專利名稱：：基板的貼合方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及適用于制造電子紙、有機(jī)EL元件等的顯示面板的基板的貼合方法和裝置ο
背景技術(shù)：
：作為基板的貼合方法，如專利文獻(xiàn)1所述，存在通過基板用粘接劑使第一基板和第二基板重疊后使該基板用粘接劑固化的方法。在這種現(xiàn)有的基板的貼合方法中，首先，使第一基板和第二基板通過在一個(gè)基板上涂敷(也稱為涂布或涂覆)的基板用粘接劑重疊。接著，重疊后的第一基板和第二基板通過進(jìn)行加熱、加壓的固化裝置即一對(duì)加熱輥之間而被搬送，使基板用粘接劑固化，完成貼I=IO在現(xiàn)有技術(shù)中，使重疊后的第一基板和第二基板通過一對(duì)輥之間，使介于這些基板之間的基板用粘接劑固化，由此完成基板的貼合。因此，重疊后的第一基板和第二基板，可能會(huì)由于在從重疊工序至加熱工序的這些基板的搬送過程中產(chǎn)生的振動(dòng)等導(dǎo)致位置偏移，或由于在一對(duì)輥之間對(duì)這些基板施加的熱的影響、外力的作用等導(dǎo)致位置偏移，進(jìn)而導(dǎo)致這些基板的貼合位置的精度下降。專利文獻(xiàn)1日本特開2009-2309
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的課題在于，在使第一基板和第二基板重疊后，通過使介于這些基板之間的基板粘接劑固化來完成這些基板的貼合時(shí)，提高這些基板的貼合位置精度。本發(fā)明的第一方面提供一種貼合基板的制造方法，在將用于制造顯示面板的第一基板和第二基板通過(利用)基板用粘接劑重疊后，使該基板用粘接劑固化，由此制造貼合基板，該貼合基板的制造方法的特征在于將第一基板支承在外形尺寸比該第一基板大的第一支承部件(或稱為第一支持部件)的中央?yún)^(qū)域，將第二基板支承在外形尺寸比該第二基板大的第二支承部件的中央?yún)^(qū)域，在上述第一支承部件的支承上述第一基板的支承面一側(cè)和上述第二支承部件的支承上述第二基板的支承面一側(cè)中的至少一方(即至少一側(cè))，以包圍上述第一基板或第二基板的方式，涂敷與上述基板用粘接劑(的固化前的粘接力)相比固化前的粘接力(或稱為粘著力)更大的支承用粘接劑，在將由上述第一支承部件支承的上述第一基板和由上述第二支承部件支承的上述第二基板重疊時(shí)，利用上述支承用粘接劑將上述第一支承部件和第二支承部件貼合。本發(fā)明的第二方面是，在本發(fā)明的第一方面中，在上述基板用粘接劑固化后，在上述第一基板和第二基板與上述支承用粘接劑之間，將第一支承部件和第二支承部件切斷。本發(fā)明的第三方面是，在本發(fā)明的第一方面或第二方面中，在減壓氣氛下，利用支承用粘接劑將上述第一支承部件和第二支承部件貼合。本發(fā)明的第四方面是，在本發(fā)明的第三方面中，上述第一基板是顯示模塊基板，上述第二基板是彩色濾光片基板。本發(fā)明的第五方面提供一種貼合基板的制造方法，在將用于制造顯示面板的、外周具有余白部的第一基板和第二基板通過基板用粘接劑重疊后，使該基板用粘接劑固化，由此制造貼合基板，該貼合基板的制造方法的特征在于將上述第二基板支承在外形尺寸比該第二基板大的支承部件的中央?yún)^(qū)域，在上述支承部件的支承上述第二基板的支承面一側(cè)和上述第一基板的余白部的與上述第二基板重疊的面一側(cè)的至少一方，以包圍上述第二基板的大小，涂敷與上述基板用粘接劑相比固化前的粘接力更大的支承用粘接劑，在將上述第一基板和第二基板重疊時(shí)，利用上述支承用粘接劑將上述支承部件和上述第一基板貼I=IO本發(fā)明的第六方面是，在本發(fā)明的第五方面中，在上述基板用粘接劑固化后，在上述第二基板與上述支承用粘接劑之間，將支承部件和上述第一基板切斷。本發(fā)明的第七方面是，在本發(fā)明的第五方面或第六方面中，在減壓氣氛下，利用支承用粘接劑將上述支承部件和上述第一基板貼合。本發(fā)明的第八方面是，在本發(fā)明的第七方面中，上述第一基板是顯示模塊基板，上述第二基板是彩色濾光片基板。本發(fā)明的第九方面提供一種貼合基板的制造裝置，在將用于制造顯示面板的第一基板和第二基板通過基板用粘接劑重疊后，使該基板用粘接劑固化，由此制造貼合基板，該貼合基板的制造裝置的特征在于，包括第一基臺(tái)，其支承外形尺寸比上述第一基板的外形尺寸大的第一支承部件，在該第一支承部件的中央?yún)^(qū)域支承上述第一基板；第二基臺(tái)，其支承外形尺寸比上述第二基板的外形尺寸大的第二支承部件，在該第二支承部件的中央?yún)^(qū)域支承上述第二基板；驅(qū)動(dòng)部，其使上述第一基臺(tái)和第二基臺(tái)在相對(duì)地接近或遠(yuǎn)離的方向上移動(dòng)；和控制部，其控制驅(qū)動(dòng)部，以使上述第一基臺(tái)和第二基臺(tái)接近地移動(dòng)，由此在將上述第一基板和上述第二基板重疊時(shí)，利用以包圍上述第一基板或第二基板的方式涂敷在上述第一支承部件的支承上述第一基板的支承面一側(cè)和上述第二支承部件的支承上述第二基板的支承面一側(cè)中的至少一方的、與上述基板用粘接劑相比固化前的粘接力更大的支承用粘接劑，將上述第一支承部件和第二支承部件貼合。本發(fā)明的第十方面是，在本發(fā)明的第九方面中，還包括切除裝置，該切除裝置在上述基板用粘接劑固化后，在上述第一基板和第二基板與上述支承用粘接劑之間，將上述第一支承部件和第二支承部件切斷。本發(fā)明的第十一方面是，在本發(fā)明的第九方面或第十方面中，還包括能夠減壓的腔室，該腔室能夠在減壓氣氛下，利用支承用粘接劑將上述第一支承部件和第二支承部件貼合。本發(fā)明的第十二方面是，在本發(fā)明的第十一方面中，上述第一支承部件和上述第二支承部件中的至少一方由柔性膜形成。本發(fā)明的第十三方面是，在本發(fā)明的第十二方面中，支承由上述柔性膜形成的支承部件的上述基臺(tái)，在與該支承部件的涂敷支承用粘接劑的部分對(duì)應(yīng)的部分，設(shè)置有高度比與該支承部件的其它部分對(duì)應(yīng)的部分高的支承面。本發(fā)明的第十四方面是，在本發(fā)明的第十三方面中，上述第一基板是顯示模塊基板，上述第二基板是彩色濾光片基板。