專利名稱：薄膜輸送裝置和薄膜輸送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于保持停止的薄膜的前端部，沿著輸送路線輸送所述薄 膜的薄膜輸送裝置和薄膜輸送方法。
背景技術(shù)：
在襯底表面貼附具有感光性樹脂層(感光材料層)的感光性板體(感光性板)，構(gòu)成例如液晶面板用襯底、印刷電路布線用襯底、PDP面板用 襯底。感光性板例如在可撓性塑料支承體上按順序?qū)盈B感光性樹脂層和保 護(hù)薄膜。在這種感光性板體的貼附中使用的制造裝置通常采用將玻璃襯底或 樹脂襯底等襯底分別分開規(guī)定的間隔，在層壓輥之間輸送，并且將剝離與 貼附在所述襯底上的感光性樹脂層的范圍對應(yīng)的保護(hù)薄膜的感光性板體 在所述層壓輥之間輸送的方式。例如，在特開平8-183146號公報(bào)中描述的千保護(hù)膜的層壓方法中， 如圖8所示，沿著襯底l的輸送方向，依次配置襯底預(yù)熱部、層壓部、襯 底冷卻部、襯底上薄膜切斷部和薄膜除去部。該襯底1由襯底預(yù)熱部的預(yù) 熱加熱器2加熱到規(guī)定的溫度后，輸送到層壓部。在層壓部配置一對層壓輥3a、 3b，在所述層壓輥3a、 3b之間輸送襯 底1和干保護(hù)膜4，所述干保護(hù)膜4熱壓接在所述襯底1上。須指出的是， 干保護(hù)膜4預(yù)先剝離覆蓋薄膜5，未圖示的保護(hù)層向著襯底1側(cè)熱壓接。熱壓接干保護(hù)膜4的襯底1通過輸送輥6向襯底冷卻部輸送，通過襯 底冷卻部件7冷卻。通過襯底冷卻部冷卻十保護(hù)膜4，該千保護(hù)膜4的保 護(hù)層硬化，并且與襯底1的緊貼力提高。因lJt，在下一級的襯底上薄膜切 斷部，切斷干保護(hù)膜4時(shí)，防止由于切斷的應(yīng)力，發(fā)生保護(hù)層的剝離。接著，連接襯底l彼此間的干保護(hù)膜4在襯底上薄膜切斷部，由具有刀具的襯底上薄膜切斷部件8切斷，并且所述襯底l向薄膜除去部輸送。 在該薄膜除去部，襯底l由加熱輥9再加熱后，通過薄膜剝離部件IO，將 連接所述襯底1之間并且在切斷工序中形成的切斷面之間的干保護(hù)膜4從 所述襯底1除去。在所述的以往技術(shù)中，有時(shí)在箭頭方向只輸送千保護(hù)膜4。例如是通 過自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)開始層疊時(shí)；在自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)中不供給襯底1，輸送一個(gè)由層壓輥 3a、 3b加熱的所述干保護(hù)膜4，除去時(shí)；通過手動(dòng)操作，排出所述干保護(hù) 膜4，切割，結(jié)束作業(yè)時(shí)。進(jìn)行這種處理時(shí)，千保護(hù)膜4由襯底h薄膜切斷部件8切斷的狀態(tài)下， 停止。而且，重新開始作業(yè)時(shí)，干保護(hù)膜4的前端部在配置在襯底上薄膜 切斷部件8的上游側(cè)的輸送輥的旋轉(zhuǎn)作用下，輸送到配置在所述襯底上薄 膜切斷部件8的下游側(cè)的輸送輥。但是，干保護(hù)膜4直接與輸送輥滑接，所以發(fā)生剝離帶電等引起的靜 電，所述干保護(hù)膜4有可能與薄膜輸送用引導(dǎo)部件(未圖示)等粘接。由 此，干保護(hù)膜4不能良好地輸送，容易引起堵塞，例如阻止襯底l的正常 的輸送，發(fā)生所述襯底1破損等設(shè)備故障。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明解決這種問題，其目的在于，提供能用簡單的結(jié)構(gòu)和工序盡可 能阻止薄膜的堵塞，能保持停止的薄膜的前端部，沿著輸送路線順利并且 可靠地輸送所述薄膜的薄膜輸送裝置和薄膜輸送方法。本發(fā)明涉及用于保持停止的薄膜的前端部，沿著輸送路線輸送所述薄 膜的薄膜輸送裝置。薄膜輸送裝置包括單元主體，其收容切斷所述薄膜的切斷機(jī)構(gòu)、配 置在所述切斷機(jī)構(gòu)的輸送方向卜.游側(cè)的.卜:游側(cè)薄膜輸送輥對、配置在所述 切斷機(jī)構(gòu)的輸送方向下游側(cè)的下游側(cè)薄膜輸送輥對；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其在由所述下游側(cè)薄膜輸送輥對夾持被所述切斷機(jī)構(gòu)切斷的所述薄膜的前端部時(shí)， 所述薄膜停止的狀態(tài)下，使所述單元主體沿著所述輸送路線在與輸送方向相反的反輸送方向移動(dòng)；力矩電動(dòng)機(jī)，其在所述單元主體在所述反輸送方 向移動(dòng)時(shí)，相對于所述h游側(cè)薄膜輸送輥對和所述下游側(cè)薄膜輸送輥對，在用于將所述薄膜在所述輸送方向送出的薄膜輸送方向賦予旋轉(zhuǎn)力矩。此外，本發(fā)明涉及用于保持停止的薄膜的前端部，沿著輸送路線輸送 所述薄膜的薄膜輸送方法。