專利名稱：應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多線切割技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
多線切割技術(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的硅片加工技術(shù)，它的原理是通過一根高速運(yùn)動(dòng)的鋼線帶動(dòng)附著在鋼絲上的切割刃料對(duì)半導(dǎo)體等硬脆材料進(jìn)行摩擦，從而達(dá)到切割效果。在整個(gè)過程中，鋼線通過十幾個(gè)導(dǎo)線輪的引導(dǎo)，在主線輥上形成一張線網(wǎng)，而待加工工件通過工作臺(tái)的上升下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給，可將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片，多線切割技術(shù)與傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內(nèi)圓切割相比有具有效率高，產(chǎn)能高，精度高等優(yōu)點(diǎn)，多線切割技術(shù)是目前采用最廣泛的半導(dǎo)體等硬脆材料切割技術(shù)。在現(xiàn)有技術(shù)中，是將切割線均勻地繞在圓柱形的貯線筒上，通過導(dǎo)線輪、切割輥等走線機(jī)構(gòu)形成可以往返的走線系統(tǒng)。所述切割線經(jīng)由導(dǎo)線輪引導(dǎo)纏繞至切割輥的即用走線槽中，以使得所述切割線在走線過程中不發(fā)生偏移。但是，在實(shí)際切割工件的過程中，由于導(dǎo)線輪的精度、線架的剛性及切割線在貯線筒上的張力不能均勻一致，再加上高速走線過程中切割線會(huì)不斷地抖動(dòng)，且走線過程為拉鋸式往復(fù)運(yùn)動(dòng)，這樣就很容易使切割線跳出，導(dǎo)致走線發(fā)生偏移(業(yè)內(nèi)稱跳線或跳絲)，具體地是說，所述切割線由原來的即用走線槽跳入旁邊的備用走線槽中，則使所述切割線偏離原來位置，就導(dǎo)致了跳絲現(xiàn)象的發(fā)生。由于多線切割機(jī)的切割區(qū)間通常是封閉的，操作人員不能肉眼觀察到跳線現(xiàn)象的發(fā)生，而由跳線引起的工件切割不精確，切割面產(chǎn)生紋路等問題直接影響到硅片加工的質(zhì)量，嚴(yán)重者，更會(huì)造成硅片的浪費(fèi)，不但浪費(fèi)時(shí)間和成本，同時(shí)也降低了生產(chǎn)的效率，實(shí)為不容忽視的一大問題；再者，為了解決跳線的問題，相關(guān)領(lǐng)域之業(yè)者嘗試額外增設(shè)走線的限位裝置，但由于不同切割作業(yè)要求的走線間隔或走線精度不同，很難提出一種通用的防跳線機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)方案，為此，也浪費(fèi)了不少的設(shè)計(jì)及制造成本。所以，如何提供一種應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)，以避免以上所述的缺點(diǎn)，實(shí)為相關(guān)領(lǐng)域之業(yè)者目前亟待解決的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)，以解決現(xiàn)有技術(shù)的切片機(jī)在切割過程中，容易產(chǎn)生跳線現(xiàn)象進(jìn)而影響到硅片的加工質(zhì)量，浪費(fèi)時(shí)間和成本以及降低生產(chǎn)效率等問題，同時(shí)也為了提出一種通用的防跳線設(shè)計(jì)方法。為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)，所述切片機(jī)至少具有機(jī)架、多條切割線以及多個(gè)切割輥，所述多條切割線對(duì)應(yīng)纏繞在所述多個(gè)切割輥上以形成切割網(wǎng)，其特征在于，所述防跳線機(jī)構(gòu)包括一對(duì)連接板以及一對(duì)保 護(hù)板，該對(duì)連接板可垂向升降地設(shè)置在所述機(jī)架上，分別跨設(shè)在臨近所述切割輥的上方；該對(duì)保護(hù)板分別固定在該對(duì)連接板上，并懸設(shè)于所述切割網(wǎng)上方，并于該對(duì)連接板下降時(shí)帶動(dòng)該對(duì)保護(hù)板壓迫所述切割線，以使該保護(hù)板上形成有多條被切割線切割而成的限位槽，藉由所述限位槽對(duì)繼續(xù)運(yùn)行在槽內(nèi)的切割線提供防跳線保護(hù)。在本實(shí)用新型的應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)中，所述保護(hù)板橫向?qū)挾却笥谠撉懈罹W(wǎng)的寬度。