專利名稱：一種用于濕法成型制備ito靶材生坯的脫模及轉移裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于陶瓷成型技術領域，涉及一種適用于濕法成型生產(chǎn)ITO陶瓷靶材中生坯的用于濕法成型制備ITO靶材生坯的脫模及轉移裝置。
背景技術：
ITO靶材的成型方法分為模壓成型和濕法成型兩種。近年來，隨著平板顯示器尺寸的逐漸增大，要求ITO靶材向著大型化方向發(fā)展。模壓法的技術門檻低，生產(chǎn)周期短，操作簡單，但存在壓機及模具成本高，特別是大尺寸成型時，生坯易產(chǎn)生密度不均勻、翹曲和裂紋等缺陷，增加了產(chǎn)品的報廢率。濕法成型則能夠很好的解決了這些問題，成為近年來的靶材成型工藝研究的重點。專利文獻CN 101890752是關于涉及制備生坯和ITO靶材單面吸水的注漿成型用的模具及其使用方法；CN12229067A是關于使用過濾式成型模制備陶瓷燒結體的制造方法。這些專利都提到了濕法成型制備ITO坯體，但都沒有提及脫模方法的技巧與裝置。專利文獻CN201841592提到了一種平面陶瓷靶材模壓成型脫模裝置，在與成型壓機的配合使用下，省去了脫模時需要人工翻轉模具的步驟。在濕法制備大尺寸靶材時，在外力作用下脫模時，由于外力施加不均勻，易造成生坯掉邊、掉角、表面凹坑、微裂紋，甚至撕斷等問題。

實用新型內容為了克服現(xiàn)有技術的上述缺點，本實用新型提供一種在脫模過程中，只有垂直向上的提升力，沒有其他分力，保證了生坯與模具之間沒有剪切應力產(chǎn)生，從而保證生坯的完好性，具有結構簡單，操作方便，脫模效率高，良品率高特點的用于濕法成型制備ITO靶材生坯的脫模及轉移裝置。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:一種用于濕法成型制備ITO靶材生坯的脫模及轉移裝置，包括支撐底板，支撐底板下端通過雙頭螺栓與縱向排列的三組共九個柔性吸盤體內的連接柱相連，柔性吸盤體通過氣管相互連通，氣管經(jīng)三通接頭與真空發(fā)生器相連，支撐底板上端設有四個呈正方形四個頂角用于將整個支撐底板向上提起脫模的吊環(huán)。所述柔性吸盤體內設有柔性吸盤。所述連接柱與支撐底板的聯(lián)結處設有彈簧減震裝置。所述真空發(fā)生器設有連接壓縮空氣的進氣管。本實用新型的有益效果是:能夠在脫模過程中，實現(xiàn)生坯與模具之間沒有剪切應力出現(xiàn)，從而保證生坯的安全與完整性，提高了坯體的質量，提高了脫模效率，同時還能降低模具的損傷，具有結構簡單，操作方便，脫模效率高，良品率高的特點。

圖1是本實用新型結構示意圖。[0011]圖中:1-支撐底板，2-柔性吸盤體，3-真空發(fā)生器，4-吊環(huán)，5-雙頭螺栓，6-三通接頭，7-氣管。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。參見圖1，一種用于濕法成型制備ITO靶材生坯的脫模及轉移裝置，包括支撐底板1，支撐底板I下端通過雙頭螺栓5與縱向排列的三組共九個柔性吸盤體2內的連接柱相連，連接柱與支撐底板I的聯(lián)結處設有彈簧減震裝置，、柔性吸盤體2內設有柔性吸盤，柔性吸盤體2通過氣管7相互連通，氣管7經(jīng)三通接頭6與真空發(fā)生器3相連，所述真空發(fā)生器
3設有連接壓縮空氣的進氣管7，支撐底板I上端設有四個呈正方形四個頂角用于將整個支撐底板I向上提起脫模的吊環(huán)4。操作時，先將本裝置中真空發(fā)生器3的進氣管7與壓縮空氣管7連接好，關閉壓縮空氣；靶材成型好后，將本實用新型裝置移至生坯上方，并將本裝置下移使柔性吸盤體2與成型后的生坯接觸，打開壓縮空氣，在壓縮空氣的作用下，真空發(fā)生器3會產(chǎn)生負壓，負壓使得柔性吸盤體2與生坯牢固地吸附在一起，通過吊環(huán)4將成型后的生坯從模具中取出，并將生坯移至指定位置。
權利要求1.一種用于濕法成型制備ITO靶材生坯的脫模及轉移裝置，包括支撐底板，支撐底板下端通過雙頭螺栓與縱向排列的三組共九個柔性吸盤體內的連接柱相連，柔性吸盤體通過氣管相互連通，氣管經(jīng)三通接頭與真空發(fā)生器相連，支撐底板上端設有四個呈正方形四個頂角用于將整個支撐底板向上提起脫模的吊環(huán)。
2.如權利要求1所述用于濕法成型制備ITO靶材生坯的脫模及轉移裝置，其特征是:所述柔性吸盤體內設有柔性吸盤。
3.如權利要求1所述用于濕法成型制備ITO靶材生坯的脫模及轉移裝置，其特征是:所述連接柱與支撐底板的聯(lián)結處設有彈簧減震裝置。
4.如權利要求1所述用于濕法成型制備ITO靶材生坯的脫模及轉移裝置，其特征是:所述真空發(fā)生器設有連接壓縮空氣的進氣管。
專利摘要本實用新型涉及一種用于濕法成型制備ITO靶材生坯的脫模及轉移裝置，包括支撐底板，支撐底板下端通過雙頭螺栓與縱向排列的三組共九個柔性吸盤體內的連接柱相連，柔性吸盤體通過氣管相互連通，氣管經(jīng)三通接頭與真空發(fā)生器相連，支撐底板上端設有四個呈正方形四個頂角用于將整個支撐底板向上提起脫模的吊環(huán)。具有結構簡單，操作方便，脫模效率高，良品率高的特點。
文檔編號B28B13/06GK203031747SQ20132000599
公開日2013年7月3日 申請日期2013年1月7日 優(yōu)先權日2013年1月7日
發(fā)明者周賢界, 鄭子濤, 曾令俊, 周理卿, 劉守聰, 鄒智明 申請人:韶關西格瑪技術有限公司