬度(W)和節(jié)距(P)、以及在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案的區(qū)域的比率(R)另外滿足下列關(guān)系式5: [關(guān)系式5]
R= (P-ff)2/P2=(l-W/P)2 其中，W、P和X是以微米為單位的值，以及 R為大于O且小于I的值。
10.權(quán)利要求8所述的印版，其中，所述網(wǎng)狀圖案為規(guī)則的或不規(guī)則的圖案。
11.權(quán)利要求8所述的印版，其中，滿足關(guān)系式I與4的區(qū)域占總溝槽圖案區(qū)域的50%以上。
12.權(quán)利要求8所述的印版，其中，所述溝槽圖案包含兩個或更多個圖案，所述兩個或更多個圖案具有不同的在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案的區(qū)域的比率(R)，所述兩個或更多個圖案具有相同的深度(D)，且基于具有最小的不包含線性圖案的區(qū)域的比率(R)的圖案，所述深度(D)滿足關(guān)系式I和4。
13.權(quán)利要求8所述的印版，其中，所述溝槽圖案包含兩個或更多個圖案，所述兩個或更多個圖案具有不同的在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案的區(qū)域的比率(R)，并且所述兩個或更多個圖案的深度(D)分別滿足關(guān)系式I和4。
14.一種印版,其包括: 溝槽圖案， 其中所述溝槽圖案包括由網(wǎng)狀圖案和所述網(wǎng)狀圖案的分段圖案組成的區(qū)域，且所述區(qū)域是在所述區(qū)域中包含構(gòu)成所述網(wǎng)狀圖案的線的三個或更多個交叉點的方形區(qū)域，且所述區(qū)域包含一區(qū)域，在該區(qū)域中網(wǎng)狀圖案的線寬度(W)及深度(D)、以及在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案和所述網(wǎng)狀圖案的分段圖案的區(qū)域的比率(R)與用以形成對應(yīng)于所述網(wǎng)狀圖案和網(wǎng)狀圖案的分段圖案的圖案的掩膜圖案的開口線寬度(Wtl)滿足下列關(guān)系式I和4: [關(guān)系式I] ff=2D+ff0+X [關(guān)系式4]
D ≥ 33.8exp (-R/0.235) +0.82
其中，X為常數(shù)， D、W、W0和X是以微米為單位的值，以及 R為大于O且小于I的值。
15.權(quán)利要求14所述的印版，其中，在方形區(qū)域中的網(wǎng)狀圖案及所述網(wǎng)狀圖案的分段圖案的線寬度(W)和節(jié)距(P)、以及在方形區(qū)域中不包含網(wǎng)狀圖案及所述網(wǎng)狀圖案的分段圖案的區(qū)域的比率(R)另外滿足下列關(guān)系式5:[關(guān)系式5]
R= (P-ff)2/P2=(l-W/P)2 其中，W、P和X是以微米為單位的值，以及 R為大于O且小于I的值。
16.權(quán)利要求14所述的印版，其中，滿足關(guān)系式I與4的區(qū)域占總溝槽圖案區(qū)域的50%以上。
17.權(quán)利要求1至16中任一項所述的印版，其中，所述溝槽圖案包含圖案彼此不相交的線性圖案、網(wǎng)狀圖案或同時包含兩者。
18.權(quán)利要求1至16中任一項所述的印版，其中，所述溝槽圖案的深度(D)為100μ m以下。
19.權(quán)利要求1至16中任一項所述的印版，其在所述印版上在除了溝槽圖案外的區(qū)域中的至少一些區(qū)域內(nèi)另外包含反射層。
20.權(quán)利要求19所述的印版，其中，所述反射層包含選自金屬和金屬氧化物中的一種或多種。
21.權(quán)利要求1至16中任一項所述的印版，其中，所述印版用于反向膠印。
22.權(quán)利要求1至16中 任一項所述的印版，其中，當(dāng)油墨轉(zhuǎn)移到所述印版上時，對于所述溝槽圖案基本不發(fā)生底部接觸現(xiàn)象。
23.—種印刷制品，其是通過使用權(quán)利要求1至16中任一項所述的印版制備的并且包括對應(yīng)于所述印版的溝槽圖案的印刷圖案。
24.權(quán)利要求23所述的印刷制品，其中，在印刷圖案中，非印刷區(qū)域占對應(yīng)于印版的溝槽圖案的區(qū)域的10%以下。
25.權(quán)利要求23所述的印刷制品，其中，所述印刷圖案的最大線寬度及最小線寬度之間的差異為50 μ m以下。
26.一種觸屏感應(yīng)器，其包含權(quán)利要求23所述的印刷制品。
【文檔編號】B41N1/08GK103764402SQ201280042104
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2012年9月3日 優(yōu)先權(quán)日:2011年9月2日
【發(fā)明者】黃智泳, 樸濟(jì)燮, 黃仁皙, 李承憲 申請人:Lg化學(xué)株式會社