本發(fā)明涉及機(jī)械加工領(lǐng)域，更具體地，涉及一種直角坐標(biāo)機(jī)器人。

背景技術(shù)：

直角坐標(biāo)機(jī)器人是以XYZ直角坐標(biāo)系為基本數(shù)學(xué)模型設(shè)計(jì)得到的機(jī)器人系統(tǒng)，其包括X軸、Y軸、Z軸三個(gè)軸向的運(yùn)動(dòng)單元。其中，每個(gè)軸向的運(yùn)動(dòng)單元通常以伺服電機(jī)、步進(jìn)電機(jī)為驅(qū)動(dòng)裝置，以滾珠絲杠、同步皮帶、齒輪齒條等作為傳動(dòng)裝置，并且在在坐標(biāo)機(jī)器人的末端工作頭上固定不同的夾持設(shè)備，如夾具、爪手、安裝架等，從而完成夾持設(shè)備在XYZ三維直角坐標(biāo)系中任意軸向上的線性運(yùn)動(dòng)。

目前，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)用于點(diǎn)膠、焊接、激光切割等行業(yè)的設(shè)備精度大致都在0.1mm左右，尤其是對(duì)水平方向上的精度要求較高?，F(xiàn)有的坐標(biāo)機(jī)器人在每個(gè)軸向的運(yùn)動(dòng)單元上采用步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，通過(guò)滾珠絲杠連接進(jìn)行傳動(dòng)。然而，由于滾珠絲杠自身的誤差、電機(jī)與滾珠絲杠連接時(shí)的安裝誤差以及連接電機(jī)與滾珠絲杠的連接機(jī)構(gòu)本身的誤差，經(jīng)過(guò)累積之后降低了設(shè)備的精度等級(jí)。

期望對(duì)坐標(biāo)機(jī)器人的結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步優(yōu)化。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種坐標(biāo)機(jī)器人，該坐標(biāo)機(jī)器人在橫向運(yùn)動(dòng)模塊上采用精度較高、有效行程更長(zhǎng)的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，縱向上采用了能耗較低，運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定的伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠的方案，即滿足生產(chǎn)精度需要，又節(jié)省制作成本。

根據(jù)本發(fā)明提供一種坐標(biāo)機(jī)器人，包括：第一運(yùn)動(dòng)模塊，包括第一直線電機(jī)、第一導(dǎo)軌以及第一滑動(dòng)部件，所述第一直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述第一滑動(dòng)部件沿所述第一導(dǎo)軌滑動(dòng)；第二運(yùn)動(dòng)模塊，包括第二直線電機(jī)、第二導(dǎo)軌以及第二滑動(dòng)部件，所述第二直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述第二滑動(dòng)部件沿所述第二導(dǎo)軌滑動(dòng)；以及第三運(yùn)動(dòng)模塊，包括伺服電機(jī)、線性模組以及第三滑動(dòng)部件，所述所述伺服電機(jī)通過(guò)所述線性模組驅(qū)動(dòng)所述第三滑動(dòng)部件沿所述線性模組滑動(dòng)，其中，所述第二運(yùn)動(dòng)模塊設(shè)置在所述第一運(yùn)動(dòng)模塊的所述第一滑動(dòng)部件上，所述第二運(yùn)動(dòng)模塊與所述第一運(yùn)動(dòng)模塊橫向垂直，所述第三運(yùn)動(dòng)模塊與所述第二運(yùn)動(dòng)模塊的所述第二滑動(dòng)部件連接，所述第三運(yùn)動(dòng)模塊與所述第二運(yùn)動(dòng)模塊縱向垂直。

優(yōu)選地，所述第一運(yùn)動(dòng)模塊、所述第二運(yùn)動(dòng)模塊以及所述第三運(yùn)動(dòng)模塊的數(shù)目均為一個(gè)。

優(yōu)選地，所述第三運(yùn)動(dòng)模塊通過(guò)連接件與所述第二運(yùn)動(dòng)模塊的所述第二滑動(dòng)部件連接。

優(yōu)選地，所述連接件包括與所述第二運(yùn)動(dòng)模塊的第二滑動(dòng)部件連接的第一安裝板、與所述第三運(yùn)動(dòng)模塊的線性模組連接的第二安裝板以及至少一個(gè)加強(qiáng)件，所述加強(qiáng)件呈三角形狀，其中所述加強(qiáng)件的一邊與所述第一安裝板連接，另一邊與所述第二安裝板連接。