薄膜輸送方法包括在使所述薄膜停止的狀態(tài)下，使薄膜輸送輥對在 薄膜輸送方向旋轉(zhuǎn)，同時(shí)使薄膜輸送輥對在與輸送方向相反的反輸送方向 移動(dòng)的工序；由所述薄膜輸送輥對夾持所述薄膜的前端部，并且在所述薄 膜輸送輥對的旋轉(zhuǎn)作用下，將所述薄膜在所述輸送方向送出的工序。在本發(fā)明中，在薄膜停止的狀態(tài)下，薄膜輸送輥對 -邊在薄膜輸送方 向旋轉(zhuǎn)， 一邊在與輸送力—向相反的反輸送方向移動(dòng)。因此，與將薄膜向薄 膜輸送輥對輸送的情況相比，能將所述薄膜維持在所希望的平面形狀，能 盡可能阻止所述薄膜的堵塞。由此，能用簡單結(jié)構(gòu)和工序可靠地保持薄膜 的前端部，沿著輸送路線順利并且良好地輸送所述薄膜。根據(jù)附圖以及以下的優(yōu)選實(shí)施方式例的說明，可更清楚地了解所述目 的、特征以及優(yōu)點(diǎn)。


圖1是組入本發(fā)明實(shí)施方式的薄膜輸送裝置的感光性層疊體的制造系 統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖。圖2是所述制造系統(tǒng)中使用的長條狀感光性板的剖視圖。圖3是將粘接標(biāo)簽粘接到長條狀感光性板上的狀態(tài)的說明圖。圖4是所述薄膜輸送裝置的概略結(jié)構(gòu)說明圖。圖5是所述薄膜輸送裝置的動(dòng)作說明圖。圖6是所述薄膜輸送裝置的動(dòng)作說明圖。圖7是所述薄膜輸送裝置的動(dòng)作說明圖。圖8是以往技術(shù)的干保護(hù)膜的層沐:方法的說明圖。具體實(shí)施方式

圖1是組入本發(fā)明實(shí)施方式的薄膜輸送裝置的感光性層疊體的制造系 統(tǒng)20的概略結(jié)構(gòu)圖。該制造系統(tǒng)20在液晶或有機(jī)EL用濾色器等的制作 工序中，進(jìn)行將由規(guī)定寬度尺寸構(gòu)成的長條狀感光性板22的感光性樹脂層28 (后面描述)熱轉(zhuǎn)印(層壓)到玻璃襯底24上的作業(yè)。圖2是層壓裝置20中使用的長條狀感光性板22的剖視圖。層疊撓性 基膜(支承體)26、感光性樹脂層(感光材料層)28、保護(hù)薄膜30，構(gòu)成 該長條狀感光性板22。如圖1所示，層壓裝置20包括收容將長條狀感光性板22巻繞為輥 狀的感光性板輥23，能從所述感光性板輥23送出所述長條狀感光性板22 的板送出機(jī)構(gòu)32;形成在送出的長條狀感光性板22的保護(hù)薄膜30和感光 性樹脂層28的寬度方向能切斷的2處邊界部分即半切斷部位34a、34b(參 照圖2)的加工機(jī)構(gòu)36;將在局部具有非粘接部38a的粘接標(biāo)簽38 (參照 圖3)與所述保護(hù)薄膜30粘接的標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40。在標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40的K游配覽川r將長條狀感光性板22從間歇輸送 變更為連續(xù)輸送的儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42、能以規(guī)定的長度間隔從所述長條狀感光性 板22剝離保護(hù)薄膜30的剝離機(jī)構(gòu)44。在剝離機(jī)構(gòu)44的下游配置在將玻璃襯底24加熱到規(guī)定溫度的狀態(tài)下 對貼附位置供給的襯底供給機(jī)構(gòu)45、將由于保護(hù)薄膜30的剝離而露出的 感光性樹脂層28與所述玻璃襯底24 —體地貼附的貼附機(jī)構(gòu)46、本實(shí)施方 式的薄膜輸送裝置48。在板送出機(jī)構(gòu)32的下游附近配置將大致使用完畢的長條狀感光性板 22的后端和新使用的長條狀感光性板22的前端貼附的貼附臺(tái)49。在貼附 臺(tái)49的下游，為了控制感光性板輥23的巻偏移引起的寬度方向的偏移， 配置薄膜末端位置檢測器53。加工機(jī)構(gòu)36配置在用于計(jì)算板送出機(jī)構(gòu)32上收容纏繞的感光性板輥 23的輥直徑的輥對50的下游。加工機(jī)構(gòu)36具有分開距離M (參照圖2) 的一對圓刀52a、 52b。圓刀52a、 52b在長條狀感光性板22的寬度方向運(yùn) 動(dòng)，在夾著保護(hù)薄膜30的殘存部分B的規(guī)定的2個(gè)位置形成半切斷部位 34a、 34b (參照圖2)。半切斷部位34a、 34b需要全:少切斷保護(hù)薄膜30和感光性樹脂層28， 實(shí)際上，以切入到撓性基膜26的方式設(shè)定圓刀52a、 52b的切入深度。圓 刀52a、 52b采用在不旋轉(zhuǎn)而固定的狀態(tài)下，在長條狀感光性板22的寬 度方向移動(dòng)，形成半切斷部位34a、 34b的方式；或者，不在所述長條狀感光性板22上滑動(dòng)， 邊旋轉(zhuǎn)-邊在所述寬度方向移動(dòng)，形成所述半切斷部位34a、 34b的方式。半切斷部位34a、 34b設(shè)定為將感光性樹脂層28貼附在玻璃襯底24 時(shí)，例如從所述玻璃襯底24的兩端部分別向內(nèi)側(cè)進(jìn)入10mm的位置。