專利名稱：噴墨頭、噴墨記錄裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種噴墨頭中的噴嘴板的配置結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中披露有一種噴墨頭，在該噴墨頭中，在基板上形成由壓電元件構(gòu)成的突起部，并通過(guò)在該突起部上形成多個(gè)槽，從而形成多個(gè)壓力室和多個(gè)壓電執(zhí)行器，而且，在該基板上的平面部接合框部件，并在框部件的上面和突起部的頂部上面粘結(jié)噴嘴板 (例如，參照專利文獻(xiàn)1)。該噴墨頭將由基板、框部件、突起部及噴嘴板構(gòu)成的空間用作油墨供給路徑或油墨排出路徑。在該噴墨頭中，可從油墨供給路徑向壓力室強(qiáng)制供給油墨，并使未從噴嘴吐出的油墨從壓力室向油墨排出路徑排出。因此，無(wú)論有無(wú)油墨從噴嘴吐出，可使壓力室內(nèi)的油墨強(qiáng)制對(duì)流。即使通過(guò)強(qiáng)制對(duì)流在壓力室內(nèi)混入有氣泡或異物，也由于能夠強(qiáng)制地排出，所以能夠?qū)⒁驓馀莼虍愇锏脑驅(qū)е碌挠湍珶o(wú)法吐出的不良情況抑制到最小限度。并且，也披露有采用材質(zhì)為單晶硅的噴嘴板的結(jié)構(gòu)(例如，參照專利文獻(xiàn)2)。在噴嘴板上開(kāi)通有多個(gè)通過(guò)干法蝕刻加工而成的噴嘴孔。使用單晶硅作為噴嘴板的材質(zhì)就能夠容易適用像干法蝕刻那樣的半導(dǎo)體微細(xì)加工技術(shù)，并能夠形成高精度的噴嘴孔。并且，通過(guò)高精度地加工噴嘴孔，能夠使從噴嘴孔吐出的液滴的落點(diǎn)位置精度提高。因此，能夠使印字質(zhì)量提高?；蛘撸趯娔^應(yīng)用于例如像平板顯示器那樣的電子設(shè)備的制造時(shí)，能夠使在制造工序中的成品率提高。本申請(qǐng)發(fā)明人發(fā)現(xiàn)如果將專利文獻(xiàn)2所述的噴嘴板應(yīng)用于專利文獻(xiàn)1所述的噴墨頭中，則產(chǎn)生有以下兩個(gè)問(wèn)題。第一問(wèn)題是很難廉價(jià)地提供噴墨頭。在專利文獻(xiàn)1中的噴嘴板由于具有不僅密封壓力室還密封油墨供給路徑的功能，所以需要是大面積的。另一方面，專利文獻(xiàn)2所述的噴嘴板由于通過(guò)半導(dǎo)體微細(xì)加工技術(shù)形成噴嘴，所以噴嘴板的面積越大，其制造成本越高。另一個(gè)問(wèn)題是在噴嘴板的粘結(jié)工藝中容易使噴嘴板破損。在專利文獻(xiàn)1記載的噴墨頭的制造工序中，首先切削加工基板形成突起部，接著，在所述突起部上形成多個(gè)槽從而形成多個(gè)壓力室和多個(gè)壓電執(zhí)行器。接著，在基板上粘結(jié)框部件，最后將噴嘴板粘結(jié)在突起部和框部件的上面。然而，專利文獻(xiàn)2記載的單晶硅制的噴嘴板由于是極其脆的材料，所以當(dāng)突起部的頂面和框部件的上面有高度差時(shí)，則在粘結(jié)噴嘴板時(shí)，有時(shí)在噴嘴板中產(chǎn)生應(yīng)力而破裂。雖然也可以考慮同時(shí)研磨突起部的頂面和框部件的上面，使得不產(chǎn)生高度差，但是由于在突起部的頂面多個(gè)柱狀的壓電執(zhí)行器形成在壓力室間，所以在研磨加工時(shí)存在這些壓電執(zhí)行器損壞的危險(xiǎn)。并且，在研磨加工了突起部和框部件之后，也很難在突起部上形成槽。是因?yàn)橛捎谀苡糜谇邢骷庸さ男D(zhuǎn)刀的直徑大于突起部和框部件之間的間隔，所以當(dāng)對(duì)突起部成槽加工時(shí)就會(huì)加工到框部件上。