專利名稱：氯硅烷及高聚物泄漏的應(yīng)急處理設(shè)施的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及ー種氯硅烷及高聚物泄漏的應(yīng)急處理設(shè)施，用于處理多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中出現(xiàn)的氯硅烷泄漏。
背景技術(shù)：
多晶硅裝置中，各個(gè)單元包括三氯氫硅制備、三氯氫硅提純、多晶硅制備、尾氣回收等涉及的エ藝介質(zhì)四氯化硅(STC)、三氯氫硅(SIL)、ニ氯ニ氫硅(DCS)、高聚物及上述混合物混合氯硅烷(SIL)，就其本身而言，腐蝕性較弱，所以主要設(shè)備和管道多采用碳鋼材料。在溫度較高的エ況時(shí)，設(shè)備和管道采用奧氏體不銹鋼材料。在生產(chǎn)過(guò)程中，一旦發(fā)生泄漏， 上述エ藝介質(zhì)遇到空氣中的水分會(huì)迅速發(fā)生水解反應(yīng)產(chǎn)生鹽酸。無(wú)論對(duì)于碳鋼材料的設(shè)備和管道，還是奧氏體不銹鋼材料的設(shè)備和管道，包括混凝土和鋼結(jié)構(gòu)都會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重腐蝕。同時(shí)高聚物如泄漏遇空氣會(huì)燃燒起火。這些對(duì)正常生產(chǎn)和生產(chǎn)安全造成極大的危害。在多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中，當(dāng)發(fā)生的氯硅烷及高聚物泄漏時(shí)，引入應(yīng)急處理裝置，可以及時(shí)有效的處理泄漏的氯硅烷及高聚物，最大程度的消除泄漏的氯硅烷及高聚物對(duì)安全生產(chǎn)產(chǎn)生的影響。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型目的針對(duì)多晶硅生產(chǎn)裝置中一旦產(chǎn)生泄漏，エ藝物料四氯化硅(STC)、三氯氫硅(SIL)、ニ氯ニ氫硅(DCS)、氯硅烷(SIL)及高聚物會(huì)水解產(chǎn)生鹽酸和著火的問(wèn)題，提供一種氯硅烷及高聚物泄漏的應(yīng)急處理設(shè)施，利用負(fù)壓裝置將泄漏的氯硅烷及高聚物抽至水解中和系統(tǒng)，解決泄漏的氯硅烷水解產(chǎn)生的鹽酸造成腐蝕和高聚物起火對(duì)多晶硅裝置安全生產(chǎn)的危害。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種氯硅烷及高聚物泄漏的應(yīng)急處理設(shè)施，包括水洗塔I、水洗循環(huán)罐2、水洗循環(huán)泵3、配堿罐4、堿加料泵5、排污泵6、引風(fēng)機(jī)7和排氣筒8以及相應(yīng)的物料輸入輸出管道，所述水洗塔I的頂部通過(guò)噴淋進(jìn)水管連接水洗循環(huán)泵3的一端，水洗循環(huán)泵3的另一端連接水洗循環(huán)罐2，水洗循環(huán)罐2與水洗塔I底部連接，水洗塔I的頂部噴淋進(jìn)水管還通過(guò)堿加料泵5與配堿罐4連接，水洗循環(huán)罐2的底部連接排污泵6，水洗塔I頂部連接引風(fēng)機(jī)7，引風(fēng)機(jī)7連接排氣筒8。還包括來(lái)自各單元的泄漏物料進(jìn)料管線9、堿加料管線19、補(bǔ)充エ藝水管線10、循環(huán)水洗進(jìn)料管線18、引風(fēng)管線22、排風(fēng)管線23及排污管線15。水洗循環(huán)泵3可采用兩臺(tái)，一臺(tái)工作另一臺(tái)備用；堿加料泵5可采用兩臺(tái)，一臺(tái)エ作另一臺(tái)備用；引風(fēng)機(jī)7可米用兩臺(tái)，一臺(tái)工作另一臺(tái)備用。