須 指出的是，玻璃襯底24之間的保護(hù)薄膜30的殘存部分B作為在后面描述 的貼附機(jī)構(gòu)46，將感光性樹脂/,〗28在所述玻璃襯底24貼附為框狀時(shí)的掩 模起作用。標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40為了與玻璃襯底24之間對應(yīng)而剩下保護(hù)薄膜30的 殘存部分B，而供給連結(jié)半切斷部位34b側(cè)的剝離部分A和半切斷部位 34a側(cè)的剝離部分A的粘接標(biāo)簽38。如圖3所示，粘接標(biāo)簽38構(gòu)成為長方形，例如用與保護(hù)薄膜30相同 的樹脂材料形成。粘接標(biāo)簽38在屮央部具有不涂敷粘合劑的非粘接部(包 含微粘合)38a，并且在該非粘接部38a的兩側(cè)即所述粘接標(biāo)簽38的縱向 兩側(cè)端部具有與前方的剝離部分A粘接的第一粘接部38b、與后方的剝離 部分A粘接的第二粘接部38c。如圖1所示，標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40具有分別隔開規(guī)定間隔最大能貼附7 個(gè)粘接標(biāo)簽38的吸附盤54a 54g，并且在基于所述吸附盤54a 54g的所述 粘接標(biāo)簽38的貼附位置，可自由升降地配置用于從下方保持長條狀感光 性板22的承受臺(tái)56。儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42為了吸收上游側(cè)的長條狀感光性板22的間歇輸送和下游 側(cè)的所述長條狀感光性板22的連續(xù)輸送的速度差，具有在箭頭方向能自 由擺動(dòng)的松緊調(diào)節(jié)輥60。配置在儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42的下游的剝離機(jī)構(gòu)44具有遮斷長條狀感光性板22 的送出側(cè)的張力變動(dòng)，用于使層壓時(shí)的張力穩(wěn)定化的吸入筒62。在吸入筒 62的附近配置剝離輥63，并且通過該剝離輥63從長條狀感光性板22以 銳角的剝離角剝離的保護(hù)薄膜30除/殘留部分B夕卜，巻繞在保護(hù)薄膜巻 繞部64。在剝離機(jī)構(gòu)44的下游側(cè)配置能對長條狀感光性板22賦予張力的張力 控制機(jī)構(gòu)66。通過張力浮動(dòng)輥70在工作缸68的驅(qū)動(dòng)作用下擺動(dòng)變位，張 力控制機(jī)構(gòu)66能調(diào)整長條狀感光性板22的張力。須指出的是，張力控制機(jī)構(gòu)66可以按照需要使用，也可以不使用。襯底供給機(jī)構(gòu)45具有夾持玻璃襯底24而配置的襯底加熱部(例如， 加熱器)74、將該玻璃襯底24在箭頭Y力—向輸送的輸送部76、檢測所述 玻璃襯底24的后端部的停止位置的停止位置檢測傳感器78。在襯底加熱 部74，始終監(jiān)視玻璃襯底24的溫度，在異常時(shí)，產(chǎn)生輸送部76的停止或 警報(bào)，并且發(fā)出異常信息，將異常的玻璃襯底24在以后的工序中進(jìn)行NG 排出，能在質(zhì)量管理或生產(chǎn)管理中利用。在輸送部76配置未圖示的氣浮 板，玻璃襯底24浮起，在箭頭Y力-向輸送。玻璃襯底24的輸送也能由滾 柱式輸送器進(jìn)行。玻璃襯底24的溫度測定優(yōu)選在襯底加熱部74內(nèi)或貼附位置之前進(jìn) 行。作為測定方法，除了接觸式(例如熱電偶)，也可以是非接觸式。貼附機(jī)構(gòu)46具有上下配置并且加熱到規(guī)定溫度的橡膠輥(壓接輥) 80a、 80b。橡膠輥80a、 80b與后備輥82a、 82b滑接。--后備輥82b通過 構(gòu)成輥夾緊部83的加壓T.作缸84按壓在橡膠輥80b側(cè)。玻璃襯底24通過從貼附機(jī)構(gòu)46在箭頭Y方向延伸的輸送路線88輸 送。在該輸送路線88配覽薄膜輸送輥90a、 90b和襯底輸送輥92。橡膠輥 80a、80b和襯底輸送輥92的間隔設(shè)定為玻璃襯底24的一個(gè)量的長度以下。如圖4所示，薄膜輸送裝置48具有單元主體94，該單元主體94能經(jīng) 由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)96在輸送方向(箭頭Y方向)和反輸送方向(箭頭Z方向) 移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)％具有安裝在架臺(tái)98 l:的電動(dòng)機(jī)100，與該電動(dòng)機(jī)100 連結(jié)而在水平方向延伸的滾珠絲杠102 i:iT自由旋轉(zhuǎn)地支承在架臺(tái)98上。 滾珠絲杠102與設(shè)置在單元4-:體94的f部的螺母部104螺合，并且所述 單元主體94在導(dǎo)軌105 i:可進(jìn)退地載置。須指出的是，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)96由安 裝在單元主體94上的自行式驅(qū)動(dòng)部構(gòu)成。