本發(fā)明的第十五方面提供一種貼合基板的制造裝置，在將用于制造顯示面板的、外周具有余白部的第一基板和第二基板通過基板用粘接劑重疊后，使該基板用粘接劑固化，由此制造貼合基板，該貼合基板的制造裝置的特征在于，包括支承上述第一基板的第一基臺(tái)；第二基臺(tái)，其支承外形尺寸比上述第二基板的外形尺寸大的支承部件，在該支承部件的中央?yún)^(qū)域支承上述第二基板；驅(qū)動(dòng)部，其使上述第一基臺(tái)和第二基臺(tái)在相對(duì)地接近或遠(yuǎn)離的方向上移動(dòng)；和貼合裝置，其控制驅(qū)動(dòng)部，以使上述第一基臺(tái)和第二基臺(tái)接近地移動(dòng)，由此，在將上述第一基板和第二基板重疊時(shí)，利用以包圍上述第二基板的大小涂敷在上述第一基板的余白部的與上述第二基板重疊的面一側(cè)和上述支承部件的支承上述第二基板的支承面一側(cè)中的至少一方的、與上述基板用粘接劑相比固化前的粘接力更大的支承用粘接劑，將上述支承部件和上述第一基板貼合。本發(fā)明的第十六方面是，在本發(fā)明的第十五方面中，還包括切除裝置，該切除裝置在上述基板用粘接劑固化后，在上述第二基板與上述支承用粘接劑之間，將支承部件和上述第一基板切斷。本發(fā)明的第十七方面是，在本發(fā)明的第十五方面或第十六方面中，還包括能夠減壓的腔室，該腔室能夠在減壓氣氛下，利用支承用粘接劑將上述支承部件和上述第一基板貼合。本發(fā)明的第十八方面是，在本發(fā)明的第十七方面中，上述支承部件由柔性膜形成。本發(fā)明的第十九方面是，在本發(fā)明的第十八方面中，上述第一基板是顯示模塊基板，上述第二基板是彩色濾光片基板。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，能夠在將用于制造顯示面板的第一基板和第二基板重疊后，通過使介于這些基板之間的基板用粘接劑固化而完成這些基板的貼合時(shí)，提高基板的貼合位置精度。圖1是表示顯示面板制造生產(chǎn)線的示意圖。圖2是表示實(shí)施例1的基板的貼合方法的示意圖。圖3是表示第一基板的貼合準(zhǔn)備工序的示意圖。圖4是表示第二基板的貼合準(zhǔn)備工序的示意圖。圖5是表示將第一基板和第二基板設(shè)置到貼合裝置的工序的示意圖。圖6是表示貼合裝置中進(jìn)行的第一基板和第二基板的重疊工序的示意圖。圖7是表示利用支承用粘接劑進(jìn)行臨時(shí)固定工序的示意圖。圖8是表示利用固化裝置進(jìn)行基板用粘接劑的固化的工序的示意圖。圖9是表示利用切除裝置進(jìn)行基板模塊的取出的工序的示意圖。圖10是表示實(shí)施例2的基板的貼合方法的示意圖。圖11是表示實(shí)施例3的基板的貼合方法的示意圖。圖12㈧、⑶是表示基板的貼合準(zhǔn)備工序的示意圖。圖13是表示貼合裝置的變形例的示意圖。附圖標(biāo)記的說明1第一基板2第二基板3基板用粘接劑4基板模塊5第一支承部件6第二支承部件8支承用粘接劑11減壓泵12腔室20第一基臺(tái)22彈性支承部件23彈性凸部23A高階差支承面30第二基臺(tái)32靜電保持部件40攝像單元50氣體供給源100重疊裝置200固化裝置300切除裝置具體實(shí)施例方式(實(shí)施例1)(圖1圖9)圖1所示的顯示面板制造生產(chǎn)線，將第一基板1和第二基板2通過(隔著)涂敷在第一基板1上形成的膜狀的基板用粘接劑3重疊，然后使基板用粘接劑3固化(通過使溶劑蒸發(fā)來實(shí)現(xiàn)的固化以及通過化學(xué)反應(yīng)而實(shí)現(xiàn)的固化)，由此組裝基板模塊4，該生產(chǎn)線具有重疊裝置100、固化裝置200和切除裝置300。重疊裝置100，在將第一基板1和第二基板2分別支承在第一支承部件5和第二支承部件6的中央?yún)^(qū)域的狀態(tài)下，通過設(shè)置于第一基板1的基板用粘接劑3，以規(guī)定的位置重疊精度將第一基板1和第二基板2重疊。固化裝置200，使被重疊裝置100重疊的基板1、2之間的基板用粘接劑3固化。切除裝置300，在固化裝置200使基板用粘接劑3固化后，將第一支承部件5和第二支承部件6在比支承第一基板1和第二基板2的中央?yún)^(qū)域更靠外側(cè)的外周部進(jìn)行切除，取出基板模塊4。另外，此處，第一基板1是顯示模塊基板，該顯示模塊基板具有呈矩陣狀地配置有多個(gè)微囊(microcapsule，也稱為微小容器)的電泳片和與微囊對(duì)應(yīng)地形成有開關(guān)元件的元件基板，該微囊封入有電泳粒子。另外，第二基板2是彩色濾光片基板。另外，此處，第一支承部件5和第二支承部件6的支承有第一基板1、第二基板2的區(qū)域是中央?yún)^(qū)域。并且，外周部是比中央?yún)^(qū)域更靠外側(cè)的至第一支承部件5和第二支承部件6的外邊緣為止的區(qū)域。第一支承部件5、第二支承部件6具有比第一基板1、第二基板2大的外形尺寸(輪廓)，第一基板1、第二基板2按照各自的中央分別與第一支承部件5和8第二支承部件6—致的方式被支承。另外，該實(shí)施例中，第一基板1和第二基板2的大小相同，第一支承部件5和第二支承部件6的大小相同。重疊裝置100如圖2所示，具有用減壓泵11減壓的腔室12。S卩，腔室12內(nèi)由減壓泵11減壓至規(guī)定的壓力，例如1左右。在腔室12的一側(cè)形成有由閘部件13開閉的出入口14，由第一支承部件5支承的上述第一基板1和由第二支承部件6支承的第二基板2從該出入口14出入(放入取出)。上述腔室12內(nèi)設(shè)置有第一基臺(tái)20。該第一基臺(tái)20由第一驅(qū)動(dòng)源21在X、Y和θ方向上驅(qū)動(dòng)。支承涂敷有基板用粘接劑3的上述第一基板1的第一支承部件5，以使第一基板1的支承面向上的方式，隔著(通過)彈性支承部件22被支承在第一基臺(tái)20的保持面(上表面)上。在第一基臺(tái)20的上方，設(shè)置有第二基臺(tái)30。該第二基臺(tái)30，被第二驅(qū)動(dòng)源31在相對(duì)第一基臺(tái)20接近或遠(yuǎn)離的Z方向上驅(qū)動(dòng)。在第二基臺(tái)30的下表面的保持面，隔著靜電保持部件32，利用靜電力保持支承上述第二基板2的第二支承部件6。另外，各基臺(tái)20、30的保持面的面積形成為比支承基板1、2的支承部件5、6的面積稍大。并且，第二基臺(tái)30對(duì)基板2的保持并不限于利用靜電保持部件32，也可以利用真空吸附保持部件、粘接保持部件等其它的保持部件。通過第一支承部件5和第二支承部件6保持在第一基臺(tái)20和第二基臺(tái)30(上)的第一基板1和第二基板2，其四角部分別被設(shè)置在上述腔室12的下方的4組攝像單元40(只圖示2組)拍攝。各攝像單元40包括粗對(duì)位用的第一攝像相機(jī)41；和攝像倍率比該第一攝像相機(jī)41高的精密對(duì)位用的第二攝像相機(jī)42。各攝像單元40的第一、第二攝像相機(jī)41、42由具有Χ、Υ和Z平臺(tái)(table)的定位裝置43在X、Y和Z方向上驅(qū)動(dòng)，各定位裝置43設(shè)置在配置于上述腔室12的下方的載置板44上。