專利名稱：液滴噴出裝置及液滴噴頭的維護(hù)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使液滴噴頭相對于工件相對地移動而在工件上進(jìn)行描繪的液滴噴出裝置，特別涉及具備對液滴噴頭進(jìn)行清潔等維護(hù)的維護(hù)裝置的液滴噴出裝置及液滴噴頭的維護(hù)方法。
背景技術(shù)：
以往，作為向工件噴出液滴的裝置已知有噴墨式的液滴噴出裝置。例如專利文獻(xiàn)1～4中所示的液滴噴出裝置具備放置基板等工件而使工件沿一個(gè)方向移動的滑動臺、在滑動臺的上方位置在與滑動臺的移動方向正交的方向上沿著導(dǎo)軌移動的噴墨頭(液滴噴頭)，向工件上涂布液滴。
在液滴噴出裝置上，為了應(yīng)對噴墨頭的噴嘴的堵塞、灰塵在噴頭表面上的附著、噴頭內(nèi)的混入液體中的氣泡等，設(shè)有清潔裝置。作為清潔裝置，有將附著于噴頭噴嘴面上的污垢和液滴干燥固化后的物質(zhì)擦掉的擦拭裝置、噴出液滴而將噴頭內(nèi)的氣泡或增粘了的液體排出的沖洗裝置、為了防止噴嘴中的液體的干燥而覆蓋噴頭表面以阻斷空氣的流動的加帽裝置等維護(hù)裝置。
作為清潔裝置的配置位置，已知有配置于噴墨頭的導(dǎo)軌的下方并處于滑動臺的側(cè)方位置上的(專利文獻(xiàn)1)、被可以沿著滑動臺的軌道移動地設(shè)置的(專利文獻(xiàn)2，3)、設(shè)置于滑動臺上的(專利文獻(xiàn)4)等。
特開平10-206624號公報(bào)(第4頁，圖1)[專利文獻(xiàn)2]特開2001-171135號公報(bào)(第4頁，圖1)[專利文獻(xiàn)3]特開2003-48312號公報(bào)(第6頁，圖1)[專利文獻(xiàn)4]特開2003-230858號公報(bào)(第3頁，圖1)但是，專利文獻(xiàn)1中所示的液滴噴出裝置中，由于在從液滴噴頭中噴出液滴而進(jìn)行描繪的掃描時(shí)，清潔裝置被設(shè)于承載架能夠移動的最大掃描范圍(描繪動作范圍)的外側(cè)，因此為了將液滴噴頭移動至與清潔裝置對應(yīng)的位置，需要將承載架移動至超過最大掃描范圍的位置。其結(jié)果是，導(dǎo)引承載架的導(dǎo)軌為了能夠?qū)崿F(xiàn)承載架向超過了最大掃描范圍的位置處的移動而相對變長。由于該結(jié)果，就會有因?qū)к壸冮L而使液滴噴出裝置大型化的問題、因長度增大而在導(dǎo)軌上產(chǎn)生機(jī)械的彎曲從而有可能導(dǎo)致從液滴噴頭中噴出而命中基板等工件上的液滴的位置精度(液滴噴出位置精度)降低的問題。特別是，今后伴隨著基板等工件大型化，最大掃描范圍變寬，需要加長導(dǎo)軌，另外，當(dāng)在承載架上搭載相機(jī)或計(jì)量裝置等各種附屬裝置而使承載架的重量增加時(shí)，由于導(dǎo)軌更加容易彎曲，因此有可能導(dǎo)致液滴噴出位置的精度的進(jìn)一步降低。
另外，在與滑動臺相同的軌道上設(shè)置了其他的移動工作臺而在其上配置了維護(hù)裝置的專利文獻(xiàn)2、3中所示的液滴噴出裝置由于是在向工件的描繪中所必需的滑動臺的移動范圍的外側(cè)設(shè)置維護(hù)裝置的構(gòu)造，因此有液滴噴出裝置的尺寸在工作臺移動方向上變大的問題。
另外，在滑動臺上設(shè)置了清潔裝置的專利文獻(xiàn)4中所示的液滴噴出裝置由于在滑動臺上除了基板放置區(qū)域以外，還要確保清潔裝置的設(shè)置空間，因此滑動臺的尺寸在工作臺移動方向上增大了清潔裝置的設(shè)置空間的部分，該情況下也有液滴噴出裝置的尺寸在工作臺移動方向上變大的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供可以在盡可能將液滴噴出裝置的尺寸控制得較小的同時(shí)配置維護(hù)裝置，并且可以確保必需的液滴噴出位置精度的液滴噴出裝置及液滴噴頭的維護(hù)方法。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的主旨在于，具備使工件沿第1掃描方向移動的工作臺、搭載向所述工件噴出液滴的液滴噴頭并且將該液滴噴頭沿著導(dǎo)引構(gòu)件在第2掃描方向上移動的承載架、用于所述液滴噴頭的包括清潔在內(nèi)的維護(hù)的一個(gè)以上的維護(hù)裝置、使所述維護(hù)裝置向與掃描中的所述工作臺不干涉的待機(jī)位置和進(jìn)行所述液滴噴頭的維護(hù)的維護(hù)位置移動的移動機(jī)構(gòu)，所述維護(hù)裝置，在被配置于所述待機(jī)位置時(shí)，至少一部分位于在所述第1掃描方向上作為所述工作臺上的工件的掃描時(shí)的移動范圍能夠取得最大量的工件最大掃描范圍內(nèi)，在被配置于所述維護(hù)位置時(shí)，至少一部分位于在所述第2掃描方向上作為所述承載架的掃描時(shí)的移動范圍能夠取得最大量的承載架最大掃描范圍內(nèi)。
這里，所謂“工件最大掃描范圍”是指在為了向工件噴出液滴而描繪的掃描而在第1掃描方向上將放置了最長的工件的工作臺以最大行程移動時(shí)，所述工件所能取得的第1掃描方向的移動范圍。這與以下的范圍等同，即，從被以最大行程掃描(移動)的工作臺到達(dá)移動方向的一端(假設(shè)為前端)時(shí)，工作臺上的所述工件的一端(前端)所處的位置，直至工作臺到達(dá)移動方向的另一端(假設(shè)為后端)時(shí)所述工件的另一端(后端)所處的位置之間的范圍。
另外，所謂“承載架最大掃描范圍”是指在從液滴噴頭中噴出液滴而描繪的掃描時(shí)承載架所能取得的最大移動范圍。這與以下的范圍等同，即，在承載架掃描方向上將最長的長度的工件放置于工作臺上而進(jìn)行掃描，在該工件上沿承載架掃描方向進(jìn)行最大范圍的描繪時(shí)的承載架的移動范圍。承載架最大掃描范圍設(shè)為從承載架移動到右端時(shí)的承載架的右端面到承載架移動到左端時(shí)的承載架的左端面之間的范圍。而且，既可以將工作臺的第1掃描方向設(shè)為主掃描方向，將承載架的第2掃描方向設(shè)為副掃描方向，也可以將工作臺的第1掃描方向設(shè)為副掃描方向，將承載架的第2掃描方向設(shè)為主掃描方向。
根據(jù)該情況，當(dāng)維護(hù)裝置被配置于實(shí)施液滴噴頭的維護(hù)的維護(hù)位置時(shí)，該維護(hù)裝置的至少一部分位于利用液滴噴頭噴出液滴而進(jìn)行描繪的掃描時(shí)的承載架的最大掃描范圍內(nèi)。由此，只要不僅是在進(jìn)行描繪的掃描時(shí)，而且在液滴噴頭的維護(hù)時(shí)，承載架可以在最大掃描范圍內(nèi)移動即可。這樣，就可以將液滴噴頭的最大移動范圍設(shè)定得相對較窄，由此可以縮短承載架的導(dǎo)引構(gòu)件。如果可以縮短導(dǎo)引構(gòu)件，則例如即使在承載架上搭載相機(jī)或計(jì)量裝置等附屬裝置等而使承載架變重，導(dǎo)引構(gòu)件也不會彎曲，可以維持噴出裝置的位置精度。另外，如果導(dǎo)引構(gòu)件變短，則可以將液滴噴出裝置的尺寸在承載架移動方向(第2掃描方向)上減小。
另外，當(dāng)維護(hù)裝置結(jié)束維護(hù)時(shí)，即被移動機(jī)構(gòu)配置于與掃描中的工作臺不干涉的待機(jī)位置上。在配置于待機(jī)位置上時(shí)，維護(hù)裝置的至少一部分在第1掃描方向上位于在工作臺上所設(shè)想的工件放置區(qū)域作為移動范圍所能夠取得的工件最大掃描范圍內(nèi)。這里，在專利文獻(xiàn)2、3中所記載的以往的液滴噴出裝置中，由于是可以利用與工作臺共用的軌道等而在與工作臺相同方向上(第1掃描方向)獨(dú)立地移動的維護(hù)裝置(清潔裝置)，因此就必須將維護(hù)裝置(清潔裝置)配置于工作臺的最大移動范圍的外側(cè)，從而導(dǎo)致了裝置的第1掃描方向的大型化。另外，在專利文獻(xiàn)4中所記載的以往的液滴噴出裝置中，由于將維護(hù)裝置(清潔裝置)搭載于工作臺上的端部(也就是在工作臺上沿第1掃描方向與工件放置區(qū)域相鄰的端部)上，因此與在工作臺上未搭載維護(hù)裝置的構(gòu)成(也就是因未搭載維護(hù)裝置而使工作臺長度在第1掃描方向上變短的構(gòu)成)相比，掃描時(shí)的工作臺最大移動范圍(稱作工作臺最大掃描范圍)變長。由此，在專利文獻(xiàn)4的裝置中也導(dǎo)致了第1掃描方向的大型化。針對于此，在本發(fā)明的液滴噴出裝置中，由于維護(hù)裝置在待機(jī)位置上被配置于工件最大掃描范圍(通常比工作臺最大掃描范圍更窄的范圍)內(nèi)，因此可以實(shí)現(xiàn)第1掃描方向的裝置的小型化。像這樣，根據(jù)本發(fā)明的液滴噴出裝置，不僅在第2掃描方向上，而且在第1掃描方向上，也可以實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。根據(jù)以上情況，就可以提供能夠在盡可能抑制液滴噴出裝置的大型化的同時(shí)配置維護(hù)裝置，并且可以確保必需的液滴噴出位置精度的液滴噴出裝置。
本發(fā)明的液滴噴出裝置中，在維護(hù)動作開始時(shí)，工作臺退避至不與維護(hù)裝置干涉的工作臺退避位置，并且維護(hù)裝置利用移動機(jī)構(gòu)從待機(jī)位置移動至維護(hù)位置，在維護(hù)動作結(jié)束后，維護(hù)裝置利用移動機(jī)構(gòu)從維護(hù)位置退避至待機(jī)位置。
這樣，由于在維護(hù)動作時(shí)，維護(hù)裝置將至少一部分配置于位于最大移動范圍內(nèi)的維護(hù)位置，而在維護(hù)動作以外時(shí)，被配置于不與工作臺干涉的待機(jī)位置，因此就不會妨礙進(jìn)行描繪時(shí)的工作臺的掃描。另外，只要待機(jī)位置是可以移動至維護(hù)位置的場所，就可以自由地設(shè)定，從而容易構(gòu)成液滴噴出裝置。
