專利名稱：測(cè)試頭定位系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于定位和操縱負(fù)載的系統(tǒng)，更特別的是，涉及用于定位和操縱測(cè)試頭的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
測(cè)試頭經(jīng)常用在集成電路的測(cè)試中。為了使用測(cè)試頭來測(cè)試集成電路，通常將測(cè)試頭“對(duì)接”到一件外圍設(shè)備，如探針器或設(shè)備處理器(在下文稱作“外部設(shè)備”)上。測(cè)試頭操縱器通常用于在對(duì)接操作過程中定位和操縱測(cè)試頭。
在將測(cè)試頭對(duì)接到外部設(shè)備中，希望該測(cè)試頭可在多個(gè)方向上移動(dòng)(即，該測(cè)試頭具有多個(gè)自由度)。此外，還希望該測(cè)試頭相對(duì)于各個(gè)自由度順從地移動(dòng)(即，該測(cè)試頭基本上是失重的，或者在受到相對(duì)少量的外加力時(shí)可以相對(duì)于每個(gè)自由度移動(dòng))。
由于測(cè)試頭在空間移動(dòng)，因此其相對(duì)于操縱器的位移和角定向改變。為了描述本發(fā)明，規(guī)定兩個(gè)直角坐標(biāo)系是很方便的，一個(gè)坐標(biāo)系附著于該測(cè)試頭上，一個(gè)坐標(biāo)系附著于操縱器上。
圖1繪出測(cè)試頭150，該測(cè)試頭具有附著于其上的彼此正交的坐標(biāo)軸I102、J104和K106。因此，這組軸隨測(cè)試頭在空間移動(dòng)。測(cè)試位置160位于測(cè)試頭150的表面上，并且包括在測(cè)試中與設(shè)備接觸放置的電觸點(diǎn)(“dut”)。圖中示出J軸104與測(cè)試位置表面正交，并且其正向?yàn)檫h(yuǎn)離該測(cè)試位置表面的方向。繞I102的旋轉(zhuǎn)通常稱作“俯仰”、“翻轉(zhuǎn)”或“上下擺動(dòng)”。繞K106的旋轉(zhuǎn)通常稱作“滾動(dòng)”。繞J104的旋轉(zhuǎn)在工業(yè)中通常稱作“θ”。簡(jiǎn)單地，當(dāng)使測(cè)試頭對(duì)接時(shí)，希望外部的測(cè)試位置160與該外部設(shè)備上對(duì)應(yīng)的位置對(duì)準(zhǔn)。通常，測(cè)試頭150稍微遠(yuǎn)離該外部設(shè)備，測(cè)試頭150首先在五個(gè)自由度上對(duì)準(zhǔn)，這五個(gè)自由度包括I、K位移、俯仰和滾動(dòng)旋轉(zhuǎn)(建立平面化)以及θ旋轉(zhuǎn)。然后沿J方向操縱測(cè)試頭150直到適當(dāng)?shù)亟雍线@些試驗(yàn)觸點(diǎn)，從而使其對(duì)接。當(dāng)操縱測(cè)試頭進(jìn)入最終對(duì)接位置時(shí)，常常要提供精密對(duì)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)最終的精密對(duì)準(zhǔn)。因此，一般希望為了對(duì)接而在六個(gè)自由度上同時(shí)操縱該測(cè)試頭。
圖2示出用于描述該操縱器的運(yùn)動(dòng)的一組彼此正交的坐標(biāo)軸200。將這組坐標(biāo)軸固定到操縱器上，從而使其在空間中固定。X軸202表示線性左右方向。同樣，Y軸204表示線性上下或垂直方向，希望測(cè)試頭沿該方向是可移動(dòng)的，Z軸206表示線性進(jìn)出方向，希望測(cè)試頭沿該方向是可移動(dòng)的。為了這種應(yīng)用，繞這三個(gè)軸的旋轉(zhuǎn)分別稱作“U”、“V”和“W”。
如果測(cè)試頭能夠沿X軸202、Y軸204和Z軸206中的每一個(gè)軸移動(dòng)(連同測(cè)試頭操縱器)，并且繞該每一個(gè)軸旋轉(zhuǎn)，那么稱該操縱器提供了至少六個(gè)(6)自由度。如果測(cè)試頭能夠相對(duì)于其軸I102、J104和K106線性且旋轉(zhuǎn)地順從移動(dòng)，那么稱該測(cè)試頭順從六個(gè)(6)自由度。
由于測(cè)試頭通常非常昂貴，因此常常希望使用同一個(gè)測(cè)試頭與各種不同的外部設(shè)備對(duì)接。例如，同一個(gè)測(cè)試頭可以用于在水平面(即，與J104垂直)內(nèi)與設(shè)備處理器(例如測(cè)試頭可以從該設(shè)備處理器下面與設(shè)備處理器對(duì)接)和探針器(例如，測(cè)試頭可以與探針器從該探針器的上面對(duì)接)對(duì)接。為了與各種不同類型的外部設(shè)備對(duì)接，希望測(cè)試頭操縱器具有長(zhǎng)垂直沖程(例如長(zhǎng)的垂直運(yùn)動(dòng)范圍)。但是，由于對(duì)測(cè)試頭和相關(guān)操縱器的尺寸限制，這并不一定實(shí)際。另外，某些測(cè)試頭操縱器系統(tǒng)利用氣壓缸在垂直方向上定位和操縱測(cè)試頭。在這種設(shè)計(jì)中，由測(cè)試頭操縱器提供的垂直沖程受到氣壓缸裝置的沖程的限制。利用較大的測(cè)試頭，氣壓缸裝置的沖程常常不足以提供適合于將測(cè)試頭與不同類型的外部設(shè)備對(duì)接的垂直運(yùn)動(dòng)范圍。
在其他情況下，可能需要與其中測(cè)試位置160處于垂直平面內(nèi)的外部設(shè)備對(duì)接。在這種情況下，測(cè)試頭150必須從水平方向滾動(dòng)90度從而使J 104軸位于水平面內(nèi)。因此，在垂直平面內(nèi)出現(xiàn)θ旋轉(zhuǎn)。關(guān)于固定的操縱器軸200，在XY平面或YZ平面內(nèi)需要這種垂直平面對(duì)接是很普通的。其他垂直平面和任意成角度的平面當(dāng)然也是可能的。
在設(shè)法將測(cè)試頭與不同類型的外部設(shè)備對(duì)接時(shí)出現(xiàn)的其他問題是，在操縱測(cè)試頭的過程中，可能損失一個(gè)自由度。例如，在測(cè)試頭處于其J104軸平行于操縱器的X軸(即，當(dāng)在YZ平面內(nèi)對(duì)接時(shí))的某些配置中，可能損失了θ順從自由度。
常規(guī)的嘗試減輕這種損失的自由度已經(jīng)導(dǎo)致日益復(fù)雜和昂貴的操縱器系統(tǒng)。例如，Holt的美國(guó)專利US5450766和Slocum的美國(guó)專利US5931048示出了避免上述情況的裝置。
如上面所提供的，在測(cè)試頭對(duì)接的系統(tǒng)中，有時(shí)希望在測(cè)試頭的六個(gè)(6)自由度的每一個(gè)上提供順從運(yùn)動(dòng)。這意味著在對(duì)接過程中，希望測(cè)試頭操縱器使得在這六個(gè)(6)自由度中的每一個(gè)上都處于基本上失重狀態(tài)的測(cè)試頭達(dá)到平衡，從而使操作人員可以用相對(duì)很小的力在這些方向的每一個(gè)上手動(dòng)地移動(dòng)測(cè)試頭。但是，由于測(cè)試頭變得較大和較重，因此對(duì)于某些操作人員來說，沿某些方向(甚至處于順從狀態(tài)下)手動(dòng)操縱測(cè)試頭所需的力即使不是不可能的，那也有可能是非常困難的。
同樣，希望提供解決上述不足的測(cè)試頭定位和操縱系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明的示范性實(shí)施例中，提供一種用于操縱負(fù)載的裝置。該裝置包括用于支承該負(fù)載的第一支承結(jié)構(gòu)和用于支承負(fù)載的第二支承結(jié)構(gòu)。該裝置還包括在第一支承結(jié)構(gòu)和第二支承結(jié)構(gòu)之間耦合的聯(lián)接器。該聯(lián)接器包括順從機(jī)構(gòu)，該順從機(jī)構(gòu)用于向負(fù)載提供繞旋轉(zhuǎn)軸的順從運(yùn)動(dòng)范圍，其中該負(fù)載的重心定位在遠(yuǎn)離該旋轉(zhuǎn)軸的位置。該旋轉(zhuǎn)軸是非垂直軸。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)示范性實(shí)施例，提供了一種操縱負(fù)載的方法。該方法包括提供用于支承負(fù)載的第一支承結(jié)構(gòu)。該方法還包括將第一支承結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)地耦合到用于支承繞旋轉(zhuǎn)軸的負(fù)載的第二支承結(jié)構(gòu)，從而使負(fù)載的重心定位在遠(yuǎn)離該旋轉(zhuǎn)軸的位置，該旋轉(zhuǎn)軸是非垂直軸。該方法還包括向負(fù)載提供繞該旋轉(zhuǎn)軸的順從運(yùn)動(dòng)范圍。該方法還包括利用該順從運(yùn)動(dòng)范圍繞該旋轉(zhuǎn)軸操縱該負(fù)載。
根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)示范性實(shí)施例，提供一種操縱負(fù)載的裝置。該裝置包括用于支承該負(fù)載的第一支承結(jié)構(gòu)。第一支承結(jié)構(gòu)向該負(fù)載提供第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍。該裝置還包括用于支承負(fù)載的第二支承結(jié)構(gòu)。第二支承結(jié)構(gòu)向該負(fù)載提供相對(duì)于第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍的第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍。該裝置還包括在第一支承結(jié)構(gòu)和第二支承結(jié)構(gòu)之間的聯(lián)接器。該聯(lián)接器向負(fù)載提供沿一定方向或繞一軸的至少一個(gè)附加的運(yùn)動(dòng)范圍。該附加的運(yùn)動(dòng)范圍不是沿著基本上垂直的方向。
根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)示范性實(shí)施例，提供一種操縱負(fù)載的方法。該方法包括將負(fù)載移動(dòng)到該負(fù)載的第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的第一位置。第一支承結(jié)構(gòu)提供該第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍。該方法還包括將該負(fù)載移動(dòng)到相對(duì)于第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍的第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的第二位置。第二支承結(jié)構(gòu)提供該第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍。該方法還包括提供在第一支承結(jié)構(gòu)和第二支承結(jié)構(gòu)之間的聯(lián)接器。該聯(lián)接器向負(fù)載提供沿一定方向或繞一軸的附加運(yùn)動(dòng)范圍。該附加運(yùn)動(dòng)范圍不是沿著基本上垂直的方向。
根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)示范性實(shí)施例，提供了一種用于遠(yuǎn)程改變調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)的位置的裝置。該調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)用于至少部分支承負(fù)載的力。該裝置包括用于改變流體壓力的遠(yuǎn)程單元。流體壓力的變化與調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)在至少一個(gè)方向上的位置變化相對(duì)應(yīng)。該裝置也包括在遠(yuǎn)程單元和調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)之間耦合的聯(lián)接器。該聯(lián)接器也配置為根據(jù)流體壓力的變化來改變調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)的位置。該裝置還包括用于提供從遠(yuǎn)程單元到聯(lián)接器的流體壓力變化的流體載體。
