多層結(jié)構(gòu)體和使用其的設(shè)備、以及它們的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供可在設(shè)備的保護(hù)中使用的新的多層結(jié)構(gòu)體和使用其的設(shè)備。公開的多層結(jié)構(gòu)體是含有基材和在該基材上疊層的阻擋層的多層結(jié)構(gòu)體。該基材的、至少一個方向的3%應(yīng)變時的張力為2000N/m以上。阻擋層含有反應(yīng)產(chǎn)物（R）。該反應(yīng)產(chǎn)物（R）是至少金屬氧化物（A）與磷化合物（B）反應(yīng)而成的反應(yīng)產(chǎn)物。在800～1400cm-1范圍的阻擋層的紅外線吸收光譜中，紅外線吸收最大的波數(shù)（n1）為1080～1130cm-1的范圍。構(gòu)成金屬氧化物（A）的金屬原子實質(zhì)上為鋁原子。
【專利說明】多層結(jié)構(gòu)體和使用其的設(shè)備、以及它們的制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及多層結(jié)構(gòu)體和使用其的設(shè)備、以及它們的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 具有顯示裝置的電子儀器、太陽能電池等的設(shè)備需要保護(hù)表面的透光性的保護(hù)構(gòu) 件。在這些設(shè)備中，近年來，柔性的顯示器、柔性的太陽能電池也開始被使用。在柔性的設(shè) 備中，不能使用厚的玻璃板，因此需要代替厚的玻璃板的保護(hù)構(gòu)件。
[0003] 作為那樣的保護(hù)構(gòu)件，以往提出了太陽能電池用的保護(hù)構(gòu)件(專利文獻(xiàn)1和2)。在 專利文獻(xiàn)1中，公開了將利用CVD法形成的硅氧化物的蒸鍍膜、和利用反應(yīng)性團(tuán)簇離子束法 形成的硅氧化物的蒸鍍膜在氟系樹脂膜上疊層了的保護(hù)膜。另外，在專利文獻(xiàn)2中，公開了 含有塑料膜、和在其上疊層了的第1無機(jī)層、有機(jī)層、和第2無機(jī)層的保護(hù)片。
[0004] 在保護(hù)設(shè)備時，阻擋性是重要的。特別地，在柔性的設(shè)備中需要阻擋性高、柔性的 保護(hù)構(gòu)件。具有阻擋性的阻擋層的一個例子在專利文獻(xiàn)3中被公開。
[0005] [現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[專利文獻(xiàn)]
[專利文獻(xiàn)1]日本特開2011-014559號公報 [專利文獻(xiàn)2]日本特開2012-015294號公報 [專利文獻(xiàn)3]國際公開W02011/122036號。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] -般地，與食品等的包裝材料相比，保護(hù)設(shè)備的保護(hù)片要求更高的阻擋性。因此， 目前作為保護(hù)設(shè)備的保護(hù)片，要求阻擋性的可靠性更高的保護(hù)片。在這樣的狀況下，本發(fā)明 的目的之一是提供可用于設(shè)備的保護(hù)的新的多層結(jié)構(gòu)體和使用其的設(shè)備。
[0007] 對于阻擋層的阻擋性進(jìn)行了研究，作為結(jié)果，本申請發(fā)明人等新發(fā)現(xiàn)了阻擋性受 到形成阻擋層的基材的影響。本申請發(fā)明是基于該新的知識的發(fā)明。
[0008] S卩，本申請發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體是含有基材和在上述基材上層疊的阻擋層的多層結(jié) 構(gòu)體，其中，上述基材的、至少一個方向的3%應(yīng)變時的張力為2000N/m以上，上述阻擋層含 有反應(yīng)產(chǎn)物（R)，上述反應(yīng)產(chǎn)物（R)是至少金屬氧化物（A)和磷化合物（B)反應(yīng)而成的反應(yīng) 產(chǎn)物，在800?HOOcnT 1范圍的上述阻擋層的紅外線吸收光譜中，紅外線吸收為最大的波數(shù) (η1)為1080?1130CHT 1的范圍，構(gòu)成上述金屬氧化物（A)的金屬原子實質(zhì)上為鋁原子。
[0009] 另外，本發(fā)明的設(shè)備是具有保護(hù)表面的保護(hù)片的設(shè)備，上述保護(hù)片為本發(fā)明的多 層結(jié)構(gòu)體。
[0010] 另外，用于制造多層結(jié)構(gòu)體的本發(fā)明的方法是制造含有至少一個方向的3%應(yīng)變 時的張力為2000N/m以上的基材、和在上述基材上形成的阻擋層的多層結(jié)構(gòu)體的方法，其 包含（i)以使上述一個方向為運送方向的方式將上述基材由纏繞了上述基材的第1棍送出 的步驟、（ii)在上述基材上形成上述阻擋層的前體層的步驟、和（iii)將經(jīng)過了上述（ii) 的步驟的上述基材在第2輥上卷繞的步驟。上述（ii)的步驟包含（I)通過將金屬氧化物 (A) 、含有可與上述金屬氧化物（A)反應(yīng)的部位的至少1種化合物、和溶劑混合，而制備含有 上述金屬氧化物（A)、上述至少1種化合物和上述溶劑的涂布液（U)的步驟、和（II)通過在 上述基材上涂布上述涂布液（U)而在上述基材上形成上述前體層的步驟。上述至少1種化 合物含有磷化合物（B)，上述至少1種化合物中所含的金屬原子的摩爾數(shù)為上述磷化合物 (B) 中所含的磷原子的摩爾數(shù)的O?1倍的范圍，構(gòu)成上述金屬氧化物（A)的金屬原子實質(zhì) 上為鋁原子。
[0011] 另外，用于制造設(shè)備的本發(fā)明的方法是具有保護(hù)表面的保護(hù)片的柔性的設(shè)備的制 造方法，其包含（a)準(zhǔn)備含有至少一個方向的3%應(yīng)變時的張力為2000N/m以上的基材和在 上述基材上形成的阻擋層、且纏繞在輥上的保護(hù)片的步驟、（b)在將形成了元件的柔性的基 板運送的同時，以使上述一個方向為運送方向的方式將上述保護(hù)片由上述輥送出，以覆蓋 上述元件的方式將上述保護(hù)片在上述基板上層疊的步驟，上述保護(hù)片為本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu) 體。
[0012] 根據(jù)本發(fā)明，可得到阻擋性的可靠性優(yōu)異的新的多層結(jié)構(gòu)體。通過將該多層結(jié)構(gòu) 體用于設(shè)備的保護(hù)，可以提高設(shè)備的耐久性。

【具體實施方式】
[0013] 以下對于本發(fā)明的實施方式進(jìn)行說明。應(yīng)予說明，在以下的說明中，有時列舉具體 的材料、數(shù)值，但本發(fā)明不限定于這樣的材料、數(shù)值。另外，列舉的材料只要沒有特別記載， 可以單獨使用1種，或也可以將2種以上并用。應(yīng)予說明，在該說明書中，"阻氣性"只要沒 有特別說明，是指將水蒸氣以外的氣體(例如氧氣）阻擋的性能。另外，在該說明書中，有時 將水蒸氣阻擋性和阻氣性一并稱為"阻擋性"。
[0014] [多層結(jié)構(gòu)體] 本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體包含基材和在基材上層疊的阻擋層。該說明書中，有時將該基材 稱為"基材（X)"。另外，有時將該阻擋層稱為"層（Y)"。層（Y)可以僅在基材（X)的一面上 層疊，或也可以在基材（X)的兩面上層疊。
[0015] 作為構(gòu)成多層結(jié)構(gòu)體的基材（X)和各層，通過采用具有透光性的物質(zhì)，可以得到具 有透光性的保護(hù)片。具有透光性的保護(hù)片特別適于設(shè)備表面中需要使光透過的面的保護(hù) 片。應(yīng)予說明，即使是由光吸收大的材料制成的層，有時也可以通過將層的厚度變薄，而能 夠?qū)崿F(xiàn)充分的透光性。
[0016] 本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體具有基材（X)和在該基材（X)上層疊的層（Y)。層（Y)含有 反應(yīng)產(chǎn)物（R)，上述反應(yīng)產(chǎn)物（R)是至少金屬氧化物（A)與磷化合物（B)反應(yīng)而成的反應(yīng) 產(chǎn)物，在800?HOOcnT 1范圍的該層（Y)的紅外線吸收光譜中，紅外線吸收最大的波數(shù)（η1) 為1080?1130CHT 1的范圍。以下有時將該波數(shù)（η1)稱為"最大吸收波數(shù)（η1)"。金屬氧化 物（A)通常以金屬氧化物（A)的粒子的形式與磷化合物（B)反應(yīng)。
[0017] 在本發(fā)明中，構(gòu)成金屬氧化物（A)的金屬原子（M)實質(zhì)上為鋁原子。這里，"實質(zhì) 上為鋁原子"是指鋁以外的其它金屬原子的含有率是可以忽略該其它金屬原子給層（Y)的 特性帶來的影響的程度的量。構(gòu)成金屬氧化物（A)的金屬原子（M)中所占的鋁金屬原子的 比例通常為90摩爾％以上，例如為95摩爾％以上、98摩爾％以上、99摩爾％以上或100摩 爾％。
[0018] 另外，層（Y)具有金屬氧化物（A)的粒子之間經(jīng)由源于磷化合物（B)的磷原子鍵合 了的結(jié)構(gòu)。在經(jīng)由磷原子鍵合的方式中，包含經(jīng)由含有磷原子的原子團(tuán)鍵合的方式，例如包 含經(jīng)由含有磷原子、不含金屬原子的原子團(tuán)鍵合的方式。
[0019] 在層（Y)中，使金屬氧化物（A)的粒子之間鍵合的、且不是源于金屬氧化物（A)的 金屬原子的摩爾數(shù)優(yōu)選是使金屬氧化物（A)的粒子之間鍵合的磷原子的摩爾數(shù)的0?1倍 的范圍（例如0?0. 9倍的范圍），例如可以為0. 3倍以下、0. 05倍以下、0. 01倍以下、或0 倍。
[0020] 本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體具有的層（Y)可以部分地含有不參與反應(yīng)的金屬氧化物（A) 和/或磷化合物（B)。
[0021] 一般地，金屬化合物與磷化合物反應(yīng)而生成構(gòu)成金屬化合物的金屬原子（M)與源 于磷化合物的磷原子（P)經(jīng)由氧原子（〇)鍵合的由M-O-P所示的鍵合時，在紅外線吸收光 譜中產(chǎn)生特征峰。其中，該特征峰根據(jù)其鍵合的周圍的環(huán)境、結(jié)構(gòu)等而在特定的波數(shù)顯示吸 收峰。如國際公開W02011/122036號中公開的那樣，可知基于M-O-P的鍵合的吸收峰位于 1080?1130CHT 1的范圍時，對于所得的多層結(jié)構(gòu)體，表現(xiàn)優(yōu)異的阻擋性。特別地，可知該吸 收峰在一般源于各種原子與氧原子的鍵合的吸收被觀察到的800?HOOcnT 1的區(qū)域、作為 最大吸收波數(shù)的吸收峰出現(xiàn)時，對于所得的多層結(jié)構(gòu)體，表現(xiàn)進(jìn)而優(yōu)異的阻擋性。
[0022] 應(yīng)予說明，雖然對本發(fā)明沒有任何限定，但認(rèn)為金屬氧化物（A)的粒子之間經(jīng)由源 于磷化合物（B)的磷原子、且不經(jīng)由不是源于金屬氧化物（A)的金屬原子鍵合、而生成構(gòu)成 金屬氧化物（A)的金屬原子（M)與磷原子（P)經(jīng)由氧原子（0)鍵合的由M-O-P所示的鍵合 時，由于金屬氧化物（A)的粒子表面這樣的比較穩(wěn)定的環(huán)境，在該層（Y)的紅外線吸收光譜 中，基于M-O-P的鍵合的吸收峰作為800?HOOcnT 1區(qū)域的最大吸收波數(shù)的吸收峰出現(xiàn)在 1080 ?1130CHT1 的范圍。