上述腔室12的底壁的至少與各定位裝置43相對(duì)的部位形成為透明窗45。在配置于上述腔室12內(nèi)的第一基臺(tái)20和彈性支承部件22的與上述透明窗45對(duì)應(yīng)的部位，形成有空洞部46，使得能夠通過上述第一、第二攝像相機(jī)41、42拍攝通過第一支承部件5(支承部件5由透光性的材料形成，優(yōu)選由透明材料形成)保持在第一基臺(tái)20、彈性支承部件22的保持面上的第一基板1的四角部、且通過上述第一、第二攝像相機(jī)41、42隔著該第一基板1拍攝保持在上述第二基臺(tái)30的保持面上的第二基板2的四角部。在上述第一基板1和第二基板2的外側(cè)的四角部，分別設(shè)置有未圖示的粗對(duì)位標(biāo)記和精密對(duì)位標(biāo)記。通過使各基板1、2的粗對(duì)位標(biāo)記一致，能夠?qū)Φ谝换?和第二基板2進(jìn)行粗對(duì)位，通過使各精密對(duì)位標(biāo)記一致，能夠?qū)σ粚?duì)基板1、2進(jìn)行精密對(duì)位。其中，為了拍攝第一、第二基板1、2的圖像，在第一基臺(tái)20和彈性支承部件20形成有空洞部46，但也可以不形成空洞部46，而使第一基臺(tái)20和彈性支承部件22整體由透明的材料形成。第一攝像相機(jī)41和第二攝像相機(jī)42的攝像信號(hào)被輸入到未圖示的圖像處理部。圖像處理部對(duì)輸入的攝像信號(hào)使用公知的圖像處理技術(shù)進(jìn)行處理，計(jì)算各基板1、2的對(duì)位標(biāo)記的相位的位置偏移。即，圖像處理部對(duì)第一攝像相機(jī)41的攝像進(jìn)行圖像處理，對(duì)第一基板1的粗對(duì)位標(biāo)記與第二基板2的粗對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，計(jì)算兩標(biāo)記的相對(duì)的位置偏移(偏差)。另外，圖像處理部對(duì)第二攝像相機(jī)42的攝像進(jìn)行圖像處理，對(duì)第一基板1的精密對(duì)位標(biāo)記與第二基板2的精密對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，計(jì)算兩標(biāo)記的相對(duì)的位置偏移。圖像處理部將計(jì)算結(jié)果發(fā)送到設(shè)置于控制裝置47的未圖示的運(yùn)算處理部。在運(yùn)算處理部中，根據(jù)由圖像處理部計(jì)算出的分別設(shè)置在第一基板1和第二基板2的四角部的各一對(duì)的粗對(duì)位標(biāo)記或精密對(duì)位標(biāo)記的相對(duì)的位置偏移，計(jì)算這些基板1、2的X、Y和θ方向上的相對(duì)的位置偏移。當(dāng)通過上述運(yùn)算處理部計(jì)算出一對(duì)基板1、2的位置偏移時(shí)，將該位置偏移存儲(chǔ)在設(shè)置于控制裝置47的未圖示的存儲(chǔ)部中，也向驅(qū)動(dòng)部(同樣未圖示)輸出。由此，驅(qū)動(dòng)部向驅(qū)動(dòng)第一基臺(tái)20的第一驅(qū)動(dòng)源21輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)，將上述第一基板20在X方向、Y方向和θ方向上驅(qū)動(dòng)，將第一基板1和第二基板2對(duì)位。第一基板1和第二基板2的對(duì)位，通過基于來自第一攝像相機(jī)41的攝像信號(hào)的粗對(duì)位和基于來自第二攝像相機(jī)42的攝像信號(hào)的精密對(duì)位來進(jìn)行。另外，在進(jìn)行第一基板1和第二基板2的粗對(duì)位和精密對(duì)位時(shí)，第一基板1和第二基板2的間隔可以相同，也可以與粗對(duì)位相比，在基板1、2的間隔更近時(shí)進(jìn)行精密對(duì)位。第一基板1和第二基板2的間隔，由上述控制裝置47的驅(qū)動(dòng)部控制上述第二驅(qū)動(dòng)源31來進(jìn)行。在上述腔室12，通過流量調(diào)整閥51連接有供給氮等被加壓后的氣體的氣體供給源50。通過調(diào)整流量調(diào)整閥51的開度來調(diào)整向腔室12內(nèi)供給的氣體的流量，能夠使通過減壓泵11減壓后的腔室12內(nèi)的壓力基于規(guī)定的上升曲線上升。上述流量調(diào)整閥51的開度由上述控制裝置47的驅(qū)動(dòng)部調(diào)整。以下，對(duì)使用重疊裝置100、固化裝置200和切除裝置300制造由第一基板1和第二基板2形成的基板模塊4的方法，連同這些裝置結(jié)構(gòu)一起進(jìn)行說明。(1)第一基板1的貼合準(zhǔn)備工序(圖3)在第一基板1的上表面預(yù)先涂敷基板用粘接劑3形成基板用粘接劑3的膜，并通過雙面粘接膠帶等將該第一基板1的下表面(設(shè)置有基板用粘接劑3的面的相反側(cè)的面)載置在具有比第一基板1的輪廓大的輪廓的第一支承部件5上進(jìn)行支承(圖3(A))。在本實(shí)施例中，基板用粘接劑3具有被加熱后固化的熱固化性，由于粘度低等原因，常溫下不發(fā)揮粘接性或粘接性極弱。另外，第一支承部件5由透光性的柔性膜(即可撓性膜)形成。另外，此處，就基板用粘接劑3而言，既可以涂敷液狀或膏狀的粘接劑，也可以貼附片狀的粘接劑。另外，在形成基板用粘接劑3的膜之前，可以使第一支承部件5的內(nèi)周部支承第一基板1。在第一支承部件5的外周部，以涂敷裝置7吐出的支承用粘接劑8在周方向上呈環(huán)狀地相連的方式涂敷該支承用粘接劑8(圖3(B),(O)0在本實(shí)施例中，支承用粘接劑是通過紫外線照射而硬化的UV硬化型(UV固化型)粘接劑。另外，支承用粘接劑8是具有硬化(固化)前的狀態(tài)下的粘接力比基板用粘接劑3更大的特性的粘接劑。(2)第二基板2的貼合準(zhǔn)備工序(圖4)通過雙面粘接膠帶等將第二基板2的下表面(與第一基板1貼合的面的相反側(cè)的面)載置在具有比第二基板2的輪廓大的輪廓的第二支承部件6的內(nèi)周部進(jìn)行支承(圖4)。其中，第二支承部件6由透光性的玻璃基板或樹脂基板形成。(3)將上述(1)的第一基板1和上述O)的第二基板2設(shè)置到重疊裝置100的工序(圖5)將支承第一基板1的第一支承部件5載置在重疊裝置100的腔室12內(nèi)的第一基臺(tái)20的彈性支承部件22上加以支承。第一支承部件5通過摩擦力由第一基臺(tái)20的彈性支承部件22保持。