液滴噴出頭的配置方法、噴頭單元及液滴噴出裝置的制作方法

文檔序號：2484102閱讀：241來源：國知局

專利名稱：液滴噴出頭的配置方法、噴頭單元及液滴噴出裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及將多個液滴噴出頭配置固定于共同的滑架板的液滴噴出頭的配置方法、噴頭單元及液滴噴出裝置、及電光裝置的制造方法、電光裝置及電子設備。
背景技術：
以往，作為這種液滴噴出頭的配置方法，知道的有將多個液滴噴出頭在主掃描方向上以每多個排列成臺階狀，并在副掃描方向上分為兩組而配置固定的方法(參照專利文獻l)。在該配置方法中，能夠利用多個液滴噴出頭中的總噴嘴列構成一個描繪行，并且，能夠將多個液滴噴出頭空間效
率良好地配置(參照特開2005 — 238821號公報)。
然而，若利用通過這樣的配置方法制作的噴頭單元進行描繪處理，則有時從各自的液滴噴出頭的最外端的噴出嘴噴出的功能液滴鄰接地被描繪。即，由配置于一個液滴噴出頭的最外端的噴出嘴噴出彈落的功能液滴、和由配置于其他的液滴噴出頭的最外端的噴出嘴噴出彈落的功能液滴鄰接而描繪。然而，配置固定的各液滴噴出頭有時由于制造上的誤差而尤其導致各噴出嘴中的液滴噴出量產(chǎn)生差異。因此，若基于上述配置方法單純配置多個液滴噴出頭，則導致由不同的液滴噴出頭噴出的鄰接的功能液滴的量產(chǎn)生差異，由于顏色不均等理由，導致不能進行良好的描繪處理的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于提供能夠容許按每個液滴噴出頭具有不同的液滴噴出特性，同時，能夠提高基于多個液滴噴出頭的描繪品質的液滴噴出頭的配置方法、噴頭單元及液滴噴出裝置、及電光裝置的制造方法、電光裝置及電子設備。本發(fā)明的液滴噴出頭的配置方法是一種液滴噴出頭的配置方法，基于噴墨式液滴噴出頭各自具有的噴嘴列的多個噴出嘴中的單個的液滴噴出量，將噴出共同的功能液的多個液滴噴出頭以在噴嘴列方向上錯開的方式配置固定到共同的滑架板上，以在噴嘴列方向上鄰接的液滴噴出頭彼此間位于相互的最內端的兩個噴出嘴的液滴噴出量之差包含在規(guī)定的容差范圍內、且位于滑架板上的噴嘴列方向的兩最外端的兩個噴出嘴的液滴噴出量分別包含在規(guī)定的基準量范圍內的方式，對多個液滴噴出頭進行配置固定。
根據(jù)該構成可知，以在噴嘴列方向上鄰接的液滴噴出頭彼此間位于相互的最內端的兩個噴出嘴包含在規(guī)定的容差范圍內的方式對各液滴噴出頭進行配置固定，由此能夠抑制在配置固定于共同的滑架板的液滴噴出頭之間從不同的液滴噴出頭噴出彈落的鄰接的功能液滴中的彈落量的差異。另外，以位于滑架板中的噴嘴列方向的兩最外端的兩個噴出嘴的液滴噴出量分別包含在規(guī)定的基準量范圍的方式，將各液滴噴出頭配置固定，由此能夠抑制在配置固定于其他的滑架板的液滴噴出頭之間，從不同的液滴噴出頭噴出彈落的鄰接的功能液滴中的彈落量的差異。因此，能夠容許按每個液滴噴出頭具有不同的液滴噴出特性，同時，能夠提高基于多個液滴噴出頭的描繪品質。
在這種情況下，優(yōu)選配置于滑架板的多個液滴噴出頭從超過該液滴噴出頭的數(shù)量的數(shù)量的成為配置候補的候補液滴噴出頭中選出。
根據(jù)該結構可知，通過將候補液滴噴出頭準備超過配置液滴噴出頭的數(shù)量的數(shù)量，滿足上述條件(容差范圍及基準量范圍)的可能性變高，滿足條件的組(圖案)變多。由此，能夠提高液滴噴出頭的成品率，容易且可靠地進行上述條件的配置固定。
在這種情況下，優(yōu)選在多個候補液滴噴出頭中，所有噴出嘴中的單個的液滴噴出量的偏差在規(guī)定的范圍內。
根據(jù)該結構可知，作為液滴噴出頭，排除所有噴出嘴中的單個的液滴噴出量的偏差不在規(guī)定的范圍內的噴出嘴，由此能夠容易地進行適當性配置。
優(yōu)選所述多個液滴噴出頭以在噴嘴列方向上劃分為兩個噴頭組的方式配置于滑架板上，屬于兩個噴頭組的多個液滴噴出頭在噴嘴列方向上相互對置。
根據(jù)該結構控制，能夠在滑架板上效率良好地配置多個液滴噴出頭，并且，能夠效率良好地進行描繪處理。
在這種情況下，優(yōu)選功能液具有R色、G色及B色的任一色彩，規(guī)定
的容差范圍基于在兩個噴出嘴的噴出彈落結果鄰接的情況下不發(fā)生相互的顏色不均的液滴噴出量之差而被確定。
根據(jù)該結構可知，能夠進行在從上述位于最內端的兩個噴出嘴噴出的鄰接的噴出彈落結果(功能液滴)中，不存在相互的顏色不均的更良好的
描繪處理。
在這種情況下，優(yōu)選功能液具有R色、G色及B色的任一色彩，規(guī)定的基準量范圍是以一個噴出嘴的被標準化的液滴噴出量為中間值的范圍，基于鄰接的噴出彈落結果中不發(fā)生相互的顏色不均的液滴噴出量的范圍而被確定。
根據(jù)該結構可知，在上述位于最外端的兩個噴出嘴中，規(guī)定的基準量范圍為以一個噴出嘴的被標準化的液滴噴出量為中間值的范圍，由此使其成為近似于標準化的液滴噴出量的值，因此，能夠抑制液滴噴出量的偏差。另外，規(guī)定的基準量范圍基于在鄰接的噴出彈落結果不發(fā)生相互的顏色不均的液滴噴出量的范圍來規(guī)定，由此能夠進行沒有顏色不均的更良好的描繪處理。
在這種情況下，優(yōu)選在包含于規(guī)定的基準量范圍內的選擇項有多組的情況下，選擇基準量范圍的中間值與各組的兩個噴出嘴的液滴噴出量之差的平方和為最小值的選擇項。
根據(jù)該結構可知，通過選擇基準量范圍的中間值與各組的兩個上述噴出嘴的液滴噴出量之差的平方和成為最小的組，能夠進一步抑制兩個上述噴出嘴的液滴噴出量之差，能夠進行更良好的描繪處理。
在這種情況下，優(yōu)選對于液滴噴出量而言，以將各噴嘴列中的平均的液滴噴出量作為絕對目標的液滴噴出量為前提，利用將絕對目標的液滴噴出量設為1而歸一化后的數(shù)值進行比較。
根據(jù)該結構可知，能夠容易地進行與絕對目標的液滴噴出量的比較。在這種情況下，優(yōu)選由基于測定結果的近似特性線圖，求出各噴嘴列的多個噴出嘴中的單個的液滴噴出量。
根據(jù)該結構可知，通過由基于若干個噴出嘴的測定結果的近似特性線圖，求出各噴嘴列中的多個噴出嘴的單個液滴噴出量，能夠在不測定所有的噴出嘴的情況下效率良好地獲得所有噴出嘴的液滴噴出量。
優(yōu)選近似特性線圖根據(jù)對多個噴出嘴的兩端部的多個噴出嘴全部進行測定、而對剩余的中間部的多個噴出嘴相間進行測定的結果所導出。
根據(jù)該結構可知，能夠對于多個噴出嘴的兩端部的多個噴出嘴，獲得嚴格的值。因此，能夠精度良好地進行與基準容許范圍或容差范圍的比較。
在這種情況下，優(yōu)選作為是否包含在容差范圍內的比較對象的液滴噴出量，是多個噴出嘴的端部的多個噴出嘴的液滴噴出量的平均值。
在這種情況下，優(yōu)選作為是否包含在基準量范圍的比較對象的液滴噴出量，是多個噴出嘴的端部的多個噴出嘴中的液滴噴出量的平均值。
根據(jù)這些結構可知，能夠減輕一個噴出嘴中的液滴噴出量的不均，能夠更正確地進行是否包含在容差范圍(基準量范圍)的比較。