專利文獻(xiàn)1 日本特表2003-507213號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)2007-62367號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種能提高從噴墨頭的噴嘴孔的吐出的液滴的落點(diǎn)位置精度、防止噴嘴板的破損及實(shí)現(xiàn)低成本化的技術(shù)。為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明第一方面涉及一種噴墨頭，其包括基板；多個(gè)壓電元件分割壁，上述多個(gè)壓電元件分割壁在與規(guī)定的油墨吐出方向正交的方向上排列在上述基板上，并構(gòu)成與多個(gè)噴嘴孔各自對(duì)應(yīng)的多個(gè)壓力室的分割壁；噴嘴板，上述噴嘴板在上述多個(gè)壓電元件分割壁排列的方向上延伸，以架設(shè)在上述多個(gè)壓電元件分割壁的頂面上的方式粘結(jié)，并形成有上述多個(gè)噴嘴孔；框部件，上述框部件配置在上述基板上，并包圍上述壓電元件分割壁；以及密封部件，上述密封部件粘結(jié)在上述噴嘴板的不與上述壓電元件分割壁相對(duì)的一側(cè)的面及上述框部件的頂面上，并在與上述多個(gè)噴嘴孔對(duì)應(yīng)的位置具有開(kāi)口。此外，本發(fā)明第二方面涉及的噴墨記錄裝置，包括上述那樣構(gòu)成的噴墨頭；以及油墨回流機(jī)構(gòu)，在向上述噴墨頭供給油墨的同時(shí)，使從上述噴墨頭排出的油墨再次回流至上述噴墨頭。如以上詳述，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種可提高從噴墨頭的噴嘴孔吐出的液滴的落點(diǎn)位置精度、防止噴嘴板的破損及實(shí)現(xiàn)低成本化的技術(shù)。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的噴墨頭的外觀立體圖。圖2是本發(fā)明的實(shí)施方式的噴墨頭的簡(jiǎn)要平面圖。圖3是本發(fā)明的實(shí)施方式的噴墨頭的A-A截面圖。圖4是本發(fā)明的實(shí)施方式的噴墨頭的B-B截面圖。圖5是在z-x平面切斷了本發(fā)明的實(shí)施方式的噴嘴的縱截面圖。圖6是具有本發(fā)明的實(shí)施方式的噴墨頭的噴墨記錄裝置的簡(jiǎn)要構(gòu)成圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的噴墨頭1的外觀立體圖。噴墨頭1包括具有吐出油墨的噴嘴2的噴頭基板3、產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)的驅(qū)動(dòng)器IC 4、 具有油墨供給口 6和油墨排出口 7的多通連接板(manifold)5。噴墨頭1按照在驅(qū)動(dòng)器IC 4中產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)信號(hào)使從油墨供給口 6供給的油墨從噴嘴2吐出。使從油墨供給口6流入的油墨中未從噴嘴2吐出的油墨從油墨排出口7排出。圖2是本發(fā)明的實(shí)施方式的噴墨頭的簡(jiǎn)要平面圖。圖3是本發(fā)明的實(shí)施方式的噴墨頭的A-A截面圖。圖4是本發(fā)明的實(shí)施方式的噴墨頭的B-B截面圖。噴頭基板3包括壓電部件14、底基板15(基板)、噴嘴板16、框部件17、密封部件 27。被底基板15、壓電部件14及密封部件27圍住的中央部的空間形成用于向壓力室供給油墨的油墨供給路徑18?？虿考?7粘結(jié)在底基板15上，并包圍壓電部件14等。被底基板15、壓電部件14、框部件17及密封部件27包圍的空間形成用于從壓力室排出油墨的油墨排出路徑19。
