專利名稱：液體噴頭的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種通過由于壓電振動器變形使壓力腔中的液體壓力產生波動而從噴嘴口噴射液滴的液體噴頭。
背景技術：
通過使壓力腔中的液體壓力產生波動而從噴嘴口噴射液滴的液體噴頭包括例如記錄頭，液晶噴頭，顏料噴頭等。紀錄頭安裝在圖形記錄裝置如打印機或繪圖儀中來將墨水以墨滴形式噴射。液晶噴頭用于顯示器制造裝置可制造液晶顯示器。在顯示器制造裝置中，從液晶噴頭中噴射出的液晶被注入到具有很多柵格的顯示基片的一個預定柵格中。顏料噴頭用于濾光器制造裝置用來制造濾色器，可將顏料噴射在濾光板的表面上。
現有不同類型的液體噴頭，其中的一種是通過形成在振動板表面上的壓電振動器的彎曲和變形來噴射液滴的液體噴頭。這種液體噴頭，舉例來說，由一個包含多個壓力腔和多個壓電振動器的致動器單元和一個包含多個噴嘴口和一個公共儲液室的流體通道單元組成。在此液體噴頭中，在振動板上的壓電振動器發(fā)生變形，由此相應壓力腔的體積發(fā)生變化以引起儲存在壓力腔中液體發(fā)生壓力波動。通過壓力波動，液滴將從相應的噴嘴口中噴出。舉例來說，壓力腔被壓縮，由此液體受壓將液體從噴嘴口中擠出。
在這樣的液體噴頭中，舉例來說，如圖11所示，驅動信號通過分立端點51提供到致動器單元52的每個壓電振動器53。如圖12所示，驅動信號利用膜狀線路板54如FCP(柔性印刷電路)或TCP(帶載封裝，tapecarrier package)提供。線路板54形成有聚酰亞胺等基膜表面上的導體圖案，而除了接觸端點55，導體圖案上覆有保護層59(見圖14)。由于這些分立端點51形成行狀排列，因此接觸端點55也形成行狀排列。由于液體噴頭具有多個并排排列的致動器單元52，線路板54必須覆蓋在致動器單元52上。
每個采取彎曲振動模式的壓電振動器具有夾在公共電極和分立電極之間的壓電體層；舉例來說，分立電極在其長度方向上向振動器的一側延伸以電連接到分立端點51，而分支公共電極在其長度方向上向振動器的相對另一側延伸以電連接到近極公共電極56。由于近極公共電極56被放置在與接觸端點51相對的另一側而中間存在壓電體層，所以每個在振動器行末端的壓電振動器被作為假振動器(dummy vibrator)使用，而近極公共電極56和分立端點51通過放在假振動器表面的連接電極57進行電連接。每個分支公共電極都通過分立端點51調節(jié)到相同的電勢。舉例來說，將一根GND線電連接到分立端點51，從而將每個分支公共電極調節(jié)到地電勢。
舉例來說，利用兩或三個(在圖11中為兩個)振動器行末端的壓電振動器(假振動器)53可形成連接電極57。由于參與噴射液滴的壓電振動器(驅動振動器)53的數量很大(舉例來說，70個)，所以連極電極需要做得較厚以保證強電流能沒有阻礙地流過。因此，為了形成連接電極，利用了印刷技術(printing)，而厚度為10到20μm糊狀電極材料通過掩模被應用。
對于形成在假電極(dummy electrode)表面的連接電極57，在邊緣部分容易出現朝上的芒刺狀部分，這是一個難題?？赡艿脑蚴钱斒┘与姌O材料涂層后而將掩模提起取走時，邊緣部分的電極材料也會隨著掩模取走面向上翹起。
如圖12和圖13所示，連接電極57和在線路板上的導體圖案58相交叉。所以，隨著連接電極57的芒刺狀部分焙燒變硬后，當安裝線路板54時，需要擔心的是芒刺狀部分將刺入保護層59，例如如圖14所示。在這種情況下，連接電極57的延伸方向與導體圖案58的延伸方向相交叉，因此如果芒刺狀部分深深地刺入保護層59，那么需要擔心導體圖案58將發(fā)生短路或斷路。