優(yōu)選地，所述線性模組包括滾珠絲杠以及第三導(dǎo)軌，所述滾珠絲杠包括螺桿及與所述螺桿配合的螺母，所述伺服電機(jī)與所述螺桿連接，所述第三滑動(dòng)部件與所述螺母連接，所述第三導(dǎo)軌與所述螺桿平行，所述伺服電機(jī)通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)使得所述第三滑動(dòng)部件沿所述第三導(dǎo)軌滑動(dòng)。

優(yōu)選地，所述伺服電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器與所述螺桿連接，所述第三滑動(dòng)部件上設(shè)有定位孔，用于將所述第三滑動(dòng)部件與其他裝置連接。

優(yōu)選地，所述第一運(yùn)動(dòng)模塊、所述第二運(yùn)動(dòng)模塊、所述第三運(yùn)動(dòng)模塊中的至少一個(gè)還包括：光電開(kāi)關(guān)，所述光電開(kāi)關(guān)設(shè)置在所述第一滑動(dòng)部件、所述第二滑動(dòng)部件、所述第三滑動(dòng)部件中的至少一個(gè)的有效行程的兩端。

優(yōu)選地，所述第一運(yùn)動(dòng)模塊、所述第二運(yùn)動(dòng)模塊中的至少一個(gè)還包括：限位塊，所述限位塊設(shè)置在所述第一導(dǎo)軌、所述第二導(dǎo)軌中的至少一個(gè)的兩端。

優(yōu)選地，所述第一運(yùn)動(dòng)模塊、所述第二運(yùn)動(dòng)模塊中的至少一個(gè)還包括：光柵尺，所述光柵尺對(duì)應(yīng)所述第一導(dǎo)軌、所述第二導(dǎo)軌中的至少一個(gè)設(shè)置。

優(yōu)選地，所述第一導(dǎo)軌為兩個(gè)，并且設(shè)置在所述第一直線電機(jī)的兩側(cè)，所述第二導(dǎo)軌為兩個(gè)，并且設(shè)置在所述第二直線電機(jī)的兩側(cè)。

根據(jù)本發(fā)明的坐標(biāo)機(jī)器人，一方面，水平方向上布置的第一運(yùn)動(dòng)模塊和第二運(yùn)動(dòng)模塊上采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，解決了水平方向上由于滾珠絲杠的剛性支撐限制導(dǎo)致的有效行程較短的問(wèn)題，有效行程更長(zhǎng)；直線電機(jī)的動(dòng)子與直線電機(jī)定子之間產(chǎn)生的吸力能使設(shè)備的整體剛性得到提高；直線電機(jī)動(dòng)子和定子之間具有間隙，使直線電機(jī)帶動(dòng)的滑動(dòng)部件只需克服與導(dǎo)軌之間摩擦力進(jìn)行滑動(dòng)，使驅(qū)動(dòng)的效率大大提高，也提升了設(shè)備的負(fù)載能力、加速度能力和速度能力；直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)滑塊簡(jiǎn)化了安裝過(guò)程，避免了傳統(tǒng)電機(jī)與滾珠絲杠安裝時(shí)帶來(lái)的諸多誤差，從而提高了坐標(biāo)機(jī)器人的精度。

另一方面，坐標(biāo)機(jī)器人在縱向的運(yùn)動(dòng)模塊上采用伺服電機(jī)通過(guò)線性模組驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)部件，線性模組可以是包括滾珠絲杠的線性模組，其能耗較低，發(fā)熱小，運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定，與水平方向上的運(yùn)動(dòng)模塊相配合，即能滿足生產(chǎn)精度的需要，又能節(jié)省控制制作成本。

在優(yōu)選的實(shí)施例中，第三運(yùn)動(dòng)模塊通過(guò)連接件與第二運(yùn)動(dòng)模塊的第二滑動(dòng)部件連接，連接件包括第一安裝板、第二安裝板以及至少一個(gè)加強(qiáng)件，其中加強(qiáng)件呈三角形狀，連接件的一邊與第一安裝板連接，另一邊與第二安裝板連接，實(shí)現(xiàn)豎直方向的第三運(yùn)動(dòng)模塊與水平方向的第二運(yùn)動(dòng)模塊的第二滑動(dòng)部件的正交連接的同時(shí)，加強(qiáng)了整體結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。