[0023] 相對于此，將金屬醇鹽、金屬鹽等的不形成金屬氧化物的金屬化合物和磷化合物 (B)預(yù)先混合后并使其水解縮合的情況下，得到源于金屬化合物的金屬原子和源于磷化合 物（B)的磷原子大致均勻混合并反應(yīng)了的復(fù)合體，在紅外線吸收光譜中，800?HOOcnT 1范 圍的最大吸收波數(shù)（η1)在1080?1130CHT1的范圍之外。
[0024] 上述最大吸收波數(shù)（η1)從形成阻擋性更為優(yōu)異的多層結(jié)構(gòu)體的方面出發(fā)，優(yōu)選為 1085?1120CHT 1的范圍，更優(yōu)選為1090?lllOcnT1的范圍。
[0025] 在層（Y)的紅外線吸收光譜中，有時在2500?4000CHT1的范圍可觀察到與各種原 子鍵合的羥基的伸縮振動的吸收。作為在該范圍觀察到吸收的羥基的例子，可以列舉在金 屬氧化物（A)部分的表面上存在、并具有M-OH的形式的羥基、與源于磷化合物（B)的磷原 子（P)鍵合、并具有P-OH的形式的羥基、具有源于下述聚合物（C)的C-OH的形式的羥基等。 存在于層（Y)中的羥基的量可以與基于2500?4000CHT 1范圍的羥基的伸縮振動的、最大吸 收的波數(shù)（η2)的吸光度（Α2)相關(guān)聯(lián)。其中，波數(shù)（η 2)是在2500?4000CHT1范圍的層（Y) 的紅外線吸收光譜中，基于羥基的伸縮振動的紅外線吸收為最大的波數(shù)。以下，有時將波數(shù) U2)稱為"最大吸收波數(shù)（η2)"。
[0026] 層（Y)中存在的羥基的量越多，越有羥基形成水分子的透過路徑而使水蒸氣阻擋 性降低的傾向。另外，認(rèn)為在層（Y)的紅外線吸收光譜中，上述最大吸收波數(shù)（η 1)的吸光度 (A1)與上述吸光度（A2)的比率[吸光度（A2) /吸光度（A1)]越小，金屬氧化物（A)的粒子 之間越可經(jīng)由源于磷化合物（B)的磷原子有效地鍵合。因此該比率[吸光度（A2) /吸光度 (A1)]從高度地表現(xiàn)所得的多層結(jié)構(gòu)體的阻氣性和水蒸氣阻擋性的角度考慮，優(yōu)選為0. 2以 下，更優(yōu)選為0.1以下。層（Y)具有上述這樣的比率[吸光度（A2)/吸光度（A1)]的多層結(jié) 構(gòu)體可以通過調(diào)整構(gòu)成下述金屬氧化物（A)的金屬原子的摩爾數(shù)（N m)與源于磷化合物（B) 的磷原子的摩爾數(shù)（Np)的比率、熱處理條件等來得到。應(yīng)予說明，雖然并非特別地限定，但 在下述的層（Y)的前體層的紅外線吸收光譜中，800?HOOcnT 1范圍的最大吸光度（A1'）、和 基于2500?^OOcnr1范圍的羥基的伸縮振動的最大吸光度（A 2'）有時滿足吸光度（A2'）/ 吸光度（A1'）> 0.2的關(guān)系。
[0027] 在層（Y)的紅外線吸收光譜中，在上述最大吸收波數(shù)（η1)具有極大值的吸收峰的 半峰寬從所得的多層結(jié)構(gòu)體的阻氣性和水蒸氣阻擋性的角度考慮，優(yōu)選為200CHT 1以下，更 優(yōu)選為150CHT1以下，更優(yōu)選為130CHT1以下，更優(yōu)選為llOcnT 1以下，進(jìn)而優(yōu)選為lOOcnT1以 下，特別優(yōu)選為50CHT1以下。雖然不對本發(fā)明有任何限定，但認(rèn)為金屬氧化物（A)的粒子之 間經(jīng)由磷原子鍵合時，如果金屬氧化物（A)的粒子之間經(jīng)由源于磷化合物（B)的磷原子、且 不經(jīng)由不是源于金屬氧化物（A)的金屬原子鍵合，而生成構(gòu)成金屬氧化物（A)的金屬原子 (Μ)與磷原子（P)經(jīng)由氧原子（0)鍵合的由M-O-P所示的鍵合，則由于金屬氧化物（A)的粒 子表面這樣的比較穩(wěn)定的環(huán)境，在最大吸收波數(shù)（η 1)具有極大值的吸收峰的半峰寬為上述 范圍。應(yīng)予說明，在本說明書中，最大吸收波數(shù)（η1)的吸收峰的半峰寬可以通過求得在該吸 收峰中具有吸光度（Α 1)的一半的吸光度(吸光度（ΑΟ/2)的2點的波數(shù)、并算出其差值而得 到。
[0028] 上述層（Y)的紅外線吸收光譜可以通過用ATR法(全反射測定法）測定，或從多層 結(jié)構(gòu)體中刮取層（Υ)，用KBr法測定其紅外線吸收光譜來得到。
[0029] 層（Y)在一個例子中，具有金屬氧化物（A)的粒子之間經(jīng)由源于磷化合物（B)的磷 原子、且不經(jīng)由不是源于金屬氧化物（A)的金屬原子鍵合的結(jié)構(gòu)。即，具有金屬氧化物（A) 的粒子之間可經(jīng)由源于金屬氧化物（A)的金屬原子鍵合、但不經(jīng)由其以外的金屬原子鍵合 的結(jié)構(gòu)。其中，"經(jīng)由源于磷化合物（B)的磷原子、且不經(jīng)由不是源于金屬氧化物（A)的金 屬原子鍵合的結(jié)構(gòu)"，是指鍵合的金屬氧化物（A)的粒子間的鍵合的主鏈具有源于磷化合物 (B)的磷原子、且不具有不是源于金屬氧化物（A)的金屬原子的結(jié)構(gòu)，還包含在該鍵合的側(cè) 鏈具有金屬原子的結(jié)構(gòu)。但是，層（Y)可一部分具有金屬氧化物（A)的粒子之間經(jīng)由源于磷 化合物（B)的磷原子和金屬原子這兩者鍵合的結(jié)構(gòu)(鍵合的金屬氧化物（A)的粒子之間的 鍵合的主鏈具有源于磷化合物（B)的磷原子和金屬原子這兩者的結(jié)構(gòu))。
[0030] 在層（Y)中，作為金屬氧化物（A)的各粒子與磷原子的鍵合方式，可以列舉例如 構(gòu)成金屬氧化物（A)的金屬原子（M)與磷原子（P)經(jīng)由氧原子（0)鍵合的形式。金屬氧 化物（A)的粒子之間可經(jīng)由源于1分子的磷化合物（B)的磷原子（P)鍵合，也可以經(jīng)由 源于2分子以上的磷化合物（B)的磷原子（P)鍵合。作為鍵合的2個金屬氧化物（A)的 粒子之間的具體的鍵合方式，將構(gòu)成鍵合的一方的金屬氧化物（A)的粒子的金屬原子表 不為（Μα )，將構(gòu)成另一方的金屬氧化物（A)的粒子的金屬原子表不為（Μβ )時，可以列 舉例如（Μα )-0-Ρ-0- (Μβ )的鍵合方式；（Μα )-〇-Ρ-[0-Ρ]η-〇- (Μβ )的鍵合方式； (Μα ) -OP-Z-P-O- (Μβ )的鍵合方式；（Μα ) -O-P-Z-P-[0-Ρ-Ζ-Ρ]η_〇- (Μβ )的鍵合方式 等。應(yīng)予說明，在上述鍵合方式的例子中，η表示1以上的整數(shù)，Z表示磷化合物（B)在分子 中具有2個以上的磷原子時的在2個磷原子間存在的構(gòu)成原子群，省略了與磷原子鍵合的 其它取代基的記載。在層（Y)中，1個金屬氧化物（A)的粒子與多個其它的金屬氧化物（A) 的粒子鍵合，這從所得的多層結(jié)構(gòu)體的阻擋性的角度考慮是優(yōu)選的。
[0031] [金屬氧化物（A)] 如上述那樣，構(gòu)成金屬氧化物（A)的金屬原子（M)實質(zhì)上為鋁原子。對于鋁以外的金屬 原子（M)的例子，可以列舉鎂、鈣等元素周期表第2族的金屬；鋅等元素周期表第12族的金 屬；鋁以外的元素周期表第13族的金屬；硅等元素周期表第14族的金屬；鈦、鋯等的過渡 金屬等。應(yīng)予說明，硅有時被分類為半金屬，但在本說明書中，將硅設(shè)為包含在金屬中。構(gòu) 成金屬氧化物（A)的金屬原子（M)可以是1種，也可以是2種以上。其中，作為鋁原子以外 的金屬原子（M)，優(yōu)選是選自鈦和鋯中的至少1種。
[0032] 作為金屬氧化物（A)，可以使用利用液相合成法、氣相合成法、固體粉碎法等方法 制造的物質(zhì)，但如果考慮所得金屬氧化物（A)的形狀、大小的控制性、制造效率等，則優(yōu)選利 用液相合成法制造的物質(zhì)。
[0033] 在液相合成法中，通過使用含有鍵合了可水解的特性基團(tuán)的金屬原子（M)的化合 物（L)作為原料，并使其水解縮合，作為化合物（L)的水解縮合物可以合成金屬氧化物（A)。 艮P，金屬氧化物（A)可以是該化合物（L)的水解縮合物。另外在用液相合成法制造化合物 (L)的水解縮合物中，除了使用化合物（L)本身作為原料的方法以外，也可以通過使用化合 物（L)部分水解而成的化合物（L)的部分水解物、化合物（L)完全水解而成的化合物（L)的 完全水解物、化合物（L)部分地水解縮合而成的化合物（L)的部分水解縮合物、化合物（L) 的完全水解物的一部分縮合了的物質(zhì)、或它們中的2種以上的混合物作為原料、并使其縮 合或水解縮合，來制造金屬氧化物（A)。這樣得到的金屬氧化物（A)在本說明書中也稱為 "化合物（L)的水解縮合物"。上述的可水解的特性基團(tuán)（官能團(tuán)）的種類沒有特別限制，可 以列舉例如鹵素原子（F、Cl、Br、I等)、烷氧基、酰氧基、二酰基甲基、硝基等，但從反應(yīng)的控 制性優(yōu)異的角度考慮，優(yōu)選為鹵素原子或烷氧基，更優(yōu)選烷氧基。
[0034] 化合物（L)從反應(yīng)的控制容易、所得的多層結(jié)構(gòu)體的阻擋性優(yōu)異的方面出發(fā)，優(yōu)選 含有下式（I)所示的至少1種化合物（L 1 )。
[0035] AlX1mRVm) (I)
[式（I)中，X1 選自 F、Cl、Br、I、R20-、R3C (= 0)0-、（R4C (= 0))2CH-和 N03。R1、!?2、 R3和R4分別選自烷基、芳烷基、芳基和烯基。在式（I)中，存在多個X1時，這些X 1可以彼此 相同或不同。在式（I)中，存在多個R1時，這些R1可以彼此相同或不同。在式（I)中，存在 多個R 2時，這些R2可以彼此相同或不同。在式（I)中，存在多個R3時，這些R 3可以彼此相 同或不同。在式（I)中，存在多個R4時，這些R4可以彼此相同或不同。m表示1?3的整 數(shù)。]。
[0036] 作為R1、!?2、!?3和R 4表不的燒基，可以列舉例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、 仲丁基、叔丁基、2-乙基己基等。作為R1、R 2、R3和R4表示的芳烷基，可以列舉例如芐基、苯 乙基、三苯甲基等。作為Ri、R 2、R3和R4表示的芳基，可以列舉例如苯基、萘基、甲苯基、二甲 苯基、2, 4, 6二甲苯基等。作為R1、R2、R3和R4表不的稀基，可以列舉例如乙稀基、稀丙基等。 R1例如優(yōu)選是碳原子數(shù)為1?10的烷基，更優(yōu)選是碳原子數(shù)為1?4的烷基。X1優(yōu)選是F、 CI、Br、I、R2O-。在化合物（L1)優(yōu)選的一個例子中，X1是鹵素原子（F、CI、Br、I)或碳原子數(shù) 為1?4的烷氧基（R2〇-)，m為3。在化合物（L1)的一個例子中，X1是鹵素原子（F、Cl、Br、 I)或碳原子數(shù)為1?4的烷氧基（R2〇-)，m為3。
[0037] 作為化合物（L1)的具體例子，可以列舉例如氯化鋁、三乙醇鋁、三正丙醇鋁、三異 丙醇鋁、三正丁醇鋁、三仲丁醇鋁、三叔丁醇鋁、三醋酸鋁、乙酰丙酮鋁、硝酸鋁等的鋁化合 物。其中，作為化合物α1)，優(yōu)選是選自三異丙醇鋁和三仲丁醇鋁中的至少1個化合物?；?合物（L 1)可以單獨使用1種，也可以將2種以上合用。
[0038] 另外，作為化合物（L1)以外的化合物（L)，只要可得到本發(fā)明的效果，就沒有特別 限定，可以列舉例如上述可水解的特性基團(tuán)在鈦、鋯、鎂、鈣、鋅、硅等的金屬原子上鍵合了 的化合物等。應(yīng)予說明，硅有被分類為半金屬的情況，但在本說明書中，將硅設(shè)為包含在金 屬中。其中，從所得的多層結(jié)構(gòu)體的阻氣性優(yōu)異的方面出發(fā)，作為化合物（L 1)以外的化合 物（L)，優(yōu)選具有鈦或鋯作為金屬原子的化合物。作為化合物（L1)以外的化合物（L)的具體 例，可以列舉例如四異丙醇鈦、四正丙醇鈦、四（2-乙基己醇）鈦、四甲醇鈦、四乙醇鈦、乙酰 丙酮鈦等的鈦化合物；四正丁醇鋯、四丁醇鋯、四乙酰丙酮鋯等的鋯化合物。