此時(shí)，在本實(shí)施例中，由于上述(1)中在第一支承部件5的外周部涂敷的支承用粘接劑8的涂敷高度比第一基板1和第二基板2的總板厚小，所以在支承第一支承部件5的第一基臺(tái)20的彈性支承部件22的外周部中、與該第一支承部件5的涂敷支承用粘接劑8的部分對(duì)應(yīng)的外周部，設(shè)置具有高階差支承面23A的框狀的彈性凸部23。由此，第一支承部件5中涂敷有支承用粘接劑8的部分的下表面由彈性凸部23支承，在第一支承部件5的支承第一基板1的部件的下表面，形成高階差支承面23A的階差高度的空隙。利用后述(4)的由柔性膜形成的第一支承部件5的撓曲來補(bǔ)足支承用粘接劑8的上述涂敷高度的不足。另外，此處在彈性凸部23處的高階差支承面23A，沿著彈性凸部23的框形狀形成有多個(gè)未圖示的真空吸附孔，能夠真空吸附第一支承部件5的周緣部。另外，也可以將彈性支承部件22的位于彈性凸部23的內(nèi)側(cè)的上表面形成為與彈性凸部23的高階差支承面23A相同的高度，在第一支承部件5的下表面與彈性支承部件22的上表面之間不形成空隙。此時(shí)，可以利用比彈性凸部23更軟的彈性材料來形成彈性支承部件22，使得在如后所述將第一基板1與第二基板2重疊時(shí)，彈性支承部件22的與第一基板1對(duì)應(yīng)的支承面能夠相對(duì)于高階差支承面23A下陷。另一方面，將支承第二基板2的第二支承部件6靜電吸附于重疊裝置100的腔室12內(nèi)的第二基臺(tái)30的靜電保持部件32加以保持。接著，將如上所述支承于第一基臺(tái)20的第一基板1與如上所述支承于第二基臺(tái)30的第二基板2的重疊位置對(duì)位。S卩，控制裝置47的運(yùn)算處理部，根據(jù)攝像單元40的第一攝像相機(jī)41或第二攝像相機(jī)42拍攝的第一基板1和第二基板2的四角部的各一對(duì)的粗對(duì)位標(biāo)記或精密對(duì)位標(biāo)記的攝像信號(hào)，計(jì)算這些基板1、2的X、Y和θ方向上的相對(duì)的位置偏移?？刂蒲b置47的驅(qū)動(dòng)部，以消除該位置偏移的方式在X方向、Y方向和θ方向上驅(qū)動(dòng)第一基臺(tái)20，對(duì)第一基板1和第二基板2進(jìn)行對(duì)位。(4)重疊裝置100進(jìn)行的第一基板1和第二基板2的重疊工序(圖6)通過控制裝置47的驅(qū)動(dòng)部將第二基臺(tái)30在Z方向(下方向)上驅(qū)動(dòng)，使第一基板1和第二基板2以上述(3)的對(duì)位狀態(tài)重疊，并通過支承用粘接劑8貼合第一支承部件5和第二支承部件6。由此，第一基板1和第二基板2構(gòu)成夾在第一支承部件5和第二支承部件6之間并被保持的基板模塊4。另外，泵腔室12內(nèi)從第一基板1和第二基板2的上述重疊前起已通過減壓泵11被減壓，在該減壓氣氛下，將第一基板1和第二基板2重疊，并利用支承用粘接劑8將第一支承部件5和第二支承部件6貼合。由此，將重疊第一基板1和第二基板2而形成的基板模塊4夾在第一支承部件5和第二支承部件6之間，密封在由第一支承部件5、第二支承部件6和支承用粘接劑8形成的減壓氣氛中。此時(shí)，由柔性膜形成的第一支承部件5與所述(3)的支承用粘接劑8的涂敷高度不足的量相應(yīng)地被壓入第一基臺(tái)20的由彈性支撐部件22的高階差支撐面23Α所包圍的內(nèi)周側(cè)階差部，與相對(duì)的第二支承部件6通過支撐部用粘接劑8被粘接而被貼合。即，重疊裝置100作為第一、第二支撐部件5、6的貼合裝置發(fā)揮功能。將第一基板1和第二基板2夾在第一支承部件5和第二支承部件6之間加以保持的基板模塊4構(gòu)成之后，利用從氣體供給源50供給的氣體，腔室12內(nèi)返回到大氣壓。由此，構(gòu)成基板模塊4的第一基板1和第二基板2在受到大氣的外壓的第一支承部件5和第二支承部件6之間被牢固地重疊并被保持，可靠地維持所述(3)的對(duì)位狀態(tài)。(5)支承用粘接劑8的硬化工序(圖7)解除第二基臺(tái)30的靜電保持部件32進(jìn)行的靜電保持，使構(gòu)成基板模塊4的第二支承部件6離開第二基臺(tái)30的靜電保持部件32，使第二基臺(tái)30上升。接著，將間部件13打開，從出入口14取出基板模塊4，搬送至位于與固化裝置200之間的UV照射位置。另外，第二基臺(tái)30的靜電保持部件32進(jìn)行的靜電保持的解除，也可以在將第一基板1和第二基板2重疊之后進(jìn)行，即，也可以在將第一支承部件5和第二支承部件6貼合后，至從氣體供給源50向腔室12內(nèi)開始供給氣體為止的期間內(nèi)進(jìn)行。在UV照射位置，利用未圖示的紫外線照射裝置，從基板模塊4的上方向整個(gè)基板模塊4進(jìn)行紫外線照射，支承用粘接劑8固化(硬化)。此時(shí)，為了防止紫外線照射到第一基板1、第二基板2、以及兩基板1、2之間的基板粘接劑3，在基板模塊4中與第一基板1、第二基板2、兩基板1、2之間的基板粘接劑3對(duì)應(yīng)的部分配置掩膜(mask遮蔽物)9。由此，使第一支承部件5和第二支承部件6夾持第一基板1和第二基板2的保持狀態(tài)牢固，可靠地維持所述(3)的第一基板1和第二基板2的對(duì)位狀態(tài)。(6)采用固化裝置200進(jìn)行的基板用粘接劑3的固化工序(圖8)將基板模塊4搬送至固化裝置200，在固化裝置200的加熱爐201內(nèi)對(duì)基板模塊4進(jìn)行加熱，并且將基板模塊4的第一基板1和第一支承部件5以及第二基板2和第二支承部件6夾在加壓部件202與支承臺(tái)203之間利用加壓部件202加壓，對(duì)第一基板1和第二基板2之間的基板用粘接劑3進(jìn)行加熱、加壓并使之固化。由此，第一基板1和第二基板2保持在所述(3)的重疊裝置100被重疊的位置精度的狀態(tài)被貼合，構(gòu)成基板模塊4的第一基板1和第二基板2的貼合位置精度被提高。(7)采用切除裝置300進(jìn)行的基板模塊4的取出工序(圖9)在利用固化裝置200使基板用粘接劑3固化后的基板模塊4中，將第一支承部件5和第二支承部件6的外周部與支承用粘接劑8一并切除。具體來說，在第一支承部件5和第二支承部件6的外周部的、所述第一基板和第二基板與所述支承用粘接劑之間，沿著其外周邊預(yù)先設(shè)定切斷除去線(圖9的C表示切斷除去線)。使具有未圖示的切斷機(jī)構(gòu)的進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的圓盤狀的切斷齒，沿著預(yù)先設(shè)定的切斷除去線移動(dòng)，將第一支承部件5和第二支承部件6的、比切斷除去線靠外側(cè)的部分與支承用粘接劑8—并切除。由此，基板模塊4被取出，將第一支承部件5從第一基板1剝離，將第二支承部件6從第二基板2剝離，完成基板模塊4。采用本實(shí)施例起到以下的作用效果。