在單元主體94內(nèi)收容切斷各玻璃襯底24之間的長條狀感光性板22 的襯底間切斷機(jī)構(gòu)106。該切斷機(jī)構(gòu)106具有在寬度方向切斷長條狀感光 性板22的刀具108、與所述刀具108相對并且能自由升降的薄膜按壓件 110。在切斷機(jī)構(gòu)106的輸送方向(箭頭Y方向)上游側(cè)配置第一薄膜輸送 輥對112a和第二薄膜輸送輥對112b，并且在所述切斷機(jī)構(gòu)106的輸送方向下游側(cè)配置第三薄膜輸送輥對112c。第一薄膜輸送輥對112a 第三薄膜輸送輥對112c具有驅(qū)動(dòng)輥114a、 114b和114c和從動(dòng)輥116a、 116b和116c。在驅(qū)動(dòng)輥114a 114c連結(jié)在用 于將長條狀感光性板22在輸送方向送出的薄膜送出方向(箭頭C方向) 賦予旋轉(zhuǎn)力矩的力矩電動(dòng)機(jī)118a 118c。從動(dòng)輥116a 116c通過工作缸 120a 120c，在相對f驅(qū)動(dòng)輥114a 114c接近和遠(yuǎn)離的方向能變位。在第一薄膜輸送輥對112a和第三薄膜輸送輥對112c之間，夾著切斷 機(jī)構(gòu)106，沿著輸送路線88配置導(dǎo)板122a、 122b。在配置在切斷機(jī)構(gòu)106 的下游側(cè)的導(dǎo)板122b上，與長條狀感光性板22滑接的上面部對應(yīng)，貼附 帶材124。帶材124例如在聚酯帆布上涂敷聚氨酯，并且在表面形成有網(wǎng) 眼狀的微細(xì)的凹凸。在導(dǎo)板122b的上方，根據(jù)需要而配置除電條126。在第三薄膜輸送輥對112c的卜游附近配覽旋轉(zhuǎn)輥128。旋轉(zhuǎn)輥128通 過電動(dòng)機(jī)130旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，并且在工作缸132的作用下能升降，將排出的長 條狀感光性板22 (以下，也稱作排出薄膜22a)向從輸送路線88分支的 聚集路線134引導(dǎo)。在聚集路線134配置將排出薄膜22a向聚集箱(聚集部位)136輸送 的薄膜輸送機(jī)構(gòu)138。薄膜輸送機(jī)構(gòu)138具有分別通過電動(dòng)機(jī)140a、 140b 旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的引導(dǎo)帶142a、 142b。在聚集箱136內(nèi)設(shè)置帶電粘接防止材料 144，并且在底面形成傾斜面146。在單元主體94內(nèi)，在第.三薄膜輸送輥對112c的出口附近配置第一薄 膜檢測傳感器148，并且在薄膜輸送機(jī)構(gòu)138的下部側(cè)配置第二薄膜檢測 傳感器150。第一薄膜檢測傳感器148和第二薄膜檢測傳感器150例如是 透過型的光傳感器，通過ON(遮光)，檢測長條狀感光性板22的存在。如圖1所示，在制造系統(tǒng)20屮，板送出機(jī)構(gòu)32、加工機(jī)構(gòu)36、標(biāo)簽 粘接機(jī)構(gòu)40、儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42、剝離機(jī)構(gòu)44和張力控制機(jī)構(gòu)66配置在貼附 機(jī)構(gòu)46的上方，但是也可以與此相反，在所述貼附機(jī)構(gòu)46的下方配置從 所述板送出機(jī)構(gòu)32到所述張力控制機(jī)構(gòu)66，長條狀感光性板22的上下變 為相反，在玻璃襯底24的下側(cè)貼附感光性樹脂層28，此外，也可以將長 條狀感光性板22的輸送路線構(gòu)成為直線狀。在制造系統(tǒng)20內(nèi)，通過分隔壁160劃分為第一無塵室162a和第二無塵室162b。第一無塵室162a和第二無塵室162b通過貫通部164連通。制 造系統(tǒng)20通過控制部166控制。用與本實(shí)施方式的輸送方法的關(guān)聯(lián)，說明這樣構(gòu)成的制造系統(tǒng)20的 動(dòng)作。首先，從安裝在板送出機(jī)構(gòu)32 l:的感光性板輥23送出長條狀感光性 板22。長條狀感光性板22輸送到加工機(jī)構(gòu)36。在加工機(jī)構(gòu)36，圓刀52a、52b在長條狀感光性板22的寬度方向移動(dòng)， 將長條狀感光性板22從保護(hù)薄膜30切入到感光性樹脂層28和撓性基膜 26。由此，形成分開保護(hù)薄膜30的殘存部分B的寬度M的半切斷部位34a、 34b，在長條狀感光性板22，夾著所述殘存部分B而設(shè)置前方的剝離部分 A和后方的剝離部分A (參照圖2)。接著，長條狀感光忭板22輸送到標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40，保護(hù)薄膜30的規(guī) 定的貼附部位配置在承受f 56 t。