[0039] 只要可得到本發(fā)明的效果，化合物（L1)在化合物（L)中所占的比例就沒有特別限 定?；衔铮↙1)以外的化合物在化合物（L)中所占的比例例如為20摩爾％以下、10摩爾％ 以下、5摩爾％以下或0摩爾％。在一個例子中，化合物（L)僅由化合物（L 1)構(gòu)成。
[0040] 通過將化合物（L)水解，化合物（L)具有的可水解的特性基團(tuán)的至少一部分被置 換為羥基。進(jìn)而，通過該水解物縮合，形成金屬原子（M)經(jīng)由氧原子（0)鍵合了的化合物。 反復(fù)該縮合時，形成實質(zhì)上可視為金屬氧化物的化合物。應(yīng)予說明，在這樣形成的金屬氧化 物（A)的表面，通常存在羥基。在本說明書中，有時將化合物（L)的水解縮合物稱為"金屬 氧化物（A)"。即，在本說明書中，可將"金屬化合物（A)"稱為"化合物（L)的水解縮合物"， 可將"化合物（L)的水解縮合物"稱為"金屬氧化物（A)"。
[0041] 在本說明書中，將如M-O-M所示的結(jié)構(gòu)中的氧原子（0)那樣、僅與金屬原子（M)鍵 合的氧原子(例如如M-O-H所示的結(jié)構(gòu)中的氧原子（0)那樣、與金屬原子（M)和氫原子（H) 鍵合的氧原子除外）的摩爾數(shù)相對于金屬原子（M)的摩爾數(shù)的比例（[僅與金屬原子（M)鍵 合的氧原子（0)的摩爾數(shù)]/ [金屬原子（M)的摩爾數(shù)])為0. 8以上的化合物設(shè)為包括在金 屬氧化物（A)中。金屬氧化物（A)優(yōu)選上述比例為0. 9以上，更優(yōu)選為I. 0以上，進(jìn)而優(yōu)選 為I. 1以上。上述比例的上限沒有特別限定，但將金屬原子（M)的原子價設(shè)為η時，通常由 η/2表不。
[0042] 為了產(chǎn)生上述的水解縮合，化合物（L)具有可水解的特性基團(tuán)（官能團(tuán)）是重要的。 這些基團(tuán)沒有鍵合時，水解縮合反應(yīng)不發(fā)生或極其緩慢，因此目的金屬氧化物（A)的制備變 得困難。
[0043] 水解縮合物例如可以利用在公知的溶膠凝膠法中采用的方式、由特定的原料制 造。該原料可以使用選自化合物（L)、化合物（L)的部分水解物、化合物（L)的完全水解物、 化合物（L)的部分水解縮合物、和化合物（L)的完全水解物的一部分縮合了的物質(zhì)中的至 少1種（以下有時稱為"化合物（L)系成分")。這些原料可以用公知的方法制造，或也可以 使用市售的物質(zhì)。沒有特別限定，例如可以使用由2?10個左右的化合物（L)進(jìn)行水解縮 合而得的縮合物作為原料。具體地，例如可以使用使三異丙醇鋁水解縮合而形成了 2?10 聚體的縮合物的物質(zhì)作為原料的一部分。
[0044] 在化合物（L)的水解縮合物中縮合的分子數(shù)可以利用將化合物（L)系成分進(jìn)行縮 合或水解縮合時的條件來控制。例如縮合的分子數(shù)可以通過水的量、催化劑的種類、濃度、 縮合或水解縮合時的溫度、時間等來控制。
[0045] 如上述那樣，層（Y)含有反應(yīng)產(chǎn)物（R)，上述反應(yīng)產(chǎn)物（R)是至少金屬氧化物（A)與 磷化合物（B)反應(yīng)而成的反應(yīng)產(chǎn)物。這樣的反應(yīng)產(chǎn)物、結(jié)構(gòu)可以通過使金屬氧化物（A)與 磷化合物（B)混合并反應(yīng)來形成。供于與磷化合物（B)混合的（剛混合之前的）金屬氧化物 (A)可以是金屬氧化物（A)本身，也可以是含有金屬氧化物（A)的組合物的形式。在優(yōu)選的 一個例子中，以通過將金屬氧化物（A)在溶劑中溶解或分散而得到的液體(溶液或分散液） 的形式、將金屬氧化物（A)與磷化合物（B)混合。
[0046] 作為用于制造金屬氧化物（A)的溶液或分散液的方法，可以適用國際公開 W02011/122036號中公開的方法。金屬氧化物（A)為氧化鋁（alumina)時，優(yōu)選的氧化鋁的 分散液可以通過將鋁醇鹽在根據(jù)需要用酸催化劑進(jìn)行了 PH調(diào)節(jié)的水溶液中進(jìn)行水解縮合 而形成氧化鋁的漿液、將其在特定量的酸的存在下進(jìn)行消絮凝來得到。
[0047] [磷化合物（B)] 磷化合物（B)含有可與金屬氧化物（A)反應(yīng)的部位，典型地，含有多個那樣的部位。在 優(yōu)選的一例中，磷化合物（B)含有2?20個那樣的部位(原子團(tuán)或官能團(tuán))。那樣的部位的 例子包含可與在金屬氧化物（A)的表面存在的官能團(tuán)(例如羥基)反應(yīng)的部位。例如，那樣的 部位的例子包含直接鍵合在磷原子上的鹵素原子、直接鍵合在磷原子上的氧原子。那些鹵 素原子、氧原子可以與在金屬氧化物（A)的表面存在的羥基產(chǎn)生縮合反應(yīng)(水解縮合反應(yīng))。 在金屬氧化物（A)的表面存在的官能團(tuán)(例如羥基）通常與構(gòu)成金屬氧化物（A)的金屬原子 (M)鍵合。
[0048] 作為磷化合物（B)，例如可以使用具有鹵素原子或氧原子直接鍵合在磷原子上的 結(jié)構(gòu)的化合物，通過使用這樣的磷化合物（B)，可以通過與在金屬氧化物（A)的表面存在的 羥基進(jìn)行(水解）縮合而鍵合。磷化合物（B)可以是具有1個磷原子的化合物，或者也可以 是具有2個以上磷原子的化合物。
[0049] 磷化合物（B)可以是選自磷酸、多磷酸、亞磷酸、膦酸和它們的衍生物中的至少1 種化合物。作為多磷酸的具體例，可以列舉焦磷酸、三磷酸、4個以上的磷酸縮合了的多磷酸 等。作為上述衍生物的例子，可以列舉磷酸、多磷酸、亞磷酸、膦酸的、鹽、（偏）酯化合物、鹵 化物(氯化物等)、脫水物(五氧化二磷等)等。另外，膦酸的衍生物的例子還包含直接鍵合在 膦酸（H-P (=0) (0H)2)的磷原子上的氫原子被取代為可具有各種官能團(tuán)的烷基的化合物 (例如次氮基三(亞甲基膦酸)、Ν，Ν，Ν'，Ν' -乙二胺四（亞甲基膦酸）等)、其鹽、（偏）酯化合 物、鹵化物和脫水物。進(jìn)而，磷酸化淀粉等、具有磷原子的有機(jī)高分子也可以作為上述磷化 合物（B)使用。這些磷化合物（B)可以單獨使用1種，也可以將2種以上并用。在這些磷化 合物（B)中，從使用下述的涂布液（U)形成層（Y)時的涂布液（U)的穩(wěn)定性和所得的多層結(jié) 構(gòu)體的阻擋性更為優(yōu)異的方面出發(fā)，優(yōu)選單獨使用磷酸、或?qū)⒘姿崤c其以外的磷化合物并 用。
[0050] 如上所述，上述層（Y)含有反應(yīng)產(chǎn)物（R)，上述反應(yīng)產(chǎn)物（R)是至少金屬氧化物（A) 與磷化合物（B )反應(yīng)而成的反應(yīng)產(chǎn)物。這樣的反應(yīng)產(chǎn)物、結(jié)構(gòu)可以通過將金屬氧化物（A )和 磷化合物（B)混合并使其反應(yīng)而形成。供于與金屬氧化物（A)混合的（剛混合之前的）磷化 合物（B)可以是磷化合物（B)本身，或者也可以是含有磷化合物（B)的組合物的形式，優(yōu)選 是含有磷化合物（B)的組合物的形式。在優(yōu)選的一例中，以通過將磷化合物（B)溶解在溶劑 中而得的溶液的形式，將磷化合物（B )與金屬氧化物（A)混合。此時的溶劑可以使用任意的 溶劑，但水或含有水的混合溶劑可作為優(yōu)選的溶劑列舉。
[0051] [反應(yīng)產(chǎn)物（R)] 反應(yīng)產(chǎn)物（R)中包含由僅僅金屬氧化物（A)和磷化合物（B)反應(yīng)而生成的反應(yīng)產(chǎn)物。 另外，反應(yīng)產(chǎn)物（R)中還包含由金屬氧化物（A)、磷化合物（B)和進(jìn)而其它的化合物反應(yīng)而 生成的反應(yīng)產(chǎn)物。反應(yīng)產(chǎn)物（R)可以利用下述的制造方法中說明的方法來形成。
[0052] [金屬氧化物（A)與磷化合物（B)的比率] 在層（Y)中，對于構(gòu)成金屬氧化物（A)的金屬原子（M)的摩爾數(shù)（Nm)與源于磷化合物 (B)的磷原子的摩爾數(shù)（Np)的比率，優(yōu)選滿足0. 8 <摩爾數(shù)（Nm) /摩爾數(shù)（Np) < 4. 5的關(guān) 系，更優(yōu)選滿足1. 〇 <摩爾數(shù)（Nm)/摩爾數(shù)（Np)S 3. 6的關(guān)系，進(jìn)而優(yōu)選滿足I. 1 <摩爾數(shù) (Nm)/摩爾數(shù)（Np)彡3.0的關(guān)系。摩爾數(shù)（Nm)/摩爾數(shù)（N p)的值超過4. 5時，金屬氧化物 (A) 相對于磷化合物（B)變得過量，金屬氧化物（A)的粒子之間的鍵合變得不充分，另外，由 于在金屬氧化物（A)的表面存在的羥基的量變多，因此阻擋性和其可靠性有降低的傾向。另 一方面，摩爾數(shù)（Nm) /摩爾數(shù)（Np)的值小于0. 8時，磷化合物（B)相對于金屬氧化物（A)變 得過量，不參與與金屬氧化物（A)的鍵合的剩余的磷化合物（B)變多，另外，源于磷化合物 (B) 的羥基的量易于變多，仍然有阻擋性和其可靠性降低的傾向。
[0053] 應(yīng)予說明，上述比率可以通過用于形成層（Y)的涂布液中的、金屬氧化物（A)的量 與磷化合物（B)的量之比來調(diào)整。層（Y)中的摩爾數(shù)（N m)與摩爾數(shù)（Np)之比通常是涂布液 中的比例，與構(gòu)成金屬氧化物（A)的金屬原子的摩爾數(shù)與構(gòu)成磷化合物（B)的磷原子的摩 爾數(shù)之比相同。
[0054] [聚合物（C)] 層（Y)可進(jìn)而含有特定的聚合物（C)。聚合物（C)是具有選自羥基、羧基、羧酸酐基、和 羧基的鹽中的至少1種官能團(tuán)（f)的聚合物。應(yīng)予說明，在本說明書中，滿足作為磷化合物 (B)的要件的、含有官能團(tuán)（f)的聚合物不包括在聚合物（C)中而作為磷化合物（B)來對待。
[0055] 作為具有羥基的聚合物（C)的具體例，可以列舉聚乙烯醇、聚乙酸乙烯酯的部分皂 化物、聚乙二醇、聚羥乙基（甲基）丙烯酸酯、淀粉等的多糖類、由多糖類衍生的多糖類衍生 物等。作為具有羧基、羧酸酐基或羧基的鹽的聚合物（C)的具體例，可以列舉聚丙烯酸、聚 甲基丙烯酸、聚(丙烯酸/甲基丙烯酸)和它們的鹽等。另外，作為含有不含官能團(tuán)（f)的結(jié) 構(gòu)單元的聚合物（C)的具體例，可以列舉乙烯-乙烯醇共聚物、乙烯-馬來酸酐共聚物、苯 乙烯-馬來酸酐共聚物、異丁烯-馬來酸酐交替共聚物、乙烯-丙烯酸共聚物、乙烯-丙烯 酸乙酯共聚物的皂化物等。為了得到具有更優(yōu)異的阻擋性和耐熱水性的多層結(jié)構(gòu)體，聚合 物（C)優(yōu)選是選自聚乙烯醇、乙烯-乙烯醇共聚物、多糖類、聚丙烯酸、聚丙烯酸的鹽、聚甲 基丙烯酸、和聚甲基丙烯酸的鹽中的至少1種的聚合物。
[0056] 聚合物（C)的分子量沒有特別限定。為了得到具有更優(yōu)異的阻擋性和力學(xué)物性(落 錘沖擊強(qiáng)度等)的多層結(jié)構(gòu)體，聚合物（C)的數(shù)均分子量優(yōu)選為5000以上，更優(yōu)選為8000以 上，進(jìn)而優(yōu)選為10000以上。聚合物（C)的數(shù)均分子量的上限沒有特別限定，例如為1500000 以下。
[0057] 為了更為提高阻擋性，層（Y)中的聚合物（C)的含有率以層（Y)的質(zhì)量為基準(zhǔn)（100 質(zhì)量％)計，優(yōu)選為50質(zhì)量％以下,更優(yōu)選為40質(zhì)量％以下,進(jìn)而優(yōu)選為30質(zhì)量％以下,也 可以為20質(zhì)量％以下。聚合物（C)可以與層（Y)中的其它成分反應(yīng)，也可以不反應(yīng)。應(yīng)予 說明，在本說明書中，即使在聚合物（C)與其它成分反應(yīng)的情況下，也表達(dá)為聚合物（C)。例 如，即使在聚合物（C)與金屬氧化物（A)、和/或源于磷化合物（B)的磷原子鍵合的情況下， 也表達(dá)為聚合物（C)。此時，上述聚合物（C)的含有率通過將與金屬氧化物（A)和/或磷原 子鍵合前的聚合物（C)的質(zhì)量除以層（Y)的質(zhì)量而算出。