發(fā)明內容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種液體噴頭，用于防止在連接電極中出現芒刺狀部分以避免導體圖案短路或斷路。
為了實現上述目的，根據本發(fā)明，提供了一種液體噴頭，包括振動板，形成了各壓力腔的一部分，所述壓力腔與噴嘴口連通，液滴從所述噴嘴口噴射；多個壓電振動器，包括疊放在所述的振動板上的驅動振動器和假振動器，使得至少所述的驅動振動器與各所述的壓力腔相對，所述驅動振動器包括驅動電極；第一壓電層，層疊在所述的驅動電極上；以及第一公共電極，層疊在所述的第一壓電層上，所述的假振動器包括連接電極，電連接到所述的第一公共電極；第二壓電層，層疊在所述的連接電極上；以及第二公共電極，層疊在所述的第二壓電層上，且電連接到所述的第一公共電極；第一端點，電連接到所述驅動電極以向其提供驅動信號；以及第二端點，電連接到所述的連接電極以向其提供公共信號。
最好，驅動振動器還包括第三公共電極，形成在振動板上并電連接到第一公共電極；以及第三壓電層，放置在第三公共電極和驅動電極之間。假振動器還包括第四公共電極，形成在振動板上并電連接到第二公共電極；以及第四壓電層，放置在第四公共電極和連接電極之間。
在這樣的結構中，由于假振動器有延伸穿過壓電層下側面的連接電極，可以防止芒刺狀部分的出現。相應地，可以有效地防止線路板導體圖案的短路和斷路。


通過依據附圖具體地描述優(yōu)選實施例，上述目的和本發(fā)明的優(yōu)點將更加清楚，其中圖1示出的是根據本發(fā)明一個實施例的記錄頭的結構的分解透視圖；圖2示出的是記錄頭中的致動器單元和流體通道單元的截面圖；圖3示出的是記錄頭中的噴嘴板的局部放大圖；圖4是從壓電振動器側面觀察致動器單元的透視圖；圖5和圖6是示出壓電振動器結構的截面圖；圖7是圖6中A部分的放大圖；圖8是圖6中B部分的放大圖；圖9示出的是記錄頭中假振動器一端的結構的視圖；圖10示出的是假振動器另一端結構的視圖；圖11是示出相關技術的致動器單元的透視圖；圖12是示出線路板安裝在相關技術的致動器單元上的平面圖；圖13是圖12中C部分的放大圖；以及圖14是解釋出現在相關技術的致動器單元中的問題的截面圖。
具體實施例方式
現參照附圖，將描述本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例。在下面的描述中，對于液體噴頭，如圖1所示，安裝在圖像記錄裝置如打印機或繪圖儀中的記錄頭1將作為實例。紀錄頭1大致由一個流體通道單元2，若干致動器單元3，和一個片狀線路板4組成。致動器單元3并排地接合在流體通道單元2的表面上，而線路板4安裝在致動器單元3的與流體通道單元2相對的另一表面上。
舉例來說，如圖7所示，線路板4由基膜4A及在其表面上的導體圖案4B和留出的接觸端點20構成，在導體圖案4B上覆有保護層4C，而接觸端點20和分立端點19(在后面描述)焊接以安裝線路板4。
如圖2(截面圖)所示，流體通道單元2由供墨端口形成基片7、墨室形成基片9和噴嘴板11組成。供墨端口形成基片7形成有作為供墨端口5一部分和各噴嘴連通端口6一部分的若干通孔，墨室形成基片9形成有作為公共儲墨室8和各噴嘴連通端口6一部分的若干通孔，噴嘴板11具有若干沿副掃描方向排列的噴嘴口10，而供墨端口形成基片7、墨室形成基片9和噴嘴板11，舉例來說，由不銹鋼板材壓制而成。