在這種情況下，優(yōu)選各液滴噴出頭在各自的噴嘴列中的多個噴出嘴的兩外側具有描繪中不使用的多個無效噴出嘴。
根據(jù)該結構可知，通過將噴出量比結構上位于中央部的噴出嘴多的兩端部的多個噴出嘴作為在描繪中不使用的無效噴出嘴，能夠抑制噴嘴列上的噴出量的偏差，能夠進行更良好的描繪處理。
本發(fā)明提供一種噴頭單元，其用上述的液滴噴出頭的配置方法，在滑架板配置固定有所述多個液滴噴出頭。
根據(jù)該結構可知，通過使用夠容許按每個液滴噴出頭具有不同的液滴噴出特性，同時，能夠提高基于多個液滴噴出頭的描繪品質的液滴噴出頭的配置方法，能夠提供能夠進行良好的描繪處理的噴頭單元。
本發(fā)明的一種液滴噴出裝置，搭載有所述的噴頭單元，通過噴頭單元對工件噴出功能液來進行描繪。
根據(jù)該結構可知，通過使用上述噴頭單元，能夠對工件進行良好的描繪處理。
本發(fā)明的一種電光裝置的制造方法，利用所述的液滴噴出裝置，在工件上形成由功能液滴形成的成膜部。
本發(fā)明的一種電光裝置，利用所述的液滴噴出裝置，在工件上形成有由功能液滴形成的成膜部。
根據(jù)該結構可知，能夠效率良好地制造高品質的電光裝置。還有，作
為功能材料，是指以往就有的有機EL裝置的發(fā)光材料(Electro — Luminescence發(fā)光層/空穴注入層)、使用于液晶顯示裝置的濾色器的濾色器材料(濾色器要素)、電子放射裝置(Field Emission Display, FED)的熒光材料(熒光體)、PDP (plasma Display Panel)裝置的熒光材料(熒光體)、電泳顯示裝置的泳動體材料(泳動體)等，即能夠由功能液滴噴出頭(噴墨頭)噴出的液體材料。另外，作為電光裝置(Flat Panel Display FPD)，存在有機EL裝置、液晶顯示裝置、電子放射裝置、PDP裝置、電泳顯示裝置等。
本發(fā)明的一種電子設備，其搭載有利用上述的電光裝置的制造方法制造的電光裝置或上述的電光裝置。
在這種情況下，作為電子設備，除了搭載有所謂的平板顯示器的移動電話、個人計算機之外，各種電產(chǎn)品與其對應。

圖1是實施方式的液滴噴出裝置的俯視圖。圖2是液滴噴出裝置的側視圖。
圖3是表示搭載于噴頭單元的功能液滴噴出頭的配置結構的圖。圖4A 圖4C是濾色器的配色圖案的說明圖，圖4A表示條紋排列，圖4B表示馬賽克排列，圖4C表示三角形排列。圖5是功能液滴噴出頭的圖。圖6是表示近似特性線圖的圖。
圖7是表示對滑架板的功能液滴噴出頭的配置方法的說明圖。圖8是說明濾色器制造工序的流程圖。圖9A 圖9E是按制造工序表示的濾色器的示意剖視圖。圖10是表示使用了適用本發(fā)明的濾色器的液晶裝置的概略結構的要部剖視圖。圖11是表示使用了適用本發(fā)明的濾色器的第二例的液晶裝置的概略結構的要部剖視圖。
圖12是表示使用了適用本發(fā)明的濾色器的第三例的液晶裝置的概略結構的要部剖視圖。
圖13是有機EL裝置即顯示裝置的要部剖視圖。
圖14是說明有機EL裝置即顯示裝置的制造工序的流程圖。
圖15是說明無機物圍堰層的形成的工序圖。
圖16是說明有機物圍堰層的的形成的工序圖。
圖17是說明形成空穴注入/輸送層的過程的工序圖。
圖18是說明形成有空穴注入/輸送層的狀態(tài)的工序圖。
圖19是說明形成藍色發(fā)光層的過程的工序圖。
圖20是說明形成藍色發(fā)光層的狀態(tài)的工序圖。
圖21是說明形成各色發(fā)光層的狀態(tài)的工序圖。
圖22是說明陰極的形成的工序圖。
圖23是作為等離子型顯示裝置(PDP裝置)的顯示裝置的要部分解立體圖。
圖24是作為電子放射裝置(FED裝置)的顯示裝置的要部剖視圖。圖25A是顯示裝置的電子放射部周圍的俯視圖，圖25B是表示其形成方法的俯視圖。
圖中l(wèi)一液滴噴出裝置；13 —噴頭單元；17 —功能液滴噴出頭；53 一滑架板；54 —噴頭組；98 —噴出嘴；99一噴嘴列；W—工件。
具體實施例方式
以下，參照附圖，說明適用本發(fā)明的一實施方式的液滴噴出頭的配置方法的液滴噴出裝置。本發(fā)明的液滴噴出裝置組入平板顯示器的制造生產(chǎn) 線中，例如，使用導入了特殊的墨液或發(fā)光性樹脂液即功能液的功能液滴噴出頭(液滴噴出頭)，形成成為液晶顯示裝置的濾色器或有機EL裝置的各像素的發(fā)光元件等。
如圖1及圖2所示，液滴噴出裝置l包括X軸工作臺ll，其配設于被石平臺支撐的X軸支撐基底2上，在作為主掃描方向的X軸方向上延伸，且使工件W在X軸方向(主掃描方向)上移動；Y軸工作臺12，其配設于以借助多條支柱4橫跨X軸工作臺11的方式架設的一對(兩個)
Y軸支撐基底3上，且在作為副掃描方向的Y軸方向上延伸；IO個滑架單元51，其搭載有多個功能液滴噴出頭17, 10個滑架單元51吊設在Y 軸工作臺12上。還有，通過同步于X軸工作臺11及Y軸工作臺12的驅動而驅動功能液滴噴出頭17使其噴出，噴出化&B三色的功能液滴，在工件W上描繪規(guī)定的描繪圖案。
另外，液滴噴出裝置1具備維修裝置5，該維修裝置5具備沖洗 (flushing)單元14;吸引單元15;擦拭單元16;噴出性能檢查單元18，這些單元用于功能液滴噴出頭17的維修，實現(xiàn)功能液滴噴出頭17的功能維持、功能恢復。還有，構成維修裝置5的各單元中，沖洗單元14及噴出性能檢査單元18搭載于X軸工作臺11上，吸引單元15及擦拭單元16 配設于臺架6上，該臺架6配設于可從X軸工作臺11卸下、且能夠利用 Y軸工作臺12使滑架單元51移動的位置(嚴格來說，噴出性能檢查單元 18的后述的載物臺單元77搭載在X軸工作臺11，攝像單元78由Y軸支撐基底3支撐)。
沖洗單元14具有一對描繪前沖洗單元111、 111、和定期沖洗單元 112，用于接受功能液滴噴出頭17的噴出臨前、或更換載置工件W時等描繪處理中止時進行的功能液滴噴出頭17的舍棄噴出(沖洗)。吸引單元 15具有多個分割吸引單元141，從各功能液滴噴出頭17的噴出嘴98強制吸引功能液。擦拭單元16具有擦拭片151，擦拭吸引后的功能液滴噴出頭 17的噴嘴面97。噴出性能檢查單元1S具有搭載有接受從功能液滴噴出頭17噴出的功能液滴的檢查片83的載物臺單元77;利用圖像識別檢查載物臺單元77上的功能液滴的攝像單元78，檢查功能液滴噴出頭17的噴出性能(噴出的有無及飛行彎曲)。
以下，對液滴噴出裝置1的構成要素進行說明。如圖1或圖2所示， X軸工作臺ll具備放置工件W的放置工作臺21;將放置工作臺21在 X軸方向上滑動自如地支撐的X軸第一滑動器22;將上述沖洗單元14及噴出性能檢査單元18在X軸方向上滑動自如地支撐的X軸第二滑動器23; 在X軸方向上延伸，且經(jīng)由X軸第一滑動器22使放置工作臺2K工件W)沿X軸方向移動，并且經(jīng)由X軸第二滑動器23使沖洗單元14及載物臺單元77沿X軸方向移動的左右一對X軸線性馬達(省略圖示)；與X軸線性馬達并列設置，且以引導X軸第一滑動器22及X軸第二滑動器23 的移動的一對(兩根)X軸共同支撐基底24。
放置工作臺21具有吸附放置工件W的吸附工作臺31;支撐吸附工作臺31，且用于將設置于吸附工作臺31的工件w的位置向e軸方向校正的e工作臺32等。另外，在放置工作臺21的與Y軸方向平行的一對邊上分別添加設置有上述描繪前沖洗單元111。
