溫控軸輥的制作方法
【專利摘要】一種溫控軸輥，包括位于中心的軸、連接于軸兩端的支撐體和位于軸外周的輥，其特征在于：所述軸為空心軸，軸壁的兩外端與支撐體連接，所述輥為帶夾層的筒狀輥，輥的夾層內(nèi)沿圓周均勻分布有軸向的水道，輥內(nèi)壁與軸壁之間在兩個(gè)端部嵌有密封板，支撐體的外徑與輥的外徑一致，支撐體軸心開(kāi)有小孔，直徑與軸的外徑相適應(yīng)，所述支承體的內(nèi)底面上有環(huán)形槽和導(dǎo)流槽，所述環(huán)形槽與輥夾層內(nèi)的水道連通，所述導(dǎo)流槽連通各環(huán)形槽，環(huán)形槽經(jīng)出水口或進(jìn)水口以及支撐體的大孔與外界連通，最終形成溫控恒溫水通路。本發(fā)明通過(guò)對(duì)水的溫度進(jìn)行控制，實(shí)現(xiàn)對(duì)軸輥的溫度控制，克服了現(xiàn)有多線切割機(jī)專門(mén)設(shè)立溫度控制設(shè)備，操作復(fù)雜，技術(shù)要求高的問(wèn)題。
【專利說(shuō)明】溫控軸輥
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種軸輥，特別涉及一種應(yīng)用于多線鋸切割機(jī)上可以進(jìn)行溫度控制的軸輥。
【背景技術(shù)】
[0002]多線鋸切割機(jī)是將半導(dǎo)體晶棒切割成晶片的設(shè)備，半導(dǎo)體晶圓片是集成電路制作的襯底材料，晶圓片切割的精度直接影響集成電路制作的成品率，所以實(shí)際生產(chǎn)中對(duì)晶圓片的切割精度要求很高。溫度是影響晶圓片精度的重要因素，因此消除溫度對(duì)加工過(guò)程中對(duì)晶圓的精度影響非常重要。
[0003]近期公布的一種多線切割機(jī)水冷卻方法及裝置，具有切割溫度控制，對(duì)整機(jī)各關(guān)鍵部位進(jìn)行全面冷卻，實(shí)現(xiàn)了對(duì)多線切割機(jī)各關(guān)鍵部位溫度的控制，但其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)復(fù)雜，操作技術(shù)要求高，而且成本投入較大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為解決目前多線切割機(jī)水冷卻技術(shù)裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)復(fù)雜，操作技術(shù)要求高，而且成本投入較大的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種多線鋸切割機(jī)上應(yīng)用的可以進(jìn)行溫度控制的軸輥，軸輥內(nèi)部有溫控恒溫水通過(guò)，通過(guò)對(duì)水的溫度進(jìn)行了控制，實(shí)現(xiàn)對(duì)軸輥的溫度控制。
[0005]本發(fā)明為解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:
一種溫控軸輥,包括位于中心的軸、連接于軸兩端的支撐體和位于軸外周的輥,其特征在于:所述軸為空心軸，軸壁的兩外端與支撐體連接，所述輥為帶夾層的筒狀輥，其長(zhǎng)度比軸的長(zhǎng)度小10~20mm，輥的夾層內(nèi)沿圓周均勻分布有軸向的水道，輥內(nèi)壁與軸壁之間在兩個(gè)端部嵌有密封板，所述支撐體的軸心有階梯形的孔，靠?jī)?nèi)側(cè)為小孔，靠外側(cè)為大孔，支撐體其外徑與輥的外徑一致，支撐體軸心的小孔的直徑與軸的外徑相適應(yīng)，所述支承體的內(nèi)底面上有環(huán)形槽和導(dǎo)流槽，所述環(huán)形槽與輥夾層內(nèi)的水道連通，所述導(dǎo)流槽連通各環(huán)形槽，環(huán)形槽經(jīng)出水口或進(jìn)水口以及支撐體的大孔與外界連通。
[0006]所述支撐體的外側(cè)面為夾層結(jié)構(gòu)，其夾層內(nèi)有側(cè)面環(huán)形槽和側(cè)面導(dǎo)流槽。
[0007]所述環(huán)形槽先后通過(guò)順次連通的支承體內(nèi)部斜向的導(dǎo)流孔、側(cè)面環(huán)形槽和側(cè)面導(dǎo)流槽與水道相連通。
[0008]所述側(cè)面導(dǎo)流槽與水道--對(duì)應(yīng)并互相連通。
[0009]所述支承體上的導(dǎo)流槽呈十字放射狀布置。
[0010]所述環(huán)形槽中最靠近中心的環(huán)形槽與進(jìn)水口相連通；最靠外側(cè)的環(huán)形槽通過(guò)斜向的導(dǎo)流孔與側(cè)面環(huán)形槽相連通。
[0011]所述水道、導(dǎo)流槽、環(huán)形槽、側(cè)面導(dǎo)流槽和側(cè)面環(huán)形槽的斷面為矩形、圓孤形或角形。
[0012]所述進(jìn)水口、出水口和導(dǎo)流孔的斷面為多邊形或圓形。
