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顯示裝置及其制造方法_2

文檔序號:9507409閱讀:來源:國知局
的凹凸。S卩,覆蓋層250將貼合前的相對基板200側的上表面平坦化。
[0047]此處,將第一區(qū)域121、第二區(qū)域122、第三區(qū)域123的晶體管層130分別稱為晶體管層131、132、133。此外,將第一區(qū)域121、第二區(qū)域122、第三區(qū)域123的像素電極140分別稱為像素電極141、142、143。此外,將第一區(qū)域121、第二區(qū)域122、第三區(qū)域123的分隔壁150分別稱為分隔壁151、152、153。此外,將第一區(qū)域121、第二區(qū)域122、第三區(qū)域123的發(fā)光層160分別稱為發(fā)光層161、162、163。此外,將第一區(qū)域121、第二區(qū)域122、第三區(qū)域123的共通電極340分別稱為共通電極341、342、343。此外,將第一區(qū)域121、第二區(qū)域122、第三區(qū)域123的保護層170分別稱為保護層171、172、173。此外,將第一區(qū)域121、第二區(qū)域122、第三區(qū)域123的填充材180分別稱為填充材181、182、183。此處,將分隔壁151的上方的填充材181的厚度稱為填充材厚度184,將分隔壁152的上方的填充材182的厚度稱為填充材厚度185,將分隔壁153的上方的填充材183的厚度稱為填充材厚度186。
[0048]此外,將第一區(qū)域121、第二區(qū)域122、第三區(qū)域123的遮光層210分別稱為遮光層211,212,213ο此外,將第一區(qū)域121、第二區(qū)域122、第三區(qū)域123的彩色濾光片(Β) 220分別稱為彩色濾光片(Β)221、222、223。此外,將第一區(qū)域121、第二區(qū)域122、第三區(qū)域123的彩色濾光片(G) 230分別稱為彩色濾光片(G)231、232、233。此外,將第一區(qū)域121、第二區(qū)域122、第三區(qū)域123的彩色濾光片(R) 240分別稱為彩色濾光片(R) 241、242、243。此外,將第一區(qū)域121、第二區(qū)域122、第三區(qū)域123的覆蓋層250分別稱為覆蓋層251、252、253。
[0049]此處,分隔壁152比分隔壁151和分隔壁153低。此外,填充材厚度185比填充材厚度184和填充材厚度186厚。如上所述,第一至第三區(qū)域的分隔壁的高度和填充材的厚度不同,由此,填充材181、182和183的上表面(與覆蓋層250相接觸的面)成為大致一定的高度。
[0050]因為分隔壁151和分隔壁153為截面形狀、平面形狀都幾乎相同,所以也可以不區(qū)別兩者。即,能夠將分隔壁151和分隔壁153 —并稱為第一分隔壁。另一方面,能夠將比分隔壁151和分隔壁153低的分隔壁152稱為第二分隔壁。此外,因為填充材181和填充材183以大致相同的厚度形成,所以也可以不區(qū)別兩者。即,能夠將填充材181和填充材183一并稱為第一填充材。另一方面,能夠將比填充材181和填充材183厚的填充材182稱為第二填充材。
[0051]此處,在陣列基板100與晶體管層130之間,也可以配置抑制來自陣列基板100的雜質擴散至晶體管層130的阻擋層。作為阻擋層,能夠使用氮化硅膜(SiNj莫)、氧化硅膜(S1^ )、氮氧化硅膜(SiN x0y膜)、氧氮化硅膜(S1 xNy膜)、氮化鋁膜(AIN JI)、氧化鋁膜仏10』莫)、氮氧化鋁膜(A10 xNy膜)、氧氮化鋁膜(A10 xNy膜)等(x、y為任意的數(shù))。此外,也可以使用將這些膜層疊而得到的結構。
[0052]此外,作為在晶體管層130使用的晶體管,能夠使用一般結構的晶體管。例如,能夠使用在晶體管的溝道層使用非晶硅、多晶硅、單晶硅、氧化物半導體、有機半導體等的、底柵型晶體管或頂柵型晶體管。
[0053]此外,作為在像素電極140使用的導電性材料,能夠使用一般的導電性材料。因為實施方式1所示的表示裝置是頂部發(fā)光型的有機EL表示裝置,所以作為像素電極140能夠選擇反射率高的材料。例如能夠使用鋁(A1)、鈦(Ti)、鉬(Mo)、絡(Cr)、鎳(Ni)、銀(Ag)或他們的合金。此外,也可以為將使用上述材料的膜層疊而得到的結構。
[0054]此外,在實施方式1中,為了便于說明而以使得晶體管層130和像素電極140具有相同的平面形狀的方式進行描繪,但是晶體管層130和像素電極140并不限定為相同的平面形狀。即,晶體管層130和像素電極140也可以具有不同的平面形狀,例如也可以在不存在晶體管層130的區(qū)域中形成像素電極140。
[0055]此外,發(fā)光層160使用發(fā)出白色光的材料,從發(fā)光層160發(fā)出的白色光通過彩色濾光片(B) 220、彩色濾光片(G) 230、彩色濾光片(R) 240,分別作為藍色光、綠色光、紅色光被使用者視認。如上所述,在顯示裝置10,相鄰的像素的彩色濾光片的透過的光的波長不同。