(a)在重疊裝置100中，將第一基板1和第二基板2對(duì)位并進(jìn)行重疊時(shí)，利用支承用粘接劑8將對(duì)第一基板1進(jìn)行支承的第一支承部件5和對(duì)第二基板2進(jìn)行支承的第二支承部件6貼合。第一基板1和第二基板2通過在固化前的狀態(tài)下粘度(粘接力)比基板用粘接劑3高的支承用粘接劑8被牢固地貼合。因此，通過重疊裝置100被對(duì)位并被重疊的第一基板1和第二基板2，被夾持在第一支承部件5和第二支承部件6之間并被保持，該第一支承部件5和第二支承部件6比第一基板1和第二基板2之間被更牢固地粘接在相互之間無位置偏離的狀態(tài)。由此，第一基板1和第二基板2在第一支承部件5和第二支承部件6之間重疊保持為無位置偏離的狀態(tài)，即使介于兩基板1、2之間的粘接劑3由于粘度低等原因在被加熱前不發(fā)揮粘接力的情況下，在被搬送到用于對(duì)涂敷在這些基板1、2之間的基板用粘接劑進(jìn)行固化的固化裝置200時(shí)，即使受到震動(dòng)等位置也不偏離，在固化裝置200中即使受到對(duì)基板1、2所施加的熱量的影響、外力的作用等也無位置偏離，能夠使基板用粘接劑3固化并完成貼合。因此，在保持基板1、2在重疊裝置100中被重疊的對(duì)位精度的狀態(tài)完成貼合時(shí)，能夠提高基板1、2的貼合對(duì)位精度，提高由基板1、2構(gòu)成的面板品質(zhì)。具體來說，在制造電子紙時(shí)，利用重疊裝置高精度地對(duì)作為顯示模塊部的第一基板1和作為彩色濾光片基板的第二基板2進(jìn)行對(duì)位并加以重疊之后，直至利用固化裝置200使介于兩基板1、2之間的粘接劑3固化為止的期間內(nèi)，因?yàn)閮苫?、2之間的對(duì)位狀態(tài)被維持，所以能夠?qū)⒉噬珵V光片基板高精度地粘接固定在顯示模塊部。因此，能夠得到顯示品質(zhì)良好的電子紙，該電子紙能夠防止由彩色濾光片基板的位置偏離引起的顯示色不均(顯示色斑)等。(b)在減壓氣氛下，利用支承用粘接劑8將第一支承部件5和第二支承部件6貼合。因此，在減壓氣氛下利用支承用粘接劑8將第一支承部件5和第二支承部件6貼合的結(jié)果是，如上述(a)那樣將第一基板1和第二基板2夾在第一支承部件5和第二支承部件6之間加以保持而構(gòu)成基板模塊4，在減壓氣氛下密封該基板模塊4。然后，腔室12內(nèi)返回至大氣壓，即使第一支承部件5和第二支承部件6等暴露在大氣下，被夾持在第一支承部件5和第二支承部件6之間的第一基板1和第二基板2依然被密封在減壓氣氛下，基板1、2在受到大氣的外壓的第一支承部件5和第二支承部件6之間進(jìn)一步被牢固地重疊并被保持，位置不偏離，直至如上述(a)那樣完成貼合，提高其貼合位置精度。(c)第一支承部件5由柔性膜構(gòu)成。由柔性膜構(gòu)成的支承部件5陷入(進(jìn)入)到如上述(a)、(b)那樣被夾持的基板1的外周角和外周面地密封，能夠進(jìn)一步牢固地重疊并保持這些基板1、2。(d)對(duì)支承部件5進(jìn)行支承的第一基臺(tái)20上設(shè)置有彈性支承部件22的彈性凸部23。在對(duì)支承部件5進(jìn)行支承的第一基臺(tái)20的保持面(上表面)上有變形(歪曲)時(shí)，彈性支承部件22的彈性凸部23吸收該變形。因此，重疊裝置100能夠通過第一和第二基臺(tái)20、30，對(duì)第一基板1、第二基板2及這些基板1、2之間的基板用粘接劑3、以及第一支承部件5和第二支承部件6的整個(gè)面均勻地施加重疊負(fù)荷、貼合負(fù)荷，能夠提高包括這些基板1、2的面板的品質(zhì)。(e)在對(duì)由柔性膜構(gòu)成的支承部件5進(jìn)行支承的第一基臺(tái)20的外周部，即在與蓋支承部件5的涂敷支承用粘接劑8的部分對(duì)應(yīng)的外周部，設(shè)置高階差支承面23A。因此，在利用涂敷在第一支承部件5和第二支承部件6的外周部的支承用粘接劑8包圍第一基板1和第二基板2時(shí)，當(dāng)支承用粘接劑8的涂敷高度小于第一基板1和第二基板2的合計(jì)板厚(總板厚)時(shí)，能夠利用由柔性膜構(gòu)成的支承部件5的彎曲補(bǔ)充支承用粘接劑8的涂敷高度的不足。由柔性膜構(gòu)成的支承部件5，與支承用粘接劑8的涂敷高度不足的量相應(yīng)地，被壓入對(duì)該支承部件5進(jìn)行支承的第一基臺(tái)20的外周部的高階差支承面23A所包圍的內(nèi)周側(cè)階差部，通過支承用粘接劑8與相對(duì)的另一方的第二支承部件6貼合。因此，能夠利用支承用粘接劑8更加可靠地粘接第一支承部件5和第二支承部件6。(f)基板用粘接劑3具有熱固化性。將在重疊裝置100中如上述的方式重疊并保持的第一基板1和第二基板2搬送至固化裝置200，對(duì)涂敷在這些基板1、2之間的基板用粘接劑3進(jìn)行加熱、加壓并進(jìn)行固化。保持這些基板1、2在重疊裝置100中被重疊的對(duì)位精度完成貼合。(g)基板用粘接劑3固化后，切除第一支承部件5的外周部和第二支承部件6的外周部，能夠?qū)⒁愿叩馁N合位置精度貼合的基板模塊4提供給顯示用面板等。另外，在實(shí)施例1中，雖然在第一支承部件5的外周部涂敷支承用粘接劑8，但是支承用粘接劑8也可以涂敷在第一支承部件5和/或第二支承部件6的外周部。(實(shí)施例2)(圖10)圖10所示的實(shí)施例2與實(shí)施例1不同之處是，在重疊裝置100中，將第一基臺(tái)20的彈性支承部件22上的彈性凸部23撤去，第一支承部件5的整個(gè)下表面與形成為平面的彈性支承部件22的上表面相接并被該彈性支承部件22支承。(實(shí)施例3)(圖11、12)圖11、圖12所示的實(shí)施例3與實(shí)施例1的不同之處是，僅使用1個(gè)支承部件6(也可以僅使用支承部件幻。即，第一基板1被形成為其外形大于第二基板2的外形，從第二基板2伸出的部分是制造上使用的余白部，是作為制品所不需要的部分。在使用與實(shí)施例1相同的重疊裝置100時(shí)，重疊裝置100能夠在第二基臺(tái)30(具有靜電保持部件3對(duì)支承部件6進(jìn)行支承，該支承部件6對(duì)第二基板2進(jìn)行支承，并且該重疊裝置100能夠在第一基臺(tái)20直接對(duì)第一基板1進(jìn)行支承。另外，在第一基板1的外周部(余白部)涂敷有支承用粘接劑8(也可以在支承部件6的外周部涂敷支承用粘接劑8)。在重疊裝置100中，將第一基板1和第二基板2重疊時(shí)，將第一基板1支承在第一基臺(tái)20上，并且將支承部件6支承在第二基臺(tái)30上，利用支承用粘接劑將第一基板1和支承部件6貼合。采用本實(shí)施例能夠起到以下的作用效果。