Y軸工作臺12具備:分別吊設了 10個各滑架單元51的10個橋板52; 以兩方支撐來支撐10個橋板52的10組Y軸滑動器(省略圖示)；設置于上述一對Y軸支撐基底3上，且經(jīng)由10組Y軸滑動器使橋板52沿Y軸方向移動的一對Y軸線性馬達(省略圖示)。另外，Y軸工作臺12除了經(jīng) 由各滑架單元51對功能液滴噴出頭17在描繪時進行副掃描之外，還使功能液滴噴出頭17面向維修裝置5。
若(同步)驅動一對Y軸線性馬達，則各Y軸滑動器引導一對Y軸支撐基底3，使其同時沿Y軸方向平行移動。由此，橋板52在Y軸方向上移動，與此同時，滑架單元51在Y軸方向上移動。還有，在這種情況下，通過控制Y軸線性馬達的驅動，還能夠使各滑架單元51獨立地單個移動，還能夠使10個滑架單元51 —體地移動。
各滑架單元51具備具有多個功能液滴噴出頭17的噴頭單元13;支
撐噴頭單元13使其能進行e校正(e旋轉)的e旋轉機構61;經(jīng)由e旋
轉機構61，將噴頭單元13支撐于Y軸工作臺12 (各橋板52)的吊設部件62。
如圖3所示，噴頭單元13具備12個功能液滴噴出頭17;配置固定
有12個功能液滴噴出頭17的滑架板53。 12個功能液滴噴出頭17在Y軸方向上分成兩組，每6個在X軸方向上以階梯狀排列而構成噴頭組54。屬于各噴頭組54的6個功能液滴噴出頭17在噴嘴列98b方向上相互對置配置(參照圖7)，能夠將多個功能液滴噴出頭17在滑架板53上效率良好地配置，并且，能有效地進行描繪處理。另外，各噴頭組54的各色兩個的功能液滴噴出頭17在X軸方向上連接設置，構成一個描繪行。搭載于噴頭單元13的12x10個功能液滴噴出頭17對應于R.G.B三色的功能液的任一種，從而能夠利用各色四個的功能液滴噴出頭17 (在各噴頭組54中分別為各色兩個)，在工件W上描繪由三色功能液構成的描繪圖案。在本實施方式中，通過所有功能液滴噴出頭17 (12xl0個)的兩次副掃描，分別形成在Y軸方向上連續(xù)的RGB三色的描繪行。該描繪行的長度對應于能夠搭載于放置工作臺21的最大尺寸的工件W的寬度。還有，由三色功能液構成的描繪圖案有如圖4A 圖4C所示的三種圖案，在本實施方式中，利用圖4A的描繪圖案(位圖數(shù)據(jù))進行描繪。
如圖5所示，功能液滴噴出頭17具備所謂雙聯(lián)的具有雙聯(lián)的連接針92的功能液導入部91;與功能液導入部91連接的雙聯(lián)的噴頭基板93; 形成有與功能液導入部91的下方連接，且在內部填滿功能液的噴頭內流路的噴頭主體94。連接針92與圖外的功能液罐連接，向功能液導入部91 供給功能液。噴頭主體94包括腔體95 (壓電元件)；具有開設有多個噴出嘴98的噴嘴面97的噴嘴板96。若對功能液滴噴出頭17進行噴出驅動，則通過(向壓電元件施加電壓)腔體95的泵作用，從噴出嘴98噴出功能液滴。
還有，在噴嘴面97相互平行地形成有由多個噴出嘴98構成的第一噴嘴列99a及第二噴嘴列99b。還有，兩個噴嘴列99a、 99b之間相互錯開噴嘴間距的一半的量的位置。兩個噴嘴列99a、 99b在兩端分別具有各10個不使用于描繪處理的無效噴出嘴，由此，能夠抑制噴嘴列99a、 99b上的液滴噴出量的不均，能夠進行更良好的描繪處理。還有，權利保護范圍中所述的"噴嘴列"是指在本實施方式中合并第一噴嘴列99a及第二噴嘴列 99b的噴嘴列。因此，以下，將第一噴嘴列99a及第二噴嘴列99b合并而簡單標記為噴嘴列99。
液滴噴出裝置1的描繪動作如下所述，即首先，利用X軸工作臺11 使工件W在X軸方向上移動(向圖1中里側)，同時，進行第一描繪動作 (往動經(jīng)過(pass))。然后，使噴頭單元13在Y軸方向上移動(副掃描) 兩個噴頭的量，重新使工件W在X軸方向上移動(向圖1中跟前側)，同時，進行第二描繪動作(返動經(jīng)過)。然后，再次使噴頭單元13副掃描兩個噴頭的量，使工件W再一次在X軸方向上移動(向圖1中里側)，同時，進行第三描繪動作(往動經(jīng)過)。這樣，通過副掃描，相對于工件W上的位置，改變對應的功能液滴噴出頭17，同時，重復三次工件W的移動及
描繪動作，由此，效率良好地進行ROB三色的描繪處理。
然后，參照圖6或圖7，對滑架板53上的功能液滴噴出頭17的配置方法進行詳細說明。該功能液滴噴出頭17的配置如下所述，即預先準備成為配置候補的多個功能液滴噴出頭17 (以下，標記為候補液滴噴出頭)，基于該候補液滴噴出頭的液滴噴出特性，從候補液滴噴出頭中選擇適當?shù)墓δ芤旱螄姵鲱^17，進行配置。因此，首先，對該候補液滴噴出頭的選出及候補液滴噴出頭的液滴噴出特性的獲得進行說明。候補液滴噴出頭的液滴噴出特性的獲得，通過在候補液滴噴出頭的選出時進行的選出前液滴噴出頭的液滴噴出特性的獲得來進行，因此，對選出前液滴噴出頭的液滴噴出特性的獲得進行說明。還有，在以下的說明中，忽略與描繪或測定無關的無效噴出嘴的存在而進行說明。
制造的選出前的多個功能液滴噴出頭17即選出前液滴噴出頭分別通過圖外的檢查裝置，獲得各噴出嘴98中的噴出量、噴出速度及噴出不良等。尤其，就各噴出嘴98的噴出量來說，對兩端部的多個噴出嘴98的全部進行測定，對剩余的噴出嘴98 (位于中間部的多個噴出嘴98)，根據(jù)兩端部的噴出嘴98的測定結果利用近似特性線圖(參照圖6)來求出。這樣，能根據(jù)基于若干個噴出嘴98的測定結果的近似特性線圖來求出各噴出嘴列99中的所有噴出嘴98的液滴噴出量，不需要測定所有噴出嘴98，能夠效率良好地獲得所有噴出嘴98的液滴噴出量。另外，通過基于兩端部的噴出嘴98制作近似特性線圖，能夠對功能液滴噴出頭17的配置固定中使用的兩端部的噴出嘴98獲得嚴格的值。還有，近似特性線圖優(yōu)選使用六次近似特性線圖。另外，上述噴出不良包括不噴出、飛行彎曲、異常噴出
然后，基于獲得的液滴噴出特性，從多個選出前液滴噴出頭中選出多個候補液滴噴出頭。即，判定為在一個選出前液滴噴出頭中，所有噴出嘴 98中的單個的液滴噴出量的不均在規(guī)定范圍內、且通過對噴出速度或飛行彎曲等的判斷得出為合格品的判斷的情況下，將該選出前液滴噴出頭作為候補液滴噴出頭選出。這樣，通過作為判斷條件具有所有噴出嘴98中的單個的液滴噴出量的不均在規(guī)定范圍內的條件，能夠容易地進行適當配置。還有，選出的候補液滴噴出頭準備超過配置的功能液滴噴出頭17的數(shù)量的數(shù)量。由此，滿足功能液滴噴出頭17的配置固定中使用的條件的可能性變高，滿足條件的組(圖案)變多。因此，能夠提高功能液滴噴出
頭17的成品率，能容易且可靠地按條件進行配置固定。
如圖7所示，功能液滴噴出頭17的配置固定以滿足最內端噴嘴條件和最外端噴嘴條件兩個條件的方式進行。還有，這些條件按功能液的每一色考慮。因此，在此，以R色為例進行說明。
最內端噴嘴條件是在滑架板53上的四個(由于各色為四個)的功能液滴噴出頭17中，對于在噴嘴列99方向上相互鄰接的功能液滴噴出頭17 之間的各最內端的兩個噴出嘴98，使該兩個噴出嘴98中的液滴噴出量之差包含在規(guī)定的容差范圍內的條件。該容差范圍基于在噴出彈落結果(彈落的功能液滴)鄰接的情況下不發(fā)生相互的顏色不均的液滴噴出量之差來設定。例如，在本實施方式中，允許液滴噴出量之差達到0.65% (標準值 l.Ollpl的0.65%)。