本發(fā)明的液滴噴出裝置中，最好維護(hù)裝置被以處于液滴噴頭的軌道正下方的工作臺的下方位置作為待機(jī)位置配置，移動機(jī)構(gòu)是使維護(hù)裝置在待機(jī)位置和維護(hù)位置之間升降的升降機(jī)構(gòu)。而且，本發(fā)明中，所謂液滴噴頭的軌道是指在承載架被導(dǎo)引構(gòu)件導(dǎo)引而移動時(shí)一起移動的液滴噴頭的移動軌跡的假想的軌道。
這樣，由于維護(hù)裝置的設(shè)置空間集中于包括待機(jī)位置的承載架最大掃描范圍內(nèi)，因此不僅在將液滴噴出裝置的尺寸在承載架掃描方向上抑制得較小方面有效，而且由于維護(hù)裝置的移動僅為升降，僅利用升降機(jī)構(gòu)即可實(shí)現(xiàn)移動機(jī)構(gòu)，因此可以將移動機(jī)構(gòu)設(shè)為簡單的機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明的液滴噴出裝置設(shè)有多個(gè)維護(hù)裝置，多個(gè)維護(hù)裝置在液滴噴頭的軌道正下方被沿著承載架的移動方向排成一列。
這樣，由于可以將具備各種的維護(hù)功能的多個(gè)維護(hù)裝置集中于承載架的最大掃描范圍內(nèi)，因此可以將承載架的導(dǎo)軌設(shè)為接近最小必需限度的長度，從而可以將液滴噴出裝置的尺寸控制得更小。另外，由于多個(gè)維護(hù)裝置在液滴噴頭的軌道正下方被沿著承載架移動方向排成一列，因此在進(jìn)行維護(hù)時(shí)，由于通過移動承載架，將液滴噴頭移動至維護(hù)裝置的各個(gè)維護(hù)位置就可以對應(yīng)，因此維護(hù)裝置的移動僅為升降即可，從而可以將移動機(jī)構(gòu)設(shè)為簡單的機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明的液滴噴出裝置最好設(shè)有多個(gè)維護(hù)裝置，所述多個(gè)維護(hù)裝置在與所述工作臺的掃描方向大致相同的方向上被并排地至少排成一列，并且以工作臺的下方位置作為待機(jī)位置，移動機(jī)構(gòu)具備將多個(gè)維護(hù)裝置當(dāng)中的至少在此時(shí)被用于維護(hù)的維護(hù)裝置在待機(jī)位置和液滴噴頭的軌道正下方的中繼位置之間沿與工作臺的掃描方向大致平行的方向移動的第1掃描方向移動機(jī)構(gòu)、在中繼位置和維護(hù)位置之間升降維護(hù)裝置的升降機(jī)構(gòu)。
這樣，由于多個(gè)維護(hù)裝置被沿工作臺掃描方向并排排列，因此在承載架的移動范圍所限定的空間內(nèi)，容易在承載架掃描方向上確保較寬的各維護(hù)裝置的配設(shè)空間。由此，就可以在承載架掃描方向上增大各維護(hù)裝置的尺寸，例如能夠給維護(hù)裝置附加多種多樣的功能。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的維護(hù)裝置也可以將所述液滴噴頭相對于所述工作臺的軌道延長線上的外側(cè)的位置配置為所述待機(jī)位置。
這樣，維護(hù)裝置以相對于工作臺處于液滴噴頭的軌道延長線上外側(cè)的工作臺的側(cè)方位置作為待機(jī)位置，在待機(jī)位置上不與工作臺干涉。維護(hù)裝置的從待機(jī)位置向維護(hù)位置的移動由于只要使維護(hù)裝置向承載架的掃描方向移動即可，因此可以將移動機(jī)構(gòu)設(shè)為簡單的機(jī)構(gòu)。另外，由于維護(hù)裝置位于工作臺的外側(cè)(側(cè)方)，因此維護(hù)裝置的維修等更為容易。
本發(fā)明的液滴噴出裝置也可以設(shè)有多個(gè)維護(hù)裝置，多個(gè)維護(hù)裝置被沿著承載架的掃描方向排成一列，移動機(jī)構(gòu)具備使維護(hù)裝置在所述側(cè)方位置和維護(hù)裝置之間在第2掃描方向上移動的第2掃描方向移動機(jī)構(gòu)。
這樣，由于多個(gè)維護(hù)裝置以液滴噴頭相對于工作臺處于軌道延長線上外側(cè)的位置的工作臺的側(cè)方位置作為待機(jī)位置，被沿著承載架掃描方向排成一列，因此從待機(jī)位置向維護(hù)位置的移動僅為向與承載架的掃描方向大致相同的方向的移動即可。這樣，就可以將移動機(jī)構(gòu)設(shè)為簡單的機(jī)構(gòu)。另外，由于維護(hù)裝置位于工作臺的外側(cè)(側(cè)方)，因此維護(hù)裝置的維修等更為容易。
本發(fā)明的液滴噴出裝置也可以設(shè)有多個(gè)維護(hù)裝置，多個(gè)維護(hù)裝置在待機(jī)位置上使一個(gè)位于液滴噴頭的軌道延長線上并且被沿工作臺的掃描方向排成一列，移動機(jī)構(gòu)具備使多個(gè)維護(hù)裝置當(dāng)中的用于維護(hù)的維護(hù)裝置在待機(jī)位置和液滴噴頭的軌道延長線上的中繼位置之間在第1掃描方向上移動的第1掃描方向移動機(jī)構(gòu)、使維護(hù)裝置在中繼位置和維護(hù)位置之間在第2掃描方向上移動的第2掃描方向移動機(jī)構(gòu)。
這樣，由于多個(gè)維護(hù)裝置在待機(jī)位置處在工作臺的側(cè)方位置上被沿著工作臺掃描方向排成一列，因此與將多個(gè)維護(hù)裝置配置于工作臺的側(cè)方位置上相比，可以將液滴噴出裝置的尺寸在承載架掃描方向上控制得較小。另外，由于維護(hù)裝置的向維護(hù)裝置的移動由從待機(jī)位置向中繼位置的第1掃描方向的移動、從中繼位置向維護(hù)位置的第2掃描方向的移動這兩個(gè)方向的組合構(gòu)成，因此就可以將移動機(jī)構(gòu)設(shè)為比較簡單的機(jī)構(gòu)。另外，由于維護(hù)裝置位于工作臺的外側(cè)(側(cè)方)，因此維護(hù)裝置的維修等更為容易。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的主旨在于，具備使工件沿第1掃描方向移動的工作臺、搭載向工件噴出液滴的液滴噴頭并且將其沿著導(dǎo)引構(gòu)件在第2掃描方向上移動的承載架、用于液滴噴頭的包括清潔的維護(hù)的一個(gè)以上的維護(hù)裝置、使維護(hù)裝置向與掃描中的工作臺不干涉的待機(jī)位置和進(jìn)行液滴噴頭的維護(hù)的維護(hù)位置移動的移動機(jī)構(gòu)，維護(hù)裝置在待機(jī)位置上被配置于與掃描中的工作臺不干涉的工作臺的下方位置，移動機(jī)構(gòu)具有在待機(jī)位置和維護(hù)位置之間的移動過程中使維護(hù)裝置在待機(jī)位置的高度和維護(hù)位置的高度之間升降的升降機(jī)構(gòu)。
這樣，維護(hù)裝置在不進(jìn)行維護(hù)的待機(jī)時(shí)，被配置于與掃描中的工作臺不干涉的工作臺的下方的待機(jī)位置。在實(shí)施維護(hù)時(shí)，利用移動機(jī)構(gòu)使維護(hù)裝置從待機(jī)位置向維護(hù)位置移動。在該移動過程中，待機(jī)位置的高度和維護(hù)位置的高度之間的移動(升降)由升降機(jī)構(gòu)進(jìn)行。維護(hù)裝置在待機(jī)位置處被配置于工作臺的下側(cè)，在維護(hù)位置處被配置于能夠?qū)嵤┮旱螄婎^的維護(hù)的位置。即，維護(hù)裝置在第1掃描方向上總是位于工件最大移動范圍內(nèi)，在第2掃描方向上位于承載架的最大掃描范圍內(nèi)。所以，就可以提供能夠在盡可能抑制液滴噴出裝置的大型化的同時(shí)配置維護(hù)裝置，并且可以確保必需的液滴噴出位置精度的液滴噴出裝置。
本發(fā)明的液滴噴出裝置也可以在利用所述維護(hù)裝置進(jìn)行的維護(hù)開始之前，移動所述承載架而將所述液滴噴頭配置于與所述維護(hù)裝置的所述維護(hù)位置對應(yīng)的給定的位置上。
這樣，在進(jìn)行維護(hù)之時(shí)，由于承載架移動而將液滴噴頭配置于與維護(hù)位置對應(yīng)的給定的位置上，因此在維護(hù)之前，即使液滴噴頭位于軌道上的某處，只要維護(hù)裝置總是向確定了的維護(hù)位置移動即可。這樣，就可以用簡單的機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)移動機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明的液滴噴出裝置作為所述維護(hù)裝置，也可以具備用于液滴噴頭的清潔的加帽裝置、擦拭裝置、沖洗裝置當(dāng)中的至少一個(gè)。
這樣，液滴噴出裝置就可以用加帽裝置來防止液滴噴頭的干燥，用擦拭裝置來去掉表面的污垢，用沖洗裝置實(shí)現(xiàn)增粘了的液體或氣泡的排出，從而可以可靠地進(jìn)行液滴的噴出。
本發(fā)明的液滴噴出裝置中，作為維護(hù)裝置，也可以具備測定從液滴噴頭中噴出的功能液的重量的重量測定裝置。
這樣，由于通過測定從液滴噴頭中噴出的功能液的重量，就可以根據(jù)其測定結(jié)果，判斷例如每一滴的噴出量是否為適量，按照達(dá)到適量的方式來調(diào)整噴出量，因此就可以提高液滴噴出的描繪質(zhì)量。
本發(fā)明的液滴噴頭的維護(hù)方法的主旨在于具備使工作臺向與維護(hù)裝置不干涉的工作臺退避位置移動的工序、使維護(hù)裝置從待機(jī)位置向維護(hù)位置移動的工序、移動承載架而將液滴噴頭配置于與維護(hù)位置上的維護(hù)裝置對應(yīng)的位置上的工序、使維護(hù)位置上的維護(hù)裝置維護(hù)液滴噴頭的工序。而且，移動工作臺的工序、移動液滴噴頭的工序并不限定于該順序，既可以同時(shí)進(jìn)行，也可以用相反的順序進(jìn)行。另外，移動維護(hù)裝置的工序、移動液滴噴頭的工序并不限定于該順序，既可以同時(shí)進(jìn)行，也可以用相反的順序進(jìn)行。