圖2示出了對應于一個致動器單元3的流體通道單元2的一部分。在所述實施例中，三個致動器單元3被接合到一個流體通道單元2，因此總共三套的供墨端口5，噴嘴連通端口6，供墨端口形成基片7，公共儲墨室8等與三個致動器單元形成一一對應。
為了生產流體通道單元2，噴嘴板11被放置在墨室形成基片9的一個表面(圖中的下側面)，而供墨端口形成基片7被放置在墨室形成基片9的相對的另一表面(圖中的上側面)，并將供墨端口形成基片7，墨室形成基片9和噴嘴板11，舉例來說，用片狀的膠粘劑接合起來。
如圖3所示，噴嘴口10被制成類似于有預定間距的行。被制成類似于行的噴嘴口10組成了各噴嘴行12。舉例來說，92個噴嘴口10組成了一個噴嘴行12。一個致動器單元3對應兩個噴嘴行12。所以，一個流體通道單元2上并排地形成有總共6個噴嘴行12。
致動器單元3也被稱為主芯片(head chip)，是一種壓電致動器。如圖2所示，此致動器單元3由壓力腔形成基片14，振動板15，蓋板(lid member)17和壓電振動器18組成。壓力腔形成基片14形成有若干作為壓力腔13的通孔，振動板15用于限定各壓力腔13的一部分，蓋板17形成有若干作為供墨連通端口16和各噴嘴連通端口6一部分的通孔。對于這些部件的板厚度，最好每個壓力腔形成基片14和蓋板17為50μm或更厚，更優(yōu)的為100μm或更厚。最好，振動板15為50μm或更薄，更優(yōu)的約為3到12μm。
為了生產致動器單元3，蓋板17被置于壓力腔形成基片14的一個表面上，而振動板15被置于另一相對的表面上，且這些部件形成一個整片。就是說，壓力腔形成基片14，振動板15和蓋板17由氧化鋁和氧化鋯等陶瓷制成，并焙燒成一個整片。
舉例來說，在生片(未焙燒的片狀部件)上進行切割，沖孔等工作來形成所需的通孔等，以分別形成壓力腔形成基片14，振動板15和蓋板17的片狀前驅體。將這些片狀前驅體相互疊放并進行焙燒，由此它們被做成一整片，以形成一個陶瓷片。在此情況下，這些片狀前驅體被焙燒成一片，因而不需要特殊的粘接處理。這些片狀前驅體的接合面也具有優(yōu)異的密封性能。
一個陶瓷片上形成有多個單元的壓力腔13，噴嘴連通端口6等。換句話說，多個致動器單元(主芯片)3可由一個陶瓷片制得。舉例來說，多個芯片區(qū)在一個陶瓷片中排列成矩陣，每個芯片區(qū)形成一個致動器單元3。壓電振動器18中的所需部件等都形成在各芯片區(qū)中，然后按各芯片區(qū)對片狀部件(陶瓷片)進行切割，由此可得到多個致動器單元3。
每個壓力腔13都是沿垂直于噴嘴行12方向拉長的空腔，與噴嘴口10形成一一對應。就是說，如圖3所示，這些壓力腔13沿噴嘴行方向排列成行。每個壓力腔13在一端通過供墨連通端口16和供墨端口5與公共儲墨室8連通。壓力腔13在與供墨連通端口16相對的另一端通過噴嘴連通端口6與對應的噴嘴口10連通。另外，壓力腔13的一部分(下表面)是由振動板15限定的。
每個壓電振動器18都是采用彎曲振動模式的壓電振動器18，與壓力腔13一一對應地形成在與壓力腔13相對的振動板表面上。壓電振動器18為沿壓力腔長度方向拉長的塊狀體。它的寬度與壓力腔13的寬度大致相等，而長度比壓力腔13的長度稍長。另外，壓電振動器18的放置使得其兩個端部都在長度方向超出了壓力腔13的端部。