底基板15上形成有用于電連接形成在壓力室M的內(nèi)壁上的電極21 (參照?qǐng)D4) 和驅(qū)動(dòng)IC 4的配線電極20。并且，底基板15形成有與油墨供給路徑18連通的油墨供給孔 22和與油墨排出路徑19連通的油墨排出孔23。油墨供給孔22通過(guò)多通連接板5 (參照?qǐng)D 1)與油墨供給口 6流體連接。油墨排出孔23通過(guò)多通連接板5與油墨排出口 7流體連接。底基板15優(yōu)選由介電常數(shù)小、且與壓電部件的熱膨脹系數(shù)的差小的材料形成。作為底基板15的材質(zhì)諸如可采用氧化鋁(Al2O3)、氮化硅(Si3N4)、碳化硅(SiC)、氮化鋁(AlN) 和鋯鈦酸鉛(PZT)等。作為一例，在本實(shí)施方式中，示出采用低介電常數(shù)的PZT的構(gòu)成。在底基板15上接合有沿χ軸方向延伸的壓電部件14。壓電部件14通過(guò)沿板厚方向?qū)訅簶O化方向彼此相反的壓電部件Ha和壓電部件14b而形成。在壓電部件14上并列形成有從油墨供給路徑18向油墨排出路徑19排列的多個(gè)長(zhǎng)槽，在該各長(zhǎng)槽的內(nèi)表面上形成有電極21 (參照?qǐng)D4)。被這些長(zhǎng)槽以及噴嘴板16的覆蓋設(shè)置在壓電部件14上的長(zhǎng)槽的一面包圍的空間成為壓力室M。這樣，噴嘴板16在排列多個(gè)壓電元件分割壁的方向上延伸(參照?qǐng)D2)，架設(shè)并粘結(jié)在多個(gè)壓電元件分割壁的頂面(參照?qǐng)D4)，并形成有多個(gè)噴嘴孔(參照?qǐng)D2)。另外，噴嘴板16以覆蓋多個(gè)壓電元件分割壁各個(gè)的矩形頂面的整個(gè)區(qū)域的方式粘結(jié)。這樣，通過(guò)以緊貼在壓電元件分割壁各個(gè)的頂面的寬廣范圍的方式粘結(jié)噴嘴板16，能夠?qū)娮彀?6與多個(gè)壓電元件分割壁牢固地粘結(jié)在一起。通過(guò)這樣，由壓電元件構(gòu)成的多個(gè)壓電元件分割壁立起設(shè)置在底基板15上，這些壓電元件分割壁在底基板15上在與規(guī)定的油墨吐出方向正交的方向上排列。多個(gè)壓電元件分割壁構(gòu)成與多個(gè)噴嘴孔分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)壓力室的分割壁。并且，在本實(shí)施方式中，多個(gè)壓電元件分割壁排列成構(gòu)成平行的多個(gè)列(在這里為兩列)的方式，噴嘴板16對(duì)應(yīng)多列中的各列被分割配置在兩列上。電極21通過(guò)配線電極20與驅(qū)動(dòng)IC 4連接。鄰接的壓力室M之間的壓電部件14 被各壓力室M所設(shè)置的電極21夾持，并形成執(zhí)行器25 (參照?qǐng)D4)。當(dāng)通過(guò)由驅(qū)動(dòng)IC 4生成的驅(qū)動(dòng)信號(hào)對(duì)執(zhí)行器25施加電場(chǎng)時(shí)，則執(zhí)行器25以壓電部件1 和壓電部件14b的接合部為頂部剪切變形為“ < 字形”。通過(guò)該執(zhí)行器25的變形， 壓力室M的容積變化，并加壓壓力室M內(nèi)部的油墨。在壓力室M內(nèi)加壓的油墨從噴嘴2 吐出。具體地說(shuō)，壓電部件14可由鋯鈦酸鉛(PZTPb ( ，Ti))O3)、鈮酸鋰(LiNbO3)和鉭酸鋰(LiTaO3)等構(gòu)成。作為一例，在本實(shí)施方式中，采用壓電常數(shù)比較高的鋯鈦酸鉛(PZT)。電極21為鎳(Ni)和金(Au)的雙層構(gòu)造。電極21通過(guò)鍍法，在形成在壓電部件 14上的長(zhǎng)槽內(nèi)均勻地成膜(參照?qǐng)D4)。作為電極21的形成方法，除鍍法外，也可以采用濺射法或蒸鍍法等。在這里的壓力室M為深度300 μ m寬度80 μ m的形狀，并以169 μ m的節(jié)距平行地排列。圖5是在z-x平面上切斷本發(fā)明的實(shí)施方式的噴嘴的縱截面圖。在噴嘴板16上， 在從壓力室M的長(zhǎng)度方向(y軸方向)的中央部每偏移三周期的位置上，形成有噴嘴2。噴嘴2在油墨吐出側(cè)具有小的孔2a，在壓力室M側(cè)具有大的孔2b。噴嘴加和噴嘴2b可以用干法蝕刻或濕法蝕刻等高精度地形成。作為一例，噴嘴板16的材質(zhì)在本實(shí)施方式中采用單晶硅。