所述保護(hù)板下降至低于所述切割網(wǎng)3 5_后停止下降，以確保所述限位槽的深度為3 5mm。 如上所述，本實(shí)用新型的應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)通過預(yù)先切割一對(duì)保護(hù)板，在該對(duì)保護(hù)板上形成多條對(duì)應(yīng)切割線的限位槽，藉由所述限位槽對(duì)繼續(xù)運(yùn)行在槽內(nèi)的切割線提供防跳線保護(hù)，如此以避免切片機(jī)在切割工件的作業(yè)中，容易發(fā)生跳線的現(xiàn)象，進(jìn)而提高產(chǎn)品合格率也提高了設(shè)備的運(yùn)行效率，更重要的是，該方法也直接解決了現(xiàn)有技術(shù)中很難提出一種通用的防跳線設(shè)計(jì)難題，降低了設(shè)備的設(shè)計(jì)及制造成本。

圖IA及圖2A以顯示為本實(shí)用新型的應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)之具體實(shí)施狀態(tài)中側(cè)向示意圖。圖IB及圖2B顯示為本實(shí)用新型的應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)之具體實(shí)施狀態(tài)中正向示意圖。
具體實(shí)施方式
以下通過特定的具體實(shí)例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭示的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過另外不同的具體實(shí)施方式
加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在不背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。請(qǐng)參閱圖1A、圖1B、圖2A以及圖2B顯示為本實(shí)用新型的應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)之具體實(shí)施狀態(tài)中正向及側(cè)向示意圖。需要說明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本實(shí)用新型中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。如圖所示，本實(shí)用新型提供一種應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)，所述切片機(jī)用于對(duì)晶體硅錠(未圖示)進(jìn)行切片作業(yè)，所述切片機(jī)至少具有機(jī)架11、多條切割線12以及多個(gè)切割輥13及13’，所述多條切割線12對(duì)應(yīng)纏繞在所述多個(gè)切割輥13及13’上以形成一張切割網(wǎng)(未標(biāo)示)，需要特別說明的是，由于圖IA及圖2A局限于呈現(xiàn)的方位，上述切割網(wǎng)僅能顯示出一條切割線，但在具體的多線切片機(jī)的走絲系統(tǒng)中，應(yīng)該具有多條切割線及對(duì)應(yīng)多條切割線切割輥13或13’，因而在本實(shí)施例方式中，將以一條切割線的走線機(jī)構(gòu)為例進(jìn)行說明。所述防跳線機(jī)構(gòu)包括一對(duì)連接板15及15’以及一對(duì)保護(hù)板14及14’。如圖所示，該對(duì)連接板15及15’可垂向升降地設(shè)置在所述機(jī)架11上，分別跨設(shè)在臨近所述切割輥13的上方；需要說明的是，所述連接板15及15’可例如由絲桿(未圖示)連接，由電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)絲桿旋轉(zhuǎn)進(jìn)而達(dá)到在垂直方向升降該連接板15或15’。該對(duì)保護(hù)板14及14’分別固定在該對(duì)連接板15及15’上，并懸設(shè)于所述切割網(wǎng)(即圖IA所示的切割線12)上方，并于該對(duì)連接板15及15’下降時(shí)帶動(dòng)該對(duì)保護(hù)板14及14’壓迫所述切割線12，以使該保護(hù)板14及14’上形成有多條被切割線12切割而成的限位槽141，藉由所述限位槽141對(duì)繼續(xù)運(yùn)行在槽內(nèi)的切割線12提供防跳線保護(hù)。在本實(shí)施例方式中，所述保護(hù)板14及14’橫向?qū)挾却笥谠撉懈罹W(wǎng)的寬度，以保證所有切割線12均可在保護(hù)板14或14’上切割出限位槽141，呈如圖IB所示，述保護(hù)板14及14’橫向?qū)挾萅大于該切割網(wǎng)的寬度MjPN >M。