在優(yōu)選的實(shí)施例中，第一運(yùn)動(dòng)模塊、第二運(yùn)動(dòng)模塊中的至少一個(gè)還包括對(duì)應(yīng)導(dǎo)軌設(shè)置的光柵尺，光柵尺作為反饋單元，能實(shí)現(xiàn)坐標(biāo)機(jī)器人微米級(jí)的定位能力與重復(fù)定位精度，配合導(dǎo)軌，使坐標(biāo)機(jī)器人具有很好的直線度與平面度。

在優(yōu)選的實(shí)施例中，所述第一運(yùn)動(dòng)模塊、所述第二運(yùn)動(dòng)模塊、所述第三運(yùn)動(dòng)模塊中的至少一個(gè)還包括光電開(kāi)關(guān)，光電開(kāi)關(guān)作為有效行程的兩端的軟限位，使滑動(dòng)部件到達(dá)行程極限位置的響應(yīng)時(shí)間減少，提升了響應(yīng)速度，也使定位精度更加精準(zhǔn)。

附圖說(shuō)明

通過(guò)以下參照附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的描述，本發(fā)明的上述以及其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將更為清楚，在附圖中：

圖1示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的坐標(biāo)機(jī)器人的立體圖。

圖2示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的坐標(biāo)機(jī)器人的正視圖。

圖3示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的坐標(biāo)機(jī)器人的截面圖。

具體實(shí)施方式

以下將參照附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明。為了清楚起見(jiàn)，附圖中的各個(gè)部分沒(méi)有按比例繪制。此外，可能未示出某些公知的部分。在下文中描述了本發(fā)明的許多特定的細(xì)節(jié)，但正如本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠理解的那樣，可以不按照這些特定的細(xì)節(jié)來(lái)實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。

應(yīng)當(dāng)理解，在描述部件的結(jié)構(gòu)時(shí)，當(dāng)將一層、一個(gè)區(qū)域稱為位于另一層、另一個(gè)區(qū)域“上面”或“上方”時(shí)，可以指直接位于另一層、另一個(gè)區(qū)域上面，或者在其與另一層、另一個(gè)區(qū)域之間還包含其它的層或區(qū)域。并且，如果將部件翻轉(zhuǎn)，該一層、一個(gè)區(qū)域?qū)⑽挥诹硪粚?、另一個(gè)區(qū)域“下面”或“下方”。

圖1、圖2以及圖3分別示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的坐標(biāo)機(jī)器人的立體圖、正視圖以及截面圖，其中圖2中線A-A示出圖3截面圖的截取位置。該坐標(biāo)機(jī)器人包括第一運(yùn)動(dòng)模塊100、第二運(yùn)動(dòng)模塊200以及第三運(yùn)動(dòng)模塊300。

第一運(yùn)動(dòng)模塊100包括第一直線電機(jī)110、第一導(dǎo)軌120以及第一滑動(dòng)部件130，其中第一直線電機(jī)110驅(qū)動(dòng)第一滑動(dòng)部件130沿第一導(dǎo)軌120滑動(dòng)。第二運(yùn)動(dòng)模塊200包括第二直線電機(jī)、第二導(dǎo)軌以及第二滑動(dòng)部件230，其中第二直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)第二滑動(dòng)部件230沿第二導(dǎo)軌滑動(dòng)。本發(fā)明實(shí)施例的第二運(yùn)動(dòng)模塊200的結(jié)構(gòu)與第一運(yùn)動(dòng)模塊100的結(jié)構(gòu)大致相似，因此本文將對(duì)第一運(yùn)動(dòng)模塊100的機(jī)構(gòu)詳細(xì)說(shuō)明，第二運(yùn)動(dòng)模塊200的結(jié)構(gòu)不再詳述。

第三運(yùn)動(dòng)模塊包括伺服電機(jī)310、線性模組320以及第三滑動(dòng)部件330，其中伺服電機(jī)310通過(guò)線性模組320驅(qū)動(dòng)第三滑動(dòng)部件330沿線性模組320滑動(dòng)。