利用引風(fēng)機(jī)7使水洗塔I內(nèi)保持微負(fù)壓狀態(tài)，在各生產(chǎn)單元的適當(dāng)位置留有軟管，一旦發(fā)生泄漏，將就近的軟管接至泄漏處，利用負(fù)壓將泄漏物料由泄漏物料進(jìn)料管線9抽至水洗塔I內(nèi)；循環(huán)水洗液經(jīng)水洗塔I上部的循環(huán)水洗進(jìn)料管線18對(duì)吸入水洗塔I內(nèi)的泄漏物料進(jìn)行水解；設(shè)置配堿罐4，將配好的堿液經(jīng)堿加料泵5打至循環(huán)水洗進(jìn)料管線18，與水洗液混和進(jìn)入水洗塔1，在水解泄漏物料的同時(shí)，對(duì)水解產(chǎn)生的鹽酸進(jìn)行中和，使中和后的水洗液呈弱堿性；水洗塔I底部管線10與水洗循環(huán)罐2相連，水洗循環(huán)罐2起到水洗液緩沖罐的作用，水解中和后的水洗液經(jīng)水洗循環(huán)罐2，經(jīng)水洗循環(huán)泵3后，與配堿管線21補(bǔ)充的堿液一起打至水洗塔I的循環(huán)水洗進(jìn)料管線18再次對(duì)泄漏物料進(jìn)行水解；如此循環(huán)。水洗的尾氣22經(jīng)排氣筒8和排氣管線23放空。所述水洗循環(huán)罐2上設(shè)置的液位指示24與エ藝補(bǔ)充水管線10上的調(diào)節(jié)閥25聯(lián)鎖控制；配堿罐4上設(shè)置的液位指示28與堿進(jìn)料管線19上的堿進(jìn)料調(diào)節(jié)閥27聯(lián)鎖控制；在水洗循環(huán)泵3入口管線11上設(shè)置在線pH分析儀29與堿加料泵5電機(jī)連鎖控制。所述水洗塔I、ー個(gè)水洗循環(huán)罐2、ー個(gè)配堿罐4、一個(gè)排氣筒8材質(zhì)選用導(dǎo)電玻璃鋼；兩臺(tái)水洗循環(huán)栗3、兩臺(tái)喊加料栗計(jì)量栗5、一臺(tái)排污栗6、兩臺(tái)引風(fēng)機(jī)一用一備7材質(zhì) 選用鋼襯四氟。本實(shí)用新型的氯硅烷及高聚物泄漏的應(yīng)急處理設(shè)施裝置簡(jiǎn)單，主要操作參數(shù)均能通過(guò)自動(dòng)控制，在多晶硅裝置各生產(chǎn)單元中出現(xiàn)エ藝物料泄漏時(shí)，及時(shí)處理泄漏物料效果較好。本實(shí)用新型的有益效果本實(shí)用新型通過(guò)引風(fēng)機(jī)提供負(fù)壓系統(tǒng)將泄漏的氯硅烷抽入水洗塔中用堿性水洗液使エ藝物料水解，以消除氯硅烷泄漏與空氣接觸產(chǎn)生的鹽酸造成腐蝕和高聚物與空氣接觸著火的危險(xiǎn)，保證多晶硅的連續(xù)生產(chǎn)和安全生產(chǎn)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在多晶硅裝置各生產(chǎn)單元中出現(xiàn)エ藝物料泄漏時(shí)，及時(shí)處理泄漏物料效果較好。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例I和附圖具體說(shuō)明。如圖I。一種氯硅烷及高聚物泄漏的應(yīng)急處理設(shè)施，其特征是包括水洗塔I、水洗循環(huán)罐2、水洗循環(huán)泵3、配堿罐4、堿加料泵5、排污泵6、引風(fēng)機(jī)7和排氣筒8以及相應(yīng)的物料輸入輸出管道，所述水洗塔I的頂部通過(guò)噴淋進(jìn)水管連接水洗循環(huán)泵3的一端，水洗循環(huán)泵3的另一端連接水洗循環(huán)罐2，水洗循環(huán)罐2與水洗塔I底部連接，水洗塔I的頂部噴淋進(jìn)水管還通過(guò)堿加料泵5與配堿罐4連接，水洗循環(huán)罐2的底部連接排污泵6，水洗塔I頂部連接引風(fēng)機(jī)7，引風(fēng)機(jī)7連接排氣筒8。還包括來(lái)自各單元的泄漏物料進(jìn)料管線9、堿加料管線19、補(bǔ)充エ藝水管線10、循環(huán)水洗進(jìn)料管線18、引風(fēng)管線22、排風(fēng)管線23及排污管線15。水洗循環(huán)泵3可采用兩臺(tái)，一臺(tái)工作另一臺(tái)備用；堿加料泵5可采用兩臺(tái)，一臺(tái)エ作另一臺(tái)備用；引風(fēng)機(jī)7可米用兩臺(tái)，一臺(tái)工作另一臺(tái)備用。