在重疊裝置100中，將第一基板1和第二基板2對(duì)位并重疊時(shí)，利用支承用粘接劑8將第一基板1和對(duì)第二基板2進(jìn)行支承的第二支承部件6貼合。因此，通過重疊裝置100被對(duì)位并被重疊的第一基板1和第二基板2構(gòu)成為將第二基板2夾持并保持在第一基板1和支承部件6之間，其中，該第一基板1和支承部件6通過支承用粘接劑8被粘接在比第一基板1和第二基板2之間更牢固且相互之間沒有位置偏離的狀態(tài)，在固化前的狀態(tài)下，支承用粘接劑8的粘度(粘接力)比基板用粘接劑3的高。由此，第一基板1和第二基板2在第一基板1和第二支承部件6之間被重疊保持在不會(huì)使第二基板2發(fā)生位置偏離的狀態(tài)，在被搬送到用于對(duì)涂敷在這些基板1、2之間的基板用粘接劑3進(jìn)行固化的固化裝置200時(shí)，即使受到震動(dòng)等位置也不偏離，在固化裝置200中即使受到對(duì)這些基板1、2施加的熱量的影響、外力的作用等位置也無偏離，使基板用粘接劑3固化，從而完成貼合。因此，能夠使這些基板1、2在重疊裝置100中保持重疊對(duì)位精度地完成貼合，能夠提高基板1、2的貼合對(duì)位精度，提高由這些基板1、2構(gòu)成的面板的品質(zhì)。具體來說，在制造電子紙時(shí)，利用重疊裝置將作為顯示模塊部的第一基板1和作為彩色濾光片基板的第二基板2高精度地對(duì)位并進(jìn)行重疊之后，至利用固化裝置200使介于兩基板1、2之間的粘接劑3固化為止的期間，因?yàn)閮苫?、2之間的對(duì)位狀態(tài)被維持，所以能夠?qū)⒉噬珵V光片基板高精度地粘接固定在顯示模塊部。因此，能夠得到能夠防止由于彩色濾光片的位置偏離導(dǎo)致的顯示色不均等的顯示品質(zhì)良好的電子紙。而且，即使是實(shí)施例3，也能夠在重疊裝置100的腔室12內(nèi)，在減壓氣氛下，利用支承用粘接劑8將第一基板1和支承部件6貼合。起到與實(shí)施例1的所述(b)相同的作用效^ο另外，支承部件6也能夠是由柔性膜構(gòu)成的部件。起到與實(shí)施例1的所述(C)相同的作用效果。另外，在對(duì)支承部件6進(jìn)行支承的臺(tái)30上也能夠設(shè)置彈性支承面。起到與實(shí)施例1的所述(d)相同的作用效果。另外，能夠在對(duì)由柔性膜構(gòu)成的支承部件6進(jìn)行支承的基臺(tái)30的外周部，即在與該支承部件6的涂敷支承用粘接劑8的部分對(duì)應(yīng)的外周部，設(shè)置高階差支承面。起到與實(shí)施例1的所述(e)相同的作用效果。另外，也能夠使涂敷在第一基板和第二基板之間的基板用粘接劑3具有熱固化性，設(shè)置使基板用粘接劑3固化的加熱固化裝置200。采用與實(shí)施例1相同的固化裝置200，起到與所述(f)相同的作用效果。另外，也能夠設(shè)置切除裝置300，在利用固化裝置200使基板用粘接劑3固化后，利用該切除裝置300將支承部件6的外周部和第一基板1的外周部切除。采用與實(shí)施例1相同的固化裝置300，起到與所述(g)相同的作用效果。(實(shí)施例4)實(shí)施例4與實(shí)施例1的不同之處是，采用由改善基板模塊4的光學(xué)特性的光學(xué)樹脂形成的粘接劑作為基板用粘接劑3。由光學(xué)樹脂形成的基板用粘接劑3是由于紫外線的照射而固化的UV硬化型(UV固化型)，通過紫外線照射裝置被固化?；逵谜辰觿?在由光學(xué)樹脂形成的情況下，由于粘度低等原因，基板用粘接劑3在常溫下不發(fā)揮粘接性或其粘接性非常弱，既可以涂敷為液體狀或膏狀，也可以是粘貼為片狀的方式。因此，在實(shí)施例4中，能夠采用重疊裝置100、紫外線照射裝置和切除裝置300(不要具有加熱爐的固化裝置200)，以實(shí)施例1的(1)(5)、(7)的結(jié)構(gòu)制造包括第一基板1和第二基板2的基板模塊4。另外，在實(shí)施例1的(5)中，在紫外線照射裝置使UV固化型的支承用粘接劑8固化時(shí)，同樣由UV固化型的光學(xué)樹脂構(gòu)成的本實(shí)施例的基板用粘接劑3也同時(shí)進(jìn)行固化。然后，通過實(shí)施例1的(7)的切除裝置300，將第一支承部件5和第二支承部件6的外周部與支承用粘接劑8—起切除，取出基板模塊4，將第一支承部件5從第一基板1剝離，將第二支承部件6從第二基板2剝離，完成基板模塊4。而根據(jù)本實(shí)施例，在重疊裝置100中，將第一基板1和第二基板2對(duì)位并重疊時(shí)，利用支承用粘接劑8將對(duì)第一基板1進(jìn)行支承的第一支承部件5和對(duì)第二基板2進(jìn)行支承的第二支承部件6貼合。第一基板1和第二基板2通過支承用粘接劑8被牢固地貼合，其中，該支承用粘接劑8與基板用粘接劑3相比，在固化前的狀態(tài)下粘度(粘接力)更高。因此，通過重疊裝置100被對(duì)位并被重疊的第一基板1和第二基板2被夾持在第一支承部件5和第二支承部件6之間并被保持，該第一支承部件5和第二支承部件6被粘接在與第一基板1和第二基板2相比更牢固地粘貼且相互之間無位置偏離的狀態(tài)。由此，第一基板115和第二基板2在第一支承部件5和第二支承部件6之間重疊保持在無位置偏離的狀態(tài)，即使在介于兩基板1、2之間的粘接劑3由于粘度低等原因不發(fā)揮粘接力的情況下，被搬送到用于對(duì)涂敷在這些基板1、2之間的基板用粘接劑3進(jìn)行UV硬化的紫外線照射裝置時(shí)，即使受到震動(dòng)等位置也不偏離，在通過紫外線照射裝置對(duì)粘接劑3施加的紫外線的照射而硬化的過程中，即使該粘接劑3收縮等，基板1、2的位置也不偏離，使基板用粘接劑3固化，從而完成貼合。因此，能夠使基板1、2保持在重疊裝置100中被重疊的對(duì)位精度完成貼合，能夠提高基板1、2的貼合對(duì)位精度，提高包括基板1、2的面板的品質(zhì)。具體來說，在制造電子紙時(shí)，利用重疊裝置高精度地將作為顯示模塊部的第一基板1和作為彩色濾光片基板的第二基板2對(duì)位并進(jìn)行重疊之后，在通過固化裝置200使介于兩基板1、2之間的粘接劑3固化為止的期間，因?yàn)閮苫?、2之間的對(duì)位狀態(tài)被維持，所以能夠?qū)⒉噬珵V光片基板高精度地粘接固定在顯示模塊部。因此，能夠得到能夠防止由于彩色濾光片的位置偏離導(dǎo)致的顯示色不均等的顯示品質(zhì)良好的電子紙。另外，在減壓氣氛下，利用支承用粘接劑8將第一支承部件5和第二支承部件6貼合。因此，在重疊裝置100的減壓氣氛下利用支承用粘接劑8將第一支承部件5和第二支承部件6貼合的結(jié)果是，如上所述那樣將第一基板1和第二基板2夾持在第一支承部件5和第二支承部件6之間而形成基板模塊4，且將該基板模塊4密封在減壓氣氛下。