根據(jù)本實(shí)施例的坐標(biāo)機(jī)器人，第二運(yùn)動(dòng)模塊設(shè)置200在第一運(yùn)動(dòng)模塊100的第一滑動(dòng)部件130上，并且第二運(yùn)動(dòng)模塊200與第一運(yùn)動(dòng)模塊100橫向垂直。第三運(yùn)動(dòng)模塊300與第二運(yùn)動(dòng)模塊200的第二滑動(dòng)部件230連接，并且第三運(yùn)動(dòng)模塊300與第二運(yùn)動(dòng)模塊200縱向垂直。

在實(shí)際使用中，第一運(yùn)動(dòng)模塊100和第二運(yùn)動(dòng)模塊200可放置在水平面上，其中第一運(yùn)動(dòng)模塊100對(duì)應(yīng)于XYZ直角坐標(biāo)系中的X軸布置，第二運(yùn)動(dòng)模塊200對(duì)應(yīng)于Y軸布置，而上述的第三運(yùn)動(dòng)模塊300對(duì)應(yīng)于Y軸布置。第二運(yùn)動(dòng)模塊200可隨第一滑動(dòng)部件130沿第一導(dǎo)軌120即沿X軸滑動(dòng)，第三運(yùn)動(dòng)模塊300可隨第二滑動(dòng)部件230沿第二導(dǎo)軌220即沿Y軸滑動(dòng)，第三滑動(dòng)部件230沿線性模組320即Z軸滑動(dòng)。優(yōu)選地，第三滑動(dòng)部件230上設(shè)有定位孔，用于將第三滑動(dòng)部件230與其他裝置連接，所述其他裝置在搬運(yùn)、點(diǎn)膠、焊接、激光切割、定位、印刷和半導(dǎo)體等不同領(lǐng)域中可以是不同的裝置，例如是夾持設(shè)備。根據(jù)本實(shí)施例的坐標(biāo)機(jī)器人，夾持設(shè)備固定在第三滑動(dòng)部件230上，可以實(shí)現(xiàn)其在XYZ三維直角坐標(biāo)系中任意軸向上的線性運(yùn)動(dòng)。另外，配合專用的控制系統(tǒng)，該控制系統(tǒng)調(diào)試后可提升整個(gè)系統(tǒng)以及坐標(biāo)機(jī)器人的響應(yīng)速度，并且?guī)в胁逖a(bǔ)功能，可以實(shí)現(xiàn)空間點(diǎn)位的定位以及各種復(fù)雜軌跡的設(shè)定。

直線電機(jī)通常包括動(dòng)子和定子，其中定子剛性較強(qiáng)，可以根據(jù)生產(chǎn)需要的行程設(shè)置足夠長(zhǎng)的定子，動(dòng)子沿所述定子滑動(dòng)。水平方向上布置的第一運(yùn)動(dòng)模塊100和第二運(yùn)動(dòng)模塊200上由于采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，解決了傳統(tǒng)坐標(biāo)機(jī)器人水平方向上由于滾珠絲杠的剛性支撐限制導(dǎo)致的有效行程較短的問(wèn)題，有效行程可以做到更長(zhǎng)。直線電機(jī)的動(dòng)子定子之間產(chǎn)生的吸力能使第一運(yùn)動(dòng)模塊100、第二運(yùn)動(dòng)模塊200以及整體設(shè)備的剛性得到提高。直線電機(jī)動(dòng)子和定子之間具有間隙，使直線電機(jī)帶動(dòng)的滑動(dòng)部件只需克服與導(dǎo)軌之間摩擦力進(jìn)行滑動(dòng)，使驅(qū)動(dòng)的效率大大提高，也提升了設(shè)備的負(fù)載能力、加速度能力和速度能力。直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)部件相對(duì)傳統(tǒng)電機(jī)與滾珠絲杠的連接，簡(jiǎn)化了安裝過(guò)程，避免了安裝時(shí)帶來(lái)的諸多誤差，從而提高了坐標(biāo)機(jī)器人的精度。