在標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40，規(guī)定個(gè)數(shù)的粘接 標(biāo)簽38由吸附盤54b 54g吸附保持。而且，各粘接標(biāo)簽38跨保護(hù)薄膜30 的殘存部分B，與前方的剝離部分A和后方的剝離部分A —體地粘接(參 照圖3)。例如，粘接有7個(gè)粘接標(biāo)簽38的長條狀感光性板22如圖1所示，通 過儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42防止送出側(cè)的張力變動(dòng)后，連續(xù)地輸送到剝離機(jī)構(gòu)44。在 剝離機(jī)構(gòu)44，長條狀感光性板22的撓性基膜26由吸入筒62吸附保持， 并且保護(hù)薄膜30剩下殘存部分B，從長條狀感光性板22剝離。該保護(hù)薄 膜30通過剝離輥63剝離，巻繞在保護(hù)薄膜巻繞部64 (參照圖l)。在剝離機(jī)構(gòu)44的作用下，保護(hù)薄膜30剩下殘存部分B，從撓性基膜 26剝離后，長條狀感光性板22通過張力控制機(jī)構(gòu)66進(jìn)行張力調(diào)整。接著，長條狀感光性板22輸送到貼附機(jī)構(gòu)46，由此進(jìn)行感光性樹脂 層28對玻璃襯底24的熱轉(zhuǎn)印處理(層壓)。在貼附機(jī)構(gòu)46，預(yù)先將橡膠 輥80a、 80b設(shè)定為分開的狀態(tài)。然后，在橡膠輥80a、 80b之間的規(guī)定位 置，在長條狀感光性板22的半切斷部位34a定位的狀態(tài)下，暫停所述長 條狀感光性板22的輸送。通過構(gòu)成襯底供給機(jī)構(gòu)45的襯底加熱部74加熱到規(guī)定溫度的玻璃襯 底24的前端部由輸送部76搬入橡膠輥80a、 80b之間時(shí)，在加壓工作缸84的作用下，后備輥82b、橡膠輥80b上升。因而，玻璃襯底24和長條 狀感光性板22以規(guī)定的壓力夾入橡膠輥80a、 80b之間。須指出的是，橡 膠輥80a、 80b加熱到規(guī)定的層壓溫度。接著，橡膠輥80a、 80b旋轉(zhuǎn)，玻璃襯底24和長條狀感光性板22向 箭頭Y方向輸送。由此，感光性樹脂J3 28加熱熔融，熱轉(zhuǎn)印(層壓)到 玻璃襯底24。須指出的是，作為層壓條件，是速度1.0m/min~10.0m/min，橡膠輥80a、 80b的溫度80。C 140。C ，所述橡膠輥80a、 80b的橡膠硬度40度 90度， 該橡膠輥80a、 80b的壓力(線壓力)50N/cm 400N/cm。如果相對于玻璃襯底24，長條狀感光性板22的一個(gè)量的層壓結(jié)束， 則停止橡膠輥80a、 80b的旋轉(zhuǎn)。而層壓有長條狀感光性板22的玻璃襯底 24即感光性層疊體170的前端部由襯底輸送輥92夾緊。這時(shí)，在橡膠輥 80a、 80b之間的規(guī)定位置配置半切斷部位34b。然后，橡膠輥80b在離開橡膠輥80a的方向退讓，解除夾緊，并且襯 底輸送輥92的旋轉(zhuǎn)以低速再次開始。感光性層疊體170在箭頭Y方向輸 送與保護(hù)薄膜30的殘存部分B的寬度M對應(yīng)的距離，下一半切斷部位34a 輸送到橡膠輥80a的下方附近的規(guī)定位置以后，橡膠輥80a、 80b的旋轉(zhuǎn) 停止。而在所述的狀態(tài)下，通過襯底供給機(jī)構(gòu)45，下一玻璃襯底24向貼附 位置輸送。通過重復(fù)以上的動(dòng)作，連續(xù)地制造感光性層疊體170。用貼附機(jī)構(gòu)46 ^壓的感光性^^體170通過由單元主體94內(nèi)收容的 切斷機(jī)構(gòu)106切斷玻璃襯底24之間的長條狀感光性板22而分離。在分離 的感光性層疊體170安裝撓性基膜26，該撓性基膜26與玻璃襯底24之間 的保護(hù)薄膜30 —起剝離后，提供給下一處理工序。另外，在所述的制造系統(tǒng)20中，有時(shí)沿著輸送路線88只輸送長條狀 感光性板22。例如，是通過A動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)開始層壓時(shí)，將規(guī)定數(shù)量的長條狀感 光性板22廢棄在聚集箱136中，并且由切斷機(jī)構(gòu)106切斷，將長條狀感 光性板22的前端部與所述切斷機(jī)構(gòu)106對應(yīng)配置的情況。另一方面，為了中斷自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)，而暫停層壓處理，排出層壓后的玻璃 襯底24之后，開始自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)的情況也是同樣的。此外，是在所述的自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)'l'，從襯底供給機(jī)構(gòu)45對貼附機(jī)構(gòu)46不 供給玻璃襯底24時(shí)，為了將由橡膠輥80a加熱的長條狀感光性板22例如 除去一個(gè)量而輸送的情況。