這樣，在進(jìn)行維護(hù)之時(shí)，由于工作臺向工作臺退避位置退避，能夠?qū)崿F(xiàn)維護(hù)裝置的向維護(hù)位置的移動，因此維護(hù)裝置就從待機(jī)位置向維護(hù)位置移動。在此前后，通過移動承載架，液滴噴頭被配置于與維護(hù)位置的維護(hù)裝置對應(yīng)的位置。當(dāng)像這樣將維護(hù)裝置和液滴噴頭配置于對應(yīng)的位置上時(shí)，就可以實(shí)施利用維護(hù)裝置進(jìn)行的維護(hù)。例如，即使是在工作臺上未設(shè)置維護(hù)裝置的設(shè)置空間的工作臺，也能夠采用使維護(hù)裝置在俯視與該工作臺重合的位置上待機(jī)的構(gòu)成，這樣就可以將液滴噴出裝置的尺寸控制得較小。而且，如果重復(fù)地實(shí)施工作臺的退避工序和液滴噴頭的移動工序，或重復(fù)地實(shí)施維護(hù)裝置向維護(hù)位置的移動工序和液滴噴頭的移動工序，則可以縮短在維護(hù)中所需的時(shí)間。


圖1是表示實(shí)施方式1的液滴噴出系統(tǒng)的構(gòu)成的立體圖。
圖2是表示液滴噴出裝置的構(gòu)成的立體圖。
圖3表示液滴噴出裝置的構(gòu)成，(a)為俯視圖，(b)為前視圖。
圖4是液滴噴出裝置的電控制方框圖。
圖5是表示液滴噴出裝置的動作的流程圖。
圖6表示實(shí)施方式2的液滴噴出裝置，(a)為俯視圖，(b)為前視圖。
圖7表示實(shí)施方式3的液滴噴出裝置，(a)為俯視圖，(b)為前視圖。
圖8表示實(shí)施方式4的液滴噴出裝置，(a)為俯視圖，(b)為前視圖。
其中，1…液滴噴出系統(tǒng)，10…液滴噴出裝置，13…主掃描驅(qū)動裝置，14…副掃描驅(qū)動裝置，15…液滴噴頭，18…承載架，19…作為工作臺的吸附臺，32…作為工件的基板，44…作為維護(hù)裝置及清潔裝置的加帽裝置，45…作為維護(hù)裝置及清潔裝置的沖洗裝置，46…作為維護(hù)裝置及清潔裝置的擦拭裝置，47…作為維護(hù)裝置及重量測定裝置的電子天平，56、57…構(gòu)成移動機(jī)構(gòu)并且作為升降機(jī)構(gòu)的升降裝置，61…第1維護(hù)單元，62…第2維護(hù)單元，63、64…構(gòu)成移動機(jī)構(gòu)的軌道，70…維護(hù)單元，71…作為導(dǎo)引構(gòu)件的導(dǎo)軌，75…構(gòu)成移動機(jī)構(gòu)的馬達(dá)，77…構(gòu)成移動機(jī)構(gòu)的維護(hù)驅(qū)動裝置，78…構(gòu)成移動機(jī)構(gòu)及第2掃描方向移動機(jī)構(gòu)的氣缸，84、85…構(gòu)成移動機(jī)構(gòu)及第1掃描方向移動機(jī)構(gòu)的線性馬達(dá)。
具體實(shí)施例方式
下面將參照圖1～圖5對將本發(fā)明具體化了的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說明。
(實(shí)施方式1)首先，對液滴噴出裝置進(jìn)行說明。圖1是表示液滴噴出裝置的構(gòu)成的立體圖。液滴噴出系統(tǒng)1是用于將功能液作為液滴噴出而附著于作為工件的基板32的給定位置上的裝置。
圖1中，液滴噴出系統(tǒng)1由液滴噴出裝置10、基板供給裝置16、調(diào)節(jié)裝置17構(gòu)成?；骞┙o裝置16將基板32向液滴噴出裝置10內(nèi)的給定的作業(yè)位置供給。調(diào)節(jié)裝置17負(fù)責(zé)液滴噴出裝置10的全盤的控制和基板供給裝置16的控制。
液滴噴出裝置10由將液滴噴頭15搭載于下面的承載架18、控制液滴噴頭15的位置的噴頭位置控制裝置11、將基板32吸附于給定位置的吸附臺19、修正放置于吸附臺19上的基板32的位置的基板位置控制裝置12、使基板32相對于液滴噴頭15進(jìn)行主掃描移動的主掃描驅(qū)動裝置13、使液滴噴頭相對于基板32進(jìn)行副掃描移動的副掃描驅(qū)動裝置14、維護(hù)單元61、62(參照圖2、圖3)等構(gòu)成。
噴頭位置控制裝置11、基板位置控制裝置12、主掃描驅(qū)動裝置13、副掃描驅(qū)動裝置14的各裝置被設(shè)置于基座30之上。另外，這些裝置根據(jù)需要被外罩31覆蓋。
基板供給裝置16具有收容基板32的基板收容部20、搬送基板32的機(jī)械手21。機(jī)械手21具有放置于地板、底面等設(shè)置面上的基臺22、相對于基臺2進(jìn)行升降移動的升降軸23、以升降軸23為中心旋轉(zhuǎn)的第1臂24、相對于第1臂24旋轉(zhuǎn)的第2臂25、設(shè)于第2臂25的頭端下面的吸附墊26。吸附墊26可以利用氣體抽吸力來吸附基板32。
在液滴噴頭15的附近配置有設(shè)于承載架18上而與液滴噴頭15一體化地移動的噴頭用相機(jī)48。另外，由設(shè)于基座30上的支撐裝置(未圖示)支撐的基板用相機(jī)49被配置于可以拍攝基板32的位置上。
噴頭用相機(jī)48是用于確認(rèn)液滴的噴出狀況的。噴頭用相機(jī)48的焦點(diǎn)被調(diào)整為對準(zhǔn)基板32的表面，用于液滴的著地點(diǎn)的位置精度的檢查、液滴的噴出狀況的檢查。利用由液滴噴頭15的噴嘴的污垢造成的噴出液的飛行彎曲的檢查來判斷清潔時(shí)機(jī)。噴頭用相機(jī)48由拍攝部和光源構(gòu)成，拍攝部無論是CCD式還是電子式的哪一種都可以。
在搭載于承載架18的下面的液滴噴頭15上形成有多個(gè)噴嘴。液滴噴頭15例如也可以像專利文獻(xiàn)3中所記載的噴頭那樣，將噴墨方式的液滴噴頭排列多個(gè)而構(gòu)成。
作為構(gòu)成液滴噴出裝置10的底臺的基座30是為了確保設(shè)于其上的包括吸附臺19等的構(gòu)造物的水平度而設(shè)置的，使用難以受到溫度或濕度的影響(變形等)的材質(zhì)。另外，基座30具備使之難以受到來自地板的振動的除振裝置(未圖示)，為了降低固有振動系數(shù)而使用了較重的材質(zhì)。本實(shí)施方式中，作為基座30的材質(zhì)使用了石材。當(dāng)然，只要是能夠在被保持為對基座30不會造成影響的溫度或適度的環(huán)境下可以使用的材質(zhì)，也可以使用金屬等容易加工的材質(zhì)。
在基座30之上設(shè)有基臺55，在其上設(shè)有主掃描驅(qū)動裝置13。如圖2所示，主掃描驅(qū)動裝置13由導(dǎo)軌50、51、可動臺52、線性馬達(dá)53、馬達(dá)支撐臺54等構(gòu)成。為了改善工作臺的直進(jìn)性，在導(dǎo)軌50、51和可動臺52的滑動部中，使用內(nèi)含了空氣的氣滑動方式?；瑒硬恳部梢岳脙?nèi)含了滾珠或圓筒的線性導(dǎo)引。雖然作為驅(qū)動源使用了線性馬達(dá)，但是也可以利用脈沖馬達(dá)或滾珠絲杠來傳遞動力。
在可動臺52的上部配置有基板位置控制裝置12。基板位置控制裝置12是旋轉(zhuǎn)吸附臺19的裝置，由脈沖馬達(dá)和減速裝置構(gòu)成。減速裝置優(yōu)選不會產(chǎn)生諧波等間隙的機(jī)構(gòu)。在基板32上附設(shè)有定位用的標(biāo)記，利用基板用相機(jī)49(參照圖1)來測定其位置。以與基準(zhǔn)角度的偏移量來旋轉(zhuǎn)吸附臺19，基板32被對齊角度。
下面，對副掃描驅(qū)動裝置14進(jìn)行說明。副掃描驅(qū)動裝置14由設(shè)于基臺55上的門型的支撐框架66支撐。門型的支撐框架66橫跨主掃描驅(qū)動裝置13，兩個(gè)腿部73、74與主掃描驅(qū)動裝置13的導(dǎo)軌50、51相隔微小的距離而被豎立設(shè)置于外側(cè)。
副掃描驅(qū)動裝置14沿Y軸方向(第2掃描方向)動作，被以與沿X軸方向(第1掃描方向)動作的主掃描驅(qū)動裝置13近似正交的狀態(tài)配置。副掃描驅(qū)動裝置14具有構(gòu)成門型的支撐框架66的橫架部分的作為導(dǎo)引構(gòu)件的導(dǎo)軌71、沿著導(dǎo)軌71移動的承載架18。承載架18和導(dǎo)軌71的滑動部在本實(shí)施方式中采用氣滑動方式?；瑒硬恳部梢岳脙?nèi)含了滾珠或圓筒的線性導(dǎo)引。
噴頭位置控制裝置11是使承載架18在高度方向(Z軸方向)上移動的裝置，具有對液滴噴頭15和基板32的距離的調(diào)整功能。導(dǎo)軌71具體來說，具有被與支撐框架66的腿部一體化固定了的固定軌、支撐承載架18并且相對于固定軌可以在上下方向上移動的可動軌。噴頭位置控制裝置11是使構(gòu)成導(dǎo)軌71的可動軌相對于固定軌在上下方向(Z軸方向)上移動的裝置，利用可動軌的移動在高度方向(Z軸方向)上調(diào)整承載架18的位置。操作者將基板32的厚度輸入調(diào)節(jié)裝置17，根據(jù)其值，噴頭位置控制裝置11將承載架18配置于Z軸方向的合適的位置上。而且，作為在Z軸方向上調(diào)整承載架18的位置的方法，也可以采用在承載架18上搭載距離傳感器，隨時(shí)測定液滴噴頭15和基板32的距離，基于該測定結(jié)果來進(jìn)行位置控制的方法。距離傳感器無論是光學(xué)式、靜電電容式、電磁式、接觸方式的哪一種都可以。
調(diào)節(jié)裝置17具有收容了處理器的計(jì)算機(jī)主體部27、作為輸入裝置的鍵盤28、作為顯示裝置的CRT等顯示器29。
下面，使用圖2，圖3對液滴噴出裝置10的維護(hù)裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。圖2是表示設(shè)于液滴噴出裝置的基座上的構(gòu)造部分的構(gòu)成的立體圖，圖3(a)為俯視圖，圖3(b)為前視圖。