線性模組320可以包括滾珠絲杠以及第三導(dǎo)軌。滾珠絲杠主要包括螺桿和螺母，當(dāng)然還可以包括鋼球、防塵器等其他部件。伺服電機(jī)310與螺桿連接，第三滑動(dòng)部件330與螺母連接，第三導(dǎo)軌與螺桿平行。其中伺服電機(jī)310驅(qū)動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)使得螺母沿螺桿滑動(dòng)，第三滑動(dòng)部件330隨螺母沿第三導(dǎo)軌滑動(dòng)。本實(shí)施例的坐標(biāo)機(jī)器人在縱向的第三運(yùn)動(dòng)模塊300上采用了伺服電機(jī)310驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠的方案，其中伺服電機(jī)310驅(qū)動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)，螺母為從動(dòng)體，其將螺桿的轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為沿螺桿的滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)。伺服電機(jī)310驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠的方案能耗較低，發(fā)熱小，運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定，同時(shí)部件價(jià)格相較直線電機(jī)也更低，與上述第一運(yùn)動(dòng)模塊100以及第二運(yùn)動(dòng)模塊200相配合，使得坐標(biāo)機(jī)器人即能滿足生產(chǎn)精度的需要，又能節(jié)省控制制作成本。

優(yōu)選地，在上述第三運(yùn)動(dòng)模塊300中，伺服電機(jī)310通過(guò)聯(lián)軸器驅(qū)動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)，聯(lián)軸器傳動(dòng)相較于皮帶連接，齒輪連接等傳動(dòng)方式傳動(dòng)效率更高。

第一運(yùn)動(dòng)模塊100、第二運(yùn)動(dòng)模塊200以及第三運(yùn)動(dòng)模塊300的數(shù)目可以均為一個(gè)，可以達(dá)到滿足生產(chǎn)精度的需要的同時(shí)節(jié)省制作成本的目的。第一運(yùn)動(dòng)模塊100、第二運(yùn)動(dòng)模塊200以及第三運(yùn)動(dòng)模塊300均可以選擇性設(shè)置底座、外殼等，起到承托部件或保護(hù)結(jié)構(gòu)的作用。

第二運(yùn)動(dòng)部件200和第一運(yùn)動(dòng)模塊100都位于水平方向上，其中第二運(yùn)動(dòng)部件200可以直接采用螺栓與第一運(yùn)動(dòng)模塊100的第一滑動(dòng)部件130連接。而第三運(yùn)動(dòng)模塊300可以通過(guò)連接件400與第二運(yùn)動(dòng)模塊200的第二滑動(dòng)部件230連接。本實(shí)施例中，連接件400包括與第二運(yùn)動(dòng)模塊200的第二滑動(dòng)部件230連接的第一安裝板、與第三運(yùn)動(dòng)模塊300的線性模組320連接的第二安裝板以及至少一個(gè)加強(qiáng)件，本實(shí)施例中加強(qiáng)件例如是兩個(gè)，所述加強(qiáng)件呈三角形狀，例如是空心的直角三角形狀。其中加強(qiáng)件的一個(gè)直角邊與所述第一安裝板連接，另一個(gè)直角邊與所述第二安裝板連接。實(shí)現(xiàn)豎直方向的第三運(yùn)動(dòng)模塊300與水平方向的第二運(yùn)動(dòng)模塊200的第二滑動(dòng)部件230的正交連接的同時(shí)，加強(qiáng)了整體結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。

進(jìn)一步地，第一運(yùn)動(dòng)模塊100、第二運(yùn)動(dòng)模塊200、第三運(yùn)動(dòng)模塊300中的至少一個(gè)還包括光電開(kāi)關(guān)，其設(shè)置在第一滑動(dòng)部件、第二滑動(dòng)部件、第三滑動(dòng)部件中的至少一個(gè)的有效行程的兩端。本實(shí)施例中，第一滑動(dòng)部件130、第二滑動(dòng)部件230、第三滑動(dòng)部件330中的每個(gè)的有效行程的兩端都設(shè)有光電開(kāi)關(guān)。如圖2，本文以第一運(yùn)動(dòng)模塊100為例對(duì)光電開(kāi)關(guān)位置進(jìn)行說(shuō)明，其在第二運(yùn)動(dòng)模塊200、第三運(yùn)動(dòng)模塊300上的設(shè)置方式與在第一運(yùn)動(dòng)模塊100上的設(shè)置方式類似，不再詳述。第一運(yùn)動(dòng)模塊100上設(shè)有兩個(gè)光電開(kāi)關(guān)：第一光電開(kāi)關(guān)141以及第二光電開(kāi)關(guān)142，二者對(duì)應(yīng)設(shè)置在第一滑動(dòng)部件130有效行程的兩端，可以對(duì)第一滑動(dòng)部件130進(jìn)行軟限位。本發(fā)明中，光電開(kāi)關(guān)作為X軸、Y軸、Z軸的有效行程兩端的軟限位，使第一滑動(dòng)部件130、第二滑動(dòng)部件230以及第三滑動(dòng)部件330到達(dá)各自行程極限位置的響應(yīng)時(shí)間減少，提升了響應(yīng)速度，也使定位精度更加精準(zhǔn)。