此外，是在通過手動(dòng)操作將長條狀感光性板22向聚集箱136排出后， 由切斷機(jī)構(gòu)106切斷所述長條狀感光性板22的情況。而且，進(jìn)行這種處理的情況下，長條狀感光性板22在由切斷機(jī)構(gòu)106 切斷的狀態(tài)下停止。因此，所述長條狀感光性板22的前端部如圖5所示， 配置在第二薄膜輸送輥對112b和第三薄膜輸送輥對112c之間。因此，在本實(shí)施方式中，在使長條狀感光性板22停止的狀態(tài)下，單 元主體94在構(gòu)成驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)96的電動(dòng)機(jī)100的旋轉(zhuǎn)作用下，在反輸送方向 (箭頭Z方向)開始移動(dòng)。這時(shí)，如圖6所示，第--.薄膜輸送輥對112a 第三薄膜輸送輥對112c由力矩電動(dòng)機(jī)118a 118c驅(qū)動(dòng)，由此各驅(qū)動(dòng)輥 114a 114c在箭頭C方向(薄膜輸送方向)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。因此，在第一薄膜 輸送輥對112a和第二薄膜輸送輥對112b，驅(qū)動(dòng)輥114a、 114b不在停止的 長條狀感光性板22上滑動(dòng)而旋轉(zhuǎn)，能防止剝離帶電。而單元主體94在箭頭Z方向移動(dòng)時(shí)，旋轉(zhuǎn)輥128和引^帶142a、 142b 分別旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。此外，薄膜按壓件110暫且上升，防止與長條狀感光性板 22接觸。單元主體94在箭頭Z方向移動(dòng)，由此第三薄膜輸送輥對112c—邊旋 轉(zhuǎn)， 一邊夾持長條狀感光性板22的前端部。因此，長條狀感光性板22的 前端部相對于第三薄膜輸送輥對112c，在箭頭Y方向相對引出。這里，如果配置在第三薄膜輸送輥對112c的出口附近的第一薄膜檢 測傳感器148遮光(ON)，則從該第一薄膜檢測傳感器148的遮光定時(shí)開 始，通過未圖示的定時(shí)器進(jìn)行計(jì)時(shí)。然后，在經(jīng)過規(guī)定的時(shí)間后，旋轉(zhuǎn)輥 128在工作缸132的作用下下降(參照圖7)。須指出的是，該定時(shí)器具有設(shè)定使旋轉(zhuǎn)輥128下降的定時(shí)，由此將長 條狀感光性板22的前端部的突出量維持在適當(dāng)?shù)姆秶鷥?nèi)的功能，還具有 作為異常檢測機(jī)構(gòu)的功能，所述異常檢測機(jī)構(gòu)用于進(jìn)行所述長條狀感光性 板22的堵塞引起的設(shè)備的停止。在旋轉(zhuǎn)輥128下降的定時(shí)，使單元主體94向箭頭Z方向的移動(dòng)停止，并且驅(qū)動(dòng)薄膜輸送輥90a、 90b，開始長條狀感光性板22向箭頭Y方向的 輸送。旋轉(zhuǎn)輥128在用切斷機(jī)構(gòu)106切斷排出薄膜22a后，在第一薄膜檢 測傳感器148 0FF (透過)時(shí)，通過工作缸132上升。而通過旋轉(zhuǎn)輥128從輸送路線88向聚集路線134輸送的排出薄膜22a 的前端部輸送到引導(dǎo)帶142a、 142b之間。因此，排出薄膜22a在引導(dǎo)帶 142a、 142b的引導(dǎo)作用F，輸送到聚集箱136內(nèi)，并且沿著該聚集箱136 內(nèi)的傾斜面146的傾斜而良好地聚集。這時(shí)，在聚集箱136的內(nèi)面?zhèn)仍O(shè)置 帶電粘接防止材料144，能在所述聚集箱136內(nèi)以所希望的聚集姿勢可靠 地聚集排出薄膜22a。在引導(dǎo)帶142a、 142b的下部側(cè)設(shè)置第二薄膜檢測傳感器150。如果通 過該第二薄膜檢測傳感器150，檢測到規(guī)定量的排出薄膜22a輸送到引導(dǎo) 帶142a、 142b之間，則暫?；诒∧ぽ斔洼?0a、 90b的板輸送。因?yàn)槿?果規(guī)定量以上的排出薄膜22a輸送到引導(dǎo)帶142a、 142b之間，則發(fā)生該 排出薄膜22a從聚集箱136伸出等不良情況。這時(shí)，在本實(shí)施方式中，將前端部與切斷機(jī)構(gòu)106對應(yīng)配置的排出薄 膜22a向聚集箱136排出時(shí)，在該排出薄膜22a停止的狀態(tài)下，使第一薄 膜輸送輥對112a 第三薄膜輸送輥對112c在薄膜輸送方向旋轉(zhuǎn)，同時(shí)單元 主體94在反輸送方向(箭頭Z方向)移動(dòng)。因此，與在使單元主體94停止的狀態(tài)下，在第- 薄膜輸送輥對112a 和第二薄膜輸送輥對112b的旋轉(zhuǎn)作用下，將排出薄膜22a在箭頭Y方向 輸送的情況相比，能良好地防止剝離帶電等，并且能將所述排出薄膜22a 維持為所期望的平面形狀。閑此，能通過第三薄膜輸送輥對U2c可靠地 把持排出薄膜22a的前端部，能盡可能阻止所述排出薄膜22a的堵塞。