之后，腔室12內(nèi)返回至大氣壓，即使第一支承部件5和第二支承部件6等暴露在大氣下，被夾持在第一支承部件5和第二支承部件6之間的第一基板1和第二基板2依然被密封在減壓氣氛下，因此這些基板1、2在受到大氣的外壓的第一支承部件5和第二支承部件6之間被更牢固地重疊保持，位置不偏離，直至如上所述那樣完成貼合，能夠提高第一基板1和第二基板2的貼合位置精度。另外，通過使基板用粘接劑3具有UV固化性，將在重疊裝置100中如上述那樣重疊保持的第一基板1和第二基板2搬送至紫外線照射裝置，使涂敷在這些基板1、2之間的基板用粘接劑3進(jìn)行UV硬化并固化。使這些基板1、2保持在重疊裝置100中被重疊的對(duì)位精度地完成貼合。以上，雖然根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但是本發(fā)明的具體的結(jié)構(gòu)并不被限定于該實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明的趣旨的范圍內(nèi)進(jìn)行的設(shè)計(jì)的變更等也包含于本發(fā)明。例如，在實(shí)施例1中，雖然在彈性支承部件22上設(shè)置有彈性凸部23，但是也可以將兩者獨(dú)立地設(shè)置。例如，以與第一支承部件5上的支承用粘接劑8的涂敷位置對(duì)應(yīng)的矩陣框形狀的形狀設(shè)置規(guī)定高度的彈性凸部23，在彈性凸部23的框區(qū)域的內(nèi)側(cè)設(shè)置由比彈性凸部23更柔軟的彈性材料形成的彈性支承部件22。通過采用這種結(jié)構(gòu)，在通過第二基臺(tái)30的下降，第二基板2隔著基板用粘接劑3被按壓在第一基板1上時(shí)，即使彈性支承部件22被壓垮，也由于彈性凸部23與彈性支承部件22被獨(dú)立地形成，且第一支承部件5由柔性膜構(gòu)成，因此彈性凸部23不會(huì)被壓垮而維持原來的形狀。因此，即使在涂覆在第一支承部件5上的支承用粘接劑8的涂敷高度小于兩基板1、2的合計(jì)板厚(總板厚)的情況下，也能夠可靠地使支承用粘接劑8接觸第二支承部件6并進(jìn)行粘接。另外，也可以利用彈性材料代替彈性支承部件22，利用彈簧22S等彈性支承具有對(duì)第一支承部件5進(jìn)行支承的支承面的、能夠升降的平板22P(圖13)。另外，在使第一支承部件5的下表面或第一基板1的下表面接觸彈性支承部件22的上表面進(jìn)行支承的情況下，也可以在彈性支承部件22的上表面設(shè)置真空吸附孔等吸附機(jī)構(gòu)。另外，雖然在減壓氣氛下進(jìn)行第一基板1和第二基板2的重疊以及第一支承部件5和第二支承部件6的粘接，但是并不限制于此，也可以在大氣壓下進(jìn)行。即使在這種情況下，重疊的第一基板1和第二基板2之間的對(duì)位狀態(tài)，通過被支承用粘接劑8粘接的第一支承部件5和第二支承部件6被維持，因此，在由固化裝置200使基板用粘接劑3固化為止的期間內(nèi)，能夠防止重疊的第一基板1和第二基板2之間的對(duì)位狀態(tài)被損壞。另外，在大氣壓下進(jìn)行第一基板1和第二基板2的重疊時(shí)，支承用粘接劑8不需要連續(xù)涂敷為封閉環(huán)狀，只要能夠得到能夠防止第一基板1和第二基板2的位置偏離的程度的粘接力即可，因此也可以斷續(xù)地進(jìn)行涂敷。另外，雖然對(duì)支承用粘接劑8為UV(紫外線)硬化型的粘接劑的例子進(jìn)行了說明，但是并不限制于此，只要在固化前的狀態(tài)下具有比基板用粘接劑高的粘度(粘接性)即可，因此也可以是熱固化性的粘接劑、熱UV并用硬化型等。例如，在上述的實(shí)施例1中，在使支承用粘接劑8為熱固化性的情況下，省略在工序(5)中所示的支承用粘接劑8的硬化工序，在工序(6)中與基板用粘接劑3的固化同時(shí)進(jìn)行支承用粘接劑8的固化。即使是這種情況下，也因?yàn)橹С杏谜辰觿?具有比基板用粘接劑3高的粘度(粘接性)，所以能夠利用其粘接力防止第一支承部件5和第二支承部件6之間的位置偏離，因此也能夠防止夾在第一支承部件5和第二支承部件6之間的第一基板1和第二基板2間的位置偏離，能夠防止在從重疊開始到基板用粘接劑3被固化為止的期間在搬送中等第一基板1和第二基板2之間的對(duì)位狀態(tài)被破壞。另外，在重疊裝置100中，也可以設(shè)置支承用粘接劑8的臨時(shí)硬化用UV照射機(jī)構(gòu)。例如，可以在第一基臺(tái)20或第二基臺(tái)30的與支承用粘接劑8的涂敷位置對(duì)應(yīng)的一個(gè)位置或多個(gè)位置設(shè)置連接UV光源的UV照射口，在將第一基板1和第二基板2重疊后，且在解除靜電保持部件32對(duì)第二支承部件6的保持之前，從UV照射口向支承用粘接劑8照射紫外線，使支承用粘接劑8部分硬化。另外，也可以與支承用粘接劑8的涂敷位置的整個(gè)區(qū)域?qū)?yīng)地配置UV照射口，能夠使支承用粘接劑8的整個(gè)區(qū)域固化，代替配置在重疊位置100和固化裝置200之間的紫外線照射裝置。另外，雖然以熱固化性的例子對(duì)位于第一基板1和第二基板2之間的基板用粘接劑3進(jìn)行了說明，但是也能夠使用通過紫外線的照射而固化的UV硬化性的粘接劑和/或由于加壓而固化的加壓固化性的粘接劑等。另外，在實(shí)施例14中，雖然在第一基板1和第二基板2中的至少一方設(shè)置有支承部件，但是在第一基板1和第二基板2雙方在其外周部具有余白部等作為制品不需要的部分的情況下，也可以使用第一基板1和第二基板2雙方的余白部作為支承部件。產(chǎn)業(yè)上的可利用性采用本發(fā)明，在將用于制造顯示面板的第一基板和第二基板對(duì)位并重疊后，通過對(duì)介于這些基板之間的基板用粘接劑進(jìn)行固化，在完成這些基板的貼合時(shí)，能夠提高這些基板的貼合位置精度。權(quán)利要求1.一種貼合基板的制造方法，在將用于制造顯示面板的第一基板和第二基板通過基板用粘接劑重疊后，使該基板用粘接劑固化，由此制造貼合基板，該貼合基板的制造方法的特征在于將第一基板支承在外形尺寸比該第一基板大的第一支承部件的中央?yún)^(qū)域，將第二基板支承在外形尺寸比該第二基板大的第二支承部件的中央?yún)^(qū)域，在所述第一支承部件的支承所述第一基板的支承面一側(cè)和所述第二支承部件的支承所述第二基板的支承面一側(cè)中的至少一方，以包圍所述第一基板或第二基板的方式，涂敷與所述基板用粘接劑相比固化前的粘接力更大的支承用粘接劑，在將由所述第一支承部件支承的所述第一基板和由所述第二支承部件支承的所述第二基板重疊時(shí)，利用所述支承用粘接劑將所述第一支承部件和第二支承部件貼合。2.