[0013]所述支承體露在外面的底面上開(kāi)有輻射狀排列的槽孔。[0014]本發(fā)明軸輥的內(nèi)部為密封的空腔，目的是減輕軸輥質(zhì)量，減小轉(zhuǎn)動(dòng)慣量；支承體外側(cè)端面開(kāi)有多個(gè)槽孔，用來(lái)安裝對(duì)軸輥動(dòng)平衡時(shí)的質(zhì)量平衡塊；所述水道與兩側(cè)支撐體上的側(cè)面導(dǎo)流槽、側(cè)面環(huán)形槽、導(dǎo)流孔、環(huán)形槽、導(dǎo)流槽和進(jìn)水口或出水口依次順序聯(lián)通，形成溫控恒溫水通路，有溫控恒溫水通過(guò)，通過(guò)對(duì)水的溫度進(jìn)行控制，實(shí)現(xiàn)對(duì)軸輥的溫度控制，克服了現(xiàn)有多線切割機(jī)專門(mén)設(shè)立溫度控制設(shè)備，操作復(fù)雜，技術(shù)要求高的問(wèn)題。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本發(fā)明溫控軸輥結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本發(fā)明中軸輥內(nèi)腔結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3是本發(fā)明中軸輥壁結(jié)構(gòu)示意圖；
圖4是本發(fā)明中支承體的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖5是本發(fā)明中支承體的內(nèi)側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；
圖6是本發(fā)明中支承體的外側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]附圖標(biāo)記:1-軸、2-輥內(nèi)壁、3-輥、4-密封板、5-空腔、6_水道、7_軸壁、8_支承體、9-導(dǎo)流槽、10-環(huán)形槽、11-進(jìn)水口、12-導(dǎo)流孔、13-槽孔、14-側(cè)面環(huán)形槽、15-側(cè)面導(dǎo)流槽、16-出水口。
【具體實(shí)施方式】
[0017]如圖1飛所示，一種溫控軸輥，包括位于中心的軸1、連接于軸兩端的支撐體8和位于軸外周的輥3，其特征在于:所述軸I為空心軸，軸壁7的兩外端與支撐體8連接，所述輥3為帶夾層的筒狀輥，其長(zhǎng)度比軸I的長(zhǎng)度小10?20mm，輥3的夾層內(nèi)沿圓周均勻分布有軸向的水道6，輥內(nèi)壁2與軸壁7之間在兩個(gè)端部嵌有密封板4，所述支撐體8的軸心有階梯形的孔，靠?jī)?nèi)側(cè)為小孔，靠外側(cè)為大孔，支撐體8其外徑與輥3的外徑一致，支撐體軸心的小孔的直徑與軸I的外徑相適應(yīng)，所述支承體8的內(nèi)底面上有環(huán)形槽10和導(dǎo)流槽9，所述環(huán)形槽10與輥夾層內(nèi)的水道6連通，所述導(dǎo)流槽9連通各環(huán)形槽10，環(huán)形槽10經(jīng)出水口 16或進(jìn)水口 11以及支撐體的大孔與外界連通。所述支撐體8的外側(cè)面為夾層結(jié)構(gòu)，其夾層內(nèi)有側(cè)面環(huán)形槽14和側(cè)面導(dǎo)流槽15。所述環(huán)形槽10先后通過(guò)順次連通的支承體8內(nèi)部斜向的導(dǎo)流孔12、側(cè)面環(huán)形槽14和側(cè)面導(dǎo)流槽15與水道6相連通。所述側(cè)面導(dǎo)流槽15與水道6一一對(duì)應(yīng)并互相連通。
[0018]所述環(huán)形槽10為多個(gè)通過(guò)輻射狀的導(dǎo)流槽9互相連通同心圓環(huán)；所述側(cè)面環(huán)形槽14為多個(gè)與支承體8的底面平行的圓環(huán)槽。
[0019]所述環(huán)形槽10中，最靠近中心的環(huán)形槽10與進(jìn)水口 11相連通；最靠外側(cè)的環(huán)形槽通過(guò)斜向的導(dǎo)流孔12與側(cè)面環(huán)形槽14相連通。
[0020]所述水道6、導(dǎo)流槽9、環(huán)形槽10、側(cè)面導(dǎo)流槽15和側(cè)面環(huán)形槽14的斷面可以為矩形、圓孤形或角形。
[0021]所述進(jìn)水口 11、導(dǎo)流孔12的斷面可以為多邊形或圓形。
[0022]所述支承體8露在外面的底面上開(kāi)有輻射狀排列的槽孔13。
[0023]整體恒溫水的流通路徑是:恒溫水從支承體8上的進(jìn)水口 11進(jìn)入與之相通的環(huán)形槽10，由內(nèi)側(cè)環(huán)形槽通過(guò)輻射狀的導(dǎo)流槽9進(jìn)入外側(cè)環(huán)形槽，然后通過(guò)導(dǎo)流孔12進(jìn)入側(cè)面環(huán)形槽14，通過(guò)側(cè)面導(dǎo)流槽15進(jìn)入水道6，通過(guò)水道6順序進(jìn)入另一側(cè)支承體8上的側(cè)面導(dǎo)流槽15、側(cè)面環(huán)形槽14、導(dǎo)流孔12、外側(cè)環(huán)形槽、導(dǎo)流槽9、內(nèi)側(cè)環(huán)形槽，最后由出水口 16流出。