由此，薄膜輸送裝置48能取得如卜'效果，g口，用簡爭的結(jié)構(gòu)和工序 可靠地保持排出薄膜22a的前端部，將所述排出薄膜22a從輸送路線88 沿著聚集路線134順利并且可靠地輸送。須指出的是，所述的處理在需要 只輸送長條狀感光性板22 (排出薄膜22a)的動(dòng)作的各種狀況下同樣進(jìn)行。此外，通過使用第一薄膜檢測傳感器148和第二薄膜檢測傳感器150， 能具有以下所示的各種功能。首先，第一薄膜檢測傳感器148和第二薄膜檢測傳感器150都檢測到排出薄膜22a時(shí)(ON)，停止單元主體94向箭頭Z方向的移動(dòng)，并且使 薄膜輸送輥90a、 90b驅(qū)動(dòng)，使所述排出薄膜22a的輸送動(dòng)作變?yōu)榭赡?。此外，只有第一薄膜檢測傳感器148 ON時(shí)，進(jìn)行原點(diǎn)回歸動(dòng)作，檢 測第二薄膜檢測傳感器150是否ON。然后，在即使經(jīng)過一定時(shí)間，第二 薄膜檢測傳感器150也不ON時(shí)，判斷為在聚集路線134，排出薄膜22a 發(fā)生了堵塞異常。進(jìn)而，在經(jīng)過一定時(shí)間，第一薄膜檢測傳感器148 0FF (透過)并且 第二薄膜檢測傳感器150ON (遮光)時(shí)，判斷為在聚集路線134，排出薄 膜22a發(fā)生了堵塞異常。此外，在進(jìn)行了將排出薄膜22a向引導(dǎo)帶142a、 M2b側(cè)輸送的動(dòng)作 后，經(jīng)過一定時(shí)間，第--薄膜檢測傳感器148和第二薄膜檢測傳感器150 在各自的定時(shí)都不ON時(shí)，判斷為所述排出薄膜22a發(fā)生了堵塞異常。進(jìn)而，可在聚集箱136的上部配置進(jìn)行排出薄膜堵塞檢測和裝滿檢測 的傳感器172。該傳感器172在排出薄膜22a的排出動(dòng)作中ON (遮光)， 在該排出薄膜22a的輸送結(jié)束后，進(jìn)行襯底間切斷，根據(jù)來自定時(shí)器的定 時(shí)，在不OFF (透過)的情況下發(fā)出警報(bào)。須指出的是，來自定時(shí)器的定 時(shí)設(shè)定為通過第三薄膜輸送輥對112c和引導(dǎo)帶142a、 M2b，排出薄膜22a 的后端落下到聚集箱136的程度的時(shí)間。此外，在本實(shí)施方式中，與排出薄膜22a通過靜電接觸的部分對應(yīng)， 進(jìn)行靜電對策。例如，在導(dǎo)板122b的上面設(shè)置靜電對策用的帶材124，能 阻止排出薄膜22a的靜電吸附。
權(quán)利要求
1.一種薄膜輸送裝置，其用于保持停止的薄膜(22)的前端部，沿著輸送路線(88)輸送所述薄膜(22)，所述薄膜輸送裝置(48)的特征在于，包括單元主體(94)，其收容切斷所述薄膜(22)的切斷機(jī)構(gòu)(106)、配置在所述切斷機(jī)構(gòu)(106)的輸送方向上游側(cè)的上游側(cè)薄膜輸送輥對(112a)、配置在所述切斷機(jī)構(gòu)(106)的輸送方向下游側(cè)的下游側(cè)薄膜輸送輥對(112c)；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(96)，其在由所述下游側(cè)薄膜輸送輥對(112c)夾持被所述切斷機(jī)構(gòu)(106)切斷的所述薄膜(22)的前端部時(shí)，所述薄膜(22)停止的狀態(tài)下，使所述單元主體(94)沿著所述輸送路線(88)在與輸送方向相反的反輸送方向移動(dòng)；力矩電動(dòng)機(jī)(118a、118b)，其在所述單元主體(94)在所述反輸送方向移動(dòng)時(shí)，相對于所述上游側(cè)薄膜輸送輥對(112a)和所述下游側(cè)薄膜輸送輥對(112c)，在用于將所述薄膜(22)在所述輸送方向送出的薄膜輸送方向賦予旋轉(zhuǎn)力矩。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的薄膜輸送裝置，其特征在于， 所述單元主體(94)具有旋轉(zhuǎn)輥(128)，所述旋轉(zhuǎn)輥(128)配置在所述下游側(cè)薄膜輸送輥對(112c)的下游，將在所述下游側(cè)薄膜輸送輥對 (112c)的旋轉(zhuǎn)作用下沿著所述輸送路線(88)送出的所述薄膜(22)的 前端部引導(dǎo)到從所述輸送路線(88)分支的聚集路線(134)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜輸送裝置，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)輥(128)構(gòu)成為在工作缸(132)的作用下可相對于所述聚集路線(134)進(jìn)退。