最外端噴嘴條件是在位于滑架板53上的噴嘴列99方向上的兩外端的功能液滴噴出頭17中，對于配置于這些兩外端的連個噴出嘴98即配設于右端的功能液滴噴出頭17的右端的噴出嘴98及配設于左端的功能液滴噴出頭17的左端的噴出嘴98，使兩個噴出嘴98分別包含在規(guī)定的基準量范圍內的條件。該基準量范圍是以一個噴出嘴98的被標準化的液滴噴出量為中間值的范圍、即基于鄰接的噴出彈落結果不發(fā)生相互的顏色不均的液滴噴出量的范圍而被設定。例如，在本實施方式中為1.011pl±0.45% (標準值l.Ollpl的0.45。/。)。
這樣，通過按照位于噴嘴列99方向上鄰接的功能液滴噴出頭17之間的相互的最內端的兩個噴出嘴98包含在規(guī)定的容差范圍內的方式，對各功能液滴噴出頭17進行配置固定，能夠抑制在配置固定于共同的滑架板 53的功能液滴噴出頭17之間，從不同的功能液滴噴出頭17噴出彈落的鄰接的噴出彈落結果中的彈落量之差。另外，通過按照在位于滑架板53中的噴嘴列99方向的兩個最外端的兩個噴出嘴中，使液滴噴出量分別包含在規(guī)定的基準量范圍內的方式，對各功能液滴噴出頭17進行配置固定，能夠抑制在配置固定于其他的滑架板53的功能液滴噴出頭17之間，從不
同的功能液滴噴出頭17噴出彈落的鄰接的噴出彈落結果(功能液滴)中的彈落量之差。因此，能夠按每個功能液滴噴出頭17容許不同的液滴噴出特性，同時，能夠提高利用多個功能液滴噴出頭17的描繪品質。
另外，在最內端噴嘴條件中，通過基于在噴出彈落結果鄰接的情況下不發(fā)生相互的顏色不均的液滴噴出量之差來設定容差范圍，從而能夠進行從位于上述最內端的兩個噴出嘴98噴出的鄰接的噴出彈落結果中，沒有相互的顏色不均的更良好的描繪處理。
進而，在最外端噴嘴條件中，通過以一個噴出嘴的被標準化的液滴噴出量為中間值的范圍設定基準量范圍，成為近似于標準化的液滴噴出量的值，因此，能夠抑制液滴噴出量的不均，并且，基準量范圍基于鄰接的噴出彈落結果不發(fā)生相互的顏色不均的液滴噴出量的范圍來設定，從而能夠進行沒有顏色不均的更良好的描繪處理。
在最外端噴嘴條件中，在包含在規(guī)定的基準量范圍內的選擇項有多組的情況下，選擇各組的基準量范圍的中間值(標準值)與最外端的兩個噴出嘴98中的液滴噴出量之差的平方和為最小值的選擇項。由此，能夠進一步抑制兩個噴出嘴98的液滴噴出量之差，能夠進行更良好的描繪處理。例如，在中間值為l.Ollpl，選擇項有兩組，一組的兩個噴出嘴的液滴噴出量為1.011+0.5pl和1.011—0.1pl，另一組的兩個噴出嘴的液滴噴出量為 1.011+0.3pl和1.011—0.2pl的情況下，一組的中間值與液滴噴出量之差的平方和為(1.011— (1.011+0.5)) 2+ (1.011— (1.011—0.1)) 2=0.26，另一組的中間值與液滴噴出量之差的平方和為(1.011— (1.011+0.3))2+( 1.011 一 U.011—0.2)) 2=0.13。因此，在這種情況下，選擇具有最小值0.13的這一組。
還有，這些條件中使用的液滴噴出量以將各噴嘴列99中的平均液滴噴出量作為絕對目標為前提，優(yōu)選采用將該絕對目標的液滴噴出量設為1 而歸一化后的數(shù)值。由此，能夠容易地進行與絕對目標的液滴噴出量的比較。
另外，作為是否包含在容差范圍或基準量范圍內的比較對象的液滴噴出量，優(yōu)選采用位于噴嘴列99的端部的多個(各10個)的噴出嘴98的液滴噴出量的平均值。即，將該平均值作為利用于上述比較的各噴出嘴98
的液滴噴出量。由此，能夠減輕一個噴出嘴98中的液滴噴出量的不均，
能夠更正確地進行是否包含在基準量范圍內的比較。進而，在上述最外端
噴嘴條件下的選擇項的選擇中，優(yōu)選將位于兩外端的各5個噴出嘴與中間
值之差的平方和作為比較對象。
通過以上的結構，按照位于噴嘴列99方向上鄰接的功能液滴噴出頭 17之間的最內端的兩個噴出嘴98包含在規(guī)定的容差范圍內的方式，配置固定各功能液滴噴出頭17，由此能夠抑制在配置固定于共同的滑架板53 的功能液滴噴出頭17之間，從不同的功能液滴噴出頭17噴出彈落的鄰接的功能液滴中彈落量的差異。另外，位于滑架板53中的噴嘴列99方向的最外端的兩個噴出嘴98中，使液滴噴出量分別包含在規(guī)定的基準量范圍中的方式，配置固定各功能液滴噴出頭17，能夠抑制在配置固定于其他的滑架板53的功能液滴噴出頭17之間，從不同的功能液滴噴出頭17噴出彈落的鄰接的功能液滴中的彈落量的差異。因此，能夠按每個功能液滴噴出頭17具有不同的液滴噴出特性，同時，能夠提高基于多個功能液滴噴出頭17的描繪品質。
然后，作為使用本實施方式的液滴噴出裝置l制造的電光裝置(平板顯示器)，以濾色器、液晶顯示裝置、有機EL裝置、等離子顯示器(PDP 裝置)、電子放射裝置(FED裝置、SED裝置)、以及這些顯示裝置中形成的有源矩陣基板等為例，對這些的結構及其制造方法進行說明。還有，有源矩陣基板是指形成有薄膜晶體管、及與薄膜晶體管電連接的源極線、數(shù) 據(jù)線的基板。
首先，對組入液晶顯示裝置或有機EL裝置的濾色器的制造方法進行說明。圖8是表示濾色器的制造工序的流程圖，圖9是按制造工序順序表示的本實施方式的濾色器500 (濾色器基體500A)的示意剖視圖。
首先，在黑矩陣形成工序SIOI中，如圖9A所示，在基板(W) 501 上形成黑矩陣502。黑矩陣502由金屬鉻、金屬絡和氧化鉻的層疊體、或樹脂黑等形成。形成由金屬薄膜構成的黑矩陣502時，可以使用濺射法或蒸鍍法等。另外，在形成由樹脂薄膜構成的黑矩陣502的情況下，可以使用凹版印刷法、光敏抗蝕劑法、熱轉印法等。接著，在圍堰形成工序S102中，以重疊于黑矩陣502上的狀態(tài)形成圍堰503。即，首先如圖9B所示，以覆蓋基板501及黑矩陣502的方式形成由負型透明的感光性樹脂構成的抗蝕劑層504。然后，在其上面被覆形成為矩陣圖案狀的掩模膜505的狀態(tài)下進行曝光處理。
進而，如圖9C所示，通過對抗蝕劑層504的未曝光部分蝕刻處理而將抗蝕劑層504形成為圖案，從而形成圍堰503。還有，在利用樹脂黑形成黑矩陣的情況下，可以兼用作黑矩陣和圍堰。
該圍堰503和其下方的黑矩陣502成為劃分各像素區(qū)域507a的劃分壁部507b，在之后的著色層形成工序中利用功能液滴噴出頭17形成著色層 (成膜部)508R、 508G、 508B時規(guī)定功能液滴的彈落區(qū)域。
通過經(jīng)過以上的黑矩陣形成工序及圍堰形成工序，得到上述濾色器基體500A。
還有，在本實施方式中，作為圍堰503的材料，采用涂膜表面為疏液 (疏水)性的樹脂材料。還有，基板(玻璃基板)501的表面為親液(親水)性，因此，在后述的著色層形成工序中能夠自動校正向由圍堰503 (劃分壁部507b)圍成的各像素區(qū)域507a內的液滴的彈落位置的不均。