如圖4所示，壓電振動器18和壓力腔13一一對應，處在與壓力腔13相對的振動板表面上。就是說，壓電振動器18是按噴嘴行方向進行排列的。在每個振動器行末端的壓電振動器18是不參與噴射墨滴的假振動器18a(即，因為沒有提供驅動信號而不產生變形)。除了假振動器18a以外的壓電振動器18作為參與噴射墨滴的驅動振動器18b(即，當提供驅動信號時發(fā)生變形)。
分立端點19沿其長度方向形成在壓電振動器18(驅動振動器18a和假振動器18b)的一個側面，與壓電振動器18形成一一對應。前述線路板4中的接觸端點20(見圖7)電連接到分立端點19。作為公共電極一部分的線狀近極公共電極21在壓電振動器18的相對另一側面在其長度方向上沿噴嘴行的方向延伸。
如圖5所示，在此實施例中壓電振動器18(驅動振動器18b)具有多層結構，包括一個壓電層22，一個分支公共電極23，一個驅動電極(分立電極)24等，壓電層22被夾在驅動電極24和分支公共電極23之間。驅動信號的提供源(沒有示出)通過分立電極19被電連接到驅動電極24，而舉例來說，通過近極公共電極21等將分支公共電極23調節(jié)至接地。當把驅動信號提供給驅動電極24時，在驅動電極24和分支公共電極23之間將產生一個其強度對電勢差敏感的電場。給壓電層22施加了電場后，壓電層22將響應于所施加電場的強度發(fā)生變形。
就是說，驅動電極24的電勢越高，壓電層22在垂直于電場強度方向上的收縮越大，使振動板15變形以減小壓力腔13的體積。另一方面，驅動電極24的電勢越低，壓電層22在垂直于電場強度方向上的擴張越大，使振動板15變形以增大壓力腔13的體積。
致動器單元3和流體通道單元2相互接合到一起。舉例來說，將片狀膠粘劑置于供墨端口形成基片7和蓋板17之間，在這種狀態(tài)下，將致動器單元3壓向流體通道單元2，由此致動器單元3和流體通道單元2被接合。
在所描述的記錄頭1中，每個墨水流體通道從公共儲墨室8開始，經過供墨端口5、供墨連通端口16、壓力腔13和噴嘴連通端口6到達噴嘴口10，并和噴嘴口10形成一一對應。在運行的時候，墨水流體通道中灌滿墨水。隨著壓電振動器18發(fā)生變形，相應的壓力腔13發(fā)生收縮或擴張，壓力腔13中墨水壓力發(fā)生波動。由于墨水壓力受到控制，墨滴就可以從噴嘴口10中噴出。舉例來說，如果壓力腔13的靜態(tài)體積發(fā)生一次擴張，然后迅速地收縮，當壓力腔13膨脹時壓力腔13中充滿了墨水，然后因為隨后壓力腔13的迅速收縮使得壓力腔13中的墨水受壓而噴射出墨滴。另外，當墨滴從噴嘴口10中噴出后，新的墨水從公共儲墨室8供應到墨水流體通道中，所以墨滴可以進行連續(xù)地噴射。
為了進行高速紀錄，需要在短時間內噴射出大量的液滴。為了滿足這個要求，有必要來考慮作為壓力腔13一邊的界面的振動板15的柔量和壓電振動器18的變形量。需要考慮柔量和變形量的原因是因為隨著振動板15柔量的增大，對變形的可敏感度下降，在高頻下驅動變得困難，而隨著振動板15柔量的減小，振動板15變得難以變形而壓力腔13的收縮量減少，一滴墨滴的墨量減少。
在此實施例中，多層結構的各壓電振動器18被用來減小振動板15的柔量，使在前所未有的高頻下噴射出具有所需墨量的墨滴成為可能。分立端點19的末端部分被放在壓電振動器18上，以使致動器單元3在其寬度方向上小型化。另外，用來電連接近極公共電極21和分立電極19的連接電極被放置在各假電極18a中。這些將在下面進行討論首先，將討論驅動振動器18b的結構。如圖5所示，壓電層22形成沿壓力腔長度方向拉長的塊狀體，并由相互疊放的一個上壓電體(外壓電體)31和一個下壓電體(內壓電體)32組成。分支公共電極23由一個上公共電極(外公共電極)33和一個下公共電極(內公共電極)34組成。分支公共電極23和驅動電極24組成了一個電極層。