如圖2所示，在基臺55上配設(shè)有對液滴噴頭15進(jìn)行包括清潔在內(nèi)的維護(hù)的第1維護(hù)單元61和第2維護(hù)單元62。在基臺55的上面第1維護(hù)單元61被配置于導(dǎo)軌50和馬達(dá)支撐臺54之間，第2維護(hù)單元62被配置于導(dǎo)軌51和馬達(dá)支撐臺54之間。第1維護(hù)單元61和第2維護(hù)單元62由于俯視地看被配置于與吸附臺19的掃描區(qū)域重合的位置上，因此為了在基臺55和吸附臺19之間確保高度方向的必要的配設(shè)空間，使導(dǎo)軌50、51及馬達(dá)支撐臺54具有較高的距離基臺55的高度(Z軸方向長度)。當(dāng)然，也可以通過在基臺55的上面設(shè)置凹部，在凹部中配置維護(hù)單元，來形成使導(dǎo)軌50、51及馬達(dá)支撐臺54具有較高的距離基臺55的高度的構(gòu)成。
第1維護(hù)單元61具有設(shè)于基臺55上的升降裝置56、固定于升降裝置56的機(jī)械手的上端的可動板80，在可動板80的上面配設(shè)有沖洗裝置45和擦拭裝置46。另一方面，第2維護(hù)單元62具有與第1維護(hù)單元61的部分相同的構(gòu)成的升降裝置57及可動板81，在可動板81的上面配設(shè)有加帽裝置44和電子天平57。配設(shè)于可動板80、81上的加帽裝置44、沖洗裝置45、擦拭裝置46及電子天平47在承載架移動方向(Y軸方向)上被排成一列，按照將這4個(gè)全都配置于液滴噴頭15的軌道正下方的方式，將第1及第2維護(hù)單元61、62配置于基臺55上的給定的位置上。本說明書中，有時(shí)指到加帽裝置44、沖洗裝置45、擦拭裝置46、電子天平47時(shí)，也稱作維護(hù)裝置。升降裝置56、57在本實(shí)施方式中由氣缸構(gòu)成。當(dāng)然，并不限定于氣缸，也可以利用油壓缸、脈沖馬達(dá)和滾珠絲杠等構(gòu)成。
沖洗裝置45和擦拭裝置46因升降裝置56的桿伸縮而升降，被配置于桿收縮時(shí)的待機(jī)位置、桿伸長時(shí)的維護(hù)位置。另外，加帽裝置44和電子天平47也相同，因升降裝置57的桿伸縮而升降，被配置于桿收縮時(shí)的待機(jī)位置、桿伸長時(shí)的維護(hù)位置。維護(hù)裝置44～47在配置于待機(jī)位置的狀態(tài)下被配置于比吸附臺19的下面更低的高度，從而不會與掃描中的吸附臺19干涉。另一方面，在維護(hù)裝置44～47被配置于維護(hù)位置的狀態(tài)下，各維護(hù)裝置44～47被配置于能夠?qū)σ旱螄婎^15進(jìn)行加帽、沖洗時(shí)的排出液的收容·抽吸、擦拭、液滴重量測定等維護(hù)的位置上。
在液滴噴頭15向基板32噴出液滴而描繪圖像或配線等的圖案的描繪中(掃描中)，維護(hù)裝置44～47下降而退避至吸附臺19的下方的待機(jī)位置。升降裝置56、57只是支撐維護(hù)裝置44～47當(dāng)中的此時(shí)用于維護(hù)的維護(hù)裝置的一側(cè)的一方被驅(qū)動，在維護(hù)動作開始時(shí)，使該維護(hù)裝置上升而向維護(hù)位置移動，并且在維護(hù)動作結(jié)束后，使該維護(hù)裝置下降而回復(fù)至待機(jī)位置。在維護(hù)動作開始時(shí)，在維護(hù)裝置向維護(hù)位置的移動之前，吸附臺19沿X軸方向移動而向圖2所示的工作臺退避位置退避，從而不會妨礙維護(hù)裝置向維護(hù)位置的移動。
另外，在維護(hù)動作開始時(shí)，承載架18沿著導(dǎo)軌71向Y軸方向移動，將液滴噴頭15配置于能夠與移動到維護(hù)位置的維護(hù)裝置相面對的正上方位置，液滴噴頭15被配置于能夠接受維護(hù)裝置的維護(hù)的給定的位置上。
作為維護(hù)裝置的加帽裝置44、沖洗裝置45、擦拭裝置46是進(jìn)行與用于將液滴噴頭15的液滴噴出性能維持良好的清潔有關(guān)的維護(hù)的清潔裝置，起到將噴嘴或噴嘴內(nèi)的功能液維持·恢復(fù)潔凈的狀態(tài)的作用。加帽裝置44是在液滴噴頭15處于其軌道上的待機(jī)位置(原位置)時(shí)，為了防止噴嘴內(nèi)的功能液的彎月面干燥而對液滴噴頭15進(jìn)行加蓋(加帽)的裝置。加帽裝置44具有使上方開口的箱狀的蓋，將箱狀的蓋推壓在液滴噴頭15的噴嘴面上而密閉。在箱狀的蓋上的與液滴噴頭15的接觸部分上，為了提高密閉度，設(shè)有彈性材料。
沖洗裝置45是在從液滴噴頭15的噴嘴中連續(xù)地噴出液滴而將噴頭內(nèi)的功能液及氣泡排出的沖洗時(shí)，接受從液滴噴頭15的噴嘴排出的液滴的裝置，具有箱狀的容器。當(dāng)本例的沖洗裝置45在維護(hù)位置上被動作時(shí)，容器與液滴噴頭15密接而將噴嘴面覆蓋，從而防止從噴嘴中排出的液滴的飛散。從液滴噴頭15中因沖洗而被排出的排出液穿過與容器連接的管，被真空泵抽出而收集于罐(圖示略)中。
擦拭裝置46是對液滴噴頭15的噴嘴面進(jìn)行擦抹的裝置。本例中的擦拭裝置46采用以粘涂了清洗液的帶狀的布擦抹的方式的裝置(例如專利文獻(xiàn)2中所公布的擦拭裝置)。擦拭裝置也可以是用橡膠板、塑料板等彈性材料將污垢擦掉的裝置。
電子天平47是測定噴出液的重量的裝置，其測定值被向調(diào)節(jié)裝置17傳送。從液滴噴頭15的各噴嘴中例如噴出100滴左右，測定重量。調(diào)節(jié)裝置17基于電子天平47的測定值，調(diào)整發(fā)給液滴噴頭15的噴出控制信號，調(diào)整所噴出的液滴的大小(重量)。
圖2中L的范圍是承載架18掃描時(shí)所能夠取得的最大移動范圍(以下稱作承載架最大掃描范圍)。即，承載架最大掃描范圍L是指從液滴噴頭15的噴嘴中噴出液滴而在基板32上描繪元件或配線等的給定圖案時(shí)的承載架18的掃描時(shí)描繪最大的描繪范圍之際的承載架18的最大移動范圍。是指從承載架18在掃描時(shí)移動了最大范圍而到達(dá)左端時(shí)的承載架18的左端面，到承載架18到達(dá)了右端時(shí)的承載架18的右端面的范圍。另外，該范圍L是指在承載架移動方向上將最長的長度的工件放置于吸附臺19上，在對該工件沿承載架移動方向進(jìn)行最大范圍的描繪時(shí)的承載架18的移動范圍。而且，吸附臺19既可以是能夠放置尺寸不同的多種工件的構(gòu)成，也可以是僅能夠放置一種尺寸的構(gòu)成。特別是在吸附臺19上只能夠以一種朝向來放置一種工件的情況下，將以該放置朝向放置的工件的承載架移動方向的長度看作最長。
本實(shí)施方式中，液滴噴頭15的包括清潔、液滴重量測定的維護(hù)可以在維護(hù)裝置44～47被配置于承載架最大掃描范圍L內(nèi)的給定位置上的狀態(tài)下進(jìn)行。由此，承載架18可以沿著導(dǎo)軌71移動的最大移動允許范圍(與導(dǎo)軌71的導(dǎo)引槽的范圍大致相等)只是在承載架最大掃描范圍L的兩側(cè)設(shè)置了略為寬裕的范圍，實(shí)質(zhì)上是與承載架最大掃描范圍大致相等的長度。通過在與該承載架最大掃描范圍L大致相等的承載架最大移動允許范圍的兩側(cè)，添加被腿部73、74支撐的部位的范圍，來規(guī)定導(dǎo)軌71的長度。
無論維護(hù)裝置44～47在被配置于待機(jī)位置和維護(hù)位置的哪一個(gè)上時(shí)，在承載架移動方向(Y軸方向)上，全部4個(gè)都位于承載架最大掃描范圍L內(nèi)。特別是在本實(shí)施方式中，無論維護(hù)裝置44～47被配置于待機(jī)位置和維護(hù)位置的哪一個(gè)上時(shí)，在承載架移動方向(Y軸方向)上，靠近中間的2個(gè)都完全位于噴頭最大掃描范圍(液滴噴頭15掃描時(shí)在Y軸方向上所能夠取得的最大移動范圍)內(nèi)，兩端的2個(gè)完全或部分位于噴頭最大掃描范圍內(nèi)。另外，無論維護(hù)裝置44～47被配置于待機(jī)位置和維護(hù)位置的哪一個(gè)上時(shí)，在工作臺移動方向(X軸方向)上，全部4個(gè)都位于在將X軸方向最長的基板(工件)32放置于吸附臺19上而掃描時(shí)該最長的基板32所能夠取得的最大移動范圍(以下稱作工件最大掃描范圍)K(參照圖3)內(nèi)。這里，對于將對基板32進(jìn)行定位的導(dǎo)引裝置(具有被可以相對于工作臺的放置面(吸附面)露出沒入地設(shè)置的多個(gè)導(dǎo)引銷或?qū)б?、對它們進(jìn)行露出沒入驅(qū)動的促動器的裝置)搭載于吸附臺19上的構(gòu)成的情況，在吸附臺19上沿X軸方向放置最長的基板(工件)32的放置區(qū)域可以由被導(dǎo)引裝置導(dǎo)引的X軸方向上最長的被導(dǎo)引區(qū)域來指定。
另外，工件最大掃描范圍與以下的范圍相等，即，在使沿X軸方向放置了最長的基板(工件)32的吸附臺19以最大行程掃描時(shí)，從吸附臺19到達(dá)其移動范圍的一端(例如前端)時(shí)的工件的一端(前端)的位置，到吸附臺19到達(dá)其移動范圍的另一端(例如后端)時(shí)的工件的另一端(后端)的位置之間的范圍。而且，圖3中，由于吸附臺19處于不是掃描時(shí)而是維護(hù)時(shí)的工作臺退避位置，因此基板(工件)32位于超出工件最大掃描范圍K的位置。
圖4是液滴噴出裝置10的電控制方框圖。圖4中，具有作為處理器進(jìn)行各種運(yùn)算處理的CPU(運(yùn)算處理裝置)40、儲存各種信息的存儲器41。
噴頭位置控制裝置11、基板位置控制裝置12、主掃描驅(qū)動裝置13、副掃描驅(qū)動裝置14、驅(qū)動液滴噴頭15的噴頭驅(qū)動電路42被借助輸入輸出界面33及總線34與CPU40連接。另外，基板供給裝置16、輸入裝置28、顯示器29、加帽裝置44、沖洗裝置45、擦拭裝置46、電子天平47及維護(hù)驅(qū)動裝置77也被借助輸入輸出界面33及總線34與CPU40連接。