利用引風(fēng)機(jī)7使水洗塔I內(nèi)保持微負(fù)壓狀態(tài)，在各生產(chǎn)單元的適當(dāng)位置留有軟管，一旦發(fā)生泄漏，將就近的軟管接至泄漏處，利用負(fù)壓將泄漏物料由泄漏物料進(jìn)料管線9抽至水洗塔I內(nèi)；循環(huán)水洗液經(jīng)水洗塔I上部的循環(huán)水洗進(jìn)料管線18對(duì)吸入水洗塔I內(nèi)的泄漏物料進(jìn)行水解；設(shè)置配堿罐4，將配好的堿液經(jīng)堿加料泵5打至循環(huán)水洗進(jìn)料管線18，與水洗液混和進(jìn)入水洗塔1，在水解泄漏物料的同時(shí)，對(duì)水解產(chǎn)生的鹽酸進(jìn)行中和，使中和后的水洗液呈弱堿性；水洗塔I底部管線10與水洗循環(huán)罐2相連，水洗循環(huán)罐2起到水洗液緩沖罐的作用，水解中和后的水洗液經(jīng)水洗循環(huán)罐2，經(jīng)水洗循環(huán)泵3后，與配堿管線21補(bǔ)充的堿液一起打至水洗塔I的循環(huán)水洗進(jìn)料管線18再次對(duì)泄漏物料進(jìn)行水解；如此循環(huán)。水洗的尾氣22經(jīng)排氣筒8和排氣管線23放空。水洗循環(huán)罐2上設(shè)置的液位指示24與エ藝補(bǔ)充水管線10上的調(diào)節(jié)閥25聯(lián)鎖控制；配堿罐4上設(shè)置的液位指示28與堿進(jìn)料管線19上的堿進(jìn)料調(diào)節(jié)閥27聯(lián)鎖控制；在水洗循環(huán)泵3入口管線11上設(shè)置在線pH分析儀29與堿加料泵5電機(jī)連鎖控制。水洗塔I、ー個(gè)水洗循環(huán)罐2、ー個(gè)配堿罐4、一個(gè)排氣筒8材質(zhì)選用導(dǎo)電玻璃鋼；兩臺(tái)水洗循環(huán)泵3、兩臺(tái)堿加料泵計(jì)量泵5、一臺(tái)排污泵6、兩臺(tái)引風(fēng)機(jī)ー用ー備 7材質(zhì)選用鋼襯四氟。本實(shí)用新型的氯硅烷及高聚物泄漏的應(yīng)急處理設(shè)施裝置簡(jiǎn)單，主要操作參數(shù)均能通過(guò)自動(dòng)控制，在多晶硅裝置各生產(chǎn)單元中出現(xiàn)エ藝物料泄漏時(shí)，及時(shí)處理泄漏物料效果較好。這套裝置的主要工作過(guò)程是利用引風(fēng)機(jī)7使水洗塔I內(nèi)保持微負(fù)壓狀態(tài)，在各生產(chǎn)單元的適當(dāng)位置留有軟管，一旦發(fā)生泄漏，將就近的軟管接至泄漏處，利用負(fù)壓將泄漏物料由泄漏物料進(jìn)料管線9抽至水洗塔I內(nèi)；循環(huán)水洗液經(jīng)水洗塔I上部的循環(huán)水洗進(jìn)料管線18對(duì)吸入水洗塔I內(nèi)的泄漏物料進(jìn)行水解，水洗液進(jìn)料管ロ內(nèi)伸至塔內(nèi)部并接有噴淋頭23，提高水解效率；設(shè)置配堿罐4，將配好的堿液經(jīng)堿加料泵5打至循環(huán)水洗進(jìn)料管線18，與水洗液混和進(jìn)入水洗塔1，在水解泄漏物料的同時(shí)，對(duì)水解產(chǎn)生的鹽酸進(jìn)行中和，使中和后的水洗液呈弱堿性；水洗塔I底部管線10與水洗循環(huán)罐2相連，水洗循環(huán)罐2起到水洗液緩沖罐的作用，水解中和后的水洗液經(jīng)水洗循環(huán)罐2，經(jīng)水洗循環(huán)泵3后，與配堿管線21補(bǔ)充的堿液一起打至水洗塔I的循環(huán)水洗進(jìn)料管線18再次對(duì)泄漏物料進(jìn)行水解；如此循環(huán)。水洗的尾氣22經(jīng)排氣筒8和排氣管線23放空。在定期清洗和檢修設(shè)備時(shí)，水洗塔I的廢液由排污管線17經(jīng)水洗循環(huán)泵3和排污管線14匯集至排污管線15，水洗循環(huán)罐2廢液由下部排污ロ 16，經(jīng)由排污泵6和匯集來(lái)廢液由排污管15送去廢水預(yù)處理裝置處理。由于泄漏的エ藝物料中可能含有高聚物，故在泄漏物料進(jìn)料管線進(jìn)水洗塔處設(shè)置緊急切斷閥，一旦水洗塔內(nèi)的高聚物產(chǎn)生燃燒，可緊急切斷進(jìn)料管線，阻止火焰竄入其他裝置。