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜輸送裝置，其特征在于， 在所述聚集路線(134)配置將所述薄膜(22)輸送到聚集部位(136)的薄膜輸送機(jī)構(gòu)(138)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜輸送裝置，其特征在于，具有第一薄膜檢測傳感器(148)，其配置在所述下游側(cè)薄膜輸送輥對 (112c)的出口附近；第二薄膜檢測傳感器(150)，其配置在所述薄膜輸送機(jī)構(gòu)(138)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中的任意一項(xiàng)所述的薄膜輸送裝置，其特征在于，所述薄膜是在支承體(26)上按順序?qū)盈B感光材料層(28)和保護(hù)薄 膜(30)而成的長條狀感光性板(22)，所述單元主體(94)配置在層壓機(jī)構(gòu)(46)的下游，所述層壓機(jī)構(gòu)(46) 將剝離了所述保護(hù)薄膜(30)的剝離部分的所述長條狀感光性板(22)向 被加熱的一對壓接輥(80a、 80b)之間送出而貼附在襯底(24)上。
7. —種薄膜輸送方法，其川于保持停止的薄膜(22)的前端部，沿 著輸送路線(88)輸送所述薄膜(22)，所述薄膜輸送方法的特征在于， 包括在使所述薄膜(22)停止的狀態(tài)下，使薄膜輸送輥對(112a)在薄膜 輸送方向旋轉(zhuǎn)，同時(shí)使薄膜輸送輥對(112a)在與輸送方向相反的反輸送 方向移動(dòng)的工序；由所述薄膜輸送輥對(112a)夾持所述薄膜(22)的前端部，并且在 所述薄膜輸送輥對(112a)的旋轉(zhuǎn)作用下，將所述薄膜(22)在所述輸送 方向送出的工序。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的薄膜輸送方法，其特征在于， 使收容切斷所述薄膜(22)的切斷機(jī)構(gòu)(106)、配置在所述切斷機(jī)構(gòu)(106)的輸送方向上游側(cè)的t游側(cè)薄膜輸送輥對(112a)、配置在所述切 斷機(jī)構(gòu)(106)的輸送方向下游側(cè)的下游側(cè)薄膜輸送輥對(112c)的單元 主體(94)在所述反輸送方向移動(dòng)，同時(shí)相對于所述上游側(cè)薄膜輸送輥對(112a)和所述下游側(cè)薄膜輸送輥對(112c)，在用于將所述薄膜(22)在 所述輸送方向送出的薄膜輸送方向賦予旋轉(zhuǎn)力矩。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的薄膜輸送方法，其特征在于， 在所述下游側(cè)薄膜輸送輥對(112c)的旋轉(zhuǎn)作用下，將所述薄膜(22)在所述輸送方向送出，另一方面，將所述薄膜(22)的前端部在旋轉(zhuǎn)輥(128) 的按壓和旋轉(zhuǎn)作用下引導(dǎo)到從所述輸送路線(88)分支的聚集路線(134)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的薄膜輸送方法，其特征在于，將由所述旋轉(zhuǎn)輥(128)引導(dǎo)到聚集路線(134)的所述薄膜(22)經(jīng) 由薄膜輸送機(jī)構(gòu)(138)輸送到聚集部位(136)。
11. 根據(jù)權(quán)利要求IO所述的薄膜輸送方法，其特征在于，具有 由配置在所述下游側(cè)薄膜輸送輥對U12c)的出口附近的第一薄膜檢測傳感器(148)檢測所述薄膜(22)的有無的工序；由配置在所述薄膜輸送機(jī)構(gòu)(138)的第二薄膜檢測傳感器(150)檢 測所述薄膜(22)的有無的工序。
12. 根據(jù)權(quán)利要求7 11中的任意--項(xiàng)所述的薄膜輸送方法，其特征 在于，所述薄膜是在支承體(26)上按順序?qū)盈B感光材料層(28)和保護(hù)薄 膜(30)而成的長條狀感光性板(22)，在將剝離了所述保護(hù)薄膜(30)的剝離部分的所述長條狀感光性板 (22)向被加熱的一對壓接輥(80a、 80b)之間送出而貼附在襯底(24) 上的層壓機(jī)構(gòu)(46)的下游，使所述單元主體(94)在所述輸送方向和所 述反輸送方向移動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種薄膜輸送裝置和薄膜輸送方法。薄膜輸送裝置(48)具有單元主體(94)，該單元主體(94)在長條狀感光性板(22)停止的狀態(tài)下，沿著輸送路線(88)，在與輸送方向相反的反輸送方向移動(dòng)。在單元主體(94)收容切斷長條狀感光性板(22)的切斷機(jī)構(gòu)(106)、配置在所述切斷機(jī)構(gòu)(106)的輸送方向上游側(cè)的第一薄膜輸送輥對(112a)和第二薄膜輸送輥對(112b)、配置在所述切斷機(jī)構(gòu)(106)的輸送方向下游側(cè)的第三薄膜輸送輥對(112c)。
文檔編號B32B38/04GK101274507SQ20081008788
公開日2008年10月1日 申請日期2008年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月29日
發(fā)明者亮 森, 長谷明彥 申請人:富士膠片株式會(huì)社