根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)示范性實(shí)施例，提供一種遠(yuǎn)程改變調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)的位置的方法。調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)用于至少部分地支承負(fù)載的力。該方法包括通過遠(yuǎn)程單元改變流體壓力，其中流體壓力的變化與調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)在至少一個(gè)方向上的位置變化相對(duì)應(yīng)。本方法還包括通過流體載體提供從遠(yuǎn)程單元到聯(lián)接器的流體壓力變化，該聯(lián)接器耦合在遠(yuǎn)程單元和調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)之間。該方法還包括根據(jù)流體壓力變化通過聯(lián)接器來改變調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)的位置。
根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)示范性實(shí)施例，提供一種用于操縱負(fù)載的裝置。該裝置包括用于支承負(fù)載的支承結(jié)構(gòu)。該支承結(jié)構(gòu)向該負(fù)載提供運(yùn)動(dòng)范圍，其中該運(yùn)動(dòng)范圍是順從運(yùn)動(dòng)范圍。該裝置還包括遠(yuǎn)程單元，其用于調(diào)整通過流體載體的流體系統(tǒng)的流體壓力。該流體系統(tǒng)提供用于支承在順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的負(fù)載的至少一部分力。通過遠(yuǎn)程單元調(diào)整流體壓力而對(duì)用于支承負(fù)載的力進(jìn)行調(diào)整。例如，可以將該流體壓力調(diào)整為使處于基本上失重狀態(tài)的負(fù)載在順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)達(dá)到平衡。可選擇的是，可以調(diào)整流體壓力，以便調(diào)整負(fù)載在順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的位置。
根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)示范性實(shí)施例，提供一種操縱負(fù)載的方法。該方法包括提供用于支承負(fù)載的支承結(jié)構(gòu)。該支承結(jié)構(gòu)向負(fù)載提供順從運(yùn)動(dòng)范圍。該方法還包括經(jīng)遠(yuǎn)程單元改變通過流體載體的流體壓力，其中該流體壓力提供用于支承在順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的負(fù)載的至少一部分力。例如，可以改變流體壓力以便使處于基本上失重狀態(tài)的負(fù)載在順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)達(dá)到平衡?？蛇x擇的是，可以改變流體壓力以便調(diào)整負(fù)載在順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的位置。
根據(jù)本發(fā)明再一個(gè)示范性實(shí)施例，提供一種操縱負(fù)載的方法。該方法包括通過對(duì)流體增壓而至少部分地支承在一定方向上或繞一軸處于順從狀態(tài)的負(fù)載，從而利用第一手動(dòng)控制量級(jí)的力使該負(fù)載沿該方向或繞該軸移動(dòng)。該方法還包括遠(yuǎn)程調(diào)整流體壓力從而可以利用第二手動(dòng)控制量級(jí)的力使該負(fù)載沿該方向或繞該軸移動(dòng)，直到操作人員能夠操縱沿該方向或繞該軸的該負(fù)載。第二手動(dòng)控制量級(jí)的力小于該第一手動(dòng)控制量級(jí)的力。


參考附圖描述本發(fā)明的示范性實(shí)施例，在附圖中圖1是測(cè)試頭和附著于其上的第一坐標(biāo)系的透視圖；圖2是在說明本發(fā)明各個(gè)示范性實(shí)施例中有用的第二坐標(biāo)系的透視圖；圖3是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的測(cè)試頭操縱器的透視圖；圖4是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的測(cè)試頭連接單元的透視圖；
圖5是圖4中所示測(cè)試頭連接單元的局部分解透視圖；圖6是圖4中所示測(cè)試頭連接單元的后透視圖；圖7是圖4中所示測(cè)試頭連接單元的局部分解后視圖；圖8是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的擺動(dòng)單元子配件的后透視圖；圖9是圖8中所示擺動(dòng)單元子配件的前透視圖；圖10是圖8中所示擺動(dòng)單元子配件的分解前透視圖；圖11是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的θ順從托架(thetacompliance carrier)的后透視圖；圖12是圖11中所示θ順從托架的前透視圖；圖13是圖11中所示θ順從托架的分解透視圖；圖14是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的氣壓缸、支架接頭和凸輪隨動(dòng)件的分解透視圖；圖15是圖14中所示支架接頭和凸輪隨動(dòng)件的分解透視圖；圖16是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的X托架子配件的后透視圖；圖17是圖16中所示X托架子配件的前透視圖；圖18是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的垂直托架子配件的后透視圖；圖19是圖18中所示垂直托架子配件的前透視圖；圖20是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的吊架子配件的后透視圖；圖21是圖20中所示吊架子配件的前透視圖；圖22是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的可用于提供輥運(yùn)動(dòng)的吊架安裝板的透視圖；
圖23是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的可用于提供俯仰運(yùn)動(dòng)的吊架安裝板的透視圖；圖24是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的擺動(dòng)單元子配件和θ順從托架的側(cè)視圖；圖25是沿圖24的截面B-B獲得的橫截面視圖；圖26是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的氣動(dòng)控制盒的局部的內(nèi)部視圖；圖27是沿圖26的截面A-A獲得的截面圖；圖28是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的調(diào)節(jié)器控制機(jī)構(gòu)的透視圖；圖29是圖28中的一部分的詳細(xì)透視圖；圖30是圖28的另一個(gè)詳細(xì)的局部透視圖；圖31A-31C是圖28中所示調(diào)節(jié)器控制機(jī)構(gòu)的略圖；圖32是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的氣動(dòng)控制懸架式操縱臺(tái)的透視圖；圖33是圖28中所示調(diào)節(jié)器控制機(jī)構(gòu)的各種部件和相互連接的示意圖；圖34是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)的示意圖；圖35是依照本發(fā)明示范性實(shí)施例的測(cè)試頭操縱器的透視圖；以及圖36是圖35的一部分的詳細(xì)視圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在參考這些附圖來描述本發(fā)明選定實(shí)施例的優(yōu)選特征。應(yīng)該理解，本發(fā)明的精神和范圍不限于為說明而選擇的這些實(shí)施例。并且，應(yīng)該注意，這些附圖不是按照任何特殊的比例尺或比例而繪制的。可以預(yù)料，可以在本發(fā)明的范圍內(nèi)對(duì)下文描述的任何構(gòu)造和材料進(jìn)行修改。
圖3是測(cè)試頭操縱器1的透視圖。測(cè)試頭操縱器1包括底座2、垂直柱單元4、控制盒4a、測(cè)試頭連接單元10、在柱單元4和測(cè)試頭連接單元10之間延伸的導(dǎo)軌6(圖3中只有一個(gè)導(dǎo)軌6是可見的)，以及同樣在柱單元4和測(cè)試頭連接單元10之間延伸的活塞桿8?；钊麠U8從柱單元4中容納的“主垂直氣壓缸”伸出，并且為測(cè)試頭連接單元10提供垂直運(yùn)動(dòng)范圍。因此，操縱器1可具有由Smith首先在美國(guó)專利US4589815(例如參見圖9至12)，隨后在美國(guó)專利US4705447和US5149029中描述的流體平衡型。這三篇專利在這里整體引入作為參考。如在這三篇專利中所述，在垂直或Y軸204上提供基本上失重狀態(tài)(因此提供順從的運(yùn)動(dòng))。
可以看到，柱單元4支承測(cè)試頭連接單元10，該測(cè)試頭連接單元10又支承測(cè)試頭(圖3中未示出)，如測(cè)試頭150。柱單元4可按照公知的方式借助于線性軌道9和低摩擦線性軸承沿進(jìn)-出軸或Z軸206的方向相對(duì)于底座2移動(dòng)。因此，提供了沿Z軸206的順從運(yùn)動(dòng)。
圖4是測(cè)試頭連接單元10的透視圖。測(cè)試頭連接單元10包括各種子系統(tǒng)和子配件，它們提供在多個(gè)自由度的至少一個(gè)自由度上的支承、運(yùn)動(dòng)范圍、和/或順從運(yùn)動(dòng)。這些子系統(tǒng)/子配件包括擺動(dòng)單元子配件20、θ順從托架30、X托架子配件40、垂直托架子配件50和吊架子配件60。測(cè)試頭(圖4中未示出)耦合到吊架子配件60上或與該吊架子配件60嚙合。
現(xiàn)在簡(jiǎn)要地描述由每個(gè)子配件所提供的運(yùn)動(dòng)。如上面所提供的，由柱單元4和底座2的結(jié)合來提供順從的垂直運(yùn)動(dòng)(即，沿Y軸204的運(yùn)動(dòng))和順從的進(jìn)-出運(yùn)動(dòng)(即，沿Z軸206的運(yùn)動(dòng))。
擺動(dòng)單元配件20借助于垂直樞軸可旋轉(zhuǎn)地連接到柱單元4上，從而提供繞Y軸204的順從的V旋轉(zhuǎn)。當(dāng)在水平面(從上面或下面)中對(duì)接時(shí)，這提供了θ順從。當(dāng)在垂直面中對(duì)接時(shí)，這提供了幫助平面化的順從。
θ順從托架30由水平軸連接到擺動(dòng)單元20上。該θ順從托架可以繞水平軸旋轉(zhuǎn)幾度(例如正和負(fù)2.5度)。當(dāng)在測(cè)試頭從水平方向滾動(dòng)90度的平面中對(duì)接時(shí)，可提供θ順從。在水平面中對(duì)接時(shí)有助于平面化順從。當(dāng)在通過使測(cè)試頭90從水平方向繞I(翻轉(zhuǎn))軸102旋轉(zhuǎn)90度而到達(dá)的垂直面中對(duì)接時(shí)，也有助于平面化順從。
借助于水平軌道和線性導(dǎo)向支承將X托架子配件40安裝到θ順從托架30。這樣，X托架子配件40提供了沿水平方向的順從線性運(yùn)動(dòng)。這提供了平行于測(cè)試頭150的I軸102的順從定位。(在該示范性構(gòu)造中，提供了水平定位的兩個(gè)順從軸；但是，根據(jù)擺動(dòng)單元20的旋轉(zhuǎn)位置，它們不一定總是正交的。只要它們不平行，就足以提供在水平面上的兩個(gè)線性自由度。如果擺角變?yōu)槭惯@兩個(gè)軸平行，那么將損失一個(gè)自由度。)借助于垂直定向的線性軌道、線性導(dǎo)向支承和螺桿將垂直托架子配件50連接到X托架子配件40。因?yàn)橛芍鞔怪睔鈮焊自谥鶈卧?中提供垂直順從，因此在所描述的實(shí)施例中并不向垂直托架50增加順從；但是，這樣的實(shí)施例是可以預(yù)料的。