[0058] 層（Y)可以僅由至少金屬氧化物（A)和磷化合物（B)反應(yīng)而成的反應(yīng)產(chǎn)物（R)(其 中，含有具有聚合物（C)部分的反應(yīng)產(chǎn)物）構(gòu)成，或者可以僅由該反應(yīng)產(chǎn)物（R)、和沒有反應(yīng) 的聚合物（C)構(gòu)成，但也可以進(jìn)而含有其它成分。
[0059] 作為上述的其它成分，可以列舉例如碳酸鹽、鹽酸鹽、硝酸鹽、碳酸氫鹽、硫酸鹽、 硫酸氫鹽、硼酸鹽、鋁酸鹽等的無機(jī)酸金屬鹽；草酸鹽、醋酸鹽、酒石酸鹽、硬脂酸鹽等的有 機(jī)酸金屬鹽；乙酰丙酮金屬配位化合物（乙酰丙酮鋁等)、環(huán)戊二烯基金屬配位化合物(環(huán)戊 二烯鈦等)、氰基金屬配位化合物等的金屬配位化合物；層狀粘土化合物；交聯(lián)劑；聚合物 (C)以外的高分子化合物；增塑劑；抗氧化劑；紫外線吸收劑；阻燃劑等。
[0060] 層（Y)中的上述其它成分的含有率優(yōu)選為50質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為20質(zhì)量％以 下，進(jìn)而優(yōu)選為10質(zhì)量％以下，特別優(yōu)選為5質(zhì)量％以下，也可以是0質(zhì)量％ (不含其它成 分)。
[0061] [層（Y)的厚度] 本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體具有的層（Y)的厚度(多層結(jié)構(gòu)體具有2層以上的層（Y)時，為各 層（Y)的厚度的合計）優(yōu)選為4. 0 μ m以下，更優(yōu)選為2. 0 μ m以下，進(jìn)而優(yōu)選為I. 0 μ m以 下，特別優(yōu)選為〇.9μπι以下。通過使層（Y)變薄，可以將印刷、層壓等的加工時的多層結(jié)構(gòu) 體的尺寸變化抑制為低的水平，進(jìn)而多層結(jié)構(gòu)體的柔軟性增加，可以使其力學(xué)特性接近于 基材自身的力學(xué)特性。
[0062] 層（Y)的厚度(多層結(jié)構(gòu)體具有2層以上的層（Y)時，為各層（Y)的厚度的合計)優(yōu) 選為0. 1 μ m以上(例如為0. 2 μ m以上)。應(yīng)予說明，層（Y)每1層的厚度從本發(fā)明的多層 結(jié)構(gòu)體的阻擋性變得更為良好的角度考慮，優(yōu)選為〇. 05 μ m以上(例如0. 15 μ m以上)。層 (Y)的厚度可以利用在層（Y)的形成中使用的下述涂布液（U)的濃度、其涂布方法來控制。 [0063] 在本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體中，由于使用特定的基材（X)，可以提高阻擋性。具體地，可 以使40°C、90/0%RH的條件下的透濕度、為0· 05g/ (m2 ·天）以下、0· Olg/ (m2 ·天）以下、或 0.005g/ (m2·天）以下。用作設(shè)備(例如太陽能電池）的保護(hù)片時，優(yōu)選上述條件下的透濕 度為0· lg/ (m2 _天）以下，更優(yōu)選為0· Olg/ (m2 _天）以下，進(jìn)而優(yōu)選為0· 005g/ (m2 _天） 以下。其中"90/0%RH"是指對于多層結(jié)構(gòu)體，一側(cè)的相對濕度為90%，且另一側(cè)的相對濕度 為0%。
[0064] 另外，氧透過率在20°C、85%RH的條件下、優(yōu)選為0. 5ml/ (m2 _天_ atm)以下，更 優(yōu)選為〇· 3ml/ (m2 _天_ atm)以下，進(jìn)而優(yōu)選為0· lml/ (m2 _天_ atm)以下。
[0065] [基材（X)] 基材（X)為膜等的層狀的基材。對于基材（X)，使用至少一個方向的3%應(yīng)變時的張力 為2000N/m以上的基材。其中，"3%應(yīng)變時的張力"是指在23°C 50%RH的條件下測定的、將 某方向的長度為單位長度（Im)的基材沿與該方向垂直的方向拉伸3%時的張力。3%應(yīng)變時 的張力具體地可以利用下述實施例中適用的測定方法得到?；模╔)的、至少一個方向的 3%應(yīng)變時的張力優(yōu)選為2500N/m以上，更優(yōu)選為3000N/m以上(例如3600N/m以上)?；?(X)的3%應(yīng)變時的張力的上限沒有特別限定，但一般來說為30000N/m以下。
[0066] 在典型的一例中，"上述至少一個方向"是基材制造時的MD方向（Machine Direction :流動方向）。其中，MD方向是指將基材或其前體一邊運送一邊處理(制造等）時 基材或其前體被運送的方向，在制造的切斷前的長的基材中，長度方向相當(dāng)于MD方向。對 于基材（X)，所有方向的3%應(yīng)變時的張力可以為2000N/m以上，所有方向的3%應(yīng)變時的張 力可以在上述優(yōu)選的范圍。
[0067] 以下有時將3%應(yīng)變時的張力為2000N/m以上的方向稱為"方向（D)"。將本申請發(fā) 明的多層結(jié)構(gòu)體用作設(shè)備的保護(hù)片時，通常需要在對于多層結(jié)構(gòu)體、沿規(guī)定的方向施加張 力的狀態(tài)下、將多層結(jié)構(gòu)體層疊在設(shè)備上。即使在那樣的情況下，通過在沿方向（D)施加張 力的狀態(tài)下進(jìn)行疊層，可以抑制阻擋層的阻擋性降低。特別地，利用卷對卷（口一> ·夂一 ?口一 >)方式在設(shè)備上層疊多層結(jié)構(gòu)體(保護(hù)片）的情況下，多層結(jié)構(gòu)體通常在沿運送方向 (MD方向）施加張力的狀態(tài)下疊層于設(shè)備上。即使在這樣的情況下，通過使方向（D)與疊層 時的運送方向一致而進(jìn)行疊層，可以抑制阻擋層的性能的降低。
[0068] 方向（D)的3%應(yīng)變時的張力只要滿足上述條件，基材（X)的材質(zhì)就沒有特別限制， 可以使用包含各種材質(zhì)的基材?；模╔)的材質(zhì)的例子包含具有透光性的熱塑性樹脂，具 體地，包含聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET)、聚碳酸酯（PC)、聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚 甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物、間規(guī)聚苯乙烯、環(huán)狀聚烯烴、環(huán)狀烯烴共聚物（C0C)、聚乙 ?；w維素、聚酰亞胺、聚丙烯、聚乙烯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚乙烯醇縮醛、聚乙烯醇縮 丁醛、聚乙烯醇、聚氯乙烯、聚甲基戊烯等。其中，聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET)、聚萘二甲酸 乙二醇酯（PEN)、聚碳酸酯（PC)和環(huán)狀烯烴共聚物（COC)從具有高的透明性、同時耐熱性優(yōu) 異的方面考慮是優(yōu)選的?；模╔)可以用多種樹脂構(gòu)成。另外，基材（X)可以是由多個層形 成的多層膜。基材（X)可以是夾著粘接層、包含多種樹脂的多層膜。
[0069] 方向（D)的3%應(yīng)變時的基材的張力根據(jù)基材的材質(zhì)、厚度、添加劑的有無和拉伸 的有無而變化。因此，通過使用拉伸彈性模量高的原材料、將厚度變厚、將金屬、無機(jī)物等復(fù) 合、或?qū)嵤├?，可以提?%應(yīng)變時的基材的張力。
[0070] 熱塑性樹脂膜可以是拉伸膜或未拉伸膜。從所得的多層結(jié)構(gòu)體的加工適性（印刷、 層壓等）優(yōu)異的方面出發(fā)，優(yōu)選是拉伸膜、特別優(yōu)選是雙軸拉伸膜。雙軸拉伸膜可以是用同 時雙軸拉伸法、逐次雙軸拉伸法、和管狀拉伸法的任意方法制造的雙軸拉伸膜。
[0071] 基材（X)的厚度沒有限定，例如可以是10 μ m?300 μ m的范圍，或可以是20 μ m? 200 μ m的范圍。但是，基材（X)厚時，由基材（X)導(dǎo)致的光的吸收變大、或多層結(jié)構(gòu)體的柔 軟性降低，因此通常優(yōu)選基材（X)的厚度為150 μ m以下。
[0072][粘接劑層（H)] 在本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體中，層（Y)可以以與基材（X)直接接觸的方式被疊層，層（Y)也 可以夾著在基材（X)與層（Y)之間配置的粘接劑層（H)而層疊于基材（X)上。根據(jù)該構(gòu)成， 有時可以提高基材（X)與層（Y)的粘接性。粘接劑層（H)可以用粘接性樹脂形成。包含粘 接性樹脂的粘接劑層（H)可以通過將基材（X)的表面用公知的錨涂劑處理、或在基材（X)的 表面涂布公知的粘接劑來形成。作為該粘接劑，例如優(yōu)選將多異氰酸酯成分與多元醇成分 混合并使其反應(yīng)的雙組分反應(yīng)型聚氨酯系粘接劑。另外，通過在錨涂劑、粘接劑中添加公知 的硅烷偶聯(lián)劑等少量的添加劑，有時可以進(jìn)而提高粘接性。作為硅烷偶聯(lián)劑的合適的例子， 可以列舉具有異氰酸酯基、環(huán)氧基、氨基、酰脲基、巰基等的反應(yīng)性基團(tuán)的硅烷偶聯(lián)劑。通過 將基材（X)和層（Y)經(jīng)由粘接劑層（H)牢固粘接，在對于本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體實施印刷、層 壓等的加工時，可以更為有效地抑制阻擋性、外觀的惡化。
[0073] 通過使粘接劑層（H)變厚，可以提高本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體的強(qiáng)度。但是，如果過于 使粘接劑層（H)變厚，則有外觀惡化的傾向。粘接劑層（H)的厚度優(yōu)選為0.01?Iym的 范圍，更優(yōu)選為〇. 03?0. 5 μ m的范圍，優(yōu)選為0. 03?0. 18 μ m的范圍，更優(yōu)選為0. 04? 0. 14 μ m的范圍，進(jìn)而優(yōu)選為0. 05?0. 10 μ m的范圍。
[0074][多層結(jié)構(gòu)體的構(gòu)成] 本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體(疊層體）可以僅由基材（X)和層（Y)構(gòu)成，或者也可僅由基材 (X)、層（Y)和粘接劑層（H)構(gòu)成。本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體可以包含多個層（Y)。另外，本發(fā)明 的多層結(jié)構(gòu)體可以進(jìn)而包含1層以上的除基材（X)、層（Y)和粘接劑層（H)以外的其它層(例 如熱塑性樹脂膜層、無機(jī)蒸鍍層等的其它層等)。具有那樣的其它構(gòu)件(其它層等)的本發(fā)明 的多層結(jié)構(gòu)體可以通過在基材（X)上使層（Y)直接或經(jīng)由粘接劑層（H)疊層后，進(jìn)而將該其 它構(gòu)件(其它層等)直接或經(jīng)由粘接層粘接或形成來進(jìn)行制造。通過在多層結(jié)構(gòu)體中含有這 樣的其它構(gòu)件(其它層等)，可以使多層結(jié)構(gòu)體的特性提高、或賦予新的特性。例如可以賦予 本發(fā)明多層結(jié)構(gòu)體熱封性、或進(jìn)而使阻擋性、力學(xué)物性提高。