另外，作為噴嘴板16的材質(zhì)，也可以采用鎳，并通過(guò)電鑄法形成噴嘴板。噴嘴板16 的大小為用于覆蓋壓力室M的開(kāi)口部的最小限度的大小(在這里，例如，在y軸方向上的寬度2mm、在ζ軸方向上的厚度50 μ m、在χ軸方向上的長(zhǎng)度50mm 60mm)。由于通過(guò)抑制噴嘴板16的大小，能夠使在由干法蝕刻或濕法蝕刻的噴嘴孔形成工序中，從一次作業(yè)中獲得的噴嘴板的數(shù)量多，所以能夠使噴嘴板16的制造成本降低。在噴嘴板16的與壓電元件分割壁不對(duì)置的一側(cè)的面及框部件17的頂面上，粘結(jié)有密封部件27。密封部件27密封油墨供給路徑18和油墨排出路徑19的上面。在密封部件27上在與噴嘴2 (多個(gè)噴嘴孔)對(duì)應(yīng)的位置上設(shè)置有開(kāi)口部。密封部件27諸如由聚酰亞胺膜或不銹鋼板等的可撓性的材料形成。因此，即使在噴嘴板16的與壓力室M不對(duì)置的一側(cè)的面和框部件17的頂面上產(chǎn)生有高度差，也能夠進(jìn)行粘結(jié)。在密封部件27上有抗液性的涂層。接著，對(duì)噴頭基板3的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，在設(shè)置有油墨供給孔22和油墨排出孔23的底基板15上，粘結(jié)有在極化方向彼此相反的狀態(tài)下粘結(jié)的壓電部件14。在壓電部件14向底基板15的粘結(jié)中，使用環(huán)氧系粘結(jié)劑。在此之后的各部件的粘結(jié)處理也同樣使用環(huán)氧系粘結(jié)劑。接著，用具有梯形斷面的旋轉(zhuǎn)刀片切削加工壓電部件14和底基板15，并在底基板 15上將壓電部件14的突起形成為梯形狀。在本實(shí)施方式中，壓電部件14在ζ軸方向上離底基板15表面的高度約為500 μ m。接著，在底基板15的上面通過(guò)光刻的方法，形成配線電極的掩膜。接著，在梯形狀的壓電部件14的突起上通過(guò)切削器(dicer)加工槽，形成壓力室M和執(zhí)行器25。接著，對(duì)底基板15和壓電部件14實(shí)施化學(xué)鍍鎳。而且，在化學(xué)鍍鎳上實(shí)施電解鍍金。接著，在壓電部件14的突起的頂面上，粘結(jié)預(yù)先加工有多個(gè)噴嘴2的噴嘴板16。接著，在底基板15的上面粘結(jié)框部件17。接著，在框部件17的頂面和噴嘴板16的與壓力室M不對(duì)置的一側(cè)的面上，粘結(jié)密封部件27。通過(guò)這樣的結(jié)構(gòu)，即使在框部件17的頂面和噴嘴板16的與壓力室M不對(duì)置的一側(cè)的面之間，存在在ζ軸方向上的高度位置之差，也由于可撓性的密封部件27變形，而能夠使密封部件27的向框部件17及噴嘴板16的粘結(jié)工作變得容易。圖6是具有本發(fā)明的實(shí)施方式的噴墨頭的噴墨記錄裝置的簡(jiǎn)要構(gòu)成圖。如圖6所示，本實(shí)施方式的噴墨記錄裝置在使用油墨循環(huán)機(jī)構(gòu)向噴墨頭1供給油墨的同時(shí)，使從噴墨頭1排出的油墨再次循環(huán)給噴墨頭1。具體地說(shuō)，油墨循環(huán)機(jī)構(gòu)包括供給側(cè)油墨罐9、排出側(cè)油墨罐10、供給側(cè)壓力調(diào)整泵11、輸送泵12、排出側(cè)壓力調(diào)整泵13及流體地連接這些的管。