將吊架子配件60繞水平軸樞轉(zhuǎn)地安裝到垂直托架50上，該水平軸與測(cè)試頭的I軸102正交。優(yōu)選的是，將該軸安排為穿過該測(cè)試頭的重心或位于該重心附近，從而使該測(cè)試頭相對(duì)于該軸平衡或接近平衡。這樣，為該測(cè)試頭提供了順從旋轉(zhuǎn)。當(dāng)在該測(cè)試頭從水平方向繞K軸106滾動(dòng)九十度的水平面或垂直面中對(duì)接時(shí)，提供了有助于平面化的旋轉(zhuǎn)順從。當(dāng)在測(cè)試頭從水平方向繞I軸102旋轉(zhuǎn)90度的垂直面中對(duì)接時(shí)，提供了順從θ旋轉(zhuǎn)。
測(cè)試頭可繞一軸旋轉(zhuǎn)地連接到吊架60上，該軸平行于測(cè)試頭的I軸102并優(yōu)選穿過或接近其重心。這樣，使該測(cè)試頭相對(duì)于該軸順從地平衡。此外，該軸與測(cè)試頭一起移動(dòng)，并可將該軸認(rèn)為是該測(cè)試頭的一部分。繞該軸旋轉(zhuǎn)提供了在所有對(duì)接狀態(tài)中的平面化順從。該順從旋轉(zhuǎn)與上述旋轉(zhuǎn)中之一結(jié)合，確保了在外部設(shè)備處于所有對(duì)接狀態(tài)中使測(cè)試位置平面化所必需的兩個(gè)獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)。
圖5是圖4中所示測(cè)試頭連接單元10的局部分解透視圖。同樣地，在圖5中稍微更詳細(xì)地示出了擺動(dòng)單元子配件20、θ順從托架30、X托架子配件40、垂直托架子配件50和吊架子配件60中的每一個(gè)。
圖6是圖4中所示測(cè)試頭連接單元10的后透視圖。同樣地，在圖6中示出了擺動(dòng)單元子配件20、θ順從托架30、X托架子配件40、垂直托架子配件50和吊架子配件60的不同視圖。
圖7是測(cè)試頭連接單元10的分解的后透視圖，其示出了擺動(dòng)單元子配件20、θ順從托架30、X托架子配件40、垂直托架子配件50和吊架子配件60的附加細(xì)節(jié)。
圖8是擺動(dòng)單元子配件20的后透視圖。擺動(dòng)單元子配件20包括確定安裝孔211a和211b的底座210。如圖3中所示，安裝孔211a和211b的每一個(gè)都容納各自的導(dǎo)軌6。擺動(dòng)單元子配件20還包括塊220、鎖塊240、θ樞軸250a和250b，以及安裝塊260a和260b。將樞軸250a和250b安排為使它們同軸并確定水平XZ平面內(nèi)的軸。
利用鎖手柄246來啟動(dòng)鎖塊240的鎖定機(jī)構(gòu)。在鎖塊240上提供墊圈(或軸承)242和止擋蓋244。如圖4中所示，θ順從托架30繞θ樞軸250a和250b樞轉(zhuǎn)。安裝塊260a和260b確定各自的曲面265a和265b(圖8中未示出曲面265a)，各自的凸輪隨動(dòng)件345a和345b(圖11中示出凸輪隨動(dòng)件345a和345b)支撐在該曲面265a和265b上。塊220經(jīng)安裝用法蘭217旋轉(zhuǎn)地安裝在底座210上。圖8中還可以看到由塊220確定的通孔224a和224b。
圖9是擺動(dòng)單元子配件20的前透視圖。如上面關(guān)于圖8所描述的，圖9中所示的擺動(dòng)單元子配件20包括底座210、塊220、鎖塊240、墊圈242、止擋蓋244、鎖手柄246、θ樞軸250a和250b、安裝塊260a和260b、曲面265a和265b、安裝孔211a和211b，以及通孔224a和224d。
如在圖9中所看到的，底座210也確定安裝孔212，該安裝孔容納活塞桿8(圖3中示出)的端部。塊220確定了用于容納各自的彈簧325a-d(圖11中示出)的彈簧容納孔222a-222d。通孔224a和224d用于容納和檢查為調(diào)整彈簧325a和325d而使用的調(diào)節(jié)螺釘，如下面更詳細(xì)地解釋的。
圖10是擺動(dòng)單元子配件20的分解前視圖。如圖10中所示，軸215從安裝法蘭217伸出。當(dāng)組裝時(shí)，軸215延伸通過墊圈(或軸承)230、襯套(或軸承)232、襯套(或軸承)234、以及垂直通孔228(在塊220的底部確定)。垂直通孔228自始至終延伸通過塊220，并且這樣，塊220繞軸215旋轉(zhuǎn)。這樣，軸215用作關(guān)于垂直Y軸204的順從擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)的軸。襯套232和234裝配在垂直通孔228內(nèi)，并促進(jìn)軸215的旋轉(zhuǎn)。止擋蓋244固定到軸215上(例如利用圖10中未示出的螺釘)。
圖11是θ順從托架30的后透視圖。θ順從托架30包括用于確定狹槽315的安裝板310。狹槽315沿水平方向延伸，是為水平鎖而提供的。θ順從托架30還包括θ樞軸塊350a和350b，每個(gè)樞軸塊都確定了各自的θ樞軸孔351a和351b。θ樞軸250a和250b延伸通過θ樞軸孔351a和351b中與其相對(duì)應(yīng)的孔。當(dāng)組裝時(shí)，θ樞軸墊圈(或軸承)352a和352b(在圖11中僅僅示出θ樞軸墊圈352b)置于θ樞軸塊350a-b中對(duì)應(yīng)的那個(gè)以及安裝塊260a-b中相應(yīng)的那個(gè)之間。另外，θ樞軸軸承354a和354b 于θ樞軸孔351a-b中對(duì)應(yīng)的那個(gè)與θ樞軸250a-b中相應(yīng)的那個(gè)之間。因此，θ順從托架30繞著由樞軸250a和250b確定的水平軸而旋轉(zhuǎn)。
圖11還示出彈簧325a-325d，以及一部分線性軌道330a和330b。線性軌道330a和330b提供水平運(yùn)動(dòng)。圖11還示出氣壓缸340a和340b，包括各自的支架接頭342a和342b、凸輪隨動(dòng)件345a和345b、以及活塞桿347a和347b。
圖12是θ順從托架30的前透視圖，其中示出與上面關(guān)于圖11所描述的類似的特征，包括安裝板310、頂板360、狹槽315、線性軌道330a和330b、θ樞軸軸承354a、θ樞軸孔351a、θ樞軸塊350a以及氣壓缸340a。
圖13是θ順從單元30的分解透視圖。如圖13中所示，安裝板310確定了彈簧容納孔322a-322d，其用于容納各自的一個(gè)彈簧325a-325d的端部。注意，容納孔322a-322d的深度小于安裝板310的厚度，如圖25中所示。這樣，彈簧325a-325d可以抵靠在孔322a-322d的底部。
圖14是氣壓缸340(例如圖13中所示的氣壓缸340a和340b)的透視圖。從氣壓缸340a伸出的是包括遠(yuǎn)端348的氣動(dòng)活塞桿347。氣動(dòng)活塞桿347的另一端與活塞(圖14中未示出)耦合。遠(yuǎn)端348容納支架接頭342。支架接頭342保持凸輪隨動(dòng)件345。如上所述，凸輪隨動(dòng)件345(即345a和345b)支撐在曲面265a和265b中與其對(duì)應(yīng)的那個(gè)曲面上。
圖15是保持凸輪隨動(dòng)件345的支架接頭342的詳細(xì)透視圖。
當(dāng)測(cè)試頭安裝在吊架子配件60中時(shí)，測(cè)試頭的重量趨于沿向下的方向拉吊架子配件60。更特別的是，吊架子配件60(以及θ順從托架30、X托架子配件40和垂直托架子配件50)會(huì)趨于繞θ旋轉(zhuǎn)軸(由θ樞軸250a-b和θ樞軸孔351a-b的結(jié)合所提供的旋轉(zhuǎn)軸)向下旋轉(zhuǎn)。為了抵抗該測(cè)試頭(以及測(cè)試頭連接單元10的其他部分)的重力效應(yīng)，提供了彈簧325a-d和氣壓缸340a-b(包括例如彈簧325a-d、氣壓缸340a-b和θ樞軸259a-b的這些特征的組合可以被稱作聯(lián)接器，這種聯(lián)接器提供了繞θ軸的旋轉(zhuǎn)耦合)。例如，彈簧325a-d提供了關(guān)于θ軸的一定量的順從支承，從而使吊架子配件60在某一位置之下不能向下旋轉(zhuǎn)。
為了使吊架子配件60上升到由彈簧325a-d提供的最小支承位置之上，提供了氣壓缸340a和340b。例如，可以利用流體(例如空氣)向氣壓缸340a和340b中的一個(gè)或兩個(gè)增壓，以使吊架子配件60(和測(cè)試頭)繞θ旋轉(zhuǎn)軸上升到所需的位置。特別是，彈簧325a-d和氣壓缸340a和340b的組合提供了幾乎恒定的轉(zhuǎn)矩，該轉(zhuǎn)矩抵消了由負(fù)載通過在繞θ軸的運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)而產(chǎn)生的轉(zhuǎn)矩。這樣，該測(cè)試頭相對(duì)于該軸保持在平衡狀態(tài)下，并且可以使其順從地移動(dòng)。
同樣地，當(dāng)在測(cè)試頭的J軸104從垂直方向繞水平軸旋轉(zhuǎn)90度的垂直面中對(duì)接時(shí)(例如在YZ平面內(nèi)對(duì)接)，其中該水平軸與其I軸102正交，提供關(guān)于θ軸的“軸肩轉(zhuǎn)動(dòng)順從性”，以便提供關(guān)于試驗(yàn)接口的“θ順從性”。
如上面提供的，測(cè)試頭的負(fù)載導(dǎo)致繞著由樞軸250a和250b確定的軸施加轉(zhuǎn)矩。在使用中，缸340a和340b以及彈簧325a-d的組合提供了相等且相反的轉(zhuǎn)矩。這些彈簧提供轉(zhuǎn)矩的分量，其正比于隨旋轉(zhuǎn)而改變的彈簧長(zhǎng)度；但是，由于所設(shè)計(jì)的運(yùn)動(dòng)僅僅是正或負(fù)的2.5度，因此，彈簧彈力的變化與彈簧合力相比相對(duì)較小。氣壓缸340a和340b在封閉調(diào)節(jié)的空氣源的情況下工作，因此這些氣壓缸所提供的力和轉(zhuǎn)矩分量基本上是恒定的?？梢酝ㄟ^旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺釘270a和270d(在圖25中示出)來調(diào)整兩個(gè)外彈簧325a和325d的長(zhǎng)度和力。例如可以通過將六角扳手插入通過檢查孔275a和275d(也在圖25中示出)來旋轉(zhuǎn)(并由此啟動(dòng))調(diào)節(jié)螺釘270a和270d。
最初，可以將該系統(tǒng)建立為不向氣壓缸340a和340b供應(yīng)空氣，這樣，由彈簧325a-d單獨(dú)提供的轉(zhuǎn)矩使負(fù)載在水平面下面的位置處達(dá)到平衡。通過對(duì)調(diào)節(jié)螺釘270a和270d進(jìn)行調(diào)整，可以將彈簧彈力調(diào)整為變化的負(fù)載。然后可以將氣壓缸340a和340b增壓到負(fù)載處于水平位置的那一點(diǎn)。然后可以利用相對(duì)較小的力使該負(fù)載繞著由樞軸351a和351b確定的軸順從地旋轉(zhuǎn)?？梢蕴峁毫φ{(diào)節(jié)系統(tǒng)來調(diào)整缸340a和340b中的壓力，并在旋轉(zhuǎn)該負(fù)載時(shí)保持壓力為常數(shù)。通過提供繞θ軸的這一順從運(yùn)動(dòng)，提供了以另外方式可能損失的自由度。
圖16是X托架子配件40的后透視圖。X托架子配件40包括板410和線性導(dǎo)向支承430a和430b。線性導(dǎo)向支承430a和430b與線性軌道330a和330b中與其對(duì)應(yīng)的那一個(gè)嚙合以實(shí)現(xiàn)水平運(yùn)動(dòng)。圖16中也可以看見線性導(dǎo)向支承420a和420b的一部分。線性導(dǎo)向支承420a和420b以及線性導(dǎo)向支承420c和420d(圖16中未示出)與線性軌道520a和520b(圖16中未示出)嚙合以實(shí)現(xiàn)垂直運(yùn)動(dòng)。X托架子配件40還包括鎖手柄組件446，該鎖手柄組件借助于螺紋部分476與柱狀鎖塊447嚙合，該螺紋部分延伸穿過θ順從單元30中的狹槽315(圖13)。例如，柱狀鎖塊447包括螺紋孔來容納鎖手柄組件446。通過旋轉(zhuǎn)鎖手柄組件446，可以啟動(dòng)或停用柱狀鎖塊447的鎖定機(jī)構(gòu)。
圖17是X托架子配件40的前透視圖，包括安裝板410、鎖手柄組件446、柱狀鎖塊447、線性導(dǎo)向支承430b和線性導(dǎo)向支承420a-d。圖17中還示出螺母460，該螺母配置為容納螺桿530(圖17中未示出)。螺母460和螺桿530之間的嚙合促進(jìn)垂直位置調(diào)整。
圖18是垂直托架子配件50的后透視圖，該垂直托架子配件包括安裝板510以及線性軌道520a和520b。如上面關(guān)于圖16-17所說明的，線性導(dǎo)向支承420a-420d與線性軌道520a和520b中與其對(duì)應(yīng)的那個(gè)嚙合以促進(jìn)垂直運(yùn)動(dòng)。垂直托架子配件50還包括下軸承532和上軸承534，每個(gè)軸承都支承螺桿530的一端。更特別的是，下軸承532支承螺桿530的下端，上軸承534支承螺桿530的上端。棘輪手柄550用于通過下軸承532和上軸承534(以及螺母460)旋轉(zhuǎn)螺桿530，從而提供垂直位置調(diào)整。如稍后詳細(xì)說明的，棘輪手柄550的可選擇方案很容易成為可能。