[0024]工作時(shí)，恒溫水保持循環(huán)流通，由于水流通道幾乎覆蓋整個(gè)軸輥，且軸輥為中空設(shè)計(jì)，所以能達(dá)到良好的降溫效果。
[0025]軸輥的內(nèi)部為密封的空腔，目的是減輕軸輥質(zhì)量，減小轉(zhuǎn)動(dòng)慣量；支承體外側(cè)端面開(kāi)有多個(gè)槽孔，用來(lái)安裝對(duì)軸輥動(dòng)平衡時(shí)的質(zhì)量平衡塊；支承體上設(shè)有導(dǎo)流孔2、導(dǎo)流槽9、環(huán)形槽10和進(jìn)水口 11，所述水道6、側(cè)面導(dǎo)流槽15、側(cè)面環(huán)形槽14、導(dǎo)流孔2、環(huán)形槽10、導(dǎo)流槽9和進(jìn)水口 11依次順序聯(lián)通，形成溫控恒溫水通路，有溫控恒溫水通過(guò),通過(guò)對(duì)水的溫度進(jìn)行控制，實(shí)現(xiàn)對(duì)軸輥的溫度控制。
【權(quán)利要求】
1.一種溫控軸輥,包括位于中心的軸(I)、連接于軸兩端的支撐體(8)和位于軸外周的輥(3)，其特征在于:所述軸(I)為空心軸，軸壁(7)的兩外端與支撐體(8)連接，所述輥(3)為帶夾層的筒狀輥，其長(zhǎng)度比軸(I)的長(zhǎng)度小10~20mm，輥(3)的夾層內(nèi)沿圓周均勻分布有軸向的水道(6)，輥內(nèi)壁(2)與軸壁(7)之間在兩個(gè)端部嵌有密封板(4)，所述支撐體(8)的軸心有階梯形的孔，靠?jī)?nèi)側(cè)為小孔，靠外側(cè)為大孔，支撐體(8)其外徑與輥(3)的外徑一致，支撐體軸心的小孔的直徑與軸(I)的外徑相適應(yīng)，所述支承體(8)的內(nèi)底面上有環(huán)形槽(10)和導(dǎo)流槽(9)，所述環(huán)形槽(10)與輥夾層內(nèi)的水道(6)連通，所述導(dǎo)流槽(9)連通各環(huán)形槽(10)，環(huán)形槽(10)經(jīng)出水口(16)或進(jìn)水口(11)以及支撐體的大孔與外界連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫控軸輥，其特征在于:所述支撐體(8)的外側(cè)面為夾層結(jié)構(gòu)，其夾層內(nèi)有側(cè)面環(huán)形槽(14)和側(cè)面導(dǎo)流槽(15)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫控軸輥，其特征在于:所述環(huán)形槽(10)先后通過(guò)順次連通的支承體(8)內(nèi)部斜向的導(dǎo)流孔(12)、側(cè)面環(huán)形槽(14)和側(cè)面導(dǎo)流槽(15)與水道(6)相連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的溫控軸輥，其特征在于:所述側(cè)面導(dǎo)流槽(15)與水道(6)一一對(duì)應(yīng)并互相連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的溫控軸輥，其特征在于:所述支承體(8)上的導(dǎo)流槽(9)呈十字放射狀布置。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的溫控軸輥，其特征在于:所述環(huán)形槽(10)中最靠近中心的環(huán)形槽(10 )與進(jìn)水口( 11)相連通；最靠外側(cè)的環(huán)形槽通過(guò)斜向的導(dǎo)流孔(12 )與側(cè)面環(huán)形槽(14)相連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的溫控軸輥，其特征在于:所述水道(6)、導(dǎo)流槽(9)、環(huán)形槽(10)、側(cè)面導(dǎo)流槽(15)和側(cè)面環(huán)形槽(14)的斷面為矩形、圓孤形或角形。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的溫控軸輥，其特征在于:所述進(jìn)水口(11 )、出水口( 16)和導(dǎo)流孔(12)的斷面為多邊形或圓形。
9.根據(jù)權(quán)利要求7任意一項(xiàng)所述的溫控軸輥，其特征在于:所述支承體(8)露在外面的底面上開(kāi)有輻射狀排列的槽孔(13)。
【文檔編號(hào)】B28D5/04GK103586987SQ201310538605
【公開(kāi)日】2014年2月19日 申請(qǐng)日期:2013年11月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月5日
【發(fā)明者】種寶春 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所