供給側(cè)壓力調(diào)整泵11和排出側(cè)壓力調(diào)整泵13分別調(diào)整供給側(cè)油墨罐9的壓力和排出側(cè)油墨罐10的壓力。供給側(cè)油墨罐9向噴墨頭1的油墨供給口 6供給油墨。排出側(cè)油墨罐10臨時(shí)儲(chǔ)存從噴墨頭1的油墨排出口 7排出的油墨。輸送泵12使排出側(cè)油墨罐10 所儲(chǔ)存的油墨回流給供給側(cè)油墨罐9。并且，本實(shí)施方式的噴墨記錄裝置在向薄片等記錄介質(zhì)的圖像形成動(dòng)作結(jié)束時(shí)等，過(guò)渡到維護(hù)模式，作為維護(hù)操作的一部分，例如執(zhí)行吸入(吸引)操作及擦拭(擦除) 操作等。在擦拭操作時(shí)，密封部件27被由橡膠等彈性部件構(gòu)成的刀片擦拭。密封部件27所形成的開(kāi)口形成不妨礙從形成在噴嘴板16上的噴嘴孔2吐出油
6墨、且被彈性部件擦拭時(shí)使彈性變形的該彈性部件不與噴嘴板16表面接觸的形狀。通過(guò)這樣，在擦拭操作中，由彈性部件構(gòu)成的刀片與噴嘴板16表面不接觸，從而能夠保護(hù)噴嘴板 16表面的噴嘴孔不被損傷或破損等。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的噴墨頭及具有其的噴墨記錄裝置，能夠?qū)娮斓奈⒓?xì)加工所需要的噴嘴板16的面積抑制到所需最小限度。因此，能夠?qū)⒁驓馀莼虍愇锏脑驅(qū)е碌挠湍珶o(wú)法吐出的不良情況抑制到最小限度，而且還能夠廉價(jià)地提供具有高落點(diǎn)位置精度的噴墨記錄裝置。此外，當(dāng)像本實(shí)施方式那樣多列配置壓電部件14時(shí)，由于對(duì)形成多列的各壓電部件個(gè)別地粘結(jié)單個(gè)獨(dú)立的噴嘴板16，所以即使因某些外力或熱膨脹等的影響而多列的壓電部件14的相對(duì)位置變化時(shí)，也不會(huì)對(duì)噴嘴板16施加不合理的力，從而能夠防止噴嘴板16 的破損。并且，通過(guò)由可撓性材料構(gòu)成密封部件27，即使在框部件17的頂面和噴嘴板16的與壓電元件分割壁不面對(duì)面的一側(cè)的面之間有在ζ軸方向上的高度位置之差，密封部件27 也不破損。因此，能夠?qū)⒁驓馀莼虍愇锏脑驅(qū)е碌挠湍珶o(wú)法吐出的不良情況的發(fā)生抑制到最小限度，而且還能夠以高成品率制造具有高落點(diǎn)位置精度的噴墨記錄裝置。本發(fā)明只要實(shí)質(zhì)上沒(méi)有脫離其發(fā)明點(diǎn)或主要特征可以有很多的變形，因此，上述的實(shí)施方式在所有方面只不過(guò)為例示而已，并不應(yīng)該被限定性地解釋。本發(fā)明的范圍是根據(jù)權(quán)利要求的范圍示出的、且在說(shuō)明書(shū)正文中不被任何約束。而且，權(quán)利要求范圍的均等范圍所屬的全部的變形、各種改進(jìn)、替代及修改均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。附圖標(biāo)記說(shuō)明
1噴墨頭 2噴t
3噴頭基板 4驅(qū)動(dòng)器IC
5多通連接板6油墨供給口
7油墨排出口8油墨供給裝置
9供給側(cè)油墨罐10排出側(cè)油墨罐
11供給側(cè)壓力調(diào)整泵12輸送泵
13排出側(cè)壓力調(diào)整泵14壓電部件
15底基板16噴嘴板
17框部件18油墨供給路徑
19油墨排出路徑20配線電極
21電極22油墨供給孔
23油墨排出孔24壓力室
25執(zhí)行器26槽
27密封部件S驅(qū)動(dòng)信號(hào)
權(quán)利要求