安裝板510確定孔575，如圖18中所示。圖19是垂直托架子配件50的前透視圖，該垂直托架子配件50包括安裝板510、線性軌道520a和520b、棘輪手柄550和上軸承534。圖19中還示出在安裝板510上形成的凸臺(tái)570?？?75延伸穿過凸臺(tái)570。孔575配置為容納吊架子配件60(圖19中未示出)的安裝軸635。在孔575和吊架安裝軸635之間提供軸承580。
安裝板510還確定了為其他裝置留出間隙的槽560。例如，可以提供這種間隙來便于檢查連接到吊架子配件60的其他部件。
如上所述，常規(guī)的測(cè)試頭操縱器系統(tǒng)不能提供有效和有用的方式來將測(cè)試頭與不同外圍設(shè)備在基本上不同的高度和測(cè)試位置定向(例如探針器和設(shè)備處理器)處對(duì)接。本文公開的包括測(cè)試頭連接單元10的測(cè)試頭操縱器克服了這種不足。根據(jù)本發(fā)明的各個(gè)示范性實(shí)施例，由至少兩個(gè)不同的子系統(tǒng)來提供測(cè)試頭沿垂直方向的定位和操作。例如，在延伸通過氣動(dòng)箱4(參見圖3)的活塞桿8中提供第一子系統(tǒng)，該第一子系統(tǒng)能夠在垂直運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)上下地使測(cè)試頭連接單元10(包括測(cè)試頭)上升和下降。另外，垂直托架子配件50通過使用棘輪手柄550(或其他設(shè)備)、螺桿530、下軸承532、上軸承534和螺母460提供沿垂直方向的附加運(yùn)動(dòng)范圍。盡管在這些子系統(tǒng)中的每一個(gè)所提供的運(yùn)動(dòng)范圍之間存在重疊，但是這兩個(gè)子系統(tǒng)的組合提供了沿垂直方向的更寬運(yùn)動(dòng)范圍，從而允許將測(cè)試頭與可變高度的外圍設(shè)備對(duì)接。此外，與在單一結(jié)構(gòu)中具有整個(gè)垂直運(yùn)動(dòng)范圍的常規(guī)垂直定位系統(tǒng)相比，由垂直托架子配件50提供的垂直運(yùn)動(dòng)范圍簡(jiǎn)單、有效且相對(duì)便宜。
盡管由垂直托架子配件50提供的垂直運(yùn)動(dòng)范圍是利用棘輪手柄550來旋轉(zhuǎn)螺桿530來實(shí)現(xiàn)的，但是這也可以通過可選擇的裝置來實(shí)現(xiàn)。例如，可以提供輪型手柄來旋轉(zhuǎn)螺桿530。此外，可以提供具有適當(dāng)齒輪裝置的電動(dòng)機(jī)來促進(jìn)該垂直運(yùn)動(dòng)范圍。在典型的應(yīng)用中，可以通過調(diào)整螺桿530使其進(jìn)入與活塞桿8一起工作的范圍而將該測(cè)試頭相對(duì)于特殊外部設(shè)備粗略定位。此后，通過主垂直氣壓缸(或者是其他垂直順從運(yùn)動(dòng)設(shè)備，如果這樣裝備了的話)的操作來提供更精確的定位和順從對(duì)接。
圖20是吊架子配件60的后透視圖，該吊架子配件包括吊架后部610以及吊架側(cè)面620a和620b。吊架安裝板630與吊架后部610耦合(用于提供繞著與測(cè)試頭I軸102正交的水平軸旋轉(zhuǎn))，吊架安裝板630確定半圓槽631，凸輪隨動(dòng)件632(連接到吊架后部610上)沿著該半圓槽行進(jìn)。吊架安裝軸635延伸通過吊架安裝板630，并且如上所述吊架安裝軸635裝配在孔575內(nèi)的軸承580中。蓋636耦合(例如用螺絲擰緊)到吊架安裝軸635的端部，從而一旦已經(jīng)安裝就將吊架子配件60保持在適當(dāng)位置。為所描述的旋轉(zhuǎn)提供分度孔633a-c，這些分度孔沿吊架安裝板630的半圓部分以-90度、0度和+90度分布(在圖20中只能看見分度孔633c)。為了將分度銷638(例如，可伸縮的、彈簧承載的分度銷638)連接到吊架安裝板630，提供托座637。為了繞旋轉(zhuǎn)軸鎖定吊架60，提供鎖手柄組件639。
安裝板640a和640b(用于提供繞著測(cè)試頭I軸102的俯仰旋轉(zhuǎn))與吊架側(cè)面620a和620b中與其對(duì)應(yīng)的那個(gè)耦合。為了使測(cè)試頭與吊架子配件60耦合，提供安裝板640a和640b(在圖23中更詳細(xì)地示出)。此外，還利用安裝板640a和640b提供繞I軸的運(yùn)動(dòng)范圍。每個(gè)安裝板640a和640b都確定了各自的半圓槽641a-b，用以容納各自的凸輪隨動(dòng)件642a-b。每個(gè)凸輪隨動(dòng)件642a和642b都連接到吊架側(cè)面620a和620b中與其對(duì)應(yīng)的那一個(gè)上。
為了可樞轉(zhuǎn)地容納安裝板640a和640b，提供安裝軸644a和644b(圖20中看不見644b)，以及法蘭646a和646b(在圖20中看不見法蘭646a)。測(cè)試頭剛性地連接到板640a和640b上。這樣，該測(cè)試頭可以繞著由同軸設(shè)置的安裝軸644a和644b所確定的軸樞轉(zhuǎn)。
提供托座647a和647b，用以將各自的分度銷648a和648b(例如可伸縮的、彈簧承載的分度銷)連接到與其對(duì)應(yīng)的安裝板640a和640b上。另外，為了鎖定繞U旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，提供鎖手柄組件649a和649b。
圖21是吊架子配件60的前透視圖。在圖21中可以看見連接到樞軸635的法蘭634。另外，該圖示出了分度孔643ac、643ba和643bc。這些分度孔是用于為繞著I軸102旋轉(zhuǎn)而提供固定點(diǎn)的一組六個(gè)分度孔(643aa、643ab、643ac、643ba、643bb和643bc)的一部分，并且它們沿著其各自安裝板的弧以-90度、0度和+90度位置分布。
圖22是吊架安裝板630的透視圖。吊架安裝板630確定了半圓槽631和通孔631a。如上面提供的，半圓槽631容納凸輪隨動(dòng)件632。通孔631a容納吊架安裝軸635。圖22中還示出分度孔633a和633b，該分度孔633a和633b連同分度孔633c提供預(yù)定的旋轉(zhuǎn)點(diǎn)，并繞著吊架安裝板630的弧以-90度、0度和+90度位置分布。圖22中還示出耐磨襯套651a、651b和651c。襯套651a、651b和651c供給線性分度孔633a-c。例如，這些耐磨襯套由鋼制成而安裝板630可由鋁制成。
圖23是安裝板640(例如安裝板640a和640b中之一)的透視圖。如上面所提供的，安裝板640確定用于容納凸輪隨動(dòng)件642的半圓槽641。安裝板640還確定用于容納連接到法蘭(法蘭646a或646b)的軸(看不見)的通孔641a。測(cè)試頭剛性地連接到安裝板640a和640b上，這兩個(gè)安裝板可旋轉(zhuǎn)地連接到吊架上。圖23還示出耐磨襯套651a、651b和651c，用于插入到各自的線性分度孔中。此外，圖23中示出的安裝板640還確定了大量測(cè)試頭安裝孔655。測(cè)試頭安裝孔655允許將測(cè)試頭安裝在不同位置，從而將測(cè)試頭的重心置于如相對(duì)于樞軸所需的位置。優(yōu)選的是，該樞軸穿過或盡可能地接近該測(cè)試頭的重心，從而提供順從運(yùn)動(dòng)的平衡狀態(tài)。
圖24是與θ順從托架30耦合的擺動(dòng)單元子配件20的側(cè)視圖。圖24中示出了擺動(dòng)單元子配件20的各個(gè)零件，包括底座210、安裝塊260a、塊220、鎖塊240和鎖手柄246。另外，圖24中還示出θ順從托架30的各個(gè)部件，包括安裝板310、線性軌道330a和330b、氣壓缸340a、θ樞軸塊350a、θ樞軸孔351a和氣動(dòng)活塞桿347a。
圖25是沿圖24的截面B-B得到的截面圖。圖25提供了彈簧325a、325b、325c和325d的內(nèi)部視圖，這些彈簧的一端都插入到安裝板310中與其對(duì)應(yīng)的彈簧容納孔322a-322b中。彈簧325a和325d通過彈簧帽370a和370d與各自的彈簧調(diào)節(jié)螺釘270a和270d連接。彈簧325a和325d以及彈簧帽370a和370d都容納在彈簧容納孔222a和222d中。彈簧調(diào)節(jié)螺釘270a和270d可以通過各自的彈簧調(diào)節(jié)檢查孔275a和275d以及通孔224a和224d進(jìn)行調(diào)整。
圖25中示出的其他部件包括線性軌道330b、氣壓缸340a和340b、支架接頭342a和342d、氣動(dòng)活塞桿347a和347b、凸輪隨動(dòng)件345a和345b、曲面265a和265b以及鎖塊240。
圖26是根據(jù)本發(fā)明示范性實(shí)施例與測(cè)試頭操縱器一起使用的氣動(dòng)控制盒700的局部的內(nèi)部視圖(已經(jīng)去掉了內(nèi)部的一部分)。例如，圖26中示出的盒700可以用作圖3中所示的氣動(dòng)控制盒4a。
圖26中所示的控制盒700包括安裝板710，該安裝板可以是柱單元4的背面。盒700還包括側(cè)板712a和712b。提供進(jìn)氣口713(例如快速連接進(jìn)氣口)以便于空氣分布到該盒中。鎖手柄714操縱用于鎖定和防止氣動(dòng)系統(tǒng)工作的鎖定機(jī)構(gòu)?？梢杂|發(fā)停止按鈕716使空氣停止流過進(jìn)氣口713。提供安裝托座715和托座718來支承控制盒700中的部件?？諝庹{(diào)節(jié)器720與調(diào)節(jié)器口722和723相連。例如，調(diào)節(jié)器口722和723中之一可以是入口，另一個(gè)可以是出口。為了對(duì)調(diào)節(jié)器720進(jìn)行調(diào)節(jié)，提供調(diào)節(jié)器調(diào)整軸725(即，調(diào)節(jié)控制裝置)。檢查孔728允許操作人員通過對(duì)調(diào)節(jié)器調(diào)整軸725進(jìn)行調(diào)整來調(diào)整空氣壓力(例如，利用六角形、有槽的或十字槽螺絲起子)。氣動(dòng)盒還容納第一氣壓缸731、第二氣壓缸732、第一氣動(dòng)活塞桿735、U形夾738、第一控制閥741和第二控制閥742(下面將描述每一個(gè)元件的功能)。
圖27是圖26沿截面A-A獲得的截面圖。如上面所提供的，可以由操作人員(通過檢查孔728)對(duì)調(diào)節(jié)器調(diào)整軸725進(jìn)行調(diào)整，以便調(diào)整來自調(diào)節(jié)器720的空氣壓力分配。為了對(duì)調(diào)節(jié)器調(diào)整軸725的位置進(jìn)行遠(yuǎn)程控制，提供下面描述的部件。連桿755將調(diào)節(jié)器調(diào)整軸725連接到樞銷752。樞銷752將連桿755連接到U形夾738。樞銷752延伸通過彈簧夾739。第一氣動(dòng)活塞桿735從U形夾738延伸到第一氣壓缸731。第一氣壓缸731與第二氣壓缸732相連。為了安裝第二氣壓缸732提供樞軸支座750。
圖28是圖26-27中所示調(diào)節(jié)器控制機(jī)構(gòu)的各個(gè)元件的透視圖。調(diào)節(jié)器調(diào)整軸725至少部分地延伸通過軸鎖塊760。螺釘757a和757b將連桿755連接到軸鎖塊760上。螺釘761a和761b壓擠軸鎖塊760以便將其緊緊地夾到調(diào)節(jié)器調(diào)整軸725上。通過松開螺釘757a、757b、761a和761b并相對(duì)于軸鎖塊760移動(dòng)連桿755，然后重新擰緊這些螺釘，可以控制圖28中所示通過調(diào)節(jié)器控制機(jī)構(gòu)提供的調(diào)節(jié)器720的調(diào)節(jié)量(對(duì)應(yīng)于調(diào)節(jié)器調(diào)整軸725的旋轉(zhuǎn)量)。如上所述，樞銷752將連桿755連接到U形夾738。第一氣動(dòng)活塞桿735將第一氣壓缸731連接到U形夾738。第一氣壓缸731與第二氣壓缸732相連，該第二氣壓缸又被連接到樞軸支座750，并利用其進(jìn)行安裝。
圖29是圖28的一部分的詳細(xì)透視圖。圖30是圖28的一部分的甚至更詳細(xì)的透視圖。
圖26-30中所示的裝置可以用于幫助操作人員定位由氣壓缸支承的負(fù)載。例如，主氣壓缸中的活塞可以支承測(cè)試頭連接單元和測(cè)試頭的負(fù)載。此外，通過外力使測(cè)試頭上升和下降時(shí)，提供調(diào)節(jié)器使缸內(nèi)的氣體保持在恒定的壓力。這樣，該測(cè)試頭保持在基本上失重狀態(tài)，例如在Smith所申請(qǐng)的美國(guó)專利US5149029及其同族中所述。