然后，在著色層形成工序S103中，如圖9D所示，由功能液滴噴出頭 17噴出功能液滴，使其彈落在由劃分壁部507b圍成的各像素區(qū)域507a內。在這種情況下，使用功能液滴噴出頭17，導入R'G'B三色的功能液(濾色器材料)，噴出功能液滴。還有，作為R，&B三色的排列圖案，有條紋排列、馬賽克排列及三角形排列等。
然后，經(jīng)過干燥處理(加熱等處理)，使功能液定影，形成三色的著色層508R、 508G、 508B。在形成了著色層508R、 508G、 508B的情況下，向保護膜形成工序S104轉移，如圖9E所示，以覆蓋基板501、劃分壁部 507b、及著色層508R、 508G、 508B的上表面的方式形成保護膜509。
艮口，在基板501的形成有著色層508R、 508G、 508B的整個面上噴出保護膜用涂敷液后，經(jīng)過干燥處理，形成保護膜509。
還有，在形成保護膜509后，濾色器500向接下來的工序中成為透明電極的ITO (Indium Tin Oxide)等的膜附加工序轉移。
圖10是表示作為使用了上述濾色器500的液晶顯示裝置的一例的無源矩陣型液晶裝置(液晶裝置)的概略結構的要部剖視圖。通過在該液晶
裝置520上裝配液晶驅動用IC、背光燈、支撐體等附帶要素，得到作為最終產(chǎn)品的透過型液晶顯示裝置。還有，濾色器500與如圖9E所示的部件相同，因此，對相應的部位標注相同的符號，并省略對其的說明。
該液晶裝置520大致包括濾色器500、由玻璃基板等構成的對置基板521、及由夾持在它們之間的STN (Super Twisted Nematic)液晶組合物構成的液晶層522，將濾色器500配置在圖中上側(觀測者側)。
還有，雖未圖示但在對置基板521及濾色器500的外表面(與液晶層 522側相反的一側的面)上分別配設有偏振板，另外，在位于對置基板521 側的偏振板的外側配設有背光燈。
在濾色器500的保護膜509 (液晶層側)上，以規(guī)定間隔形成有圖IO 中左右方向上長尺寸的長條狀的第一電極523，以覆蓋該第一電極523的與濾色器500 --側相反側的面的方式形成有第一取向膜524。
另一方面，在對置基板521的與濾色器500對置的面上，以規(guī)定間隔形成有多個在與濾色器500的第一電極523正交的方向上長尺寸的長條狀第二電極526，以覆蓋該第二電極526的液晶層522 —側的面的方式形成有第二取向膜527。這些第一電極523及第二電極526由ITO等透明導電材料形成。
設置于液晶層522內的間隔物528是用于將液晶層522的厚度(單元間隔)保持為一定的部件。另外，片材529是用于防止液晶層522內的液晶組合物向外部漏出的部件。還有，第一電極523的一端部作為迂回布線 523a延伸至片材529的外側。
還有，第一電極523和第二電極526交叉的部分為像素，濾色器500 的著色層508R、 508G、 508B位于成為該像素的部位。
在通常的制造工序中，對于濾色器500，進行第一電極523的圖案化及第一取向膜524的涂敷，制作濾色器500側的部分，并且，與此不同地對于對置基板521進行第二電極526的圖案化及第二取向膜527的涂敷，制作對置基板521側的部分。然后，在對置基板521側的部分組入間隔物 528及片材529，在該狀態(tài)下貼合濾色器500側的部分。然后，從片材529 的注入口注入構成液晶層522的液晶，密閉注入口。然后，層疊兩個偏振板及背光燈。
根據(jù)實施方式的液滴噴出裝置1，例如在涂敷構成上述單元間隔的間
隔物材料(功能液)，并且在對置基板521側的部分貼合濾色器500側的部分之前，能夠向由片材529包圍的區(qū)域均勻地涂敷液晶(功能液)。另外，還能利用功能液滴噴出頭17進行上述片材529的印刷。進而，還能利用功能液滴噴出頭17進行第一、第二兩取向膜524、 527的涂敷。
圖11是表示使用本實施方式中制造的濾色器500的液晶裝置的第二例的概略結構的要部剖視圖。
該液晶裝置530與上述液晶裝置520大不相同的點在于將濾色器500 配置于圖中下側(觀測者側的相反側)這一點。
該液晶裝置530在濾色器500和由玻璃基板等構成的對置基板531之間夾持由STN液晶構成的液晶層532而構成。還有，雖未圖示但在對置基板531及濾色器500的外表面分別配設有偏振板等。
在濾色器500的保護膜509上(液晶層532側)，以規(guī)定間隔形成有多個在圖進深方向上長尺寸的長條狀的第一電極533，以覆蓋該第一電極 533的液晶層532側的面的方式形成有第一取向膜534。
在對置基板531的與濾色器500對置的面上，以規(guī)定間隔形成有在與濾色器500側的第一電極533正交的方向上延伸的多個長條狀的第二電極 536，以覆蓋該第二電極536的液晶層532側的面的方式形成有第二取向膜537。
在液晶層532中，設置有用于將該液晶層532的厚度保持為一定的間隔件538、和用于防止液晶層532內的液晶組合物向外部漏出的密封部件 539。
還有，與上述液晶裝置520同樣，第一電極533和第二電極536交叉的部分為像素，濾色器500的著色層508R、 508G、 508B位于成為該像素的部位。
圖12是表示使用了適用本發(fā)明的濾色器500構成液晶裝置的第三例的圖，是表示透過型TFT (Thin Film Transistor)型液晶裝置的概略結構的分解立體圖。
該液晶裝置550中，濾色器500配置在圖中上側(觀測者側)。該液晶裝置550大致包括；濾色器500、與其對置地配置的對置基板
551、夾持在它們之間的未圖示的液晶層、配置于濾色器500的上表面?zhèn)?(觀測者側)的偏振板555、配設于對置基板551的下表面?zhèn)鹊钠癜?未
圖示)。
在濾色器500的保護膜509的表面(對置基板551側的面)，形成有液晶驅動用電極556。該電極556由ITO等透明導電材料構成，成為覆蓋形成后述的像素電極560的整個區(qū)域的整個面電極。另外，以覆蓋該電極 556的像素電極560的相反側的面的狀態(tài)設置有取向膜557。
在對置基板551的與濾色器500對置的面形成有絕緣層558，在該絕緣層558上以相互正交的狀態(tài)形成有掃描線561及信號線562。還有，在由這些掃描線561及信號線562包圍的區(qū)域內形成有像素電極560。還有，在實際的液晶裝置中，在像素電極560上設置有取向膜但未圖示。
另外，在由像素電極560的缺欠部、掃描線561、和信號線562圍成的部分，組入有具備源電極、漏電極、半導體、及柵電極的薄膜晶體管563。還有，通過對掃描線561和信號線562施加信號，使薄膜晶體管563導通、截止，能夠進行向像素電極560的通電控制。
還有，上述各例的液晶裝置520、 530、 550為透過型的結構，但也可以設置反射層或半透半反射層，形成為反射型的液晶裝置或半透半反射型的液晶裝置。
然后，圖13是有機EL裝置的顯示區(qū)域(以下，簡稱為顯示裝置600)
的要部剖視圖。
該顯示裝置600以在基板(W) 601上層疊電路元件部602、發(fā)光元件部603及陰極604的狀態(tài)概略構成。
