專利名稱:抓取換位機(jī)械手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種抓取換位機(jī)械手,特別涉及一種硅芯生長(zhǎng)用籽晶抓取換位的機(jī)械手。
背景技術(shù):
現(xiàn)有技術(shù)中的抓取換位機(jī)械手有手指抓取式、吸盤(pán)式、磁力吸盤(pán)式,例如機(jī)械工業(yè)出版社1982年出版的《機(jī)械工程手冊(cè)》第10卷中P56-43表56·2-1。但在有些工作環(huán)境中,如高溫真空環(huán)境中,上述抓取換位機(jī)械手中來(lái)講就難以實(shí)現(xiàn)抓取換位。日本帝人制機(jī)株式會(huì)社發(fā)明的“一種機(jī)械手裝置”(專利號(hào)CN02128173.4),該發(fā)明公開(kāi)了一種機(jī)械手裝置,包括第一、第二手臂連桿機(jī)構(gòu),用于驅(qū)動(dòng)第一、第二手臂連桿機(jī)構(gòu)的機(jī)械手驅(qū)動(dòng)裝置,以及使第一、第二手臂連桿機(jī)構(gòu)保持樞接的連桿保持機(jī)構(gòu),其中第一手臂連桿機(jī)構(gòu)的第三、第四手臂連桿在使第一、第二手臂連桿機(jī)構(gòu)展開(kāi)的第一轉(zhuǎn)動(dòng)方向上保持向前,從而防止當(dāng)?shù)谝?、第二手臂連桿機(jī)構(gòu)展開(kāi)時(shí),機(jī)械手裝置的四桿曲柄鏈系被壓扁,相對(duì)于常規(guī)機(jī)械手裝置,提高了抵抗變形的能力,但仍然不適應(yīng)在高溫真空環(huán)境中使用。西安理工大學(xué)發(fā)明的“裝料取料機(jī)械手”(專利號(hào)CN02139446.6),采用托架與四連桿機(jī)構(gòu)連接,四連桿機(jī)構(gòu)與機(jī)械手臂相連,四連桿機(jī)構(gòu)的上擺臂與彈簧連接,導(dǎo)軌與滑座滑動(dòng)連接,其滑座中設(shè)有絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),機(jī)械手臂的尾部設(shè)有轉(zhuǎn)輪,轉(zhuǎn)輪上連接有絲杠,機(jī)械手臂的右端面通過(guò)螺釘連接有絲母,機(jī)械手臂的內(nèi)腔中設(shè)有滑動(dòng)軸,滑動(dòng)軸的右端與絲杠連接、左端連接鋼絲繩,鋼絲繩與彈簧的另一端連接,在滑動(dòng)軸的外側(cè)設(shè)有密封組件,定位套與定桿相連。該發(fā)明不能配合PLC程序可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)換位,適合于高溫真空等環(huán)境中物品的抓取換位機(jī)械手廣泛用于半導(dǎo)體器件、真空冶煉、人工晶體生長(zhǎng)、多晶硅材料制備等設(shè)備中的抓取換位工作。
發(fā)明目的本發(fā)明目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,可輕取輕放,配合PLC程序可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)換位,適合于高溫真空等環(huán)境中物品的抓取換位機(jī)械手廣泛用于半導(dǎo)體器件、真空冶煉、人工晶體生長(zhǎng)、多晶硅材料制備等設(shè)備中的抓取換位工作。
技術(shù)內(nèi)容本發(fā)明的抓取換位機(jī)械手,包括抓取座上開(kāi)有弧形通槽,抓取座下部與有錐形孔的抓取頭相連接,抓取頭上加工有弧形開(kāi)通槽;換位頭上部設(shè)有錐形臺(tái),錐形臺(tái)的錐形面與錐形孔的錐孔面相吻合,換位轉(zhuǎn)盤(pán)與轉(zhuǎn)軸相連接,換位轉(zhuǎn)盤(pán)上開(kāi)有圓弧槽和圓弧槽,圓弧槽和圓弧槽與抓取頭上的弧形開(kāi)通槽在同一圓周位置。本發(fā)明的改進(jìn)之處在于抓取座上開(kāi)有弧形通槽,抓取座下部與有錐形孔的抓取頭相連接,抓取頭上加工有弧形開(kāi)通槽;換位頭上部設(shè)有錐形臺(tái),錐形臺(tái)的錐形面與錐形孔的孔面相吻合。通過(guò)抓取座、抓取頭的上下運(yùn)動(dòng)和換位轉(zhuǎn)盤(pán)的旋轉(zhuǎn)配合實(shí)現(xiàn)換位頭的位置轉(zhuǎn)換。