工作過(guò)程中涉及到的控制如下在第一次開(kāi)車(chē)時(shí)，需在水洗循環(huán)罐2中加入エ藝水，作為初次水洗液使用，以后當(dāng)水洗循環(huán)罐2中水洗液有一定消耗后,補(bǔ)充適量エ藝水即可，エ藝補(bǔ)充水管線10上的調(diào)節(jié)閥25與水洗循環(huán)罐2液位24聯(lián)鎖，控制水洗循環(huán)罐2液位。配堿罐4液位由堿進(jìn)料管線19上的堿進(jìn)料調(diào)節(jié)閥27和配堿罐4上的液位計(jì)28聯(lián)鎖控制。在水洗循環(huán)泵3入口管線11上設(shè)置在線pH分析儀29及管線12與堿加料泵5電機(jī)連鎖，在裝置正常運(yùn)行后，PH分析儀29檢測(cè)pH值堿性偏弱吋，打開(kāi)堿加料泵5，在循環(huán)水洗進(jìn)料管線18中增加堿量。本實(shí)用新型中各操作參數(shù)均采用自動(dòng)控制，操作方便。本實(shí)用新型未涉及部分均與現(xiàn)有技術(shù)相同或可采用現(xiàn)有技術(shù)加以實(shí)現(xiàn)。
權(quán)利要求1.一種氯硅烷及高聚物泄漏的應(yīng)急處理設(shè)施，其特征是包括水洗塔(I)、水洗循環(huán)罐(2)、水洗循環(huán)泵(3)、配堿罐(4)、堿加料泵(5)、排污泵(6)、引風(fēng)機(jī)(7)和排氣筒(8)以及相應(yīng)的物料輸入輸出管道，所述水洗塔(I)的頂部通過(guò)噴淋進(jìn)水管連接水洗循環(huán)泵(3)的一端，水洗循環(huán)泵(3)的另一端連接水洗循環(huán)罐(2)，水洗循環(huán)罐(2)與水洗塔(I)底部連接，水洗塔(I)的頂部噴淋進(jìn)水管還通過(guò)堿加料泵(5)與配堿罐(4)連接，水洗循環(huán)罐(2)的底部連接排污泵(6)，水洗塔(I)頂部連接引風(fēng)機(jī)(7)，引風(fēng)機(jī)(7)連接排氣筒(8)。
2.如權(quán)利要求I所述的氯硅烷及高聚物泄漏的應(yīng)急處理設(shè)施，其特征是所述水洗循環(huán)罐(2)上設(shè)置的液位指示(24)與エ藝補(bǔ)充水管線(10)上的調(diào)節(jié)閥(25)聯(lián)鎖控制；配堿罐(4)上設(shè)置的液位指示(28)與堿進(jìn)料管線(19)上的堿進(jìn)料調(diào)節(jié)閥(27)聯(lián)鎖控制；在水洗循環(huán)泵(3 )入口管線(11)上設(shè)置在線pH分析儀(29 )與堿加料泵(5 )電機(jī)連鎖控制。
3.如權(quán)利要求I所述的氯硅烷及高聚物泄漏的應(yīng)急處理設(shè)施，其特征是所述水洗塔(I )、ー個(gè)水洗循環(huán)罐(2 )、ー個(gè)配堿罐(4 )、一個(gè)排氣筒(8 )材質(zhì)選用導(dǎo)電玻璃鋼；兩臺(tái)水洗循環(huán)泵(3)、兩臺(tái)堿加料泵(5)、一臺(tái)排污泵(6)、兩臺(tái)引風(fēng)機(jī)(7)材質(zhì)選用鋼襯四氟。
專利摘要一種氯硅烷及高聚物泄漏的應(yīng)急處理設(shè)施，其特征是包括水洗塔(1)、水洗循環(huán)罐(2)、水洗循環(huán)泵(3)、配堿罐(4)、堿加料泵(5)、排污泵(6)、引風(fēng)機(jī)(7)和排氣筒(8)以及相應(yīng)的物料輸入輸出管道，所述水洗塔(1)的頂部通過(guò)噴淋進(jìn)水管連接水洗循環(huán)泵(3)的一端，水洗循環(huán)泵(3)的另一端連接水洗循環(huán)罐(2)。本實(shí)用新型裝置簡(jiǎn)單，在多晶硅裝置各生產(chǎn)單元中出現(xiàn)工藝物料泄漏時(shí)，及時(shí)處理泄漏物料，效果較好。
文檔編號(hào)A62D3/35GK202654588SQ201220146409
公開(kāi)日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月9日
發(fā)明者康榮鑫, 夏俊輝, 王長(zhǎng)樂(lè) 申請(qǐng)人:南京合創(chuàng)化工工程有限公司