在該顯示裝置600中，從發(fā)光元件部603向基板601側發(fā)出的光透過電路元件部602及基板601向觀測者側射出，并且，從發(fā)光元件部603向基板601的相反側發(fā)出的光由陰極604反射后，透過電路元件部602及基板601后向觀測者側射出。
在電路元件部602和基板601之間形成有由硅氧化膜構成的基底保護膜606，在該基底保護膜606上(發(fā)光元件部603偵lj)形成有由多晶硅構成的島狀的半導體膜607。在該半導體膜607的左右的區(qū)域，利用高濃度陽離子注入分別形成有源區(qū)域607a及漏區(qū)域607b。還有，沒有注入陽離子的中央部成為溝道區(qū)域607c。
另外，在電路元件部602形成有覆蓋基底保護膜606及半導體膜607 的透明的柵絕緣膜608，在該柵絕緣膜608上的與半導體膜607的溝道區(qū) 域607c對應的位置形成有例如由Al、 Mo、 Ta、 Ti、 W等構成的柵電極 609。在該柵電極609及柵絕緣膜608上形成有透明的第一層間絕緣膜611a 和第二層間絕緣膜611b。另外，貫通第一、第二層間絕緣膜611a、 611b，形成有分別與半導體膜607的源區(qū)域607a、漏區(qū)域607b連通的接觸孔 612a、 612b。
還有，在第二層間絕緣膜611b上，由ITO等構成的透明的像素電極 613以規(guī)定的形狀構成為圖案而形成，該像素電極613通過接觸孔612a與源區(qū)域607a連接。
另外，在第一層間絕緣膜611a上配設有電源線614，該電源線614通過接觸孔612b與漏區(qū)域607b連接。
這樣，在該電路元件部602分別形成有與各像素電極613連接的驅動用薄膜晶體管615。
上述發(fā)光元件部603大致包括在多個像素電極613上分別層疊的功能層617、和配備在各像素電極613及功能層617之間且劃分各功能層617 的圍堰部618。
利用這些像素電極613、功能層617、及配設于功能層617上的陰極 604構成發(fā)光元件。還有，像素電極613以俯視下大致矩陣狀形成為圖案而形成，在各像素電極613之間形成有圍堰部618。
圍堰部618包括例如由SiO、 Si02、 Ti02等無機材料形成的無機物圍堰層618a (第一圍堰層)；層疊于該無機物圍堰層618a上，且由丙烯酸
樹脂、聚酰亞胺樹脂等耐熱性、耐溶劑性優(yōu)越的抗蝕劑形成的剖面梯形狀的有機物圍堰層618b (第二圍堰層)。該圍堰部618的一部分以躍上像素電極613的周緣部上的狀態(tài)形成。
還有，在各圍堰部618之間形成有相對于像素電極613朝向上方逐漸展開的開口部619。
上述功能層617包括在開口部619內以層疊狀態(tài)形成于像素電極613上的空穴注入/輸送層617a;和形成于該空穴注入/輸送層617a上的發(fā)光層 617b。還有，也可鄰接于該發(fā)光層617b而形成具有其他功能的其他功能層。例如，還可以形成電子輸送層。
空穴注入/輸送層617a具有從像素電極613側輸送空穴，將其向發(fā)光層617b注入的功能。該空穴注入/輸送層617a通過噴出含有空穴注入/輸送層形成材料的第一組合物(功能液)而形成。作為空穴注入/輸送層形成材料，使用公知的材料。
發(fā)光層617b發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或藍色(B)的任一種的光，因此，通過噴出含有發(fā)光層形成材料(發(fā)光材料)的第二組合物(功能液) 而形成。作為第二組合物的溶劑(非極性溶劑)，優(yōu)選使用不溶于空穴注入/輸送層617a的公知的材料，通過在發(fā)光層617b的第二組合物中使用這樣的非極性溶劑，能夠在不再溶解空穴注入/輸送層617a的情況下形成發(fā) 光層617b。
還有，在發(fā)光層617b中，從空穴注入/輸送層617a注入的空穴、和從陰極604注入的電子在發(fā)光層再次結合而發(fā)光。
陰極604以覆蓋發(fā)光元件部603的整個面的狀態(tài)形成，與像素電極613 成對，發(fā)揮使電流在功能層617流動的作用。還有，在該陰極604的上部配置有未圖示的密封部件。
然后，參照圖14 圖22，說明上述顯示裝置600的制造工序。
該顯示裝置600如圖14所示，經(jīng)過圍堰部形成工序Slll、表面處理工序S112、空穴注入/輸送層形成工序S113、發(fā)光層形成工序S114、及對置電極形成工序S115而制造。還有，制造工序不限于例示，根據(jù)需要，在排除了其他工序的情況下有時也可以再追加。
首先，在圍堰部形成工序Slll中，如圖15所示，在第二層間絕緣膜 6Ub上形成無機物圍堰層618a。該無機物圍堰層618a通過在形成位置形成無機物膜后，將該無機物膜利用光刻法技術等形成為圖案而形成。此時，無機物圍堰層618a的一部分形成為與像素電極613的周緣部重疊。
在形成了無機物圍堰層618a的情況下，如圖16所示，在無機物圍堰層618a上形成有機物圍堰層618b。該有機物圍堰層618b也與無機物圍堰層618a同樣利用光刻法技術等形成為圖案。這樣形成圍堰部618。另外，伴隨于此，在各圍堰部618之間形成有相對于像素電極613朝向上方開口的開口部619。該開口部619規(guī)定像素區(qū)域。
在表面處理工序S112中，進行親液化處理及疏液化處理。實施親液化處理的區(qū)域是無機物圍堰層618a的第一層疊部618aa及像素電極613 的電極面613a，這些區(qū)域例如通過將氧作為處理氣體的等離子處理，表面被處理為親液性。該等離子處理還兼用于像素電極613即ITO的清洗等。
另外，疏液化處理對有機物圍堰層618b的壁面618s及有機物圍堰層 618b的上表面618t實施，例如，通過將四氟化甲烷作為處理氣體的等離子處理，對表面進行氟化處理(處理為疏液性)。
通過進行該表面處理工序，在使用功能液滴噴出頭17形成功能層617 時，能夠使功能液滴更可靠地彈落在像素區(qū)域，另外，能夠防止彈落在像素區(qū)域的功能液滴從開口部619溢出。
還有，通過經(jīng)過以上的工序，得到顯示裝置基體600A。該顯示裝置基體600A載置在圖1所示的液滴噴出裝置1的放置工作臺21上，進行以下的空穴注入/輸送層形成工序S113及發(fā)光層形成工序S114。
如圖17所示，在空穴注入/輸送層形成工序S113中，從功能液滴噴出頭17向像素區(qū)域即各幵口部619內噴出含有空穴注入/輸送層形成材料的第一組合物。然后，如圖18所示，進行干燥處理及熱處理，使含于第一組合物的極性溶劑蒸發(fā)，在像素電極(電極面613a) 613上形成空穴注入 /輸送層617a。
然后，說明發(fā)光層形成工序S114。在該發(fā)光層形成工序中，如上所述，為了防止空穴注入/輸送層617a的再次溶解，作為在形成發(fā)光層時使用的第二組合物的溶劑，使用不溶于空穴注入/輸送層617a的非極性溶劑。