這里提及的術語“上(外)”或“下(內)”是用來指明以振動板15為參照物的位置關系。就是說，術語“上(外)”用來指明遠離振動板15的一側，而術語“下(內)”用來指明靠近振動板15的一側。
驅動電極24形成在上壓電體31和下壓電體32之間的界面上。下公共電極34和上公共電極33與近極公共電極21一起組成了公共電極。就是說，公共電極是梳狀的，以致形成了從近極公共電極21延伸出來的多個分支共電極23(下公共電極34和上公共電極33)。
下公共電極34形成在下壓電體32和振動板15之間，而上公共電極33形成在上壓電體31的與下公共電極32相對的另一側的表面上。那就是說，驅動振動器18b具有多層結構，其中下公共電極34，下壓電體32，驅動電極24，上壓電體31，和上公共電極33從振動板15一側開始依次疊放。
在此實施例中，壓電層22的厚度約為17μm(上壓電體31的厚度加下壓電體32的厚度)。包含分支公共電極23的壓電振動器18的總厚度約為20μm。具有單層結構的相關技術的壓電振動器的總厚度約為15μm。因此，隨著壓電振動器18厚度的增加，振動板15的柔量相應地減小。
上公共電極33和下公共電極34不管驅動信號如何都被調節(jié)至恒定電勢，舉例來說接地。驅動電極24的電勢隨著所提供的驅動信號發(fā)生變化。因此，當提供驅動信號后，在驅動電極24與上公共電極33之間，以及驅動電極24和下公共電極34之間將產生方向相反的電場。
對于形成電極的材料，可以選擇不同的金屬單質導體、合金、電絕緣陶瓷和金屬的混合物等，但要求在焙燒溫度下不發(fā)生退化缺陷等。在此實施例中，金用來制備上公共電極33而鉑用來制備下公共電極34和驅動電極24。
舉例來說，上壓電體31和下壓電體32都是由主要包含鈦酸鉛鋯(PZT)的壓電材料制成。上壓電體31和下壓電體32的極化方向相反。因此，當提供驅動信號時上壓電體31和下壓電體32擴張或收縮的方向是相同的，而可以使振動板不受阻礙地發(fā)生變形。就是說，當增高驅動電極24的電勢時，上壓電體31和下壓電體32使振動板15產生變形，以減小壓力腔13的體積；當降低驅動電極24的電勢時，上壓電體31和下壓電體32使振動板15產生變形，以增大壓力腔13的體積。
接下來，將討論驅動振動器18b一個側面(公共儲墨室8側)的結構。
在此側面上，如前所述，形成有分立端點19。驅動振動器18b的分立端點19是用來提供驅動信號(驅動電勢)的驅動電勢提供端點，且電連接到線路板4的接觸端點20。分立端點19被電連接到沿壓力腔13長度方向延伸的驅動電極24。就是說，分立端點19的一部分被放在驅動電極24的末端部分。
本實施例的特征是分立端點19的末端部分覆蓋在驅動振動器沒有疊在壓力腔13上的末端部分(上壓電體)的表面上，另外，分立端點19和上公共電極33(分支公共電極23)之間是遠離的。
就是說，如圖6和圖7所示，壓電振動器18的一個末端部分延伸到了壓力腔13的末端部分之外，換句話說，延伸到了壓力腔13上的重疊區(qū)域以外的非重疊區(qū)域。分立端點19在振動器一側的末端部分被疊放在壓電振動器18非重疊區(qū)域的上表面上。形成在壓電振動器18上的分立端點19的末端部分成為了電連接于線路板4(接觸端點20)的電連接(導通)部分，此后將稱為導電部分19a。另一方面，上公共電極33的末端部分被形成為分立端點19之前的一點，但從分立端點19開始有一個絕緣區(qū)域X，因此它們之間沒有電連接。