[0075] 無機(jī)蒸鍍層優(yōu)選是具有對于氧氣、水蒸氣的阻擋性的層。無機(jī)蒸鍍層可以通過在 基材（X)上蒸鍍無機(jī)物來形成。作為無機(jī)蒸鍍層，可以列舉例如由氧化鋁、氧化硅、氮氧化 硅、氧化鎂、氧化錫、或它們的混合物等的無機(jī)氧化物形成的層；由氮化硅、碳氮化硅等的 無機(jī)氮化物形成的層；由碳化硅等的無機(jī)碳化物形成的層；由鋁、銀、硅、鋅、錫、鈦、鉭、鈮、 釕、鎵、鉬、釩、銦等金屬形成的層等。其中，由氧化鋁、氧化硅、氧化鎂、氮化硅、氧化鋅、氧化 鈦形成的層從對于氧氣、水蒸氣的阻擋性優(yōu)異的角度考慮是優(yōu)選的。
[0076] 無機(jī)蒸鍍層的優(yōu)選厚度根據(jù)構(gòu)成無機(jī)蒸鍍層的成分的種類而不同，但通常為2? 500nm的范圍內(nèi)。在該范圍內(nèi)，選擇多層結(jié)構(gòu)體的阻擋性、機(jī)械物性良好的厚度即可。無機(jī)蒸 鍍層的厚度小于2nm時，有無機(jī)蒸鍍層對于氧氣、水蒸氣的阻擋性表現(xiàn)的再現(xiàn)性降低的傾 向，另外，也有無機(jī)蒸鍍層不表現(xiàn)充分的阻擋性的情況。另外，無機(jī)蒸鍍層的厚度超過500nm 時，使復(fù)合結(jié)構(gòu)體拉伸或彎曲的情況下有無機(jī)蒸鍍層的阻擋性易于降低的傾向。無機(jī)蒸鍍 層的厚度更優(yōu)選為5?200nm的范圍，進(jìn)而優(yōu)選為10?IOOnm的范圍。
[0077] 作為無機(jī)蒸鍍層的形成方法，可以列舉真空蒸鍍法、濺射法、離子電鍍法、化學(xué)氣 相沉積法（CVD)等。其中，從生產(chǎn)率的角度考慮，優(yōu)選為真空蒸鍍法。作為進(jìn)行真空蒸鍍 時的加熱方式，優(yōu)選為電子束加熱方式、電阻加熱方式和感應(yīng)加熱方式的任一者。另外，為 了提高與形成無機(jī)蒸鍍層的基體的密合性和無機(jī)蒸鍍層的致密性，可以采用等離子體輔助 法、離子束輔助法進(jìn)行蒸鍍。另外，為了提高透明無機(jī)蒸鍍層的透明性，可以采用在蒸鍍時， 吹入氧氣等而產(chǎn)生反應(yīng)的反應(yīng)蒸鍍法。
[0078] 本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體可含有2層以上的層（Y)，可以分別在基材（X)的一主面?zhèn)群?另一主面?zhèn)取⒓椿模╔)的兩面上將層（Y)疊層。
[0079] 本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體可含有在一個表面或兩個表面上配置的表面保護(hù)層。作為表 面保護(hù)層，優(yōu)選是由難以受傷的樹脂制成的層。另外，如太陽能電池那樣有時在室外利用的 設(shè)備的表面保護(hù)層優(yōu)選由抗氣候性(例如耐光性）高的樹脂制成。另外，在保護(hù)需要使光透 過的面的情況下，優(yōu)選透光性高的表面保護(hù)層。在表面保護(hù)層(表面保護(hù)膜）的材料的例子 中，包含丙烯酸系樹脂、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、乙烯-四 氟乙烯共聚物、聚四氟乙烯、4-氟化乙烯-全氯烷氧基共聚物、4-氟化乙烯-6-氟化丙烯共 聚物、2-乙烯-4-氟化乙烯共聚物、聚3-氟化氯乙烯、聚偏二氟乙烯、聚氟乙烯。一例的多 層結(jié)構(gòu)體含有在一個表面上配置的丙烯酸系樹脂層。應(yīng)予說明，為了提高表面保護(hù)層的耐 久性，可以在表面保護(hù)層中添加各種添加劑(例如紫外線吸收劑)?？箽夂蛐愿叩谋砻姹Ｗo(hù) 層的優(yōu)選的一例是添加了紫外線吸收劑的丙烯酸系樹脂層。紫外線吸收劑的例子含有公知 的紫外線吸收劑，例如含有苯并三唑系、二苯甲酮系、水楊酸酯系、氰基丙烯酸酯系、鎳系、 三嗪系的紫外線吸收劑。另外，也可以并用其它的穩(wěn)定劑、光穩(wěn)定劑、抗氧化劑等。
[0080] 表面保護(hù)層在基材與阻擋層的多層結(jié)構(gòu)體（以下有時稱為"阻擋膜"）上疊層。在 阻擋膜上層疊表面保護(hù)層的方法沒有限定，例如可以使用粘接層將兩者粘接。粘接層可以 根據(jù)表面保護(hù)層的種類來選擇。例如在表面保護(hù)層為丙烯酸系樹脂膜時，作為粘接層，可以 使用聚乙烯醇縮醛(例如聚乙烯醇縮丁醛)。另外，也可以將包含丙烯酸系樹脂和聚乙烯醇 縮醛的多層膜用作表面保護(hù)層。該情況下，可以將阻擋膜與含有上述記載的表面保護(hù)層或 上述保護(hù)層的多層結(jié)構(gòu)體、多層膜夾著粘接層進(jìn)行熱層壓。
[0081] 聚乙烯醇縮醛用公知的方法使聚乙烯醇與醛化合物反應(yīng)來合成。作為與聚乙烯醇 反應(yīng)的醛化合物，優(yōu)選是碳原子數(shù)為2?6的醛化合物，更優(yōu)選是具有直鏈或支鏈的飽和脂 肪族醛，更優(yōu)選是乙醛、丙醛、正丁醛、異丁醛等。其中，進(jìn)而優(yōu)選使用選自乙醛和正丁醛中 的至少1種。
[0082] 聚乙烯醇縮醛的平均聚合度設(shè)為與縮醛化前的聚乙烯醇的粘均聚合度相同。聚乙 烯醇縮醛（聚乙烯醇）的平均聚合度優(yōu)選為500以上且2000以下的范圍，更優(yōu)選為700以 上且1700以下的范圍，進(jìn)而優(yōu)選為800以上且1500以下的范圍。聚乙烯醇的聚合度小于 500時，聚乙烯醇縮醛樹脂成型物的力學(xué)物性不足，不能進(jìn)行穩(wěn)定的成型。另一方面，聚乙烯 醇的聚合度超過2000時，作為聚乙烯醇縮醛樹脂進(jìn)行熱成型時的熔融粘度變高，成型物的 制造變得困難。應(yīng)予說明，聚乙烯醇的聚合度根據(jù)JIS-K6726進(jìn)行測定。
[0083] 聚乙烯醇縮醛中的醋酸的比例例如利用JIS K6728-1977的聚乙烯醇縮丁醛中的 乙烯基丁縮醛的方法、或使用核磁共振裝置得到的1H-NMR來測定。聚乙烯醇縮醛中的醋酸 的比例優(yōu)選為5質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為3質(zhì)量％以下，進(jìn)而優(yōu)選為2質(zhì)量％以下。殘留醋酸 基超過5質(zhì)量％時，耐熱性變得不充分，利用熱分解、交聯(lián)凝膠化進(jìn)行穩(wěn)定的熔融成型有時 變得困難。
[0084] 聚乙烯醇縮醛的縮醛比率可以利用例如JIS K6728-1977的聚乙烯醇縮丁醛中的 乙烯基丁縮醛的方法測定。乙烯基縮醛的比率相對于聚乙烯醇縮醛優(yōu)選為55?85質(zhì)量％， 更優(yōu)選為60?80質(zhì)量％。乙烯基縮醛的比率小于55質(zhì)量％的聚乙烯醇縮醛化樹脂的熱穩(wěn) 定性不充分，另外缺乏熔融加工性。另一方面，縮醛化度超過85質(zhì)量％的聚乙烯醇縮醛由 于在縮醛化反應(yīng)中需要長的時間，因此制造成本變高。
[0085] 另外，在本發(fā)明中使用的聚乙烯醇縮醛從與甲基丙烯酸系樹脂的粘接性和耐熱性 的角度考慮，可以使碳原子數(shù)為4以上的醛化合物、碳原子數(shù)為3以下的醛化合物和聚乙烯 醇反應(yīng)來合成。用碳原子數(shù)為4以上的醛化合物縮醛化了的乙烯基縮醛單元、與用碳原子 數(shù)為3以下的醛化合物縮醛化了的乙烯基縮醛單元的摩爾比率優(yōu)選為90/10?1/99,更優(yōu) 選為80/20?1/99。乙烯基縮醛單元的摩爾比率例如可以利用 1H-NMR求得。這樣的聚乙 烯醇縮醛可以提供除了強(qiáng)度·彈性模量、表面硬度、表面的平滑性、透明性以外、與甲基丙烯 酸系樹脂的粘接性和耐熱性也優(yōu)異的片材。
[0086] 本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體的構(gòu)成的優(yōu)選例子如以下所示，但不由此限定本發(fā)明多層結(jié) 構(gòu)體的構(gòu)成。應(yīng)予說明，多層結(jié)構(gòu)體可在基材與阻擋層之間具有粘接劑層（H)，但在以下的 具體例中省略該粘接劑層（H)的記載。
[0087] ( 1)阻擋層/基材/阻擋層 (2) 基材/阻擋層/粘接層/表面保護(hù)層 (3) 阻擋層/基材/阻擋層/粘接層/表面保護(hù)層 (4) 無機(jī)蒸鍍層/基材/阻擋層 (5) 無機(jī)蒸鍍層/阻擋層/基材 (6) 無機(jī)蒸鍍層/阻擋層/基材/阻擋層 (7) 無機(jī)蒸鍍層/阻擋層/基材/阻擋層/無機(jī)蒸鍍層 (8) 阻擋層/無機(jī)蒸鍍層/基材 (9) 阻擋層/無機(jī)蒸鍍層/基材/阻擋層 (10) 阻擋層/無機(jī)蒸鍍層/基材/無機(jī)蒸鍍層/阻擋層 (11) 阻擋層/無機(jī)蒸鍍層/基材/阻擋層/無機(jī)蒸鍍層 在上述構(gòu)成的例（1)?（11)中的優(yōu)選的一例中，基材為聚對苯二甲酸乙二醇酯膜或 聚碳酸酯膜。在上述構(gòu)成的例（2)和（3)中的優(yōu)選的一例中，粘接層為聚乙烯醇縮醛(例如 聚乙烯醇縮丁醛)，表面保護(hù)層為丙烯酸系樹脂層。另外，作為上述構(gòu)成的例（2)和（3)中 的其它優(yōu)選的一例，粘接層是由雙組分反應(yīng)型聚氨酯系粘接劑制成的層，表面保護(hù)層是乙 烯-四氟乙烯共聚物或丙烯酸系樹脂。上述（2)和（3)的構(gòu)成作為太陽能電池的保護(hù)片是 優(yōu)選的。
[0088][保護(hù)片和使用其的設(shè)備] 本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體的阻氣性和水蒸氣阻擋性的任一者均優(yōu)異。另外，根據(jù)本發(fā)明， 可以得到透光性優(yōu)異的多層結(jié)構(gòu)體。因此，本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體可以用作各種設(shè)備的保護(hù) 片，可以優(yōu)選用作保護(hù)需要使光透過的面的保護(hù)片。另外，本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體由于可以為 柔性，因此能夠特別優(yōu)選用作柔性的設(shè)備的保護(hù)片。應(yīng)予說明，在本說明書中，"柔性的物 體"的例子包含具有可沒有問題地纏繞在直徑為30cm的圓筒的曲面上的柔軟性的物體，例 如包含具有可沒有問題地纏繞在直徑為15cm的圓筒的曲面上的柔軟性的物體。
[0089] 本發(fā)明的設(shè)備是具有保護(hù)表面的保護(hù)片的設(shè)備，該保護(hù)片為本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu) 體。設(shè)備的例子包含太陽能電池、顯示器、照明裝置等。顯示器的例子包含電子紙、液晶顯 示器、有機(jī)EL顯示器等。照明裝置的例子包含有機(jī)EL照明裝置等。本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體 由于可以為透光性的多層結(jié)構(gòu)體，因此優(yōu)選用作要求使光透過的面的保護(hù)片。例如可以用 作保護(hù)太陽能電池的光入射面、顯示器的顯示面、照明裝置的光出射面的片材。本發(fā)明的設(shè) 備可以是柔性的設(shè)備。應(yīng)予說明，保護(hù)片以外的部分的構(gòu)成沒有限定，可以適用公知的設(shè)備 的構(gòu)成。
[0090] 本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體可用于替代保護(hù)設(shè)備的表面的玻璃。即，通過使用本發(fā)明的 多層結(jié)構(gòu)體，可以避免實質(zhì)上不具有撓性的厚的玻璃基板的使用。但是，也可以在含有厚的 玻璃基板的設(shè)備中使用本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體。
[0091] 如上述那樣，保護(hù)設(shè)備的保護(hù)片(本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體）可以進(jìn)而含有保護(hù)表面的 保護(hù)層。對于該保護(hù)層，由于前面已經(jīng)敘述，從而省略重復(fù)的說明。保護(hù)片含有表面保護(hù)層 時，在設(shè)備上依次配置阻擋膜和表面保護(hù)層。