存儲器41是包括RAM、ROM等半導(dǎo)體存儲器、硬盤、CD-ROM之類的外部存儲裝置的概念，在功能上，設(shè)定有儲存記錄了液滴噴出裝置10的動作的控制順序的程序軟件411的儲存區(qū)域、用于將基板32內(nèi)的噴出位置作為坐標(biāo)數(shù)據(jù)儲存的儲存區(qū)域、用于儲存基板32的向副掃描方向Y的副掃描移動量的儲存區(qū)域、作為用于CPU40的工作區(qū)域或臨時(shí)文件等發(fā)揮作用的儲存區(qū)域或其他的各種儲存區(qū)域。
CPU40依照儲存于存儲器41內(nèi)的程序軟件411，進(jìn)行用于將功能液向基板32的表面的給定位置噴出的控制，作為具體的功能實(shí)現(xiàn)部，具有進(jìn)行用于實(shí)現(xiàn)沖洗處理的運(yùn)算的沖洗運(yùn)算部401、進(jìn)行用于實(shí)現(xiàn)擦拭處理的運(yùn)算的擦拭運(yùn)算部402、用于實(shí)現(xiàn)加帽處理的加帽運(yùn)算部403、進(jìn)行用于實(shí)現(xiàn)使用了電子天平47的重量測定的運(yùn)算的重量測定運(yùn)算部404、進(jìn)行用于利用液滴噴頭15噴出液滴的運(yùn)算的噴出運(yùn)算部406。
沖洗運(yùn)算部401、擦拭運(yùn)算部402、加帽運(yùn)算部403、重量測定運(yùn)算部404運(yùn)算使維護(hù)裝置44～47進(jìn)行與各自的維護(hù)內(nèi)容對應(yīng)的維護(hù)動作的時(shí)期等。CPU40當(dāng)維護(hù)裝置44～47的某一個(gè)到達(dá)先前所算出的維護(hù)動作時(shí)期時(shí)，即對維護(hù)驅(qū)動裝置77進(jìn)行驅(qū)動控制，執(zhí)行相應(yīng)的維護(hù)裝置的向維護(hù)位置的移動(上升)、其維護(hù)動作結(jié)束后的向待機(jī)位置的復(fù)位(下降)。在用氣缸構(gòu)成升降裝置56、57的本實(shí)施方式中，維護(hù)驅(qū)動裝置77由電磁閥等構(gòu)成，該電磁閥等是為了控制用于驅(qū)動氣缸的壓縮空氣的供氣·排氣而被設(shè)于與氣缸相連的配管上的。
CPU40通過向與各升降裝置56、57對應(yīng)的一方的電磁閥發(fā)送開閉信號而對構(gòu)成維護(hù)驅(qū)動裝置77的升降裝置(氣缸)56、57進(jìn)行驅(qū)動控制。而且，本實(shí)施方式中，雖然用氣缸來實(shí)施升降裝置56、57，但是只要是能夠直線運(yùn)動的驅(qū)動裝置，就不限定于此，也可以采用油壓缸、電動式直動驅(qū)動器。當(dāng)用油壓缸來實(shí)現(xiàn)時(shí)，則由油壓泵及電磁閥等構(gòu)成維護(hù)驅(qū)動裝置77，發(fā)送油壓泵的驅(qū)動信號或電磁閥的開閉信號而對維護(hù)驅(qū)動裝置77進(jìn)行驅(qū)動控制。另外，當(dāng)用直動促動器來實(shí)現(xiàn)時(shí)，則由作為直動促動器的驅(qū)動源的馬達(dá)等構(gòu)成維護(hù)驅(qū)動裝置77，發(fā)送驅(qū)動信號而對維護(hù)驅(qū)動裝置77進(jìn)行驅(qū)動控制。
如果對噴出運(yùn)算部406進(jìn)行詳細(xì)的分割，則具有用于將液滴噴頭15向用于液滴噴出的初期位置定位的噴出開始位置運(yùn)算部407、運(yùn)算用于以給定的速度使基板32向主掃描方向X掃描移動的控制的主掃描控制運(yùn)算部408、運(yùn)算用于以給定的副掃描量使液滴噴頭15向副掃描方向Y移動的控制的副掃描控制運(yùn)算部409、進(jìn)行用于控制使液滴噴頭15內(nèi)的多個(gè)噴嘴當(dāng)中的哪一個(gè)動作而噴出功能液的運(yùn)算的噴嘴噴出控制運(yùn)算部410等各種功能運(yùn)算部。
而且，本實(shí)施方式中，所述的各功能雖然使用CPU40而以程序軟件來實(shí)現(xiàn)，但是在所述各功能可以利用不使用CPU的單獨(dú)的電子電路(硬件)來實(shí)現(xiàn)的情況下，也可以使用此種電子電路。
下面，使用圖5對液滴噴出裝置10的動作進(jìn)行說明。首先，接入電源前的液滴噴出裝置10處于吸附臺19退避于工作臺退避位置的狀態(tài)。另外，液滴噴頭15位于原位置(待機(jī)位置)而被加帽裝置44加蓋(帽)。維護(hù)單元的具有加帽裝置44的第2維護(hù)單元62處于維護(hù)位置，第1維護(hù)單元61處于待機(jī)位置。當(dāng)由操作者接入電源而使液滴噴出裝置10動作時(shí)，即執(zhí)行初期設(shè)定(步驟S1)。具體來說，承載架18、基板供給裝置16、調(diào)節(jié)裝置17等被設(shè)定為預(yù)先確定的初期狀態(tài)。然后，為了準(zhǔn)備噴出，帽被褪掉(步驟S2)。即，CPU40通過驅(qū)動維護(hù)驅(qū)動裝置77，使加帽裝置44的蓋(帽)從液滴噴頭15上褪掉，并且通過驅(qū)動升降裝置57，使加帽裝置44及液滴重量測定裝置47下降至待機(jī)位置。這樣，第1及第2維護(hù)單元61、62就都被配置于待機(jī)位置上。
然后，如果清潔時(shí)刻到來(步驟S3中為YES)，則進(jìn)入清潔動作。如果第1維護(hù)單元61不處于維護(hù)位置(步驟S4中為NO)，此時(shí)如果吸附臺19未退避，則使吸附臺19向工作臺退避位置退避，并且使第1維護(hù)單元61向維護(hù)位置移動(步驟S5)。然后，驅(qū)動副掃描驅(qū)動裝置14，使液滴噴頭15向沖洗位置移動(步驟S6)，進(jìn)行從液滴噴頭15的噴嘴中連續(xù)地噴出液滴的沖洗(步驟S7)。這里，當(dāng)液滴噴頭15到達(dá)了沖洗位置時(shí)，沖洗裝置45例如因操作桿被推壓而機(jī)械地動作，或者因傳感器檢測到液滴噴頭15而被電氣地動作，將箱狀的容器向液滴噴頭15的噴嘴面上推壓。
然后，使副掃描驅(qū)動裝置14動作，使液滴噴頭15移動至擦拭位置(步驟S8)，通過使擦拭裝置46動作來進(jìn)行擦拭(步驟S9)。這樣，步驟S4～S9的清潔動作即結(jié)束。
然后，如果重量測定時(shí)刻到來(步驟S10中為YES)，則進(jìn)入噴出液的重量測定動作。如果第2維護(hù)單元62不處于維護(hù)位置(步驟S11中為NO)，如果吸附臺19未退避，則使吸附臺19向工作臺退避位置退避，并且使第2維護(hù)單元62向維護(hù)位置移動(步驟S12)。然后，驅(qū)動副掃描驅(qū)動裝置14，使液滴噴頭15向電子天平47的重量測定位置移動(步驟S13)，從噴嘴向電子天平47上噴出給定量(例如100滴左右)的液滴，并且使電子天平47測定該被噴出的功能液的量(步驟S 14)。此后，按照與各噴嘴的功能液噴出特性匹配地從各噴嘴中噴出被預(yù)先設(shè)定了的適量的液滴的方式，調(diào)節(jié)施加在與各噴嘴對應(yīng)的壓電元件材料上的電壓(步驟S15)。
當(dāng)清潔時(shí)刻或重量測定時(shí)刻未到來時(shí)(步驟S3及步驟S10中為NO)，或者在這些處理結(jié)束的情況下，轉(zhuǎn)移至步驟S16。在步驟S16中，使維護(hù)單元61、62向待機(jī)位置退避，其后，在步驟S17中，利用基板供給裝置16供給基板32。
然后，通過在利用基板用相機(jī)49觀察基板32的同時(shí)，使位于基板位置控制裝置12上的θ馬達(dá)的輸出軸旋轉(zhuǎn)，進(jìn)行固定于吸附臺19上的基板32的定位(步驟S18)。利用噴頭用相機(jī)48進(jìn)行液滴噴頭15的對位，通過運(yùn)算來決定開始噴出的位置(步驟S19)，使主掃描驅(qū)動裝置13及副掃描驅(qū)動裝置14適當(dāng)?shù)貏幼?，將液滴噴頭15向?qū)?2的噴出開始位置移動(步驟S20)。
然后，開始向X方向的主掃描，同時(shí)開始功能液的噴出(步驟S21)。具體來說，通過使主掃描驅(qū)動裝置13動作，將基板32向主掃描方向X以一定的速度直線地掃描移動，在其移動途中噴嘴到達(dá)了噴出位置時(shí)，基于由噴嘴噴出控制運(yùn)算部410算出的功能液噴出信號，從該噴嘴中噴出液滴。
當(dāng)1次的主掃描結(jié)束時(shí)，即利用副掃描驅(qū)動裝置14向副掃描方向Y移動被預(yù)先確定了的副掃描方向Y成分量(步驟S22)。然后，反復(fù)進(jìn)行主掃描及液滴噴出(步驟S23中為NO，向步驟S21轉(zhuǎn)移)。
當(dāng)如上所述的利用液滴噴頭15進(jìn)行的功能液的噴出作業(yè)相對于基板32的全部區(qū)域都結(jié)束時(shí)(步驟S23中為YES)，則基板32被向外部排出(步驟S24)。其后，只要操作者沒有給出處理結(jié)束的指示(步驟S25中為NO)，則回到步驟S3，反復(fù)進(jìn)行對其他的基板32的功能液的噴出作業(yè)。
當(dāng)由操作者發(fā)出作業(yè)結(jié)束的指示時(shí)(步驟S25中為YES)，則使吸附臺19向工作臺退避位置退避(步驟S26)。使第1維護(hù)單元61和第2維護(hù)單元62從待機(jī)位置向維護(hù)位置移動(步驟S27)。此后，首先利用副掃描驅(qū)動裝置14使液滴噴頭15向擦拭位置移動(步驟S28)，通過使擦拭裝置46動作，來擦拭液滴噴頭15的噴嘴面(步驟S29)。
然后，利用副掃描驅(qū)動裝置14的驅(qū)動使液滴噴頭15向加帽位置移動(步驟S30)，通過使加帽裝置44動作，對液滴噴頭15進(jìn)行加帽(步驟S31)。利用以上的操作，結(jié)束一連串的噴出作業(yè)。