現(xiàn)在描述圖26-30中所示的該裝置的附加細(xì)節(jié)。如上面所提供的，圖26提供了具有側(cè)板712a和712b的氣動(dòng)控制盒中選定部件的局部設(shè)計(jì)圖。為簡(jiǎn)單起見，沒有示出使各個(gè)部件互聯(lián)的管道等。調(diào)節(jié)器720用于向主立式氣壓缸提供調(diào)節(jié)的氣體壓力。所提供的示范性調(diào)節(jié)器720是SMC型IR 3020-F03。口722和723耦合到空氣源和主立式氣壓缸。經(jīng)快速連接聯(lián)接器713向盒內(nèi)的裝置供應(yīng)空氣。托座715為快速連接713和調(diào)節(jié)器720提供安裝支架。鎖定裝置將有害的意外事件減為最小，并通過手柄714來操縱該鎖定裝置。例如，當(dāng)手柄714位于所示的3點(diǎn)鐘位置時(shí)，切斷向該裝置供應(yīng)空氣，并應(yīng)用制動(dòng)器來阻止主立式氣壓缸的活塞的運(yùn)動(dòng)。這樣，將測(cè)試頭的垂直位置鎖定在適當(dāng)位置。當(dāng)手柄714沿順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)通過與大約4:30對(duì)應(yīng)的位置時(shí)，向調(diào)節(jié)器720施加空氣，這樣將該氣壓缸增壓到由調(diào)節(jié)器720確定的壓力。當(dāng)手柄714進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)到大約6點(diǎn)鐘位置時(shí)，釋放制動(dòng)器，使測(cè)試頭安全地垂直移動(dòng)。相反地，將手柄714從6點(diǎn)鐘位置旋轉(zhuǎn)到3點(diǎn)鐘位置導(dǎo)致首先使用制動(dòng)器，然后斷開向調(diào)節(jié)器裝置供應(yīng)空氣。
操作人員可以通過使軸725旋轉(zhuǎn)來調(diào)整由調(diào)節(jié)器720提供的壓力。為了促進(jìn)這種調(diào)整，軸725具有在其遠(yuǎn)端的螺絲起子槽。側(cè)板712a包括檢查孔728，用以在蓋位于適當(dāng)位置時(shí)進(jìn)行檢查。進(jìn)一步提供用于遠(yuǎn)程地少量改變已調(diào)整的壓力的裝置。該裝置除了包括所描述的其他零件之外還包括缸731和732、活塞桿735、U形夾738，和5/2控制閥741和742。
在使用中，通常對(duì)調(diào)節(jié)器720提供的壓力進(jìn)行調(diào)整，從而使升高負(fù)載所需的力約等于降低該負(fù)載所需的力。當(dāng)運(yùn)動(dòng)所需的力與摩擦和主立式氣壓缸的脫離力結(jié)合時(shí)，該運(yùn)動(dòng)所需的力有時(shí)可以比所希望的大一些，特別是當(dāng)需要微小、精確的運(yùn)動(dòng)時(shí)。如果所需運(yùn)動(dòng)向上則壓力稍微增大，且所需運(yùn)動(dòng)向下則稍微減小的話，那么可以克服該困難。并且，可以調(diào)整該調(diào)節(jié)器使負(fù)載獨(dú)立地運(yùn)動(dòng)。例如，如果調(diào)整該調(diào)節(jié)器以提供這樣一個(gè)壓力，該壓力施加與氣壓缸向上的脫離力加上負(fù)載重量相比稍大的力，那么該負(fù)載上升。相反地，如果調(diào)整該調(diào)節(jié)器以提供與負(fù)載重量減去氣壓缸向下脫離力相比更小的力，那么負(fù)載將向下移動(dòng)。在對(duì)調(diào)節(jié)器進(jìn)行調(diào)整以提供運(yùn)動(dòng)的過程中，必須小心防止由于對(duì)安全運(yùn)動(dòng)的壓力太大或不足而引起的意外事件。
圖32示出手持懸架式控制操縱臺(tái)770(即，遠(yuǎn)程單元770)，其包括搖桿開關(guān)772。懸架式操縱臺(tái)770借助于管785、786和788(即流體載體785、786和788)與控制盒700相連。在下面的描述中，在普遍沒有損失的情況下，假定沿順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)器軸725(即調(diào)節(jié)控制裝置725)會(huì)增大壓力，沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)該調(diào)節(jié)器軸會(huì)減小壓力。在第一種操作方式(“方式一操作”)下，懸架式控制操縱臺(tái)770可用于幫助操作人員手動(dòng)地升高或降低負(fù)載。為了向上移動(dòng)，操作人員將搖桿772推到“上”位置，并使其保持在該位置。這導(dǎo)致調(diào)節(jié)器軸725從其標(biāo)稱位置略微順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，增大主立式氣壓缸中的壓力，使操作人員能夠很容易地向上移動(dòng)負(fù)載。相反地，將搖桿772推到“下”位置并使其保持在該位置，導(dǎo)致調(diào)節(jié)器軸725從其標(biāo)稱位置略微逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，減小主立式氣壓缸內(nèi)的壓力，使操作人員能夠很容易地向下移動(dòng)負(fù)載。釋放搖桿772使其返回到空檔位置，并將調(diào)節(jié)器軸725返回到其標(biāo)稱位置。
在第二種操作模式(“模式二操作”)下，可以在不施加外力的情況下利用懸架式操縱臺(tái)770使操作人員升高或降低負(fù)載。在這種情況下，將搖桿772壓到“上”或“下”位置引起調(diào)節(jié)器軸725的稍大的旋轉(zhuǎn)，這又引起與第一操作模式相比主立式氣壓缸中壓力的較大變化。將壓力變化調(diào)整到在沒有外加作用力的情況下足以移動(dòng)負(fù)載那么大，但是將其調(diào)節(jié)到足夠小，從而通過釋放搖桿772使運(yùn)動(dòng)合理地慢并且可停止，這允許調(diào)節(jié)器軸725返回到其標(biāo)稱位置。這樣，為了在第二操作模式下向上運(yùn)動(dòng)，操作人員將搖桿772推到“上”位置并使其保持在該位置。這使得調(diào)節(jié)器軸從其標(biāo)稱位置沿順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，將主立式氣壓缸內(nèi)的壓力增大到負(fù)載向上移動(dòng)的那一點(diǎn)。相反地，將搖桿772推到“下”位置并使其保持在該位置，使調(diào)節(jié)器軸725(即，調(diào)節(jié)控制裝置725)從其標(biāo)稱位置沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，將主立式氣壓缸內(nèi)的壓力減小到負(fù)載向下移動(dòng)的那一點(diǎn)。釋放搖桿772使其返回到空檔位置，并使調(diào)節(jié)器軸725返回到其標(biāo)稱位置，負(fù)載的運(yùn)動(dòng)停止。
再返回到圖28至30，提供了裝置的斜視圖。圖中包括兩個(gè)小氣壓缸731和732。氣壓缸732安裝為使其能夠繞樞軸支座750樞轉(zhuǎn)，該樞軸支座又連接到盒700上。氣壓缸731連接到氣壓缸732的活塞桿(未示出)的遠(yuǎn)端。這樣，氣壓缸731與氣壓缸732的活塞一起移動(dòng)。氣壓缸731的活塞桿735具有連接到其遠(yuǎn)端的U形夾738。借助于U形夾銷752和彈簧夾739將連桿755以常規(guī)的方式連接到U形夾738上。
軸鎖塊760環(huán)繞調(diào)節(jié)器軸725，且是如圖所示的狹縫?？梢詫⒙葆?61a和761b擰緊以便將鎖塊760牢固地夾緊到軸725上。特別是，當(dāng)擰緊螺釘761a和761b時(shí)，可以通過旋轉(zhuǎn)鎖塊760來使軸725旋轉(zhuǎn)。當(dāng)松開螺釘761a和761b時(shí)，可以通過螺絲起子在不改變塊760位置的情況下使軸725旋轉(zhuǎn)。
借助于螺釘757a和757b將連桿755連接到塊760上，這兩個(gè)螺釘穿過連桿755中示出的狹縫。連桿755安裝在塊760中的狹縫內(nèi)，該連桿垂直于軸725。當(dāng)松開螺釘757a和757b時(shí)，可以將連桿755相對(duì)于軸725正交定位。當(dāng)擰緊螺釘757a和757b時(shí)，連桿755相對(duì)于軸725的位置是固定的。這樣，可以調(diào)整在軸725和U形夾銷752之間的距離，即連桿755的工作長(zhǎng)度。
現(xiàn)在通過圖31A、31B和31C來描述該機(jī)構(gòu)的操作，這三幅圖示意性地示出該裝置位于三個(gè)不同的位置。圖31A示出該機(jī)構(gòu)處于其標(biāo)稱位置。氣壓缸732中的活塞及其活塞桿736是縮回的，氣壓缸731中的活塞及活塞桿735是伸長(zhǎng)的。軸725處于標(biāo)稱壓力位置，如垂直的狹縫所表示的。
在圖31B中，氣壓缸732中的活塞和桿736已經(jīng)伸長(zhǎng)，移動(dòng)到右邊，使氣壓缸731和桿735移動(dòng)到右邊。這導(dǎo)致連桿755和軸725順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，由此改變壓力。在該過程中，包括氣壓缸731和732、桿735和736以及U形夾738的組件繞樞軸支座750旋轉(zhuǎn)。
在圖31C中，兩個(gè)氣壓缸731和732的活塞縮回，導(dǎo)致連桿755和軸725都逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，由此沿相反方向改變壓力。
圖33是說明示范性控制方案的原理圖。通過管道790向控制盒提供空氣(或其他適當(dāng)流體)，其可以與快速連接713(例如圖26中示出的快速連接713)相連。然后從該控制盒經(jīng)管788向懸架式操縱臺(tái)770提供流體。注意，這一概念可適用于可壓縮的(例如，氣體)或不可壓縮的(例如，液體)流體。但是，在半導(dǎo)體試驗(yàn)環(huán)境中，用戶一般優(yōu)選氣體，如空氣。
兩個(gè)手動(dòng)致動(dòng)的控制閥781和782在手持懸架式操縱臺(tái)770中。閥781和782可以都是3/2型，具有三個(gè)口和兩個(gè)位置。搖桿772啟動(dòng)閥781和782。閥781和782都因其包括的彈簧而靠在搖桿772上。正常情況下，不啟動(dòng)任一個(gè)閥；這樣，空氣流入管785和786，這兩個(gè)管與控制盒內(nèi)閥(將在后面描述)中的啟動(dòng)口相連。當(dāng)將搖桿772推到“上”位置時(shí)，啟動(dòng)閥782，切斷供給管786的空氣。類似地，當(dāng)將搖桿772推到“下”位置時(shí)，啟動(dòng)閥781，切斷供給管785的空氣。
控制盒700中的閥741和742分別用于控制氣壓缸731和732。如圖33中所示示范性實(shí)施例中所指示的，閥741和742是五口、兩位置，或5/2閥。此外，閥741和742是利用復(fù)位彈簧進(jìn)行氣體致動(dòng)的。管785中的壓力啟動(dòng)閥741，管786中的壓力啟動(dòng)閥742。這樣，利用標(biāo)稱位置的搖桿772(既不推到“上”也不推到“下”)，可以啟動(dòng)閥741和742。這提供了使氣壓缸732中的活塞桿736縮回并使氣壓缸731中的活塞桿735伸長(zhǎng)的壓力。這是圖31A中所示的情況，其對(duì)應(yīng)于調(diào)節(jié)器調(diào)整軸725的標(biāo)稱設(shè)置。
將搖桿772壓下到“上”位置致使將閥742停用。這又減輕了缸732中活塞以前被增壓的那一側(cè)的壓力，并將該壓力施加于相反的一側(cè)。這樣，活塞桿736伸長(zhǎng)，并且活塞桿736和735都將伸長(zhǎng)。這對(duì)應(yīng)于圖31B中的構(gòu)形，其中調(diào)節(jié)器調(diào)整軸725順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，在該示范性系統(tǒng)中，增大了施加于主立式氣壓缸的壓力，使負(fù)載升高或更易于提升負(fù)載。釋放搖桿772允許閥782返回到其未啟動(dòng)位置，向742的致動(dòng)器施加壓力。這樣，活塞桿736將縮回，系統(tǒng)返回到圖31A中所示的標(biāo)稱壓力構(gòu)造。