[0092] 通過在設(shè)備的應(yīng)保護(hù)的面上固定本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體(保護(hù)片)，可得到本發(fā)明的 設(shè)備。固定保護(hù)片的方法沒有特別限定。保護(hù)片可以用公知的方法固定，例如可使用OCA (OPTICAL CLEAR ADHESIVE)等的粘接層進(jìn)行固定(粘接)，也可以使用密封劑進(jìn)行固定。具 體地，可以使用與保護(hù)片相比另外的粘接層進(jìn)行疊層，或者可以使用含有粘接層的保護(hù)片 進(jìn)行疊層。粘接層沒有特別限定，可以使用公知的粘接層或粘接劑、上述的粘接層(粘接劑 層等)或粘接劑。粘接層的例子包含作為粘接層發(fā)揮功能的膜，可以列舉例如乙烯-乙酸乙 烯酯樹脂（以下有時簡寫為"EVA")、聚乙烯醇縮丁醛、離聚物等，在多層結(jié)構(gòu)體中可使用使 與EVA的粘接性提高的聚對苯二甲酸乙二醇酯膜。
[0093] 使用本發(fā)明的保護(hù)片的太陽能電池沒有特別限定。太陽能電池的例子包含硅系太 陽能電池、化合物半導(dǎo)體太陽能電池、有機(jī)太陽能電池等。硅系太陽能電池的例子包含單晶 硅太陽能電池、多晶硅太陽能電池、非晶質(zhì)硅太陽能電池等?；衔锇雽?dǎo)體太陽能電池的例 子包含III-V族化合物半導(dǎo)體太陽能電池、II-VI族化合物半導(dǎo)體太陽能電池、I-III-VI族 化合物半導(dǎo)體太陽能電池等。另外，太陽能電池可以是多個單元電池串聯(lián)連接的集成型的 太陽能電池，或者也可以不是集成型的太陽能電池。
[0094] 一部分的太陽能電池可以以所謂的卷對卷方式形成。在卷對卷方式中，將纏繞在 送出輥上的柔性的基板(例如不銹鋼基板、樹脂基板等）送出，在基板上形成太陽能電池元 件后，將形成了太陽能電池元件的基板在卷繞輥上卷繞。本發(fā)明的保護(hù)片能夠以柔性的長 的片材的方式形成，因此可以適合用于以卷對卷方式形成的太陽能電池的保護(hù)片。例如，可 將本發(fā)明的保護(hù)片預(yù)先纏繞在輥上，以卷對卷方式形成太陽能電池元件后，在卷繞在卷繞 輥上之前，在太陽能電池元件上疊層保護(hù)片。另外，可使用以卷對卷方式形成、纏繞在輥上 的太陽能電池、和纏繞在輥上的保護(hù)片，將兩者疊層。應(yīng)予說明，對于以卷對卷方式形成的 其它設(shè)備，可以說也是同樣的。
[0095] [多層結(jié)構(gòu)體的制造方法] 以下對于制造本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體的方法的一例進(jìn)行說明。根據(jù)該方法，可以容易 地制造本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體。在本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體的制造方法中使用的材料、和多層結(jié) 構(gòu)體的構(gòu)成等與上述同樣，因此有對于重復(fù)的部分省略說明的情況。例如對于金屬氧化物 (A)、磷化合物（B)、和聚合物（C)，可適用本發(fā)明多層結(jié)構(gòu)體的說明中的記載。應(yīng)予說明，對 于對該制造方法說明的事項，可以適用于本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體。另外，對于對本發(fā)明的多層 結(jié)構(gòu)體說明的事項，可以適用于本發(fā)明的制造方法。應(yīng)予說明，對于層（Y)的形成方法，可 以適用國際公開W02011/122036號中公開的方法。
[0096] 該一例的方法包含步驟（I)、（II)和（III)。在步驟（I)中，通過將金屬氧化物（A)、 含有可與金屬氧化物（A)反應(yīng)的部位的至少1種化合物、和溶劑混合，制備含有金屬氧化物 (A) 、該至少1種化合物和該溶劑的涂布液（U)。在步驟（II)中，通過在基材（X)上涂布涂 布液（U)，在基材（X)上形成層（Y)的前體層。在步驟（III)中，通過將該前體層進(jìn)行處理， 在基材（X)上形成層（Y)。
[0097] [步驟（I)] 在步驟（I)中使用的、含有可與金屬氧化物（A)反應(yīng)的部位的至少1種化合物包含磷化 合物（B)。上述至少1種化合物中所含的金屬原子的摩爾數(shù)優(yōu)選為磷化合物（B)中所含的 磷原子的摩爾數(shù)的〇?1倍的范圍。通過使(上述至少1種化合物中含有的金屬原子的摩 爾數(shù))/(磷化合物（B)中含有的磷原子的摩爾數(shù))之比為0?1的范圍(例如0?0. 9的范 圍)，可得到具有更優(yōu)異的阻擋性的多層結(jié)構(gòu)體。為了進(jìn)一步提高多層結(jié)構(gòu)體的阻擋性，該 比例優(yōu)選為0.3以下，更優(yōu)選為0.05以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0.01以下，也可以為0。典型地， 上述至少1種化合物僅包含磷化合物（B)。
[0098] 步驟（I)優(yōu)選含有以下的步驟（Ia)?（Ic)。
[0099] 步驟（Ia):制備含有金屬氧化物（A)的液體（S)的步驟。
[0100] 步驟（Ib):制備含有磷化合物（B)的溶液（T)的步驟。
[0101] 步驟（Ic):將在上述步驟（Ia)和（Ib)中得到的液體（S)和溶液（T)混合的步驟。
[0102] 步驟（Ib)可以比步驟（Ia)先進(jìn)行，或可以與步驟（Ia)同時進(jìn)行，或也可以在步驟 (Ia)之后進(jìn)行。以下對于各步驟，更具體地進(jìn)行說明。
[0103] 在步驟（Ia)中，制備含有金屬氧化物（A)的液體（S)。液體（S)為溶液或分散液。 該液體（S)例如可以利用在公知的溶膠凝膠法中采用的方式制備。例如將上述化合物（L) 系成分、水、和根據(jù)需要的酸催化劑、有機(jī)溶劑混合，利用在公知的溶膠凝膠法采用的方式 將化合物（L)系成分進(jìn)行縮合或水解縮合，由此可以制備。利用將化合物（L)系成分進(jìn)行縮 合或水解縮合而得的、金屬氧化物（A)的分散液可以直接用作含有金屬氧化物（A)的液體 (S)。但是，根據(jù)需要，可以對于該分散液進(jìn)行特定的處理(消絮凝、或用于濃度控制的溶劑 的增減等)。
[0104] 液體（S)中的金屬氧化物（A)的含有率優(yōu)選為0. 1?30質(zhì)量％的范圍內(nèi)，更優(yōu)選 為1?20質(zhì)量％的范圍內(nèi)，進(jìn)而優(yōu)選為2?15質(zhì)量％的范圍內(nèi)。
[0105] 在步驟（Ib)中，制備含有磷化合物（B)的溶液（T)。溶液（T)可以通過將磷化合物 (B) 溶解在溶劑中來制備。磷化合物（B)的溶解性低時，可以通過實施加熱處理、超聲波處 理來促進(jìn)溶解。
[0106] 溶液（T)中的磷化合物（B)的含有率優(yōu)選為0. 1?99質(zhì)量％的范圍內(nèi)，更優(yōu)選為 0. 1?95質(zhì)量％的范圍內(nèi)，進(jìn)而優(yōu)選為0. 1?90質(zhì)量％的范圍內(nèi)。另外，溶液（T)中的磷 化合物（B)的含有率可以為0. 1?50質(zhì)量％的范圍內(nèi)，也可以為1?40質(zhì)量％的范圍內(nèi)， 還可以為2?30質(zhì)量％的范圍內(nèi)。
[0107] 在步驟（Ic)中，將液體（S)與溶液（T)混合。在液體（S)與溶液（T)的混合時，為 了抑制局部的反應(yīng)，優(yōu)選抑制添加速度，一邊進(jìn)行強(qiáng)烈攪拌一邊混合。此時，可以在攪拌的 液體（S)中添加溶液（T)，或者也可以在攪拌的溶液（T)中添加液體（S)。另外，通過將混合 時的溫度維持在30°c以下(例如20°C以下)，有可以得到保存穩(wěn)定性優(yōu)異的涂布液（U)的情 況。進(jìn)而，通過從混合結(jié)束時刻起進(jìn)而繼續(xù)攪拌30分鐘左右，有可以得到保存穩(wěn)定性優(yōu)異 的涂布液（U)的情況。
[0108] 涂布液（U)根據(jù)需要可以含有選自醋酸、鹽酸、硝酸、三氟醋酸、三氯醋酸中的至少 1種的酸化合物。涂布液（U)通過含有上述酸化合物，在步驟（Ic)中將液體（S)和溶液（T) 混合時，金屬氧化物（A)與磷化合物（B)的反應(yīng)速度和緩，其結(jié)果是有得到經(jīng)時穩(wěn)定性優(yōu)異 的涂布液（U)的情況。
[0109] 涂布液（U)中的上述酸化合物的含有率優(yōu)選為0. 1?5.0質(zhì)量％的范圍內(nèi)，更優(yōu) 選0. 5?2. 0質(zhì)量％的范圍內(nèi)。在這些范圍中，可得到由上述酸化合物的添加帶來的效果， 且上述酸化合物的除去容易。在液體（S)中殘留酸成分時，考慮其殘留量，決定上述酸化合 物的添加量即可。
[0110] 利用步驟（Ic)中的混合而得的液體可以直接用作涂布液（U)。該情況下，通常液 體（S)、溶液（T)中所含的溶劑成為涂布液（U)的溶劑。另外，可以對于利用步驟（Ic)中的 混合而得的液體進(jìn)行處理，制備涂布液（U)。例如可以進(jìn)行有機(jī)溶劑的添加、pH的調(diào)節(jié)、粘 度的調(diào)節(jié)、添加物的添加等的處理。
[0111] 只要可得到本發(fā)明的效果，涂布液（U)可以含有上述物質(zhì)以外的其它物質(zhì)。例如 涂布液（U)可含有碳酸鹽、鹽酸鹽、硝酸鹽、碳酸氫鹽、硫酸鹽、硫酸氫鹽、硼酸鹽、鋁酸鹽等 的無機(jī)金屬鹽；草酸鹽、醋酸鹽、酒石酸鹽、硬脂酸鹽等的有機(jī)酸金屬鹽；乙酰丙酮金屬配 位化合物（乙酰丙酮鋁等)、環(huán)戊二烯基金屬配位化合物(環(huán)戊二烯鈦等)、氰基金屬配位化 合物等的金屬配位化合物；層狀粘土化合物；交聯(lián)劑；聚合物（C)以外的高分子化合物；增 塑劑；抗氧化劑；紫外線吸收劑；阻燃劑等。
[0112] [步驟（II)] 在步驟（II)中，通過在基材（X)上涂布涂布液（U)，在基材（X)上形成層（Y)的前體層。 涂布液（U)可在基材（X)的至少一面上直接涂布。另外，在涂布涂布液（U)之前，用公知的 鋪涂劑處理基材（X)的表面、或在基材（X)的表面涂布公知的粘接劑等，可在基材（X)的表 面預(yù)先形成粘接劑層（H)。
[0113] 在基材（X)上涂布涂布液（U)的方法沒有特別限定，可以采用公知的方法。作為優(yōu) 選的方法，可以列舉例如鑄造法、浸漬法、輥涂法、凹版涂布法、絲網(wǎng)印刷法、逆轉(zhuǎn)涂布法、噴 涂法、吻涂法、金屬型涂布法、計量棒涂布法、密封式刮刀并用涂布法、簾式淋涂法等。
[0114] 通常在步驟（II)中，通過除去涂布液（U)中的溶劑，形成層（Y)的前體層。溶劑的 除去方法沒有特別限制，可以適用公知的干燥方法。具體地，可以將熱風(fēng)干燥法、熱輥接觸 法、紅外線加熱法、微波加熱法等的干燥方法單獨或組合適用。干燥溫度優(yōu)選比基材（X)的 流動起始溫度低0?15°c以上。涂布液（U)含有聚合物（C)時，干燥溫度優(yōu)選比聚合物（C) 的熱分解起始溫度低15?20°C以上。干燥溫度優(yōu)選為70?200°C的范圍，更優(yōu)選為80? 180°C的范圍，進(jìn)而優(yōu)選為90?160°C的范圍。溶劑的除去可在常壓下或減壓下的任一情況 下實施。另外，通過下述步驟（III)中的熱處理，可以除去溶劑。
[0115] 在層狀的基材（X)的兩面上將層（Y)疊層時，可以將涂布液（U)涂布于基材（X)的 一面后，除去溶劑，由此形成第1層(第1層（Y)的前體層)，接著將涂布液（U)涂布于基材 (X)的另一面后，除去溶劑，由此形成第2層(第2層（Y)的前體層)。在各面上涂布的涂布 液（U)的組成可以相同，或不同。