像這樣，在維護(hù)動作時(shí)，進(jìn)行使吸附臺19向工作臺退避位置移動的工作臺退避工序(步驟S26等)、使維護(hù)裝置44～47當(dāng)中的用于維護(hù)的1向維護(hù)位置移動的維護(hù)移動工序(步驟S5、S12、S27)、為了使液滴噴頭15接受維護(hù)而將其向與處于維護(hù)位置的維護(hù)裝置對應(yīng)的位置移動的噴頭移動工序(步驟S6、S8、S13、S28、S30)、維護(hù)裝置實(shí)施維護(hù)的維護(hù)實(shí)施工序(步驟S7、S9、S14、S29、S31)。此后，在實(shí)施維護(hù)后，進(jìn)行使維護(hù)裝置向待機(jī)位置移動的待機(jī)位置復(fù)位工序(步驟S16)，結(jié)束一連串的維護(hù)作業(yè)。
所以，根據(jù)本實(shí)施方式的液滴噴出系統(tǒng)1，有以下所示的效果。
(1)無論處于待機(jī)位置和維護(hù)位置的哪一個(gè)上時(shí)，承載架在移動方向(Y軸方向)上，都將維護(hù)裝置44～47配置于承載架最大掃描范圍L內(nèi)，只要承載架18在掃描中進(jìn)行必需的移動范圍內(nèi)的移動，就可以進(jìn)行維護(hù)。其結(jié)果是，承載架18的最大移動允許范圍只要是比最大掃描范圍L稍顯寬裕的略長的程度的長度即可，不需要為了維護(hù)而將承載架18的軌道延長至能夠移動至超過了最大掃描范圍L(描繪動作范圍)的區(qū)域。這樣，就可以相對地使導(dǎo)軌71的長度比專利文獻(xiàn)1的液滴噴出裝置的導(dǎo)軌的長度更短。所以，即使搭載噴頭用相機(jī)48等附屬裝置等而使承載架18的重量增加，在導(dǎo)軌71上也難以產(chǎn)生彎曲，因而就很容易確保必需的液滴噴出位置精度。另外，由于可以縮短導(dǎo)軌71，因此可以在承載架移動方向上將液滴噴出裝置10的尺寸控制得較小。另外，由于在維護(hù)裝置44～47處于待機(jī)位置的狀態(tài)時(shí)被配置于吸附臺19的下方位置，維護(hù)裝置44～47在工作臺移動方向(X軸方向)上，位于工件最大掃描范圍內(nèi)，因此與專利文獻(xiàn)2、3的裝置構(gòu)成相比，可以在工作臺移動方向上將液滴噴出裝置10的尺寸控制得較小。根據(jù)以上的討論，由于與專利文獻(xiàn)1～4的哪一個(gè)裝置相比，都可以減小裝置尺寸，而且與專利文獻(xiàn)1的裝置相比，可以縮短導(dǎo)軌71，因此很容易確保必需的液滴噴出位置精度。
(2)由于維護(hù)裝置44～47僅利用升降就可以從待機(jī)位置向維護(hù)位置移動，因此移動機(jī)構(gòu)僅為升降裝置56、57即可，可以使移動機(jī)構(gòu)簡單化。
(實(shí)施方式2)所述實(shí)施方式1中，將維護(hù)裝置44～47沿著液滴噴頭15的軌道排成一列，而實(shí)施方式2是將維護(hù)裝置44～47沿工作臺移動方向排成2列的例子。而且，由于雖然維護(hù)單元的設(shè)置位置及構(gòu)成不同，但是對于液滴噴出裝置10的其他的構(gòu)成，與實(shí)施方式1相同，因此僅特別針對維護(hù)單元的構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖6(a)是實(shí)施方式2的液滴噴出裝置的俯視圖，圖6(b)相同，是前視圖。如圖6(b)所示，在液滴噴出裝置的基座30的上面，在承載架移動方向上夾持基臺55的兩側(cè)的位置上配設(shè)有第1維護(hù)單元61及第2維護(hù)單元62。第1維護(hù)單元61及第2維護(hù)單元62具有設(shè)于基座30的上面的作為升降機(jī)構(gòu)的升降裝置56、57、由升降裝置56、57的桿支撐的軌道63、64、成為使維護(hù)裝置44～47沿著軌道63、64沿工作臺移動方向移動的驅(qū)動源的線性馬達(dá)84、85。而且，由升降裝置56、57、軌道63、64、線性馬達(dá)84、85等構(gòu)成的移動機(jī)構(gòu)相當(dāng)于移動機(jī)構(gòu)。由軌道63、64、線性馬達(dá)84、85等構(gòu)成的向工作臺移動方向的移動機(jī)構(gòu)相當(dāng)于第1掃描方向移動機(jī)構(gòu)。另外，圖4的電控制方框圖中的維護(hù)驅(qū)動裝置77在本例的情況下，由對升降裝置(氣缸)56、57進(jìn)行驅(qū)動控制的電磁閥及線性馬達(dá)84、85構(gòu)成。當(dāng)然，也可以利用電動式直動促動器來實(shí)現(xiàn)升降裝置56、57。
在配置于基座30的上面中央的基臺55的上面配設(shè)有導(dǎo)軌50、51、線性馬達(dá)53，吸附臺19被支撐于可以沿著導(dǎo)軌50、51移動的可動臺52上。第1及第2維護(hù)單元61、62在升降裝置56、57下降后的待機(jī)狀態(tài)下被配置于吸附臺19的下方。另外，第1及第2維護(hù)單元61、62在承載架移動方向(同圖中的左右方向)上，位于承載架最大掃描范圍L(參照圖2)內(nèi)。另外，第1及第2維護(hù)單元61、62在工作臺移動方向上，位于作為在X軸方向上最長的基板的掃描時(shí)(描繪時(shí))的最大移動范圍的工件最大掃描范圍內(nèi)。
圖6(a)、(b)所示的狀態(tài)是第1及第2維護(hù)單元61、62處于待機(jī)位置的狀態(tài)。在具有1組維護(hù)裝置44、45的第1維護(hù)單元61處于待機(jī)位置的狀態(tài)下，加帽裝置44位于成為液滴噴頭15的軌道正下方的中繼位置，并且沖洗裝置45位于從中繼位置向工作臺移動方向偏離了給定距離的待機(jī)位置。另一方面，在具有1組維護(hù)裝置46、47的第2維護(hù)單元62處于待機(jī)位置的狀態(tài)下，擦拭裝置46位于成為液滴噴頭15的軌道正下方的中繼位置，并且液滴重量測定裝置47位于從中繼位置向工作臺移動方向偏離了給定距離的待機(jī)位置。維護(hù)裝置44～47當(dāng)中的處于中繼位置的維護(hù)裝置因升降裝置56、57被上升驅(qū)動，而被配置于能夠?qū)嵤┽槍σ旱螄婎^15的維護(hù)的維護(hù)位置。而且，各維護(hù)裝置44～47的排列順序并不限定于此。
在維護(hù)動作時(shí)，首先，搭載了基板32的吸附臺19退避至不與要上升到維護(hù)位置的維護(hù)單元61、62干涉的工作臺退避位置。然后，維護(hù)裝置44～47當(dāng)中的包括此時(shí)被用于維護(hù)的維護(hù)裝置的1組利用線性馬達(dá)84、85的驅(qū)動而從待機(jī)位置向工作臺移動方向移動，用于維護(hù)的1個(gè)維護(hù)裝置被配置于液滴噴頭15的軌道正下方的中繼位置。然后，因升降裝置56、57當(dāng)中的支撐用于維護(hù)的維護(hù)裝置的一側(cè)的升降裝置被驅(qū)動，該維護(hù)裝置從中繼位置上升至維護(hù)位置，實(shí)施液滴噴頭15的維護(hù)。
根據(jù)實(shí)施方式2，除了可以獲得液滴噴出裝置的尺寸的抑制及必需的液滴噴出位置精度的確保等與實(shí)施方式1相同的效果以外，還可以獲得以下的效果。
(1)由于通過將維護(hù)裝置44～47沿工作臺移動方向并排地排成2列，就可以在工作臺移動方向上確保較寬的維護(hù)裝置44～47的配設(shè)空間，因此就能夠?qū)S護(hù)裝置44～47賦予多樣化的功能。另外，由于各維護(hù)單元61、62被配置于導(dǎo)引吸附臺19的導(dǎo)軌50、51的外側(cè)，維護(hù)裝置44～47被沿工作臺移動方向并排地配置于液滴噴出裝置的靠近承載架移動方向外側(cè)的位置上，因此維護(hù)裝置44～47的維修變得更為容易。
(實(shí)施方式3)實(shí)施方式1及實(shí)施方式2中，將各維護(hù)裝置44～47配置于承載架18的最大掃描范圍內(nèi)，而實(shí)施方式3是僅在維護(hù)位置上將維護(hù)裝置配置于承載架最大掃描范圍內(nèi)的例子。
圖7(a)是實(shí)施方式3的液滴噴出裝置的俯視圖，圖7(b)相同，是前視圖。
如圖7(b)所示，在液滴噴出裝置10的承載架移動方向一端側(cè)的位置上設(shè)有維護(hù)單元70。維護(hù)單元70被支撐于被與基座30的承載架移動方向一端側(cè)相鄰地配置的維護(hù)用基座65上。維護(hù)單元70具備設(shè)于維護(hù)用基座65上的導(dǎo)軌69、被導(dǎo)軌69導(dǎo)引而可以沿與承載架移動方向平行的方向移動的臺架76、構(gòu)成使臺架76行進(jìn)的驅(qū)動源的馬達(dá)75、被沿著承載架移動方向在臺架76上排成～列的維護(hù)裝置44～47。馬達(dá)75的動力例如被借助包括滾珠絲杠或驅(qū)動皮帶等的動力傳遞機(jī)構(gòu)(未圖示)而向臺架76傳遞，以該被傳遞的動力作為推力，臺架76沿著導(dǎo)軌69移動。而且，圖4的電控制方框圖中的維護(hù)驅(qū)動裝置77在本例的情況下，由馬達(dá)75構(gòu)成。另外，由導(dǎo)軌69、臺架76及馬達(dá)75等構(gòu)成的移動機(jī)構(gòu)相當(dāng)于移動機(jī)構(gòu)及第2掃描方向移動機(jī)構(gòu)。