如權(quán)利要求1所述的貼合基板的制造方法，其特征在于在所述基板用粘接劑固化后，在所述第一基板和第二基板與所述支承用粘接劑之間，將第一支承部件和第二支承部件切斷。3.如權(quán)利要求1或2所述的貼合基板的制造方法，其特征在于在減壓氣氛下，利用支承用粘接劑將所述第一支承部件和第二支承部件貼合。4.如權(quán)利要求3所述的貼合基板的制造方法，其特征在于所述第一基板是顯示模塊基板，所述第二基板是彩色濾光片基板。5.一種貼合基板的制造方法，在將用于制造顯示面板的、外周具有余白部的第一基板和第二基板通過基板用粘接劑重疊后，使該基板用粘接劑固化，由此制造貼合基板，該貼合基板的制造方法的特征在于將所述第二基板支承在外形尺寸比該第二基板大的支承部件的中央?yún)^(qū)域，在所述支承部件的支承所述第二基板的支承面一側(cè)和所述第一基板的余白部的與所述第二基板重疊的面一側(cè)中的至少一方，以包圍所述第二基板的大小，涂敷與所述基板用粘接劑相比固化前的粘接力更大的支承用粘接劑，在將所述第一基板和第二基板重疊時(shí)，利用所述支承用粘接劑將所述支承部件和所述第一基板貼合。6.如權(quán)利要求5所述的貼合基板的制造方法，其特征在于在所述基板用粘接劑固化后，在所述第二基板與所述支承用粘接劑之間，將支承部件和所述第一基板切斷。7.如權(quán)利要求5或6所述的貼合基板的制造方法，其特征在于在減壓氣氛下，利用支承用粘接劑將所述支承部件和所述第一基板貼合。8.如權(quán)利要求7所述的貼合基板的制造方法，其特征在于所述第一基板是顯示模塊基板，所述第二基板是彩色濾光片基板。9.一種貼合基板的制造裝置，在將用于制造顯示面板的第一基板和第二基板通過基板用粘接劑重疊后，使該基板用粘接劑固化，由此制造貼合基板，該貼合基板的制造裝置的特征在于，包括第一基臺(tái)，其支承外形尺寸比所述第一基板的外形尺寸大的第一支承部件，在該第一支承部件的中央?yún)^(qū)域支承所述第一基板；第二基臺(tái)，其支承外形尺寸比所述第二基板的外形尺寸大的第二支承部件，在該第二支承部件的中央?yún)^(qū)域支承所述第二基板；驅(qū)動(dòng)部，其使所述第一基臺(tái)和第二基臺(tái)在相對(duì)地接近或遠(yuǎn)離的方向上移動(dòng)；和控制部，其控制驅(qū)動(dòng)部，以使所述第一基臺(tái)和第二基臺(tái)接近地移動(dòng)，由此在將所述第一基板和所述第二基板重疊時(shí)，利用以包圍所述第一基板或第二基板的方式涂敷在所述第一支承部件的支承所述第一基板的支承面一側(cè)和所述第二支承部件的支承所述第二基板的支承面一側(cè)中的至少一方的、與所述基板用粘接劑相比固化前的粘接力更大的支承用粘接劑，將所述第一支承部件和第二支承部件貼合。10.如權(quán)利要求9所述的貼合基板的制造裝置，其特征在于，包括切除裝置，該切除裝置在所述基板用粘接劑固化后，在所述第一基板和第二基板與所述支承用粘接劑之間，將所述第一支承部件和第二支承部件切斷。11.如權(quán)利要求9或10所述的貼合基板的制造裝置，其特征在于，包括能夠減壓的腔室，該腔室能夠在減壓氣氛下，利用支承用粘接劑將所述第一支承部件和第二支承部件貼合。12.如權(quán)利要求11所述的貼合基板的制造裝置，其特征在于所述第一支承部件和所述第二支承部件中的至少一方由柔性膜形成。13.如權(quán)利要求12所述的貼合基板的制造裝置，其特征在于支承由所述柔性膜形成的支承部件的所述基臺(tái)，在與該支承部件的涂敷支承用粘接劑的部分對(duì)應(yīng)的部分，設(shè)置有高度比與該支承部件的其它部分對(duì)應(yīng)的部分高的支承面。14.如權(quán)利要求13所述的貼合基板的制造裝置，其特征在于所述第一基板是顯示模塊基板，所述第二基板是彩色濾光片基板。15.一種貼合基板的制造裝置，在將用于制造顯示面板的、外周具有余白部的第一基板和第二基板通過基板用粘接劑重疊后，使該基板用粘接劑固化，由此制造貼合基板，該貼合基板的制造裝置的特征在于，包括支承所述第一基板的第一基臺(tái)；第二基臺(tái)，其支承外形尺寸比所述第二基板的外形尺寸大的支承部件，在該支承部件的中央?yún)^(qū)域支承所述第二基板；驅(qū)動(dòng)部，其使所述第一基臺(tái)和第二基臺(tái)在相對(duì)地接近或遠(yuǎn)離的方向上移動(dòng)；和貼合裝置，其控制驅(qū)動(dòng)部，以使所述第一基臺(tái)和第二基臺(tái)接近地移動(dòng)，由此，在將所述第一基板和第二基板重疊時(shí)，利用以包圍所述第二基板的大小涂敷在所述第一基板的余白部的與所述第二基板重疊的面一側(cè)和所述支承部件的支承所述第二基板的支承面一側(cè)中的至少一方的、與所述基板用粘接劑相比固化前的粘接力更大的支承用粘接劑，將所述支承部件和所述第一基板貼合。16.如權(quán)利要求15所述的貼合基板的制造裝置，其特征在于，包括切除裝置，該切除裝置在所述基板用粘接劑固化后，在所述第二基板與所述支承用粘接劑之間，將支承部件和所述第一基板切斷。17.如權(quán)利要求15或16所述的貼合基板的制造裝置，其特征在于，包括能夠減壓的腔室，該腔室能夠在減壓氣氛下，利用支承用粘接劑將所述支承部件和所述第一基板貼合。18.如權(quán)利要求17所述的貼合基板的制造裝置，其特征在于所述支承部件由柔性膜形成。19.如權(quán)利要求18所述的貼合基板的制造裝置，其特征在于所述第一基板是顯示模塊基板，所述第二基板是彩色濾光片基板。全文摘要本發(fā)明提供基板的貼合方法和裝置。將用于制造顯示面板的第一基板和第二基板對(duì)位并重疊后，使涂敷在這些基板之間的基板用粘接劑固化，由此在將這些基板貼合完后，能夠提高這些基板的貼合位置精度。一種貼合基板的制造裝置包括使第一基臺(tái)和第二基臺(tái)在相對(duì)地接近或遠(yuǎn)離的方向上移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部；和控制部，其控制驅(qū)動(dòng)部，以使第一基臺(tái)和第二基臺(tái)接近移動(dòng)，由此在將第一基板和第二基板重疊時(shí)，利用以包圍第一基板或第二基板的方式涂敷在第一支承部件的支承第一基板的支承面一側(cè)和第二支承部件的支承第二基板的支承面一側(cè)的至少一方的、固化前的粘接力比基板用粘接劑的大的支承用粘接劑，將第一支承部件和第二支承部件貼合。文檔編號(hào)B32B37/10GK102152598SQ2010106175公開日2011年8月17日申請(qǐng)日期2010年12月29日優(yōu)先權(quán)日2009年12月29日發(fā)明者伊原一彥,增田浩一,牧野勉,高橋崇史申請(qǐng)人:芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司