按照類似的方式，將搖桿772推到“下”位置將致使氣壓缸731的活塞桿735縮回。這導(dǎo)致調(diào)節(jié)器調(diào)整軸725沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，如圖31C中所示。這樣，在該示范性系統(tǒng)中，降低了供給該主立式氣壓缸的壓力，通過外力降低負(fù)載或使負(fù)載更易于向下移動(dòng)。
在圖31-33中所示的本發(fā)明的示范性實(shí)施例中，由于搖桿772的構(gòu)造以及閥741、742、781和782之間的配置和相互連接，閥741和742不可能被停用。這只能夠出現(xiàn)在從輸入管道790去掉壓力時(shí)。
根據(jù)本發(fā)明的示范性實(shí)施例，進(jìn)行下面的程序以設(shè)立和調(diào)整該系統(tǒng)切斷供給系統(tǒng)的壓力并使測(cè)試頭下降到其最低位置，主立式氣壓缸的活塞縮回。螺釘757a、757b、761a和761b都被松開。將調(diào)節(jié)器調(diào)整軸725旋轉(zhuǎn)到已知的存在不足以升高測(cè)試頭的壓力的那個(gè)位置。例如通過將鎖714旋轉(zhuǎn)到開啟(如前面描述的6點(diǎn)鐘)位置來向系統(tǒng)施加空氣。緩慢地旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)器調(diào)整軸725，以便增大主立式氣壓缸中的壓力。當(dāng)壓力增大時(shí)，監(jiān)控提升測(cè)試頭所需的力。壓力增大到可以手動(dòng)地升高該測(cè)試頭。然后將測(cè)試頭負(fù)載手動(dòng)地升高到近似中間的位置，在該位置處，主立式氣壓缸的活塞桿8大致伸長(zhǎng)50％。對(duì)調(diào)整軸725進(jìn)行調(diào)整(沿兩個(gè)方向)，直到壓力處于升高測(cè)試頭所需的力與降低該測(cè)試頭所需的力大致相同的這一點(diǎn)。這可以在許多情況下通過手動(dòng)“觸摸感知”來測(cè)量。否則可以采用彈簧秤或其他儀器?，F(xiàn)在擰緊螺釘761a和761b，以及螺釘757a和757b。將搖桿772推到并保持在“上”位置?？梢赃M(jìn)行檢查來確保軸725已順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)?？梢赃M(jìn)行進(jìn)一步的檢查來確保對(duì)于模式一操作來說已經(jīng)充分地降低了升高負(fù)載所需的力，或者確保對(duì)于模式二操作來說負(fù)載以所希望的速率向上移動(dòng)。將搖桿722推到并保持在“下”位置?？梢詸z查軸725是否已經(jīng)逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)?？梢赃M(jìn)行進(jìn)一步的檢查以確保對(duì)于模式一操作來說已經(jīng)充分地減少了向下移動(dòng)負(fù)載所需的力，或者確保對(duì)于模式二操作來說負(fù)載以所希望的速率向下移動(dòng)?？梢詫⒙葆?57a和757b松開，并且可以根據(jù)需要調(diào)整連桿755相對(duì)于軸725的位置。增大先前規(guī)定的工作長(zhǎng)度可增大壓力變化，因此增大對(duì)于移動(dòng)所需的力的變化，減小先前規(guī)定的工作長(zhǎng)度可減小壓力變化和所需的力的變化。當(dāng)調(diào)整連桿755的工作長(zhǎng)度時(shí)，對(duì)鎖塊760的位置做小的調(diào)整以保持所需的標(biāo)稱設(shè)置可能成為必需的。這利用螺釘761a和761b來實(shí)現(xiàn)。注意，可以將連桿755的工作長(zhǎng)度調(diào)節(jié)到壓下?lián)u桿772產(chǎn)生測(cè)試頭的迅速獨(dú)立的垂直運(yùn)動(dòng)的那一點(diǎn)。
在某些情況下，如果不對(duì)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行控制，那么出于安全考慮應(yīng)當(dāng)避免這種情況；但是，如已經(jīng)描述的，在本發(fā)明的某些示范性實(shí)施例中，可以使用懸架式操縱臺(tái)770(即遠(yuǎn)程單元770)來控制測(cè)試頭在沿垂直軸的運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的位置。在這些實(shí)施例中，這種基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍可以是順從運(yùn)動(dòng)范圍(即，測(cè)試頭可以在運(yùn)動(dòng)范圍中處于基本上失重狀態(tài))。此外，可以將通過懸架式操縱臺(tái)770的操作(或在操縱器處本地操作，例如在控制盒700處)而提供的基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍與第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍(例如，由用于支承負(fù)載的第二支承結(jié)構(gòu)所提供的第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍，該第二支承結(jié)構(gòu)如圖19中示出的垂直托架子配件50)結(jié)合使用，從而向測(cè)試頭提供很寬的基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍。
通過圖26-33中示出的本發(fā)明的示范性實(shí)施例，對(duì)于模式一操作來說，可以相當(dāng)大地減少沿給定軸或繞給定軸(甚至在順從狀態(tài)下)在給定方向上手動(dòng)操縱負(fù)載所需的力，該負(fù)載如測(cè)試頭。所描述的實(shí)施例還能實(shí)現(xiàn)模式二操作，其中在沒有人或其他外力的情況下負(fù)載沿給定方向或繞給定軸(甚至在順從狀態(tài)下)可控制地移動(dòng)。例如，可將該系統(tǒng)配置為單獨(dú)地壓下遠(yuǎn)程開關(guān)(例如開關(guān)772上的“上”或“下”按鈕)可以引起軸725的預(yù)定量的旋轉(zhuǎn)，與沿給定軸或繞給定軸在給定方向上操縱測(cè)試頭所需力的預(yù)定減少/增加相對(duì)應(yīng)。在這種配置中，對(duì)于模式一操作來說，受過訓(xùn)練的人可以逐漸增大軸725的旋轉(zhuǎn)，然后手動(dòng)檢查在所需方向上操縱負(fù)載所需的力，調(diào)整連接，并繼續(xù)這一過程直到在所需方向上操縱測(cè)試頭所需的力適用于不太熟練的操作人員進(jìn)行操作。類似地，對(duì)于模式二操作來說，受過訓(xùn)練的人可以逐漸增大軸725的旋轉(zhuǎn)，然后手動(dòng)檢查負(fù)載在所需方向上的適當(dāng)運(yùn)動(dòng)，調(diào)整連接，并繼續(xù)這一過程直到在所需方向上的運(yùn)動(dòng)是以適合于不太熟練的操作人員進(jìn)行安全操作的速率。
可選擇的是，可以將該系統(tǒng)配置為只要壓下遙控開關(guān)(例如開關(guān)772上的“上”或“下”按鈕)軸725就連續(xù)旋轉(zhuǎn)。在這種情況下，操作人員可以將一只手放在測(cè)試頭上，以確定在所需方向上操縱測(cè)試頭所需的力什么時(shí)候是可接受的，然后釋放該開關(guān)。
當(dāng)只有流體(例如空氣)管道與懸架式操縱臺(tái)770相連時(shí)，本文中示出的懸架式操縱臺(tái)770不包括電連接。在一些應(yīng)用中，這可能是所希望的，因?yàn)榻档土穗姄?、發(fā)火花、飛弧等的危險(xiǎn)；但是，在一些應(yīng)用中，具有基于電的、電子的或微處理器的控制的懸架式操縱臺(tái)可能是所需的。圖26示出與任選的計(jì)算機(jī)800相連的任選的懸架式操縱臺(tái)700a。計(jì)算機(jī)800例如可以安裝在控制盒700中。在這種配置中，懸架式操縱臺(tái)700a可用于向計(jì)算機(jī)800發(fā)送信號(hào)(例如增大或減小壓力信號(hào))，計(jì)算機(jī)800可用于控制調(diào)節(jié)器720的調(diào)節(jié)。當(dāng)然，計(jì)算機(jī)800可以是任何類型的基于微處理器(或其他處理器)的系統(tǒng)，如個(gè)人計(jì)算機(jī)或可編程序邏輯控制器。可選擇的是，計(jì)算機(jī)800可以用不可編程的系統(tǒng)來代替，如硬布線邏輯電路或電機(jī)(例如繼電器)系統(tǒng)。利用這種先進(jìn)的控制器可以增加許多附加特征和操作模式。
圖34是用于控制氣壓缸340a和340b的壓力調(diào)節(jié)裝置的示范性示意圖。提供該示意圖作為關(guān)于可以怎樣控制在本發(fā)明中所用的氣壓缸的例子。壓縮空氣從空氣源通過快速連接5310輸入到壓力調(diào)節(jié)裝置，該空氣源在大多數(shù)試驗(yàn)或其他工業(yè)設(shè)備中通常是可用的。
壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括精密壓力調(diào)節(jié)器5320，可以對(duì)該精密壓力調(diào)節(jié)器進(jìn)行調(diào)整以提供足夠的壓力來支承氣壓缸340a和340b上的負(fù)載。
通過在負(fù)載處的壓力下降時(shí)允許更多空氣從輸入連接5310流動(dòng)并且通過在負(fù)載處壓力升高時(shí)釋放空氣，壓力調(diào)節(jié)器5320試圖保持其輸出的恒定壓力。調(diào)節(jié)器5320提供這種穩(wěn)態(tài)控制。還提供單向節(jié)氣門5330a和5330b，這促進(jìn)在流動(dòng)中為了定位而通過外力強(qiáng)加給負(fù)載的小運(yùn)動(dòng)而作出適當(dāng)瞬態(tài)響應(yīng)。節(jié)氣門5330a和5330b設(shè)置為防止從氣壓缸340通過它們回流。
如果現(xiàn)在應(yīng)該相對(duì)于氣壓缸340a和340b手動(dòng)地升高負(fù)載(即通過外加力在伸長(zhǎng)活塞桿348a和348b的方向上移動(dòng))，那么根據(jù)上升力來降低缸340a和340b中的壓力。壓力調(diào)節(jié)器5320確認(rèn)壓力降低，并通過將附加流體送入缸340a和340b而增大流體壓力直到達(dá)到原始目標(biāo)壓力?？蛇x擇的是，如果相對(duì)于其缸340a和340b向下按壓負(fù)載，那么缸340a和340b中的壓力增大。壓力調(diào)節(jié)器5320確認(rèn)該壓力增大并使流體轉(zhuǎn)到氣壓缸340a和340b外面直到再次達(dá)到原始目標(biāo)壓力。
在所描述的示范性實(shí)施例中，兩個(gè)缸340a和340b是相同的。單個(gè)調(diào)節(jié)器5320饋送到氣壓缸340a和340b，從而使這兩個(gè)缸中的壓力相同。因此，提供了對(duì)稱的力，這幫助保持摩擦和可能的粘合最小。因此，兩個(gè)缸所提供的合力總是與活塞面積兩倍于缸340a和340b中任一個(gè)的面積的單個(gè)缸所提供的力相同。
如上面參考圖3-34所描述的，本發(fā)明為負(fù)載的改進(jìn)操縱提供了大量新穎的特征；但是本發(fā)明的某些實(shí)施例不包括這些特征中的每一個(gè)和各個(gè)。例如，圖35是測(cè)試頭操縱器3500的透視圖。測(cè)試頭操縱器3500包括許多與上面參考圖3中所示測(cè)試頭操縱器1而描述的類似的特征。例如，試驗(yàn)操縱器3500包括垂直柱單元3504、控制盒3504a、X托架子配件3540、垂直托架子配件3550和吊架子配件3560。測(cè)試頭操縱器3500向負(fù)載(即測(cè)試頭)提供繞旋轉(zhuǎn)軸3570的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)范圍。與上面參考測(cè)試頭操縱器1所描述的對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)軸對(duì)比(繞圖11中所示的θ樞軸孔351a和351b的旋轉(zhuǎn))，繞旋轉(zhuǎn)軸3570的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)范圍不是順從的。
圖36是測(cè)試頭操縱器3500的一部分的詳圖。如圖36中所示，X托架子配件3540包括線性支承3544a和3544b，它們與軌道3542a和3542b嚙合并相對(duì)于軌道3542a和3542b運(yùn)動(dòng)。測(cè)試頭操縱器3500還包括鎖定沿左右方向運(yùn)動(dòng)的鎖3546。測(cè)試頭操縱器3500還包括螺釘手柄3572，可以對(duì)其進(jìn)行手動(dòng)調(diào)整(或者可以自動(dòng)地并且遠(yuǎn)程地操作)以使負(fù)載相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸3570傾斜。