臺架76在向與導(dǎo)軌69大致重合的位置退避的待機(jī)位置、如圖7(a)、(b)所示地從待機(jī)位置向吸附臺19側(cè)移動的動作位置之間往復(fù)移動。當(dāng)臺架76處于待機(jī)位置時(shí)，維護(hù)裝置44～47被配置于待機(jī)位置，當(dāng)臺架76處于動作位置時(shí)，維護(hù)裝置44～47被配置于圖7所示的維護(hù)位置。在配置于待機(jī)位置的狀態(tài)下，維護(hù)裝置44～47位于液滴噴頭15的軌道的延長線上外側(cè)。在配置于維護(hù)位置的狀態(tài)下，維護(hù)裝置44～47位于承載架最大掃描范圍L內(nèi)。另外，在工作臺移動方向(圖7(a)的上下方向)上，維護(hù)單元70位于工件最大掃描范圍內(nèi)。而且，構(gòu)成維護(hù)單元70的各維護(hù)裝置44～47的排列順序不限于圖中所示的排列順序，可以適當(dāng)?shù)刈兏?br> 在維護(hù)動作時(shí)，首先，搭載了基板32的吸附臺19退避至不與維護(hù)裝置44～47干涉的工作臺退避位置。然后，利用馬達(dá)75的驅(qū)動，維護(hù)裝置44～47向承載架最大掃描范圍L(參照圖2)內(nèi)的維護(hù)位置移動。與該維護(hù)裝置44～47的向維護(hù)位置的移動大致同步，承載架18沿著導(dǎo)軌71移動，液滴噴頭15移動至與維護(hù)裝置44～47當(dāng)中的此時(shí)用于維護(hù)的維護(hù)裝置到達(dá)維護(hù)位置時(shí)的位置對應(yīng)的給定的位置。此后，用于維護(hù)的維護(hù)裝置實(shí)施液滴噴頭15的維護(hù)。在結(jié)束了維護(hù)后，維護(hù)裝置以相反的移動路徑復(fù)位到待機(jī)位置。
根據(jù)該實(shí)施方式3，由于在配置于維護(hù)位置的狀態(tài)下，維護(hù)裝置44～47位于承載架最大掃描范圍L內(nèi)，因此可以縮短導(dǎo)軌71。由此，盡管施加有承載架18的重量，但是導(dǎo)軌71也難以彎曲，從而容易確保必需的液滴噴出位置精度。另外，由于維護(hù)單元70位于靠近液滴噴出裝置10的外側(cè)的位置，因此維護(hù)裝置44～47的維修變得更為容易。另外，雖然配置于待機(jī)位置的維護(hù)單元70向基座30的外側(cè)突出，但是由于該突出部分的工作臺移動方向上的寬度與導(dǎo)軌71的寬度程度相比較窄，因此實(shí)質(zhì)上可以在承載架移動方向上將液滴噴出裝置設(shè)為寬度窄小型的裝置。另外，在工作臺移動方向上，由于維護(hù)單元70位于工件最大掃描范圍內(nèi)，因此在工作臺移動方向上也可以將液滴噴出裝置的尺寸控制得較小。
(實(shí)施方式4)實(shí)施方式4是實(shí)施方式3的變形例，配置于基座的側(cè)方的多個(gè)維護(hù)裝置被沿工作臺移動方向排成一列，在這一點(diǎn)上與所述實(shí)施方式3不同。
圖8(a)是實(shí)施方式4的液滴噴出裝置的俯視圖，圖8(b)相同，為前視圖。
在圖8(b)所示的液滴噴出裝置10的承載架移動方向一端側(cè)的位置上，與基座30相鄰地設(shè)有維護(hù)用基座65，在維護(hù)用基座65上設(shè)有維護(hù)單元70。該維護(hù)單元70的構(gòu)成與實(shí)施方式3的構(gòu)成不同。維護(hù)單元70具有能夠?qū)⒍鄠€(gè)維護(hù)裝置44～47沿工作臺移動方向和承載架移動方向移動的上下兩段的滑動機(jī)構(gòu)，在該滑動機(jī)構(gòu)上配設(shè)有多個(gè)維護(hù)裝置44～47。下段滑動機(jī)構(gòu)具備設(shè)于維護(hù)用基座65上的導(dǎo)軌63、由導(dǎo)軌63導(dǎo)引而可以沿與工作臺移動方向平行的方向移動的臺架86、構(gòu)成使臺架86行進(jìn)的驅(qū)動源的馬達(dá)75。另外，上段滑動機(jī)構(gòu)具備固定于臺架86上的導(dǎo)軌64、由導(dǎo)軌64導(dǎo)引而可以沿與承載架移動方向平行的方向移動的4列臺架76、構(gòu)成使4列臺架76獨(dú)立地行進(jìn)的驅(qū)動源的4個(gè)氣缸78。維護(hù)裝置44～47被逐個(gè)地設(shè)于構(gòu)成上段滑動機(jī)構(gòu)的各臺架76上，沿著工作臺移動方向排成1列。而且，圖4的電控制方框圖中的維護(hù)驅(qū)動裝置77在本例的情況下，由馬達(dá)75、控制用于驅(qū)動氣缸78的壓縮空氣的供氣·排氣的電磁閥構(gòu)成。另外，構(gòu)成維護(hù)單元70的上下兩段滑動機(jī)構(gòu)相當(dāng)于移動機(jī)構(gòu)。另外，包括馬達(dá)75的下段滑動機(jī)構(gòu)構(gòu)成第1掃描方向移動機(jī)構(gòu)，包括氣缸78的上段滑動機(jī)構(gòu)構(gòu)成第1掃描方向移動機(jī)構(gòu)。
通過驅(qū)動下段滑動機(jī)構(gòu)的馬達(dá)75，4個(gè)維護(hù)裝置44～47沿工作臺移動方向移動，其中的用于維護(hù)的1個(gè)維護(hù)裝置被配置于液滴噴頭15的軌道延長線上的中繼位置。然后，通過驅(qū)動下段滑動機(jī)構(gòu)的氣缸78，配置于中繼位置的維護(hù)裝置在承載架移動方向上向吸附臺19側(cè)延伸出來地移動，被配置于承載架最大掃描范圍L(參照圖2)內(nèi)的維護(hù)位置。圖8的例子中，沖洗裝置45被配置于維護(hù)位置。本例中，將全部的維護(hù)裝置44～47在承載架移動方向上向基座30的外側(cè)退避，并且加帽裝置44被配置于中繼位置的狀態(tài)作為維護(hù)單元70的待機(jī)位置。當(dāng)維護(hù)單元70處于待機(jī)位置時(shí)，各維護(hù)裝置44～47所占的位置成為各自的待機(jī)位置。而且，構(gòu)成維護(hù)單元70的各維護(hù)裝置44～47的排列順序不限定于圖中所示的排列順序，可以適當(dāng)?shù)刈兏?br> 在維護(hù)動作時(shí)，因吸附臺19退避至工作臺退避位置，并且維護(hù)單元70的上下滑動機(jī)構(gòu)的馬達(dá)75等被驅(qū)動，用于維護(hù)的維護(hù)裝置經(jīng)由中繼位置而被配置于維護(hù)位置。在其前后，承載架18移動，將液滴噴頭15配置于與維護(hù)位置的維護(hù)裝置對應(yīng)的位置。此后，結(jié)束了維護(hù)的維護(hù)裝置以相反的移動路徑復(fù)位到待機(jī)位置。
根據(jù)該實(shí)施方式4，由于是將維護(hù)裝置44～47在工作臺移動方向上排成1列，使維護(hù)裝置44～47逐個(gè)地沿承載架移動方向朝向維護(hù)位置移動的構(gòu)成，因此與實(shí)施方式3的構(gòu)成相比，可以縮短承載架移動方向的移動行程。這樣，與實(shí)施方式3的構(gòu)成相比，可以縮短維護(hù)單元70的承載架移動方向的突出量，可以使承載架移動方向上的裝置尺寸比實(shí)施方式3的液滴噴出裝置更小。
(變形例1)雖然例示了將維護(hù)單元的待機(jī)位置配置于吸附臺的下側(cè)和側(cè)方的例子，但是并不限定于此。也可以將維護(hù)單元的待機(jī)位置配置于吸附臺19的上方。形成如下的構(gòu)成，即，從基座30的上面橫跨吸附臺地在上方設(shè)置門形的支撐部，在該支撐部上配置可以向下方伸長桿的升降裝置(升降手段)，使升降裝置的桿支撐能夠在工作臺移動方向上向液滴噴頭15側(cè)移動的滑動機(jī)構(gòu)，并且在滑動機(jī)構(gòu)的臺架上配置了維護(hù)裝置44～47。在維護(hù)動作時(shí)，當(dāng)吸附臺19退避后，維護(hù)裝置44～47從待機(jī)位置向中繼位置下降，從中繼位置向工作臺移動方向移動而被配置于維護(hù)位置。根據(jù)該構(gòu)成，雖然增加了門形的支撐部那樣的構(gòu)造物，但是可以獲得如下等與實(shí)施方式2相同的效果，即，與實(shí)施方式3及4相比，可以縮小液滴噴出裝置10的底面面積，從而可以實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。
(變形例2)維護(hù)單元的移動機(jī)構(gòu)也可以是旋轉(zhuǎn)運(yùn)動和直線運(yùn)動的組合。雖然在實(shí)施方式4中，作為維護(hù)單元70的移動機(jī)構(gòu)，將工作臺移動方向的下段滑動機(jī)構(gòu)和承載架移動方向的上段移動機(jī)構(gòu)組合，然而也可以是旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和滑動機(jī)構(gòu)的組合。在維護(hù)用基座65上配置旋轉(zhuǎn)臺，在其上配置多個(gè)沿徑向伸縮的滑動機(jī)構(gòu)。在各滑動機(jī)構(gòu)之上配置各維護(hù)裝置44～47。
(變形例3)當(dāng)排列多個(gè)維護(hù)單元時(shí)，并不限定于僅沿承載架18的移動方向排列的構(gòu)成(實(shí)施方式1、實(shí)施方式3)或僅沿工作臺的移動方向排列的構(gòu)成(實(shí)施方式2、實(shí)施方式4)。也可以是在承載架的移動方向和工作臺的移動方向上排列的組合。例如將加帽裝置44和沖洗裝置45沿承載架移動方向排列，將擦拭裝置46和電子天平47沿工作臺移動方向排列。該構(gòu)成中，根據(jù)維護(hù)裝置44～47的大小，進(jìn)行最佳的配置，就可以使裝置的構(gòu)造簡單化。
(變形例4)在實(shí)施方式1中，雖然維護(hù)單元被分為2組而實(shí)施，但是也可以在由裝置的桿支撐的一個(gè)可動板上配置全部的維護(hù)裝置44～47，將維護(hù)單元設(shè)為1個(gè)。例如使線性馬達(dá)53靠近一方的導(dǎo)軌51側(cè)，將維護(hù)單元配置于線性馬達(dá)53和另一方的導(dǎo)軌50之間。該構(gòu)成中，由于不需要獨(dú)立地控制2個(gè)維護(hù)單元，因此控制變得簡單化，而且還可以將升降裝置減少為1個(gè)，在減少為1個(gè)的情況下，可以將維護(hù)裝置44～47的移動機(jī)構(gòu)設(shè)為簡單的構(gòu)成。另外，也可以將各維護(hù)裝置44～47全都配設(shè)于1個(gè)可動板上，作為一個(gè)維護(hù)單元來構(gòu)成。另外，為了能夠使各維護(hù)裝置44～47各自升降，也可以采用配設(shè)了4個(gè)維護(hù)單元的構(gòu)成。