1.一種噴墨頭，包括 基板；多個(gè)壓電元件分割壁，所述多個(gè)壓電元件分割壁在與規(guī)定的油墨吐出方向正交的方向上排列在所述基板上，并構(gòu)成與多個(gè)噴嘴孔各自對(duì)應(yīng)的多個(gè)壓力室的分割壁；噴嘴板，所述噴嘴板在所述多個(gè)壓電元件分割壁排列的方向上延伸，以架設(shè)在所述多個(gè)壓電元件分割壁的頂面上的方式粘結(jié)，并形成有所述多個(gè)噴嘴孔；框部件，所述框部件配置在所述基板上，并包圍所述壓電元件分割壁；以及密封部件，所述密封部件粘結(jié)在所述噴嘴板的不與所述壓電元件分割壁相對(duì)的一側(cè)的面及所述框部件的頂面上，并在與所述多個(gè)噴嘴孔對(duì)應(yīng)的位置具有開(kāi)口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴墨頭，其中，所述多個(gè)壓電元件分割壁排列成構(gòu)成平行的多列， 所述噴嘴板與所述多列中的各列對(duì)應(yīng)地分割配置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴墨頭，其中，所述密封部件在具有所述噴墨頭的噴墨記錄裝置的維護(hù)模式時(shí)通過(guò)彈性部件擦拭， 形成在所述密封部件上的所述開(kāi)口形成為不妨礙從形成在所述噴嘴板上的噴嘴孔吐出油墨、且在被所述彈性部件擦拭時(shí)不使彈性變形的所述彈性部件與所述噴嘴板接觸的形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中的任一項(xiàng)所述的噴墨頭，其中，所述噴嘴板以覆蓋所述多個(gè)壓電元件分割壁各自的頂面的整個(gè)區(qū)域的方式粘結(jié)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中的任一項(xiàng)所述的噴墨頭，其中， 所述密封部件由可撓性部件形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求5中的任一項(xiàng)所述的噴墨頭，其中， 所述噴嘴板由單晶硅以及鎳中的任一個(gè)形成。
7.一種噴墨記錄裝置，包括根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求6中任一項(xiàng)所述的噴墨頭；以及油墨回流機(jī)構(gòu)，在向所述噴墨頭供給油墨的同時(shí)，使從所述噴墨頭排出的油墨再次回流至所述噴墨頭。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種能提高從噴墨頭的噴嘴孔的吐出的液滴的落點(diǎn)位置精度、防止噴嘴板的破損及實(shí)現(xiàn)低成本化的噴墨頭及噴墨記錄裝置。該噴墨頭包括基板；多個(gè)壓電元件分割壁，其在與規(guī)定的油墨吐出方向正交的方向上排列在上述基板上，并構(gòu)成與多個(gè)噴嘴孔各自對(duì)應(yīng)的多個(gè)壓力室的分割壁；噴嘴板，在上述多個(gè)壓電元件分割壁排列的方向上延伸，以架設(shè)在上述多個(gè)壓電元件分割壁的頂面上的方式粘結(jié)，并形成有上述多個(gè)噴嘴孔；框部件，配置在上述基板上，并包圍上述壓電元件分割壁；以及密封部件，粘結(jié)在上述噴嘴板的不與上述壓電元件分割壁相對(duì)的一側(cè)的面及上述框部件的頂面上，并在與上述多個(gè)噴嘴孔對(duì)應(yīng)的位置具有開(kāi)口。
文檔編號(hào)B41J2/045GK102189789SQ20111003869
公開(kāi)日2011年9月21日 申請(qǐng)日期2011年2月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月2日
發(fā)明者喜地保仁, 楠竜太郎 申請(qǐng)人:東芝泰格有限公司