[0116] [步驟（III)] 在步驟（III)中，通過將步驟（II)中形成的前體層(層（Y)的前體層)進(jìn)行處理，而形成 層（Y)。作為處理前體層的方法，可以列舉熱處理、紫外線等的電磁波照射等。在步驟（III) 中進(jìn)行的處理可以是使金屬氧化物（A)與磷化合物（B)反應(yīng)的處理。例如在步驟（III)中 進(jìn)行的處理可以是通過使金屬氧化物（A)與磷化合物（B)反應(yīng)，經(jīng)由源于磷化合物（B)的 磷原子而使金屬氧化物（A)的粒子之間鍵合的處理。通常，步驟（III)是將上述前體層在 IKTC以上的溫度下進(jìn)行熱處理的步驟。應(yīng)予說明，雖然并非特別地限定，但在上述前體層 的紅外線吸收光譜中，800?HOOcnT 1范圍的最大吸光度（A1'）、和2500?4000CHT1范圍的 基于羥基的伸縮振動的最大吸光度（A 2'）有時滿足吸光度（A2'）/吸光度（A1'）> 0. 2的關(guān) 系。
[0117] 在步驟（III)中，進(jìn)行金屬氧化物（A)的粒子之間經(jīng)由磷原子(源于磷化合物（B) 的磷原子)鍵合的反應(yīng)。從另外的角度考慮，在步驟（III)中，進(jìn)行生成反應(yīng)產(chǎn)物（R)的反應(yīng)。 為了使該反應(yīng)充分地進(jìn)行，熱處理的溫度為IKTC以上，優(yōu)選為120°C以上，更優(yōu)選為140°C 以上，進(jìn)而優(yōu)選為170°C以上。熱處理溫度低時，得到充分的反應(yīng)程度所需的時間變長，形 成生產(chǎn)率下降的原因。熱處理的溫度優(yōu)選的上限根據(jù)基材（X)的種類等而不同。例如使用 由聚酰胺系樹脂制成的熱塑性樹脂膜作為基材（X)時，熱處理的溫度優(yōu)選為190°C以下。另 夕卜，使用由聚酯系樹脂制成的熱塑性樹脂膜作為基材（X)時，熱處理的溫度優(yōu)選為220°C以 下。熱處理可以在空氣中、氮氛圍下、或氬氛圍下等實施。
[0118] 熱處理的時間優(yōu)選為0. 1秒?1小時的范圍，更優(yōu)選為1秒?15分鐘的范圍，進(jìn) 而優(yōu)選為5?300秒的范圍。一個例子的熱處理是在110?220°C的范圍進(jìn)行0. 1秒?1 小時。另外，在另一個例子的熱處理中，在120?200°C的范圍進(jìn)行5?300秒(例如60? 300 秒)。
[0119] 為了在基材（X)與層（Y)之間配置粘接劑層（H)，而在涂布涂布液（U)之前，將基 材（X)的表面用公知的錨涂劑處理、或在基材（X)的表面涂布公知的粘接劑時，優(yōu)選進(jìn)行熟 化處理。具體地，在涂布涂布液（U)之后、步驟（III)的熱處理步驟之前，優(yōu)選將涂布了涂 布液（U)的基材（X)在較低溫度下長時間放置。熟化處理的溫度優(yōu)選小于110°C，更優(yōu)選為 KKTC以下，進(jìn)而優(yōu)選為90°C以下。另外，熟化處理的溫度優(yōu)選為KTC以上，更優(yōu)選為20°C 以上，進(jìn)而優(yōu)選為30°C以上。熟化處理的時間優(yōu)選為0. 5?10天的范圍，更優(yōu)選為1?7 天的范圍，進(jìn)而優(yōu)選為1?5天的范圍。通過進(jìn)行這樣的熟化處理，基材（X)與層（Y)之間 的粘接力變得更為牢固。
[0120] 通過上述步驟，可得到含有基材（X)和層（Y)的阻擋膜。本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體含有 阻擋膜以外的其它層時，將阻擋膜與其它層疊層。那些疊層方法沒有限定，可以使用利用粘 接層進(jìn)行疊層的方法、利用熱層壓法進(jìn)行疊層的方法。
[0121] 以下對于將上述多層結(jié)構(gòu)體用卷對卷方式制造時的優(yōu)選的一例進(jìn)行說明。該例子 包含步驟（i)、（ii)和（iii)。在步驟（i)中，以使方向（D) (3%應(yīng)變時的張力為2000N/m以 上的方向）為運送方向（MD方向）的方式、由纏繞了基材（X)的第1棍將基材（X)送出。在 步驟（ii)中，在基材（X)上形成阻擋層(層（Y))的前體層。在步驟（iii)中，將經(jīng)過了步驟 (ii)的基材（X)在第2輥上卷繞。其中，步驟（ii)包含上述的步驟（I)和（II)。
[0122] 根據(jù)該例子的制造方法，可以抑制由于在連續(xù)地形成層（Y)時、基材（X)過度地伸 長而導(dǎo)致的層（Y)阻擋性的降低。因此，根據(jù)該制造方法，可以生產(chǎn)率高地制造阻擋性優(yōu)異 的多層結(jié)構(gòu)體。
[0123] 在步驟（iii)中，可以將形成了層（Y)的前體層的基材（X)在第2輥上卷繞。該情 況下，也可以在將形成了前體層的基材（X)卷繞于第2輥的狀態(tài)下進(jìn)行熟化。
[0124] 另外，在步驟（iii)中，可以將形成了層（Y)的基材（X)在第2輥上卷繞。該情況 下的制造方法在步驟（i i )之后、步驟（i i i )之前，進(jìn)而含有通過將步驟（i i )中形成的前體 層進(jìn)行處理、而在基材（X)上形成阻擋層(層（Y))的步驟。該步驟相當(dāng)于上述步驟（III)。 艮P，該情況下，通過在步驟（i)與步驟（iii)之間進(jìn)行上述層（Y)的形成步驟(步驟（Ι)、（Π ) 和（III))，在基材（X)上形成層（Υ)。
[0125] 應(yīng)予說明，上述步驟（i)?（iii)在對于基材（X)的特定的部分進(jìn)行考慮時，依次 進(jìn)行步驟（1)、（^)、（1^)。但是，如果以基材《)的整體進(jìn)行考慮，則步驟（1)、（^)、和 (iii)通常(制造開始時和結(jié)束時除外）同時進(jìn)行。
[0126] 本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體具有阻擋膜以外的其它層(例如表面保護(hù)層）時，在任意的階 段，將該其它層疊層于基材（X)上。此時，該其它層根據(jù)形成的多層結(jié)構(gòu)體的構(gòu)成，可以在基 材（X)上直接疊層，或也可以夾著基材（X)以外的層(例如層（Y)、或?qū)樱╕)的前體層等)而在 基材（X)上疊層。將其它層在基材（X)上疊層的時機(jī)沒有特別限定，可以在步驟（i)之前、 步驟（i)與步驟（ii)之間、步驟（ii)與步驟（iii)之間、或步驟（iii)之后，將其它層在基 材（X)上疊層。通常，表面保護(hù)層是在基材（X)上形成層（Y)后，夾著層（Y)而疊層于基材 (X)上。
[0127] 在將阻擋膜以外的其它層(例如膜)疊層于基材（X)(例如阻擋膜內(nèi)的基材（X))上 的方法的優(yōu)選的一個例子中，在以使基材（X)的方向（D)為運送方向（MD方向）的方式將基 材（X)進(jìn)行運送的狀態(tài)下將該其它層疊層。
[0128] 以下對具有保護(hù)表面的保護(hù)片的柔性的設(shè)備的制造方法的一個例子進(jìn)行說明。該 制造方法含有步驟（a)和（b)。在步驟（a)中，準(zhǔn)備含有至少一個方向的3%應(yīng)變時的張力 為2000N/m以上的基材（X)和在基材（X)上形成的阻擋層(層（Y))、且纏繞在輥上的保護(hù)片。 該保護(hù)片為本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)體。在步驟（b)中，在運送形成了元件的柔性的基板的同時， 以使上述一個方向（方向（D))為運送方向（MD方向）的方式將保護(hù)片由棍送出，以覆蓋上述 元件的方式在基板上疊層保護(hù)片。該制造方法中，即使在沿運送方向施加張力的狀態(tài)下運 送保護(hù)片，也可以抑制阻擋層的阻擋性降低。
[0129] 在上述方法的典型的一例中，柔性的基板預(yù)先纏繞在送出輥上，基板由其送出輥 被送出。保護(hù)片疊層于基板上后，在卷繞輥上卷繞。即，該保護(hù)片的疊層步驟可以以卷對卷 形式進(jìn)行。該情況下，可以在送出輥上纏繞預(yù)先形成了元件的基板。另外，可以將沒有形成 元件的基板預(yù)先在送出輥上纏繞，在運送的途中、在基板上形成元件后，進(jìn)而以覆蓋該元件 的方式將保護(hù)片疊層。應(yīng)予說明，用該方法形成的設(shè)備沒有特別限定，可以是上述的設(shè)備 (太陽能電池、顯示器、照明裝置等)。即，在基板上形成的元件可以是太陽能電池元件、構(gòu)成 顯示器的元件(顯示元件)、構(gòu)成照明裝置的元件(發(fā)光元件)。
[0130] 實施例 以下通過實施例更為具體地說明本發(fā)明，但本發(fā)明不受以下實施例的任何限定。應(yīng)予 說明，實施例和比較例中的各測定和評價通過以下的方法實施。
[0131] (1)基材的3%應(yīng)變時的張力 將卷狀的基材以使運送方向（MD方向)為長邊的方式切出寬度I. 5cmX長度15cm的長 條狀，制作試驗片。對于該試驗片，使用高壓鍋（島津制作所制"AGS-H")，根據(jù)JIS K7127測 定在23°C 50%RH的條件下沿長邊方向伸長3%時的張力，將寬度方向換算為單位長度（lm)， 算出3%應(yīng)變時的張力（N/m)。
[0132] (2)透濕度 透濕度(水蒸氣透過率；WVTR)按照氣相色譜法（JIS-K7129-C)、使用蒸氣透過測定裝 置（GTR于7夕社制"GTR-WV"）進(jìn)行測定。具體地，在溫度為40°C、水蒸氣供給側(cè)的濕度為 90%RH、載氣側(cè)的濕度為0%RH的條件下測定透濕度(單位：g/ (m2 ·天)）。
[0133] 透濕度通過從制造的卷狀多層結(jié)構(gòu)體的10個地方(卷繞的初始、卷繞的最后、和 它們的中間點等）采集樣品進(jìn)行測定。由10個地方的測定值算出透濕度的平均值、和透濕 度的穩(wěn)定性（σ )。穩(wěn)定性（σ )是10處的測定值的標(biāo)準(zhǔn)偏差，是表示水蒸氣阻擋性的制造 時的偏差的指標(biāo)。該穩(wěn)定性（σ )的數(shù)值越低，表示制造時的偏差越小。
[0134] (3)氧透過率 使用氧透過量測定裝置夕' V 3 V卜口一>社制"M0C0N0X-TRAN2/20，，）測定氧透過 率（0TR)。具體地，在溫度20°C、氧供給側(cè)的濕度85%RH、載氣側(cè)的濕度85%RH、氧壓1大氣 壓、載氣壓力1大氣壓的條件下測定氧透過率(單位：ml/ (m2 ·天· atm))。載氣使用了含 有2體積％的氫氣的氮氣。
[0135] 氧透過率與上述透濕度同樣地，從制造的卷狀多層結(jié)構(gòu)體的10個地方(卷繞的初 始、卷繞的最后、和它們的中間點等)采集樣品進(jìn)行測定。由10個地方的測定值算出氧透過 率的平均值、和氧透過率的穩(wěn)定性（σ )。穩(wěn)定性（〇 )是10處的測定值的標(biāo)準(zhǔn)偏差，是表示 氧阻擋性的制造時的偏差的指標(biāo)。該穩(wěn)定性（σ )的數(shù)值越低，表示制造時的偏差越小。
[0136] (實施例1) 將蒸餾水230質(zhì)量份一邊攪拌一邊升溫至70°C。在該蒸餾水中用1小時滴加異丙醇 鋁88質(zhì)量份，將液溫緩慢升高至95°C，通過蒸餾出產(chǎn)生的異丙醇，進(jìn)行水解縮合。接著，添 加60質(zhì)量％的硝酸水溶液4. 0質(zhì)量份，在95°C攪拌3小時，由此使水解縮合物的粒子的凝 聚體消絮凝。將這樣得到的分散液進(jìn)行濃縮，使固體成分濃度以氧化鋁換算為10質(zhì)量％，由 此得到分散液（S1)。
[0137] 另外，在85質(zhì)量％的磷酸水溶液1. 76質(zhì)量份中，加入蒸餾水42. 85質(zhì)量份、甲醇 19. 00質(zhì)量份和三氟醋酸1. 39質(zhì)量份，進(jìn)行攪拌以使其均勻，由此得到溶液（T1)。接著，在 攪拌溶液（Tl)的狀態(tài)下，滴加分散液（SI )35. 00質(zhì)量份，滴加結(jié)束后進(jìn)而繼續(xù)攪拌30分鐘， 由此得到涂布液（U1)。