(變形例5)加帽裝置44和沖洗裝置45也可以替換為兼具兩個(gè)功能的一個(gè)維護(hù)裝置。該維護(hù)裝置具有能夠與液滴噴頭15密接的箱型容器，在箱型容器上具備將沖洗時(shí)接受的液體排出的排出管。通過使箱型容器與液滴噴頭15密接，就會作為加帽裝置發(fā)揮作用，通過在使箱型容器與液滴噴頭15密接的狀態(tài)下噴出液滴，就會作為沖洗裝置發(fā)揮作用。該構(gòu)成中，由于減少了一個(gè)維護(hù)裝置，因此可以使維護(hù)單元的構(gòu)成簡單化并且小型化。
(變形例6)所述實(shí)施方式1及2中，雖然使多個(gè)維護(hù)裝置44～47的全部都位于承載架最大掃描范圍L內(nèi)，但是并不限定于此。例如在實(shí)施方式1中，也可以采用如下的構(gòu)成，即，對于4個(gè)維護(hù)裝置44～47當(dāng)中的承載架移動方向兩端的2個(gè)，僅一部分位于承載架最大掃描范圍內(nèi)。另外，在實(shí)施方式2中，也可以是如下的構(gòu)成，即，4個(gè)維護(hù)裝置44～47僅一部分位于承載架最大掃描范圍L內(nèi)?？偠灾?，只要在承載架最大掃描范圍L內(nèi)，液滴噴頭15能夠接受維護(hù)裝置44～47的維護(hù)，即使僅維護(hù)裝置的一部分位于承載架最大掃描范圍內(nèi)也可以。另外，在具備多個(gè)維護(hù)裝置的液滴噴出裝置中，也可以是有1個(gè)位于承載架最大掃描范圍內(nèi)的維護(hù)裝置的構(gòu)成。該情況下，由于是1個(gè)維護(hù)裝置，因而也可以縮短導(dǎo)軌71。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，其特征是，具備使工件沿第1掃描方向移動的工作臺、搭載向所述工件噴出液滴的液滴噴頭并且將該液滴噴頭沿著導(dǎo)引構(gòu)件在第2掃描方向上移動的承載架、用于所述液滴噴頭的包括清潔在內(nèi)的維護(hù)的一個(gè)以上的維護(hù)裝置、使所述維護(hù)裝置向與掃描中的所述工作臺不干涉的待機(jī)位置和進(jìn)行所述液滴噴頭的維護(hù)的維護(hù)位置移動的移動機(jī)構(gòu)，所述維護(hù)裝置，在被配置于所述待機(jī)位置時(shí)，至少一部分位于在所述第1掃描方向上作為所述工作臺上的工件的掃描時(shí)的移動范圍能夠取得最大量的工件最大掃描范圍內(nèi)，在被配置于所述維護(hù)位置時(shí)，至少一部分位于在所述第2掃描方向上作為所述承載架的掃描時(shí)的移動范圍能夠取得最大量的承載架最大掃描范圍內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征是，在開始維護(hù)動作時(shí)，所述工作臺退避至不與所述維護(hù)裝置干涉的工作臺退避位置，所述維護(hù)裝置利用所述移動機(jī)構(gòu)從所述待機(jī)位置移動到所述維護(hù)位置，在維護(hù)動作結(jié)束后，所述維護(hù)裝置利用所述移動機(jī)構(gòu)從所述維護(hù)位置退避至所述待機(jī)位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出裝置，其特征是，所述維護(hù)裝置將處于所述液滴噴頭的軌道正下方的所述工作臺的下方位置配置為所述待機(jī)位置，所述移動機(jī)構(gòu)是使所述維護(hù)裝置在所述待機(jī)位置和所述維護(hù)位置之間升降的升降機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液滴噴出裝置，其特征是，設(shè)有多個(gè)所述維護(hù)裝置，所述多個(gè)維護(hù)裝置在所述液滴噴頭的軌道正下方被沿著所述承載架的移動方向排成一列。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出裝置，其特征是，設(shè)有多個(gè)所述維護(hù)裝置，所述多個(gè)維護(hù)裝置在與所述工作臺的掃描方向大致相同的方向上并排地至少排成一列，并且將所述工作臺的下方位置作為所述待機(jī)位置，所述移動機(jī)構(gòu)具備將所述多個(gè)維護(hù)裝置當(dāng)中的至少在此時(shí)被用于維護(hù)的維護(hù)裝置在所述待機(jī)位置和所述液滴噴頭的軌道正下方的中繼位置之間沿與所述工作臺的掃描方向大致平行的方向移動的第1掃描方向移動機(jī)構(gòu)、和在所述中繼位置和所述維護(hù)位置之間升降所述維護(hù)裝置的升降機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出裝置，其特征是，所述維護(hù)裝置將所述液滴噴頭相對于所述工作臺的軌道延長線上的外側(cè)的位置配置為所述待機(jī)位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液滴噴出裝置，其特征是，設(shè)有多個(gè)所述維護(hù)裝置，所述多個(gè)維護(hù)裝置被沿著所述承載架的掃描方向排成一列，所述移動機(jī)構(gòu)具備使所述維護(hù)裝置在所述待機(jī)位置和所述維護(hù)位置之間沿所述第2掃描方向移動的第2掃描方向移動機(jī)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液滴噴出裝置，其特征是，設(shè)有多個(gè)所述維護(hù)裝置，在所述待機(jī)位置上所述多個(gè)維護(hù)裝置中的一個(gè)位于所述液滴噴頭的軌道延長線上并且所述多個(gè)維護(hù)裝置沿所述工作臺的掃描方向排成一列，所述移動機(jī)構(gòu)具備使所述多個(gè)維護(hù)裝置當(dāng)中的用于維護(hù)的維護(hù)裝置在所述待機(jī)位置和所述液滴噴頭的軌道延長線上的中繼位置之間沿所述第1掃描方向移動的第1掃描方向移動機(jī)構(gòu)、和使所述維護(hù)裝置在所述中繼位置和所述維護(hù)位置之間沿所述第2掃描方向移動的第2掃描方向移動機(jī)構(gòu)。
9.一種液滴噴出裝置，其特征是，具備使工件沿第1掃描方向移動的工作臺、搭載向所述工件噴出液滴的液滴噴頭并且將該液滴噴頭沿著導(dǎo)引構(gòu)件在第2掃描方向上移動的承載架、用于所述液滴噴頭的包括清潔在內(nèi)的維護(hù)的一個(gè)以上的維護(hù)裝置、使所述維護(hù)裝置向與所述工作臺不干涉的待機(jī)位置和進(jìn)行所述液滴噴頭的維護(hù)的維護(hù)位置移動的移動機(jī)構(gòu)，所述維護(hù)裝置在所述待機(jī)位置上被配置于與掃描中的所述工作臺不干涉的所述工作臺的下方位置，所述移動機(jī)構(gòu)具有升降機(jī)構(gòu)，該升降機(jī)構(gòu)在所述待機(jī)位置和所述維護(hù)位置之間移動所述維護(hù)裝置的過程中使所述維護(hù)裝置在所述待機(jī)位置的高度和所述維護(hù)位置的高度之間升降。
10.根據(jù)權(quán)利要求1～9中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征是，在利用所述維護(hù)裝置開始進(jìn)行維護(hù)之前，移動所述承載架而將所述液滴噴頭配置于與所述維護(hù)裝置的所述維護(hù)位置對應(yīng)的給定的位置上。
11.根據(jù)權(quán)利要求1～10中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征是，作為所述維護(hù)裝置，具備用于所述液滴噴頭的清潔的加帽裝置、擦拭裝置、沖洗裝置當(dāng)中的至少一個(gè)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1～11中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征是，作為所述維護(hù)裝置，具備測定從所述液滴噴頭中噴出的功能液的重量的重量測定裝置。
13.一種液滴噴頭的維護(hù)方法，是權(quán)利要求1～12中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置的液滴噴頭的維護(hù)方法，其特征是，具備使工作臺向與維護(hù)裝置不干涉的工作臺退避位置移動的工序；使所述維護(hù)裝置從待機(jī)位置向維護(hù)位置移動的工序；移動所述承載架而將所述液滴噴頭配置于與維護(hù)位置上的所述維護(hù)裝置對應(yīng)的位置上的工序；使所述維護(hù)位置上的所述維護(hù)裝置維護(hù)所述液滴噴頭的工序。
全文摘要
本發(fā)明提供可以在盡可能地將液滴噴出裝置的尺寸控制得較小的同時(shí)配置維護(hù)裝置，并且可以確保必需的液滴噴出位置精度的液滴噴出裝置及液滴噴頭的維護(hù)方法。維護(hù)單元(61、62)被配置于吸附臺(19)的下方位置(待機(jī)位置)。在維護(hù)動作時(shí)，吸附臺(19)向不與維護(hù)單元(61、62)干涉的位置退避，維護(hù)單元(61、62)的一方上升驅(qū)動，維護(hù)裝置(44、47)或(45、46)被配置于維護(hù)位置。與其大致同步，承載架(18)移動，液滴噴頭(15)被配置于與維護(hù)裝置對應(yīng)的給定的位置，實(shí)施液滴噴頭(15)的維護(hù)(加帽或清潔)。維護(hù)裝置(44～47)在承載架移動方向(Y軸方向)上，位于在基板(32)上描繪的掃描時(shí)的承載架(18)所能夠取得的最大移動范圍(L)內(nèi)。
文檔編號B41J25/00GK1820951SQ200610006489
公開日2006年8月23日 申請日期2006年2月6日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月14日
發(fā)明者手塚睦人 申請人:精工愛普生株式會社