盡管主要依據(jù)位于柱上的測(cè)試頭連接單元對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，其中利用氣體力學(xué)提供在基本上失重狀態(tài)中的垂直運(yùn)動(dòng)，但是本文中描述的新穎概念也可以用于其他類型的操縱器，這些類型的操縱器包括但不限于平衡操縱器。本發(fā)明不取決于提供垂直支承和運(yùn)動(dòng)的裝置。
利用對(duì)可壓縮流體進(jìn)行操作的氣動(dòng)系統(tǒng)描述了本發(fā)明的各個(gè)方面。流體的可壓縮性對(duì)于順從單元是優(yōu)選的，這受益于變化體積中的恒壓。上面參考圖26-33描述的用于調(diào)整壓力的裝置包括兩個(gè)缸731和732，它們也對(duì)氣體進(jìn)行操作。在該實(shí)施例中，可以取代不可壓縮的水力學(xué)流體，但是水力學(xué)在某些應(yīng)用中不是優(yōu)選的，因?yàn)榭赡苡尚孤?dǎo)致?lián)p害等。同樣地，基于氣體的系統(tǒng)(例如空氣)通常是優(yōu)選的。
如本文所用的，術(shù)語“流體”指的是廣義范疇的流體，包括氣體和液體。
如本文所用的，術(shù)語“順從機(jī)構(gòu)”指的是在一定方向上或繞一軸以基本上失重狀態(tài)至少部分地支承負(fù)載的機(jī)構(gòu)(例如，彈簧、氣體致動(dòng)器等)。
如本文所用的，術(shù)語“順從運(yùn)動(dòng)范圍”指的是負(fù)載沿一定方向或繞一軸運(yùn)動(dòng)的范圍，在該范圍中支承的負(fù)載沿該方向或繞該軸處于基本上失重狀態(tài)。
盡管主要依據(jù)用于測(cè)試集成電路的測(cè)試頭對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，但本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的各個(gè)方面可以應(yīng)用于大量不同負(fù)載中的任一個(gè)，特別是精密操縱和/或定位的重負(fù)載。
盡管主要依據(jù)為氣壓缸供應(yīng)作為增壓流體的空氣對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，但本發(fā)明不限于此。在這些實(shí)施例中可以利用任何類型的流體，不管是液體還是氣體。
應(yīng)該理解，可以在不背離本發(fā)明范圍的情況下對(duì)所說明的實(shí)施例進(jìn)行其他修改，本發(fā)明的范圍由隨附的權(quán)利要求書獨(dú)立地限定。
權(quán)利要求
1.一種用于操縱負(fù)載的裝置，所述裝置包括用于支承該負(fù)載的第一支承結(jié)構(gòu)；用于支承該負(fù)載的第二支承結(jié)構(gòu)；以及在所述第一支承結(jié)構(gòu)和所述第二支承結(jié)構(gòu)之間耦合的聯(lián)接器，所述聯(lián)接器包括順從機(jī)構(gòu)，該順從機(jī)構(gòu)用于向負(fù)載提供繞旋轉(zhuǎn)軸的順從運(yùn)動(dòng)范圍，其中該負(fù)載的重心定位在遠(yuǎn)離所述旋轉(zhuǎn)軸的位置，所述旋轉(zhuǎn)軸是非垂直軸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中所述順從機(jī)構(gòu)配置為被手動(dòng)調(diào)整以適應(yīng)負(fù)載的變化。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中所述順從機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)氣動(dòng)致動(dòng)器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中所述順從機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)彈簧。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中所述聯(lián)接器向負(fù)載提供沿一定方向或繞一軸的至少一個(gè)附加運(yùn)動(dòng)范圍。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中所述裝置是用于操縱測(cè)試頭的操縱器，該測(cè)試頭用于測(cè)試集成電路。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中所述第二支承結(jié)構(gòu)通過第二聯(lián)接器支承所述負(fù)載，所述第二聯(lián)接器向該負(fù)載提供繞第二旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)范圍。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中所述第一支承結(jié)構(gòu)向該負(fù)載提供第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍，所述第二支承結(jié)構(gòu)向該負(fù)載提供第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍，所述第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍與所述第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍不同。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的裝置，其中所述第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍與所述第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍中的至少一個(gè)是順從的垂直運(yùn)動(dòng)范圍。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的裝置，其中通過調(diào)整供給所述裝置的流體壓力來調(diào)整該負(fù)載在所述順從的垂直運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的位置，該流體壓力通過定位在遠(yuǎn)離所述裝置的位置處的控制單元來調(diào)整。
11.一種操縱負(fù)載的方法，所述方法包括以下步驟提供用于支承負(fù)載的第一支承結(jié)構(gòu)；將第一支承結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)地耦合到用于支承繞旋轉(zhuǎn)軸的負(fù)載的第二支承結(jié)構(gòu)，從而使負(fù)載的重心定位在遠(yuǎn)離該旋轉(zhuǎn)軸的位置，該旋轉(zhuǎn)軸是非垂直軸；向繞該旋轉(zhuǎn)軸的負(fù)載提供順從運(yùn)動(dòng)范圍；以及利用該順從運(yùn)動(dòng)范圍操縱繞該旋轉(zhuǎn)軸的該負(fù)載。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的方法，其中所述操縱步驟包括手動(dòng)地調(diào)節(jié)繞該旋轉(zhuǎn)軸的該負(fù)載。
13.根據(jù)權(quán)利要求11的方法，其中提供順從運(yùn)動(dòng)范圍的所述步驟包括操作置于第一支承結(jié)構(gòu)和第二支承結(jié)構(gòu)之間的至少一個(gè)氣動(dòng)致動(dòng)器。
14.根據(jù)權(quán)利要求11的方法，其中提供順從運(yùn)動(dòng)范圍的所述步驟包括在第一支承結(jié)構(gòu)和第二支承結(jié)構(gòu)之間提供至少一個(gè)彈簧。
15.根據(jù)權(quán)利要求11的方法，進(jìn)一步包括以下步驟通過在第一支承結(jié)構(gòu)和第二支承結(jié)構(gòu)之間的聯(lián)接器向該負(fù)載提供至少一個(gè)附加運(yùn)動(dòng)范圍。
16.根據(jù)權(quán)利要求11的方法，進(jìn)一步包括以下步驟將第二支承結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)地耦合到該負(fù)載以向該負(fù)載提供繞第二旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)范圍。
17.根據(jù)權(quán)利要求11的方法，進(jìn)一步包括以下步驟通過第一支承結(jié)構(gòu)向該負(fù)載提供第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍；以及通過第二支承結(jié)構(gòu)向該負(fù)載提供第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍，該第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍與第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍不同。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的方法，其中提供的第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍和第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍中的至少一個(gè)是順從的垂直運(yùn)動(dòng)范圍。
19.根據(jù)權(quán)利要求18的方法，進(jìn)一步包括以下步驟通過調(diào)整至少部分地提供順從的垂直運(yùn)動(dòng)范圍的流體壓力來通過遙控單元調(diào)整負(fù)載在順從的垂直運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的位置。
20.一種操縱負(fù)載的裝置，所述裝置包括用于支承該負(fù)載的第一支承結(jié)構(gòu)，所述第一支承結(jié)構(gòu)向該負(fù)載提供第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍；用于支承該負(fù)載的第二支承結(jié)構(gòu)，所述第二支承結(jié)構(gòu)向該負(fù)載提供相對(duì)于所述第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍的第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍；以及在所述第一支承結(jié)構(gòu)和所述第二支承結(jié)構(gòu)之間的聯(lián)接器，所述聯(lián)接器向負(fù)載提供沿一定方向或繞一軸的至少一個(gè)附加的運(yùn)動(dòng)范圍，該附加的運(yùn)動(dòng)范圍不是沿著基本上垂直的方向。
21.根據(jù)權(quán)利要求20的裝置，其中所述第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍與所述第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍中的至少一個(gè)是順從的垂直運(yùn)動(dòng)范圍。
22.根據(jù)權(quán)利要求21的裝置，其中通過調(diào)整供給所述裝置的流體壓力來調(diào)整該負(fù)載在該順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的位置，所述流體壓力通過定位在遠(yuǎn)離所述裝置的位置處的控制單元來調(diào)整。
23.根據(jù)權(quán)利要求20的裝置，其中所述裝置是用于操縱測(cè)試頭的操縱器，該測(cè)試頭用于測(cè)試集成電路。
24.根據(jù)權(quán)利要求20的裝置，其中所述聯(lián)接器是旋轉(zhuǎn)聯(lián)接器。