但是，另一方面，空穴注入/輸送層617a相對非極性溶劑的親合性低，因此，即使將含有非極性溶劑的第二組合物噴出在空穴注入/輸送層617a 上，有時也不能使空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b密接，或不能均勻地涂敷發(fā)光層617b。
因此，為了提高對非極性溶劑及發(fā)光層形成材料的空穴注入/輸送層 617a的表面的親合性，優(yōu)選在發(fā)光層形成前進行表面處理(表面改性處理)。該表面處理通過將與在發(fā)光層形成時使用的第二組合物的非極性溶劑相同的溶劑或類似于其的溶劑即表面改性材料涂敷于空穴注入/輸送層
617a上，將其干燥而迸行。
通過實施這樣的處理，非極性溶劑容易滲入空穴注入/輸送層617a的表面，在之后的工序中，能夠將含有發(fā)光層形成材料的第二組合物均勻地涂敷于空穴注入/輸送層617a。
然后，如圖19所示，將含有與各色中的任一種(在圖19的例子中為藍色(B))對應的發(fā)光層形成材料的第二組合物作為功能液滴向像素區(qū)域 (開口部619)內注入規(guī)定量。注入像素區(qū)域內的第二組合物在空穴注入/ 輸送層617a上擴散而填滿開口部619內。還有，即使第二組合物從像素區(qū)域偏離而彈落在圍堰部618的上表面618t上的情況下，也由于該上表面 618t被如上所述地實施有疏液處理，因此，第二組合物容易滾入開口部619 內。
然后，通過進行干燥工序等，將噴出后的第二組合物進行干燥處理，使含于第二組合物的非極性溶劑蒸發(fā)，如圖20所示，在空穴注入/輸送層 617a上形成發(fā)光層617b。在該圖的情況下，形成與藍色(B)對應的發(fā)光層617b。
同樣，使用功能液滴噴出頭17，與圖21同樣依次進行與上述與藍色 (B)對應的發(fā)光層617b的情況相同的工序，形成與其他色(紅色(R) 及綠色(G))對應的發(fā)光層617b。還有，發(fā)光層617b的形成順序不限于例示的順序，可以按任意順序形成。例如，也可以根據(jù)發(fā)光層形成材料，確定形成的順序。另外，作為R.G.B三色的排列圖案，有條紋排列、馬賽克排列及三角形排列等。
如上所述，在像素電極613上形成功能層617即空穴注入/輸送層617a 及發(fā)光層617b。然后，向對置電極形成工序S115轉移。
在對置電極形成工序S115中，如圖22所示，在發(fā)光層617b及有機物圍堰層618b的整個面上利用例如蒸鍍法、濺射法、CVD法等形成陰極 604 (對置電極)。該陰極604在本實施方式中，例如，層疊鈣層和鋁層而構成。
在該陰極604的上部適當設置有作為電極的Al膜、Ag膜或用于防止其氧化的Si02、 SiN等保護層。
在這樣形成陰極604后，通過實施用密封部件密封該陰極604的上部的密封處理或布線處理等其他處理等，得到顯示裝置600。
然后，圖23是等離子型顯示裝置(PDP裝置以下，簡稱為顯示裝置700)的要部分解立體圖。還有，在圖23中，以切除一部分的狀態(tài)示出顯示裝置700。
該顯示裝置700大致包括相互對置配置的第一基板701、第二基板 702、及形成于它們之間的放電顯示部703。放電顯示部703由多個放電室 705構成。這些多個放電室705中，紅色放電室705R、綠色放電室705G、藍色放電室705B三個放電室705成為一組，構成一個像素。
在第一基板701的上表面以規(guī)定間隔呈條紋狀形成有地址電極706，以覆蓋該地址電極706和第一基板701的上表面的方式形成有電介體層 707。在電介體層707上，豎立設置有位于各地址電極706之間且沿著各地址電極706的隔壁708。該隔壁708包括如圖所示地沿地址電極706的寬度方向兩側延伸的隔壁、和在與地址電極706正交的方向上延伸的未圖示的隔壁。
還有，由該隔壁708分隔的區(qū)域成為放電室705。
在放電室705內配置有熒光體709。熒光體709發(fā)出紅(R)、綠(G)、藍(B)的任一色的熒光，在紅色放電室705R的底部配置有紅色熒光體 709R,在綠色放電室705G的底部配置有綠色熒光體709G，在藍色放電室705B的底部配置有藍色熒光體709B。
在第二基板702的圖中下側的面、在與上述地址電極706正交的方向上以規(guī)定間隔形成有多個條紋狀顯示電極711。還有，以覆蓋這些的方式形成有電介體層712、及由MgO等構成的保護膜713。
第一基板701和第二基板702以地址電極706和顯示電極711相互正交的狀態(tài)對置而貼合。還有，上述地址電極706和顯示電極711與未圖示的交流電源連接。
還有，通過向各電極706、 711通電，在放電顯示部703中使熒光體 709激勵發(fā)光，能夠進行彩色顯示。
在本實施方式中，可以使用圖1所示的液滴噴出裝置1形成上述地址電極706、顯示電極711、及熒光體709。以下，例示第一基板701中的地址電極706的形成工序。
在這種情況下，在將第一基板701載置于液滴噴出裝置1的放置工作臺21的狀態(tài)下進行以下工序。
首先，利用功能液滴噴出頭17，使含有導電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，彈落于地址電極形成區(qū)域。該液體材料是作為導電膜布線形成用材料，將金屬等導電性微粒分散于分散介質中的材料。作為該導電性微粒，使用含有金、銀、銅、鈀、或鎳等的金屬微?；?導電性聚合物等。
對作為補充對象的所有地址電極形成區(qū)域的液體材料的補充結束的情況下，將噴出后的液體材料進行干燥處理，使含于液體材料的分散介質分散，由此形成地址電極706。
然而，在上述中，例示了地址電極706的形成，但對于上述顯示電極 711及熒光體709,也可以經(jīng)過上述各工序來形成。
在形成顯示電極711的情況下，與地址電極706的情況同樣使含有導電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴彈落于顯示電極形成區(qū)域上。
另外，在形成熒光體709的情況下，將含有與各色(R， G， B)對應的熒光材料的液體材料(功能液)從功能液滴噴出頭17作為液滴噴出，使其彈落于對應的色的放電室705內。
然后，圖24是電子放射裝置(還稱為FED裝置或SED裝置以下，簡稱為顯示裝置800)的要部剖視圖。還有，圖24中將顯示裝置800的局部作為剖面示出。
該顯示裝置800大致包括相互對置配置的第一基板801、第二基板 802、及形成于它們之間的電場放射顯示部803。電場放射顯示部803包括配置成矩陣狀的多個電子放射部805。
在第一基板801的上表面以相互正交的方式形成有構成陰電極806的第一元件電極806a及第二元件電極806b。另外，在由第一元件電極806a 及第二元件電極806b分隔的部分形成有形成了間隔808的導電性膜807。即，利用第一元件電極806a、第二元件電極806b及導電性膜807構成多個電子放射部805。導電性膜807例如由氧化鈀(PdO)等構成，另外，間隔808在形成導電性膜807后，利用成形(7才一$ 乂夕、')等形成。
