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一種單自由度柔性微定位平臺的制作方法

文檔序號:11801662閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種單自由度柔性微定位平臺,包括運動輸入裝置、柔性運動平臺及用于固定柔性運動平臺的平臺底座,其特征在于,所述柔性運動平臺包括設置于同一平面的第一半部和第二半部,所述運動輸入裝置通過第一平臺將平移運動輸入至第一半部和第二半部,所述第一半部與所述第二半部的結(jié)構(gòu)關(guān)于所述第一平臺的中軸軸對稱;

所述第一半部包括第二平臺,所述第二平臺的首端通過第一柔性鉸鏈與第一杠桿的尾端連接,尾端通過第二柔性鉸鏈與第二杠桿的中段連接;

所述第一杠桿與所述第一平臺背離一側(cè)的首端通過第三柔性鉸鏈與第三杠桿的首端連接,所述第一杠桿面向所述第一平臺一側(cè)的中段與所述平臺底座通過第四柔性鉸鏈連接;

所述第二杠桿的首端通過第五柔性鉸鏈與所述第三杠桿的中段連接,所述第二杠桿面向所述第一平臺一側(cè)的尾端與所述平臺底座之間,通過第六柔性鉸鏈連接;

所述第三杠桿背離所述第二杠桿一側(cè)的尾端通過第七柔性鉸鏈與輸出平臺連接,所述輸出平臺連接有限制其沿所述運動輸入裝置輸入的動作的方向運動的限位結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單自由度柔性微定位平臺,其特征在于,所述第一平臺的一側(cè)與所述運動輸入裝置的輸出端連接,另一側(cè)的一端通過第八柔性鉸鏈與所述第二平臺的中段連接,所述第一平臺的另一端設置有用于與第二半部連接的第九柔性鉸鏈。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單自由度柔性微定位平臺,其特征在于,所述輸出平臺的首端和末端均通過柔性鉸鏈與所述第一半部和第二半部連接,與所述第一半部的連接點和與所述第二半部的連接點關(guān)于輸出平臺的中軸對稱。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單自由度柔性微定位平臺,其特征在于,所述柔性運動平臺還設置有本體與所述平臺底座安裝固定的固定部,所述第四柔性鉸鏈和第六柔性鉸鏈的一端均通過所述固定部與所述平臺底座連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項所述的單自由度柔性微定位平臺,其特征在于,所述第一柔性鉸鏈、第二柔性鉸鏈、第四柔性鉸鏈、第六柔性鉸鏈、第八柔性鉸鏈均為圓弧形柔性鉸鏈。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的單自由度柔性微定位平臺,其特征在于,所述第三柔性鉸鏈為直梁型柔性鉸鏈。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單自由度柔性微定位平臺,其特征在于,所述第五柔性鉸鏈和第七柔性鉸鏈均為倒角圓直梁柔性鉸鏈。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的單自由度柔性微定位平臺,其特征在于,所述柔性運動平臺與所述平臺底座之間通過緊固螺栓面貼合安裝固定。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的單自由度柔性微定位平臺,其特征在于,所述柔性運動平臺與所述平臺底座之間還設置有平臺墊片。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的單自由度柔性微定位平臺,其特征在于,所述運動輸入裝置具體為壓電陶瓷驅(qū)動器。

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