工作時(shí),工作程序是首先把換位頭放在換位轉(zhuǎn)盤(pán)上的圓弧槽中的A、B、C位置,降下抓取座和抓取頭到正確高度,逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)換位轉(zhuǎn)盤(pán),使處于A位的換位頭的錐形臺(tái)進(jìn)入到弧形通槽中間,提升抓取座和抓取頭,通過(guò)錐形臺(tái)的錐形面與錐形孔的孔面相吻合,將A位的換位頭提起,然后,順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)換位轉(zhuǎn)盤(pán),使換位轉(zhuǎn)盤(pán)的a位到達(dá)換位頭的正下部,降下抓取座和抓取頭,將換位頭放在a位,再逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)換位轉(zhuǎn)盤(pán),使處于B位的換位頭的錐形臺(tái)進(jìn)入到弧形通槽中間,提升抓取座和抓取頭,通過(guò)錐形臺(tái)的錐形面與錐形孔的孔面相吻合,將B位的換位頭提起,然后,順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)換位轉(zhuǎn)盤(pán),使換位轉(zhuǎn)盤(pán)的b位到達(dá)換位頭的正下部,降下抓取座和抓取頭,將換位頭放在b位;同樣程序,將C位的換位頭移至c位,完成A、B、C位置的換位頭移至a、b、c位。
逆向程序工作也可實(shí)現(xiàn)a、b、c位向A、B、C位的移動(dòng)。
有益效果本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,可輕取輕放,使用方便。因其是通過(guò)錐形臺(tái)的錐形面與錐形孔的錐孔面相吻合來(lái)抓取換位頭,因而具有自動(dòng)定心功能,實(shí)現(xiàn)換位頭的準(zhǔn)確換位。適合于高溫真空環(huán)境中物品的抓取換位機(jī)械手。
圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)剖面示意圖;圖2為圖1的K-K剖面示意圖。
附圖中1是抓取座,2是抓取座(1)上開(kāi)有弧形通槽,3是抓取頭,4是錐形臺(tái)(5)的錐形面與錐形孔,5是錐形臺(tái),6是換位頭,7是轉(zhuǎn)軸,8是換位轉(zhuǎn)盤(pán),9是換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8)上開(kāi)的圓弧槽,10是抓取頭(3)上的弧形開(kāi)通槽,11是圓弧槽。
實(shí)施方式附圖為本發(fā)明的具體實(shí)施例;下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說(shuō)明;參見(jiàn)圖1所示,包括抓取座(1)上開(kāi)有弧形通槽(2),抓取座(1)下部與有錐形孔(4)的抓取頭(3)相連接,抓取頭(3)上加工有弧形開(kāi)通槽(10);換位頭(6)上部設(shè)有錐形臺(tái)(5),錐形臺(tái)(5)的錐形面與錐形孔(4)的錐孔面相吻合,換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8)與轉(zhuǎn)軸(7)相連接,換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8)上開(kāi)有圓弧槽(9)和圓弧槽(11),圓弧槽(9)和圓弧槽(11)與抓取頭(3)上的弧形開(kāi)通槽(10)在同一圓周位置。本發(fā)明的改進(jìn)之處在于抓取座(1)上開(kāi)有弧形通槽(2),抓取座(1)下部與有錐形孔(4)的抓取頭(3)相連接,抓取頭(3)上加工有弧形開(kāi)通槽(10);換位頭(6)上部設(shè)有錐形臺(tái)(5),錐形臺(tái)(5)的錐形面與錐形孔(4)的孔面相吻合。通過(guò)抓取座(1)、抓取頭(3)的上下運(yùn)動(dòng)和換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8)的旋轉(zhuǎn)配合實(shí)現(xiàn)換位頭(6)的位置轉(zhuǎn)換。
工作時(shí),工作程序是首先把換位頭(6)放在換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8)上的圓弧槽(9)中的A、B、C位置,降下抓取座(1)和抓取頭(3)到正確高度,逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8),使處于A位的換位頭(6)的錐形臺(tái)(5)進(jìn)入到弧形通槽(2)中間,提升抓取座(1)和抓取頭(3),通過(guò)錐形臺(tái)(5)的錐形面與錐形孔(4)的孔面相吻合,將A位的換位頭(6)提起,然后,順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8),使換