[0056]此外,發(fā)出白色光的發(fā)光層160既可以由單層的有機EL層構成,也可以由多個有機EL層層疊構成。作為層疊有多個有機EL層的結構,例如能夠使用發(fā)出藍色光的有機EL層和發(fā)出黃色光的有機EL層層疊的結構、使發(fā)出藍色光的有機EL層和發(fā)出綠色光的有機EL層以及發(fā)出紅色光的有機EL層層疊的結構。此外,并不限定于上述的結構,還能夠以多個發(fā)光色的層疊結構構成發(fā)出白色光的發(fā)光層。此處,白色光為至少具有藍色光、綠色光、紅色光的各自的波長的光即可,并不限定為嚴格意義上的白色。
[0057]實施方式1所示那樣的、頂部發(fā)光型的有機EL表示裝置的共通電極340能夠使用透光性高的導電性材料。作為透光性高的導電性材料,例如能夠使用ΙΤ0(氧化銦錫)、Ζη0(氧化鋅)、ΙΖ0(氧化銦錫與氧化鋅的復合材料)等。
[0058]此外,保護層170以至少覆蓋發(fā)光層160的方式配置,能夠使用對于水分和雜質的阻隔能力高的材料。例如,能夠與配置在陣列基板100與晶體管層130之間的阻擋層同樣地使用 SiNx膜、S1 x膜、SiN x0y膜、S1 xNy膜、AIN x膜、A10 x膜、A10 xNy膜、A10 xNy膜等(x、y為任意的數(shù))。此外,也可以使用將這些膜層疊的結構。
[0059]此外,作為遮光層210,既可以使用Cr等金屬材料,也可以使用被著色為黑色的樹脂材料。遮光層210配置在配置有像素的顯示區(qū)域和配置有驅動回路的周邊區(qū)域。遮光層210在顯示區(qū)域的劃定各像素的區(qū)域中配置在與配線和晶體管等重疊的位置。此外,遮光層210在周邊區(qū)域中配置在顯示區(qū)域與密封材之間的區(qū)域。
[0060]此外,在上述說明中,例示了各像素使使用者視認RGB三色的光的結構,但是并不限定于該結構。例如,也可以為不僅使使用者視認RGB三色而且使使用者視認白色光W的結構。使使用者視認白色光W的像素也可以為未設置彩色濾光片等的結構,或者還可以為設置有調整白色的色度的濾光片的結構。此外,在圖2例示了彩色濾光片220、230、240相互不重疊的結構,但是并不限定于該結構。例如也可以為相鄰的彩色濾光片的一部分(端部)相互重疊的結構。例如也可以使得彩色濾光片220的一部分和彩色濾光片230的一部分在遮光層210上交疊。
[0061]在圖2中,對在遮光層210上配置有彩色濾光片220、230、240的結構進行了說明,但是并不限定于此。例如也可以在彩色濾光片220、230、240上配置遮光層210。此外,也可以在相對基板200與遮光層210之間或在相對基板200與彩色濾光片220、230、240之間配置有其它層。此外,也可以在遮光層210與彩色濾光片220、230、240之間配置有其它層。此外,彩色濾光片220、230、240至少配置R、G、B三種,也可以在三種彩色濾光片的任意彩色濾光片之間配置遮光層。例如,也可以在相對基板200上配置彩色濾光片(R) 240、彩色濾光片(G) 230,在它們之上配置遮光層210,在遮光層210之上配置彩色濾光片(B)220。
[0062]此外,也可以在覆蓋層250上配置對成為發(fā)光元件劣化的原因的氣體和水分進行阻隔(阻擋)的保護膜。作為保護膜,能夠與在陣列基板100與晶體管層130之間形成的阻擋層同樣地使用 SiNx膜、S1 x膜、SiN x0y膜、S1 xNy膜、AIN x膜、A10 x膜、A10 xNy膜、A10 xNy膜等(x、y為任意的數(shù))。此外,也可以使用將這些膜層疊的結構。
[0063]接著,參照圖1和圖2雙方,對分隔壁151、分隔壁152和分隔壁153的配置進行說明。根據(jù)圖1和圖2,分隔壁151和填充材181配置在配置有分隔壁152和填充材182的第二區(qū)域122的內側的第一區(qū)域121。此外,分隔壁153和填充材183配置在第二區(qū)域122的外側的第三區(qū)域123。此處,在如上述那樣將分隔壁151和分隔壁153 —并稱為第一分隔壁、將分隔壁152稱為第二分隔壁、將填充材181和填充材183 —并稱為第一填充材、將填充材182稱為第二填充材的情況下,第一分隔壁和第一填充材能夠配置在配置有第二分隔壁和第二填充材的第二區(qū)域122的內側和外側的第一區(qū)域121和第三區(qū)域123。
[0064]此外,根據(jù)圖1和圖2,分隔壁152和填充材182也能夠在第二區(qū)域122中配置成環(huán)狀。此外,換言之,分隔壁152和填充材182也能夠沿密封材110配置。
[0065]如上所述,根據(jù)本發(fā)明的實施方式1的表示裝置,在第一區(qū)域121、第二區(qū)域122、第三區(qū)域123中,發(fā)光層160與相對基板200的距離被保持為大致一定。S卩,由于光從產生光的發(fā)光層160被發(fā)出至顯示裝置10的外部的相對基板200的背面?zhèn)鹊墓饴烽L度在面內成為大致一定,所以能夠抑制顯示不均。根據(jù)上述的結構,在為了抑制混色而利用分隔壁和填充材作為間隔部件的高精細的表示裝置中,即使在基板面內在填充材180的厚度方面產生分布的情況下,也能夠通過以緩和該分布的方式調整分隔壁150的高度來抑制顯示不均。
[0066][實施方式1的顯示裝置10的制造方法]
[0067]使用圖3至圖10,對本發(fā)明的實施方式1的顯示裝置10的制造方法進行說明。圖3是表示本發(fā)明的實施方式1的表示裝置的制造方法
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