[0138] 接著，作為基材，準(zhǔn)備卷狀的雙軸拉伸聚對苯二甲酸乙二醇酯膜（以下有時簡寫為 "PET")?；氖褂煤穸葹?5 μ m、MD方向的3%應(yīng)變時的張力為3600N/m的基材。在該基 材的一面上，以干燥后的厚度為0. 5μ m的方式利用凹版涂布法連續(xù)地涂布涂布液（Ul)，在 l〇〇°C的熱風(fēng)干燥爐中進(jìn)行干燥。接著，在基材的另一面上，以干燥后的厚度為0. 5 μ m的方 式利用凹版涂布法連續(xù)地涂布涂布液（U1)，在KKTC的熱風(fēng)干燥爐中進(jìn)行干燥后，卷繞成 卷狀。這樣形成層（Y)的前體層。
[0139] 對于所得的前體層，使其通過熱風(fēng)干燥爐，由此在200°C實施1分鐘的熱處理，得 到具有層（Y) (0.5 μ m)/PET (25 μ m)/層（Y) (0.5 μ m)這樣的結(jié)構(gòu)的多層結(jié)構(gòu)體（A1)。 對于所得的多層結(jié)構(gòu)體(Al )，利用上述方法進(jìn)行評價。
[0140] (實施例2) 在實施例2中，使用厚度為50 μ m、3%應(yīng)變時的張力為7200N/m的PET作為基材。除了 改變基材，其它利用與實施例1同樣的方法，得到具有層（Y) (〇. 5μπι)/ΡΕΤ (50μπι)/層 (Y) (0.5μπι)這樣的結(jié)構(gòu)的多層結(jié)構(gòu)體（Α2)。對于所得的多層結(jié)構(gòu)體（Α2)，利用上述方法 進(jìn)行評價。
[0141] (實施例3) 在實施例3中，使用厚度為50 μ m、3%應(yīng)變時的張力為3000N/m的聚碳酸酯膜（以下有 時簡寫為"PC")作為基材。除了改變基材，其它利用與實施例1同樣的方法得到具有層（Y) (0.5 μ m)/PC (50 μ m)/層（Y) (0.5 μ m)這樣的結(jié)構(gòu)的多層結(jié)構(gòu)體（A3)。對于所得的多層 結(jié)構(gòu)體（A3 )，利用上述的方法進(jìn)行評價。
[0142] (實施例4) 在實施例4中，除了僅在基材的一面上形成層（Y)以外，其它利用與實施例1同樣的方 法得到具有層（Y) (0.5 μ m)/PET (25 μ m)這樣的結(jié)構(gòu)的多層結(jié)構(gòu)體（A4)。對于所得的多 層結(jié)構(gòu)體(A4)，利用上述的方法進(jìn)行評價。
[0143] (實施例5) 在實施例5中，使用厚度為50μπι的PET和厚度為IOOym的環(huán)狀烯烴共聚物（以下有 時簡寫為"C0C"）的疊層體作為基材。本基材的3%應(yīng)變時的張力為21600N/m。另外在COC 表面實施電暈放電處理。除了改變基材，僅在基材的COC面上形成層（Y)以外，其他利用與 實施例1同樣的方法得到具有PET (50 μ m)/COC (100 μ m)/層（Y) (0.5 μ m)這樣的結(jié)構(gòu) 的多層結(jié)構(gòu)體（A5)。對于所得的多層結(jié)構(gòu)體(A5)，利用上述的方法進(jìn)行評價。
[0144] (實施例6) 在85質(zhì)量％的磷酸水溶液3. 18質(zhì)量份中加入蒸餾水53. 43質(zhì)量份、10質(zhì)量％的聚乙 烯醇水溶液5. 00質(zhì)量份、甲醇19. 00質(zhì)量份和三氟醋酸1. 39質(zhì)量份，進(jìn)行攪拌，使其均勻， 由此得到溶液（T6)。接著，在攪拌溶液（T6)的狀態(tài)下，滴加實施例1中得到的分散液（SI) 18. 00質(zhì)量份，滴加結(jié)束后，進(jìn)而繼續(xù)攪拌30分鐘，由此得到涂布液（U6)。
[0145] 除了使用涂布液（U6)代替涂布液（Ul)以外，其它利用與實施例1同樣的方法得到 具有層（Y) (0.5 μ m)/PET (25 μ m)/層（Y) (0.5 μ m)這樣的結(jié)構(gòu)的多層結(jié)構(gòu)體（A6)。對 于所得的多層結(jié)構(gòu)體(A6)，利用上述方法進(jìn)行評價。
[0146] (比較例1) 在比較例1中，使用厚度為12μπι、3%應(yīng)變時的張力為1700N/m的PET作為基材。除了 改變基材，其它利用與實施例1同樣的方法，得到具有層（Y) (〇. 5μπι)/ΡΕΤ (12μπι)/層 (Y) (0.5 μ m)這樣的結(jié)構(gòu)的多層結(jié)構(gòu)體（Cl)。對于所得的多層結(jié)構(gòu)體（Cl),利用上述方法 進(jìn)行評價。
[0147] (比較例2) 在比較例2中，使用厚度為15μπι、3%應(yīng)變時的張力為llOON/m的拉伸尼龍膜（以下有 時簡寫為"0ΝΥ")作為基材。除了改變基材，其它利用與實施例1同樣的方法得到具有層（Y) (0. 5 μ m)/ONY (15 μ m)/層（Y) (0.5 μ m)這樣的結(jié)構(gòu)的多層結(jié)構(gòu)體（C2)。對于所得的多 層結(jié)構(gòu)體（C2 )，利用上述方法進(jìn)行評價。
[0148] 多層結(jié)構(gòu)體的制作條件和評價結(jié)果示于表1。

【權(quán)利要求】
1. 多層結(jié)構(gòu)體，其包含基材和在上述基材上層疊的阻擋層，其中， 上述基材的至少一個方向的3%應(yīng)變時的張力為2000N/m以上， 上述阻擋層含有反應(yīng)產(chǎn)物（R)， 上述反應(yīng)產(chǎn)物（R)是至少金屬氧化物（A)與磷化合物（B)反應(yīng)而成的反應(yīng)產(chǎn)物， 在800?1400CHT1的范圍的上述阻擋層的紅外線吸收光譜中，紅外線吸收最大的波數(shù) (n1)為 1080 ?1130CHT1 的范圍， 構(gòu)成上述金屬氧化物（A)的金屬原子實質(zhì)上是鋁原子。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層結(jié)構(gòu)體，其中，上述磷化合物（B)含有多個可與上述金屬 氧化物（A)反應(yīng)的部位。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多層結(jié)構(gòu)體，其中，上述金屬氧化物（A)是含有鍵合了可 水解的特性基團(tuán)的上述金屬原子的化合物（L)的水解縮合物。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的多層結(jié)構(gòu)體，其中，上述化合物（L)包含下式（I)所示的至少 1種化合物（L1)， aix^r1(3-ffl) (I) 在式（I)中，X1 選自 F、Cl、Br、I、R2〇-、R3C (= 0) 〇-、（R4C (= 0))2CH-和 N03 ;Ri、R2、 R3和R4分別選自烷基、芳烷基、芳基和烯基；在式（I)中，多個X1存在時，這些X 1可以彼此 相同或不同；在式（I)中，多個R1存在時，這些R1可以彼此相同或不同；在式（I)中，多個R 2存在時，這些R2可以彼此相同或不同；在式（I)中，多個R3存在時，這些R 3可以彼此相同或 不同；在式（I)中，多個R4存在時，這些R4可以彼此相同或不同；m表示1?3的整數(shù)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項所述的多層結(jié)構(gòu)體，其中，上述磷化合物（B)是選自磷 酸、多磷酸、亞磷酸、膦酸和它們的衍生物中的至少1種化合物。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1?5中任一項所述的多層結(jié)構(gòu)體，其中，含有2層以上的上述阻擋 層， 在上述基材的兩面上層疊上述阻擋層。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1?6中任一項所述的多層結(jié)構(gòu)體，其中，進(jìn)一步含有1層以上的無機(jī) 蒸鍍層。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1?7中任一項所述的多層結(jié)構(gòu)體，其中，在40°C、90/0%RH的條件下 的透濕度為〇? 005g/ (m2 ?天）以下。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1?8中任一項所述的多層結(jié)構(gòu)體，其中，進(jìn)一步含有在一個表面上配 置的丙烯酸系樹脂層。
10. 設(shè)備，其是具有保護(hù)表面的保護(hù)片的設(shè)備，其中， 上述保護(hù)片是權(quán)利要求1?8中任一項所述的多層結(jié)構(gòu)體。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其為太陽能電池、顯示器、或照明裝置。
12. 根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的設(shè)備，其為柔性的設(shè)備。
13. 根據(jù)權(quán)利要求10?12中任一項所述的設(shè)備，其中，上述多層結(jié)構(gòu)體進(jìn)而含有表面 保護(hù)層， 上述表面保護(hù)層為丙烯酸系樹脂層。
14. 多層結(jié)構(gòu)體的制造方法，所述多層結(jié)構(gòu)體含有至少一個方向的3%應(yīng)變時的張力為 2000N/m以上的基材、和在上述基材上形成的阻擋層，在所述制造方法中，包含 (i) 以使上述一個方向為運送方向的方式將上述基材由纏繞了上述基材的第1棍送出 的步驟、 (ii) 在上述基材上形成上述阻擋層的前體層的步驟、和 (iii) 將經(jīng)過了上述（ii)的步驟的上述基材在第2輥上卷繞的步驟， 上述（ii)的步驟包含 (I) 通過將金屬氧化物（A)、含有可與上述金屬氧化物（A)反應(yīng)的部位的至少1種化合 物、和溶劑混合，制備含有上述金屬氧化物（A)、上述至少1種化合物和上述溶劑的涂布液 (U)的步驟、和 (II) 通過在上述基材上涂布上述涂布液（U)，在上述基材上形成上述前體層的步驟， 上述至少1種化合物含有磷化合物（B)， 上述至少1種化合物中所含的金屬原子的摩爾數(shù)為上述磷化合物（B)中所含的磷原子 的摩爾數(shù)的〇?1倍的范圍， 構(gòu)成上述金屬氧化物（A)的金屬原子實質(zhì)上為鋁原子。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的制造方法，其中，在上述（ii)的步驟之后且在上述（iii)的 步驟之前，進(jìn)而含有通過將上述前體層進(jìn)行處理、而在上述基材上形成上述阻擋層的步驟。
16. 設(shè)備的制造方法，所述設(shè)備是具有保護(hù)表面的保護(hù)片的柔性的設(shè)備，在所述制造方 法中，包含 (a) 準(zhǔn)備含有至少一個方向的3%應(yīng)變時的張力為2000N/m以上的基材和在上述基材上 形成的阻擋層、并纏繞在輥上的保護(hù)片的步驟，和 (b) 將形成了元件的柔性的基板運送的同時，以使上述一個方向為運送方向的方式將 上述保護(hù)片由上述輥送出，以覆蓋上述元件的方式將上述保護(hù)片在上述基板上層疊的步 驟， 上述保護(hù)片是權(quán)利要求1?9的任一項所述的多層結(jié)構(gòu)體。
【文檔編號】B32B27/30GK104349895SQ201380030951
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2013年6月12日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月14日
【發(fā)明者】中谷正和, 東田昇, 吉田健太郎, 佐佐木良一, 柴田學(xué), 尾下龍也 申請人:株式會社可樂麗