這樣的結構使得致動器單元3的小型化成為了可能。就是說，分立端點19的末端部分被牢固地覆蓋在壓電振動器18的表面上，所以分立端點19可以作為一個整體斜靠在壓電振動器的側面。所以，對于分立端點19，在電連接所必需的長度(即，連接接觸端點20所需長度)被保證時，致動器元件3的寬度，特別是，在壓力腔長度方向上的寬度可以減小。
隨著致動器元件3的小型化，制造時，在與相關技術面積相同的陶瓷片上可以安排下更多數量的致動器單元3。因此，在與相關技術提供的相同的工藝下，可以制造更多數量的致動器單元3，所以可以提高生產效率。原材料也得到節(jié)省。由于可以提高生產效率和節(jié)省原材料，降低致動器單元3的成本也成為可能。
在連接線路板4的時候，將線路板4的接觸端點20放到分立端點19上之后，一個加熱端點(沒有示出)從與分立端點19相對的線路板側表面施壓，來焊接分立端點19和接觸端點20，如圖7所示。在這種情況下，分立端點19的導電部分19a被放置在壓電振動器18之上且處于致動器單元3的最高位置，因而可以受到加熱端點的最強加壓。因此，可以實現可靠的焊接。
另外，導電部分19a形成在壓電振動器18上，所以導電部分19a以下的部件增加了和壓電振動器18相同的厚度，所以所述部件的剛度增加，也可以可靠地接受來自加熱端點的壓力。
接下來，將討論驅動振動器18b相對另一側面(噴嘴口10側)的結構。
如圖6和圖8所示，在驅動振動器18b的所述相對另一側面上，上公共電極33和下公共電極34在沿壓力腔13的長度方向上延伸。就是說，下公共電極34通過振動板15的頂部到達了近極公共電極21的下表面。上公共電極33通過壓電層22的側端面到達了下公共電極34的表面。另外，形成的上公共電極33也到達了近極公共電極21的下表面。因此，上公共電極33和下公共電極34都電連接到近極公共電極21。
接下來，將討論假電極18a的結構。假電極18a的基本結構和前述的驅動振動器18b是一樣的。就是說，如圖9和圖10所示，假電極18a也具有一個壓電層22，包括上壓電體31和下壓電體32，且形成沿壓力腔長度方向伸長的塊狀體，并形成有一個電極層，在振動板15和下壓電體32之間；一個電極層，處在上壓電體31和下壓電體32之間界面上；和一個電極層，處在與下壓電體32相對的上壓電體31表面上。
在此實施例中，在振動板15和下壓電體32之間的，此后被稱為第一連接電極35的電極層，和在上壓電體31和下壓電體32之間界面上的，此后被稱為第二連接電極36的電極層，都沿壓力腔13長度方向延伸到壓力腔13的兩側以電連接近極公共電極21和分立端點19。
就是說，第一連接電極35從近極公共電極21開始，通過下壓電體32的下側面，到達分立端點19，而第二連接電極36從近極公共電極21開始，通過上壓電體31的下側面，到達分立端點19。在此實施例中，形成連接電極用的電極材料與下公共電極34和驅動電極24相同。
在此結構中，假電極18a上的分立端點19和近極公共電極21通過連接電極35，36電連接，分立端點19可以用來作為一個提供端點來提供公共的電勢(舉例來說，接地)。由于形成的分立端點19與驅動振動器18b中的分立端點19在同一行，所以致動器單元3可以小型化。為了電連接線路板4和每個分立端點19，假振動器18a的分立端點19和驅動振動器18b的分立端點19可以一起電連接，這樣可以提高工作效率。