在第二基板802的下表面形成有與陰電極806對置的陽電極809。在陽電極809的下表面形成有格子狀圍堰部811，在由該圍堰部811圍成的朝向下方的各開口部812配置有與電子放射部805對應的熒光體813。熒光體813發(fā)出紅(R)、綠(G)、藍(B)的任-一色的熒光，在各開口部812 以上述規(guī)定的圖案配置有紅色熒光體813R、綠色熒光體813G及藍色熒光體813B。
還有，這樣構成的第一基板801和第二基板802保持微小的間隙而貼合。在該顯示裝置800中，能夠經(jīng)由導電性膜(間隔808) 807，將從陰極即第一元件電極806a或第二元件電極806b飛出的電子抵接在陽極即陽電極809上形成的熒光體813，使其激勵發(fā)光，進行彩色顯示。
在這種情況下，也與其他實施方式同樣能夠使用液滴噴出裝置1，形成第一元件電極806a、第二元件電極806b、導電性膜807及陽電極809，并且，能夠使用液滴噴出裝置1,形成各色的紅色熒光體813R、 813G、 813B。
第一元件電極806a、第二元件電極806b及導電性膜807具有如圖25A 所示的平面形狀，在將這些成膜的情況下，如圖25B所示，預先保留組入第一元件電極806a、第二元件電極806b及導電性膜807的部分，形成圍堰部BB (光刻法)。然后，在由圍堰部BB構成的槽部分形成第一元件電極806a及第二元件電極806b (利用液滴噴出裝置1的噴墨法)，將其溶劑干燥，進行成膜后，形成導電性膜807 (利用液滴噴出裝置l的噴墨法)。然后，將導電性膜807成膜后，除去圍堰部BB (拋光剝離處理)，向上述成形處理轉移。還有，與上述有機EL裝置的情況同樣優(yōu)選進行對第一基板801及第二基板802的親液化處理、或對圍堰部811、BB的疏液化處理。
另外，作為其他電光裝置，考慮金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕劑形成及光漫射體形成等的裝置。通過將上述液滴噴出裝置1使用于各種電光裝置(設備)的制造，能夠有效地制造各種電光裝置。
權利要求
1.一種液滴噴出頭的配置方法，基于噴墨式液滴噴出頭各自具有的噴嘴列的多個噴出嘴中的單個的液滴噴出量，將噴出共同的功能液的多個液滴噴出頭以在噴嘴列方向上錯開的方式配置固定到共同的滑架板上，以在噴嘴列方向上鄰接的所述液滴噴出頭彼此間位于相互的最內端的兩個所述噴出嘴的液滴噴出量之差包含在規(guī)定的容差范圍內、且位于所述滑架板上的噴嘴列方向的兩最外端的兩個所述噴出嘴的液滴噴出量分別包含在規(guī)定的基準量范圍內的方式，對所述多個液滴噴出頭進行配置固定。
2. 根據(jù)權利要求1所述的液滴噴出頭的配置方法，其特征在于，配置于所述滑架板的多個液滴噴出頭，從超過該液滴噴出頭的數(shù)量的成為配置候補的候補液滴噴出頭中選出。
3. 根據(jù)權利要求2所述的液滴噴出頭的配置方法，其特征在于，在所述多個候補液滴噴出頭中，所有噴出嘴中的單個的液滴噴出量的偏差在規(guī)定的范圍內。
4. 根據(jù)權利要求1 3中任一項所述的液滴噴出頭的配置方法，其特征在于，所述多個液滴噴出頭以在噴嘴列方向上劃分為兩個噴頭組的方式配置于所述滑架板，屬于所述兩個噴頭組的多個液滴噴出頭在噴嘴列方向上相互對置。
5. 根據(jù)權利要求1 4中任一項所述的液滴噴出頭的配置方法，其特征在于，所述功能液具有R色、G色及B色中的任一色彩，所述規(guī)定的容差范圍基于在兩個所述噴出嘴的噴出彈落結果鄰接的情況下不發(fā)生相互的顏色不均的液滴噴出量之差而被確定。
6. 根據(jù)權利要求1 5中任一項所述的液滴噴出頭的配置方法，其特征在于，所述功能液具有R色、G色及B色中的任一色彩，所述規(guī)定的基準量范圍是以一個噴出嘴的被標準化的液滴噴出量為中間值的范圍，基于鄰接的噴出彈落結果中不發(fā)生相互的顏色不均的液滴噴出量的范圍而被確定。
7. 根據(jù)權利要求1 6中任一項所述的液滴噴出頭的配置方法，其特征在于，在包含于所述規(guī)定的基準量范圍內的選擇項有多組的情況下，選擇所述基準量范圍的中間值與各組的兩個所述噴出嘴的液滴噴出量之差的平方和為最小值的選擇項。
8. 根據(jù)權利要求1 7中任一項所述的液滴噴出頭的配置方法，其特征在于，對于所述液滴噴出量而言，以將各噴嘴列中的平均的液滴噴出量作為絕對目標的液滴噴出量為前提，利用將所述絕對目標的液滴噴出量設為1 而歸一化后的數(shù)值進行比較。
9. 根據(jù)權利要求1 8中任一項所述的液滴噴出頭的配置方法，其特征在于，所述各噴嘴列的多個噴出嘴中的單個的液滴噴出量根據(jù)基于測定結果的近似特性線圖求出。
10. 根據(jù)權利要求9所述的液滴噴出頭的配置方法，其特征在于，所述近似特性線圖，根據(jù)對所述多個噴出嘴的兩端部的多個噴出嘴全部進行測定、而對剩余的中間部的多個噴出嘴相間進行測定的結果所導出。
11. 根據(jù)權利要求1 10中任一項所述的液滴噴出頭的配置方法，其特征在于，作為是否包含在所述容差范圍內的比較對象的液滴噴出量，是所述多個噴出嘴的端部的多個噴出嘴的液滴噴出量的平均值。
12. 根據(jù)權利要求1 11中任一項所述的液滴噴出頭的配置方法，其特征在于，作為是否包含在所述基準量范圍內的比較對象的液滴噴出量，是所述多個噴出嘴的端部的多個噴出嘴的液滴噴出量的平均值。
13. 根據(jù)權利要求1 12中任一項所述的液滴噴出頭的配置方法，其特征在于，所述各液滴噴出頭在各自的噴嘴列中的多個噴出嘴的兩外側具有描繪中不使用的多個無效噴出嘴。
14. 一種噴頭單元，用權利要求1 13中任一項所述的液滴噴出頭的配置方法，在所述滑架板上配置固定有所述多個液滴噴出頭。
15. —種液滴噴出裝置，搭載有權利要求14所述的噴頭單元，通過所述噴頭單元對工件噴出功能液來進行描繪。
16. —種電光裝置的制造方法，利用權利要求15所述的液滴噴出裝置，在所述工件上形成由功能液滴形成的成膜部。
17. —種電光裝置，利用權利要求15所述的液滴噴出裝置，在所述工件上形成有由功能液滴形成的成膜部。
18. —種電子設備，搭載有根據(jù)權利要求16所述的電光裝置的制造方法制造的電光裝置、或權利要求17所述的電光裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液滴噴出頭的配置方法，基于噴墨式液滴噴出頭各自具有的噴嘴列的多個噴出嘴中的單個的液滴噴出量，將噴出共同的功能液的多個液滴噴出頭以在噴嘴列方向上錯開的方式配置固定到共同的滑架板上，以在噴嘴列方向上鄰接的所述液滴噴出頭彼此間位于相互的最內端的兩個所述噴出嘴的液滴噴出量之差包含在規(guī)定的容差范圍內、且位于所述滑架板上的噴嘴列方向的兩最外端的兩個所述噴出嘴的液滴噴出量分別包含在規(guī)定的基準量范圍內的方式，對所述多個液滴噴出頭進行配置固定。
文檔編號B41J2/145GK101314278SQ20081010958
公開日2008年12月3日申請日期2008年6月2日優(yōu)先權日2007年6月1日
發(fā)明者五十嵐透, 巖井雄一郎申請人:精工愛普生株式會社

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