如圖中箭頭所示的方向運(yùn)行所述切割線12 ;在本實(shí)施例方式中，所述切割線12的 運(yùn)行速度為1000m/min。在具體的實(shí)施過程中，呈如圖IA或圖IB箭頭所示，垂直方向下降該對(duì)保護(hù)板14及14’，使所述保護(hù)板14及14’壓迫所述切割線12，此時(shí)所述保護(hù)板14及14’被切割線12切割；當(dāng)所述保護(hù)板14及14’被切割到預(yù)設(shè)深度時(shí)，停止下降該對(duì)保護(hù)板14及14’，此時(shí)各該保護(hù)板14及14’上形成有多條被切割線12切割而成的限位槽141，藉由所述限位槽141對(duì)繼續(xù)運(yùn)行在槽內(nèi)的切割線12提供防跳線保護(hù)。呈如圖2A或圖2B箭頭所示。在本實(shí)施例方式中，所述保護(hù)板14及14’下降至低于所述切割網(wǎng)3 5mm后停止下降，以使所述限位槽141的深度L為3 5mm。綜上所述，本實(shí)用新型主要是通過預(yù)先切割一對(duì)保護(hù)板，在該對(duì)保護(hù)板上形成多條對(duì)應(yīng)切割線的限位槽，藉由所述限位槽對(duì)繼續(xù)運(yùn)行在槽內(nèi)的切割線提供防跳線保護(hù)，如此以避免切片機(jī)在切割工件的作業(yè)中，容易發(fā)生跳線的現(xiàn)象，進(jìn)而提高產(chǎn)品合格率也提高了設(shè)備的運(yùn)行效率，更重要的是，該方法也直接解決了現(xiàn)有技術(shù)中很難提出一種通用的防跳線設(shè)計(jì)難題，降低了設(shè)備的設(shè)計(jì)及制造成本。因而，本實(shí)用新型的應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)與現(xiàn)有技術(shù)相比，有效地克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。上述實(shí)施例僅例示性說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟習(xí)此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)，所述切片機(jī)至少具有機(jī)架、多條切割線以及多個(gè)切割輥，所述多條切割線對(duì)應(yīng)纏繞在所述多個(gè)切割輥上以形成切割網(wǎng)，其特征在于，所述防跳線機(jī)構(gòu)包括 一對(duì)連接板，可垂向升降地設(shè)置在所述機(jī)架上，該對(duì)連接板分別跨設(shè)在臨近所述切割輥的上方；以及 一對(duì)保護(hù)板，分別固定在該對(duì)連接板上，并懸設(shè)于所述切割網(wǎng)上方，并于該對(duì)連接板下降時(shí)帶動(dòng)該對(duì)保護(hù)板壓迫所述切割線，以使該保護(hù)板上形成有多條被切割線切割而成的限位槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)，其特征在于所述保護(hù)板橫向覽度大于該切割網(wǎng)的覽度。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)，其特征在于所述限位槽的深度為3 5mm。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種應(yīng)用于切片機(jī)的防跳線機(jī)構(gòu)，所述切片機(jī)至少具有機(jī)架、多條切割線以及多個(gè)切割輥，所述多條切割線對(duì)應(yīng)纏繞在多個(gè)切割輥上以形成切割網(wǎng)，該機(jī)構(gòu)包括一對(duì)連接板以及一對(duì)保護(hù)板，該對(duì)連接板可垂向升降地設(shè)置在所述機(jī)架上，分別跨設(shè)在臨近所述切割輥的上方；該對(duì)保護(hù)板分別固定在該對(duì)連接板上，并懸設(shè)于所述切割網(wǎng)上方，并于該對(duì)連接板下降時(shí)帶動(dòng)該對(duì)保護(hù)板壓迫所述切割線，以使該保護(hù)板上形成有多條被切割線切割而成的限位槽，藉由所述限位槽對(duì)繼續(xù)運(yùn)行在槽內(nèi)的切割線提供防跳線保護(hù)，如此達(dá)到防止跳線的目的，進(jìn)而提高了硅片的加工質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)B28D7/00GK202412501SQ201220053889
公開日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2012年2月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月19日
發(fā)明者盧建偉 申請(qǐng)人:上海日進(jìn)機(jī)床有限公司