連接電極被放置在壓電層22的下側面，不會有毛邊的部分出現。因此可以在線路板4裝配好后，有效地防止因為毛邊部分而引起的線路斷路和短路等缺陷。因此，故障較少的記錄頭1的穩(wěn)定性能可以得到充分地利用。
另外，連接電極35和36被分隔在兩層，因而可以保證足夠的厚度，這樣電極的電阻可以減小到很低的值。此外，形成連接電極35和36用的電極材料與下公共電極34和驅動電極24相同，所以可以和下公共電極34和驅動電極24一起制備。就是說，第一連接電極35可以和下公共電極34同時制備，而第二連接電極36可以和驅動電極24同時制備。這樣就不需要進行特別的處理來形成連接電極，可以提高生產效率。
應該理解本發(fā)明不限于所述的具體實施例，不偏離本發(fā)明所要求的精神和范圍，可以這些對部分進行組合和排列。
舉例來說，在實施例中，壓電振動器18是多層結構的，其中上和下壓電體31和32等被疊放，但本發(fā)明也可應用到包含單層壓電層的單層結構壓電振動器。舉例來說，對于驅動振動器18b，驅動電極24形成在壓電層22和振動板15之間，而上公共電極33和分立端點19形成在壓電層與振動板15相對的表面。對于假電極18a，連接電極形成在壓電層22和振動板15之間。
盡管以記錄頭1，一種類型的液體噴頭，作為實例對液體噴頭進行了描述，但本發(fā)明也可用于其它的液體噴頭如液晶噴頭和顏料噴頭。
權利要求
1.一種液體噴頭，包括振動板，形成了各壓力腔的一部分，所述壓力腔與噴嘴口連通，液滴從所述噴嘴口噴射；多個壓電振動器，包括疊放在所述的振動板上的驅動振動器和假振動器，使得至少所述的驅動振動器與各所述的壓力腔相對，所述驅動振動器包括驅動電極；第一壓電層，層疊在所述的驅動電極上；以及第一公共電極，層疊在所述的第一壓電層上，所述的假振動器包括連接電極，電連接到所述的第一公共電極；第二壓電層，層疊在所述的連接電極上；以及第二公共電極，層疊在所述的第二壓電層上，且電連接到所述的第一公共電極；第一端點，電連接到所述驅動電極以向其提供驅動信號；以及第二端點，電連接到所述的連接電極以向其提供公共信號。
2.如權利要求1所述的液體噴頭，其中所述的驅動振動器還包括第三公共電極，形成在所述振動板上且電連接到所述第一公共電極；以及第三壓電層，放置在所述第三公共電極和所述驅動電極之間；以及所述的假振動器還包括第四公共電極，形成在所述的振動板上且電連接到所述的第二公共電極；以及第四壓電層，放置在所述的第四公共電極和所述的連接電極之間。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種液體噴頭，包括振動板，形成了各壓力腔的一部分，所述壓力腔與噴嘴口連通，液滴從所述噴嘴口噴射；多個壓電振動器，包括疊放在所述的振動板上的驅動振動器和假振動器，使得至少所述的驅動振動器與各所述的壓力腔相對，所述驅動振動器包括驅動電極；第一壓電層；以及第一公共電極，所述的假振動器包括連接電極，電連接到所述的第一公共電極；第二壓電層，層疊在所述的連接電極上；以及第二公共電極，層疊在所述的第二壓電層上，且電連接到所述的第一公共電極；第一端點，電連接到所述驅動電極以向其提供驅動信號；以及第二端點，電連接到所述的連接電極以向其提供公共信號。
文檔編號B41J2/045GK1449869SQ0312159
公開日2003年10月22日 申請日期2003年4月1日 優(yōu)先權日2002年4月1日
發(fā)明者大久保勝弘 申請人:精工愛普生株式會社