進(jìn)一步地，第一運(yùn)動(dòng)模塊100、第二運(yùn)動(dòng)模塊200中的至少一個(gè)還包括限位塊，其設(shè)置在第一導(dǎo)軌、第二導(dǎo)軌中的至少一個(gè)的兩端。本實(shí)施例中，第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌的兩端都設(shè)有限位塊，如圖2，本文以第一運(yùn)動(dòng)模塊100為例對(duì)限位塊位置進(jìn)行說(shuō)明，其在第二運(yùn)動(dòng)模塊200上的設(shè)置方式與在第一運(yùn)動(dòng)模塊100上的設(shè)置方式類似，不再詳述。第一運(yùn)動(dòng)模塊100上設(shè)有兩個(gè)限位塊：第一限位塊151以及第二限位塊152，二者對(duì)應(yīng)設(shè)置在第一導(dǎo)軌120的兩端，可以對(duì)第一滑動(dòng)部件130進(jìn)行硬限位。本發(fā)明中，限位塊作為硬限位對(duì)第一運(yùn)動(dòng)模塊100、第二運(yùn)動(dòng)模塊200作行程保護(hù)，從而防止出現(xiàn)飛車等意外情況。

進(jìn)一步地，第一運(yùn)動(dòng)模塊100、第二運(yùn)動(dòng)模塊200中的至少一個(gè)還包括光柵尺，光柵尺對(duì)應(yīng)所述第一導(dǎo)軌、第二導(dǎo)軌中的至少一個(gè)設(shè)置。本實(shí)施例中，光柵尺數(shù)目為兩個(gè)，分別對(duì)應(yīng)第一導(dǎo)軌、第二導(dǎo)軌進(jìn)行設(shè)置。如圖3，以第一運(yùn)動(dòng)模塊100上的光柵尺160為例說(shuō)明，光柵尺160對(duì)應(yīng)第一導(dǎo)軌120設(shè)置，并且與第一導(dǎo)軌120以及第一直線電機(jī)110平行。本發(fā)明中，光柵尺作為反饋單元通過(guò)外部控制器對(duì)X軸和Y軸的精度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，能夠?yàn)橥庵玫目刂破魈峁╅]環(huán)反饋，能實(shí)現(xiàn)坐標(biāo)機(jī)器人微米級(jí)的定位能力與重復(fù)定位精度，配合導(dǎo)軌，使坐標(biāo)機(jī)器人具有很好的直線度與平面度。

另外，如圖3，第一導(dǎo)軌120可以是兩個(gè)，并且設(shè)置在第一直線電機(jī)110的兩側(cè)。當(dāng)然，第二導(dǎo)軌也可以為兩個(gè)，也可以設(shè)置在第二直線電機(jī)的兩側(cè)，使得第一滑動(dòng)部件130以及第二滑動(dòng)部件230的滑動(dòng)更穩(wěn)定。

應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語(yǔ)僅僅用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開(kāi)來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒(méi)有更多限制的情況下，由語(yǔ)句“包括一個(gè)……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。

依照本發(fā)明的實(shí)施例如上文所述，這些實(shí)施例并沒(méi)有詳盡敘述所有的細(xì)節(jié)，也不限制該發(fā)明僅為所述的具體實(shí)施例。顯然，根據(jù)以上描述，可作很多的修改和變化。本說(shuō)明書(shū)選取并具體描述這些實(shí)施例，是為了更好地解釋本發(fā)明的原理和實(shí)際應(yīng)用，從而使所屬技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員能很好地利用本發(fā)明以及在本發(fā)明基礎(chǔ)上的修改使用。本發(fā)明僅受權(quán)利要求書(shū)及其全部范圍和等效物的限制。