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8)的a位到達(dá)換位頭(6)的正下部,降下抓取座(1)和抓取頭(3),將換位頭(6)放在a位,再逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8),使處于B位的換位頭(6)的錐形臺(tái)(5)進(jìn)入到弧形通槽(2)中間,提升抓取座(1)和抓取頭(3),通過(guò)錐形臺(tái)(5)的錐形面與錐形孔(4)的孔面相吻合,將B位的換位頭(6)提起,然后,順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8),使換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8)的b位到達(dá)換位頭(6)的正下部,降下抓取座(1)和抓取頭(3),將換位頭(6)放在b位;同樣程序,將C位的換位頭(6)移至c位,完成A、B、C位置的換位頭(6)移至a、b、c位。
逆向程序工作也可實(shí)現(xiàn)a、b、c位向A、B、C位的移動(dòng)。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比,具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,可輕取輕放,配合PLC程序可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)換位。適合于高溫真空等環(huán)境中物品的抓取換位機(jī)械手。廣泛用于半導(dǎo)體器件、真空冶煉、人工晶體生長(zhǎng)、多晶硅材料制備等設(shè)備中的抓取換位工作。
權(quán)利要求
1.一種抓取換位機(jī)械手,包括抓取座(1)等,其特征在于抓取座(1)上開(kāi)有弧形通槽(2),抓取座(1)下部與有錐形孔(4)的抓取頭(3)相連接,抓取頭(3)上加工有弧形開(kāi)通槽(10);換位頭(6)上部設(shè)有錐形臺(tái)(5),錐形臺(tái)(5)的錐形面與錐形孔(4)的孔面相吻合,換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8)與轉(zhuǎn)軸(7)相連接,換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8)上開(kāi)有圓弧槽(9)和圓弧槽(11),圓弧槽(9)和圓弧槽(11)與抓取頭(3)上的開(kāi)通槽(10)在同一圓周位置。其特征在于抓取座(1)上開(kāi)有弧形通槽(2),抓取座(1)下部與有錐形孔(4)的抓取頭(3)相連接,抓取頭(3)上加工有弧形開(kāi)通槽(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抓取換位機(jī)械手,其特征在于換位轉(zhuǎn)盤(pán)(8)上開(kāi)有圓弧槽(9)和圓弧槽(11),圓弧槽(9)和圓弧槽(11)與抓取頭(3)上的開(kāi)通槽(10)在同一圓周位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抓取換位機(jī)械手,其特征在于換位頭(6)上部設(shè)有錐形臺(tái)(5),錐形臺(tái)(5)的錐形面與錐形孔(4)的孔面相吻合,實(shí)現(xiàn)換位頭(6)的精確換位。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種抓取換位機(jī)械手,通過(guò)抓取座的開(kāi)通槽、有錐形孔槽的抓取頭與換位頭上的錐形臺(tái)面之間的結(jié)合與脫離,配合換位轉(zhuǎn)盤(pán)的旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)換位頭的換位,配合PLC程序可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)換位;本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,可輕取輕放,廣泛用于半導(dǎo)體器件、真空冶煉、人工晶體生長(zhǎng)、多晶硅材料制備等設(shè)備中的抓取換位工作。
文檔編號(hào)B25J15/00GK101069965SQ20061004011
公開(kāi)日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2006年5月8日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月8日
發(fā)明者馮金生, 李留臣 申請(qǐng)人:江蘇華盛精細(xì)陶瓷科技有限公司