25.根據(jù)權(quán)利要求24的裝置，其中所述旋轉(zhuǎn)聯(lián)接器包括順從機(jī)構(gòu)，該順從機(jī)構(gòu)用于提供附加運(yùn)動(dòng)范圍作為繞旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)順從運(yùn)動(dòng)范圍。
26.根據(jù)權(quán)利要求24或25的裝置，其中所述第二支承結(jié)構(gòu)通過第二旋轉(zhuǎn)聯(lián)接器支承所述負(fù)載，所述第二旋轉(zhuǎn)聯(lián)接器向所述負(fù)載提供繞第二旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)范圍。
27.根據(jù)權(quán)利要求25的裝置，其中所述旋轉(zhuǎn)軸不繞基本上垂直的平面旋轉(zhuǎn)。
28.根據(jù)權(quán)利要求20的裝置，其中所述至少一個(gè)附加運(yùn)動(dòng)范圍包括基本上水平的運(yùn)動(dòng)范圍。
29.一種操縱負(fù)載的方法，所述方法包括以下步驟將該負(fù)載移動(dòng)到該負(fù)載的第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的第一位置，由第一支承結(jié)構(gòu)提供該第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍；將該負(fù)載移動(dòng)到相對(duì)于第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍的第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的第二位置，由第二支承結(jié)構(gòu)提供該第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍；以及提供在第一支承結(jié)構(gòu)和第二支承結(jié)構(gòu)之間的聯(lián)接器，該聯(lián)接器向該負(fù)載提供沿一定方向或繞一軸的附加運(yùn)動(dòng)范圍，該附加運(yùn)動(dòng)范圍不是沿著基本上垂直的方向。
30.根據(jù)權(quán)利要求29的方法，其中該第一個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍與該第二個(gè)基本上垂直的運(yùn)動(dòng)范圍中的至少一個(gè)是順從運(yùn)動(dòng)范圍。
31.根據(jù)權(quán)利要求30的方法，進(jìn)一步包括以下步驟通過調(diào)整至少部分地提供順從運(yùn)動(dòng)范圍的流體壓力來調(diào)整負(fù)載在順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的位置。
32.根據(jù)權(quán)利要求29的方法，其中提供聯(lián)接器的所述步驟包括在第一支承結(jié)構(gòu)和第二支承結(jié)構(gòu)之間提供旋轉(zhuǎn)聯(lián)接器。
33.根據(jù)權(quán)利要求32的方法，其中旋轉(zhuǎn)聯(lián)接器向該負(fù)載提供繞旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)順從運(yùn)動(dòng)范圍。
34.根據(jù)權(quán)利要求32或33的方法，進(jìn)一步包括以下步驟提供在第二支承結(jié)構(gòu)和該負(fù)載之間的第二旋轉(zhuǎn)聯(lián)接器，該第二旋轉(zhuǎn)聯(lián)接器向該負(fù)載提供繞第二旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)范圍。
35.根據(jù)權(quán)利要求29的方法，其中提供聯(lián)接器的所述步驟包括在第一支承結(jié)構(gòu)和第二支承結(jié)構(gòu)之間提供聯(lián)接器，該聯(lián)接器向該負(fù)載提供沿基本上水平方向的附加運(yùn)動(dòng)范圍。
36.一種用于遠(yuǎn)程改變調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)的位置的裝置，該調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)用于至少部分支承負(fù)載的力，所述裝置包括用于改變液體壓力的遠(yuǎn)程單元，流體壓力的變化與調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)在至少一個(gè)方向上的位置變化相對(duì)應(yīng)；在所述遠(yuǎn)程單元和調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)之間耦合的聯(lián)接器，所述聯(lián)接器配置為根據(jù)流體壓力的變化來改變調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)的位置；以及用于提供從所述遠(yuǎn)程單元到所述聯(lián)接器的流體壓力變化的流體載體。
37.根據(jù)權(quán)利要求36的裝置，其中將該調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)配置為調(diào)節(jié)用于至少部分地支承在一定方向上或繞一軸處于順從狀態(tài)的負(fù)載的力。
38.根據(jù)權(quán)利要求37的裝置，其中將該調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)配置為調(diào)節(jié)用于至少部分地支承在基本上垂直方向上處于順從狀態(tài)的負(fù)載的力。
39.根據(jù)權(quán)利要求36的裝置，其中調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)的位置變化導(dǎo)致負(fù)載在其沿一定方向或繞一軸的運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的位置的變化。
40.根據(jù)權(quán)利要求39的裝置，其中調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)的位置變化導(dǎo)致負(fù)載在其沿基本上垂直方向的運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的位置的變化。
41.一種遠(yuǎn)程改變調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)的位置的方法，該調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)用于至少部分地支承負(fù)載的力，所述方法包括以下步驟通過遠(yuǎn)程單元改變流體壓力，其中流體壓力的變化與調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)在至少一個(gè)方向上的位置變化相對(duì)應(yīng)；通過流體載體提供從遠(yuǎn)程單元到聯(lián)接器的流體壓力變化，該聯(lián)接器耦合在遠(yuǎn)程單元和調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)之間；以及根據(jù)流體壓力變化通過聯(lián)接器來改變調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)的位置。
42.根據(jù)權(quán)利要求41的方法，其中改變調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)的位置的所述步驟導(dǎo)致力的相應(yīng)變化，該力至少部分地支承在一定方向上或繞一軸處于順從狀態(tài)的負(fù)載。
43.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中該力至少部分地支承在基本上垂直方向上處于順從狀態(tài)的負(fù)載。
44.根據(jù)權(quán)利要求41的方法，其中改變調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)的位置的所述步驟導(dǎo)致負(fù)載在其沿一定方向或繞一軸的運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的位置變化。
45.根據(jù)權(quán)利要求44的方法，其中負(fù)載在其運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的位置變化是沿基本上垂直方向。
46.一種用于操縱負(fù)載的裝置，所述裝置包括用于支承該負(fù)載的支承結(jié)構(gòu)，所述支承結(jié)構(gòu)向該負(fù)載提供運(yùn)動(dòng)范圍，所述運(yùn)動(dòng)范圍是順從運(yùn)動(dòng)范圍；以及遠(yuǎn)程單元，其用于調(diào)整通過流體載體的流體系統(tǒng)的流體壓力，該流體系統(tǒng)提供用于支承在順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的負(fù)載的至少一部分力，其中通過所述遠(yuǎn)程單元調(diào)整所述流體壓力而對(duì)用于支承該負(fù)載的力進(jìn)行調(diào)整。
47.根據(jù)權(quán)利要求46的裝置，其中將所述遠(yuǎn)程單元配置為調(diào)整所述流體壓力從而使處于基本上失重狀態(tài)的負(fù)載在順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)達(dá)到平衡。
48.根據(jù)權(quán)利要求46的裝置，其中將所述遠(yuǎn)程單元配置為調(diào)整所述流體壓力，從而調(diào)整該負(fù)載在順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的位置。
49.一種操縱負(fù)載的方法，所述方法包括以下步驟提供用于支承該負(fù)載的支承結(jié)構(gòu)，該支承結(jié)構(gòu)向負(fù)載提供順從運(yùn)動(dòng)范圍；以及經(jīng)遠(yuǎn)程單元改變通過流體載體的流體壓力，其中該流體壓力提供用于支承在順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的負(fù)載的至少一部分力。
50.根據(jù)權(quán)利要求49的方法，其中所述改變步驟包括改變流體壓力從而使處于基本上失重狀態(tài)的負(fù)載在順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)達(dá)到平衡。
51.根據(jù)權(quán)利要求49的方法，其中所述改變步驟包括改變流體壓力從而調(diào)整該負(fù)載在順從運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)的位置。
52.一種操縱負(fù)載的方法，所述方法包括以下步驟通過對(duì)流體增壓而至少部分地支承在一定方向上或繞一軸處于順從狀態(tài)的負(fù)載，從而利用第一手動(dòng)控制量級(jí)的力使該負(fù)載沿該方向或繞該軸移動(dòng)；以及遠(yuǎn)程調(diào)整流體壓力從而可以利用第二手動(dòng)控制量級(jí)的力使該負(fù)載沿該方向或繞該軸移動(dòng)，直到操作人員能夠操縱沿該方向或繞該軸的該負(fù)載，第二手動(dòng)控制量級(jí)的力小于該第一手動(dòng)控制量級(jí)的力。
全文摘要
一種用于操縱負(fù)載的裝置(1)，其包括用于支承該負(fù)載的第一支承結(jié)構(gòu)(60)和用于支承該負(fù)載的第二支承結(jié)構(gòu)(4)。該裝置還包括在第一支承結(jié)構(gòu)(60)和第二支承結(jié)構(gòu)(4)之間耦合的聯(lián)接器(3)。該聯(lián)接器(30)包括順從機(jī)構(gòu)(340a)，其用于向該負(fù)載提供繞旋轉(zhuǎn)軸的順從運(yùn)動(dòng)范圍，其中該負(fù)載的重心定位在遠(yuǎn)離該旋轉(zhuǎn)軸的位置。該旋轉(zhuǎn)軸是非垂直軸。
文檔編號(hào)B25J9/10GK1864069SQ200480029121
公開日2006年11月15日 申請(qǐng)日期2004年8月3日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月6日
發(fā)明者克里斯蒂安·米勒 申請(qǐng)人:英特斯特公司