專利名稱:帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及光伏或半導(dǎo)體領(lǐng)域中的一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī)。
背景技術(shù):
在硅片加工中,通過專用的線切割設(shè)備將硅棒或硅塊切割成不同直徑和厚度的片 材是目前國際上通用的加工方式。該切割原理是用通過數(shù)千根直徑約120-160μπι的鋼線 作切割載體,以硬度僅次于金剛石的碳化硅磨料為主要切削介質(zhì),并采用浸潤性好、排削能 力強(qiáng)且對碳化硅類磨料具有優(yōu)良的分散特性的聚乙二醇基、丙二醇基或油基懸浮液等切割 液,作為碳化硅磨料的分散劑配制成分散均勻、懸浮狀態(tài)穩(wěn)定的砂漿,通過鋼線在硅棒或硅 塊表面的快速運(yùn)動(dòng),帶動(dòng)砂漿在硅棒或硅塊表面流動(dòng),使碳化硅磨料與硅棒或硅塊均勻持 續(xù)地發(fā)生撞擊和摩擦,最終將硅棒或硅塊一次性切割成多片表面光滑平整的等徑片材。在硅塊通過線切割加工成硅片的過程中,高速運(yùn)轉(zhuǎn)的鋼線帶動(dòng)砂漿對硅塊形成沖 擊,容易使硅塊頭尾部分的硅片受力發(fā)生位移擺動(dòng),并對這些硅片切割時(shí)產(chǎn)生切割偏差,導(dǎo) 致硅片的崩邊缺角比率很高。同時(shí)在硅塊的線切割工藝中,硅塊是與玻璃、托盤依次粘結(jié)在 一起并安裝在線切割機(jī)中,在整個(gè)硅塊的線切割過程中,對硅塊切割完畢后,還會(huì)對玻璃進(jìn) 行切割,由于硅塊和玻璃是不同硬度的材料,當(dāng)硅塊切割完畢開始切割玻璃的瞬間,也非常 容易使硅塊頭尾部分的硅片發(fā)生位移擺動(dòng),導(dǎo)致硅片的碎片率很高。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī)。本實(shí)用新型的技術(shù)方案為一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),包括切割室,其中在切割室內(nèi)安裝有兩塊擋 件,擋件位于切割室中的切割線網(wǎng)下方。擋件可以有效防止由于砂漿對硅塊形成沖擊或其 他原因?qū)е鹿鑹K頭尾部分的硅片發(fā)生位移擺動(dòng)?!N帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的兩塊擋件分別位于與硅塊兩端 外側(cè),擋件與硅塊外側(cè)之間的距離為l-10mm。一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的擋件可以是擋板,也可以是擋 桿。一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的擋件通過焊接的方式與切割室 進(jìn)行固定連接。一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中兩塊擋板的側(cè)面設(shè)有側(cè)面護(hù)板,側(cè)面護(hù) 板安裝在切割室內(nèi),擋板分別安裝在側(cè)面護(hù)板上,側(cè)面護(hù)板與擋板垂直。側(cè)面護(hù)板可以防止 切割線網(wǎng)上的砂漿掉落對硅塊造成沖擊,最終防止硅塊頭尾部分的硅片發(fā)生位移擺動(dòng)造成 硅片的崩邊缺角。一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中擋板通過螺釘安裝連接在側(cè)面護(hù)板上。采用本實(shí)用新型提供的帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī)可以有效方式防止因砂漿的沖擊而引起硅塊頭尾部分的硅片受力發(fā)生位移擺動(dòng),確保硅片的切割精度,降低硅片崩 邊缺角率,同時(shí)還可以有效防止對硅塊切割完畢后對玻璃進(jìn)行切割時(shí)由于材料的不同而引 起硅塊頭尾部分的硅片發(fā)生位移擺動(dòng),降低硅片的碎片率,采用本實(shí)用新型提供的帶有擋 板裝置的硅塊線切割機(jī)對硅塊進(jìn)行切割可以提高3-6%的硅片切割良品率。
附圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例12的結(jié)構(gòu)示意圖;附圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例13的結(jié)構(gòu)示意圖;附圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例15的結(jié)構(gòu)示意圖;附圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例15的使用狀態(tài)示意圖;附圖標(biāo)記側(cè)面護(hù)板1、擋板2、切割線網(wǎng)3、硅塊4、玻璃5、托盤6、切割室7、擋桿8。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),包括切割室7,其中在切割室7內(nèi) 安裝有兩塊擋件,擋件位于切割室7中的切割線網(wǎng)3下方。實(shí)施例2、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的兩塊擋件分別位于與 硅塊4兩端外側(cè),擋件與硅塊4外側(cè)之間的距離為1mm。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例3、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的兩塊擋件分別位于與 硅塊4兩端外側(cè),擋件與硅塊4外側(cè)之間的距離為2mm。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例4、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的兩塊擋件分別位于與 硅塊4兩端外側(cè),擋件與硅塊4外側(cè)之間的距離為3mm。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例5、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的兩塊擋件分別位于與 硅塊4兩端外側(cè),擋件與硅塊4外側(cè)之間的距離為4mm。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例6、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的兩塊擋件分別位于與 硅塊4兩端外側(cè),擋件與硅塊4外側(cè)之間的距離為5mm。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例7、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的兩塊擋件分別位于與 硅塊4兩端外側(cè),擋件與硅塊4外側(cè)之間的距離為6mm。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例8、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的兩塊擋件分別位于與 硅塊4兩端外側(cè),擋件與硅塊4外側(cè)之間的距離為7mm。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例9、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的兩塊擋件分別位于與 硅塊4兩端外側(cè),擋件與硅塊4外側(cè)之間的距離為8mm。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例10、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的兩塊擋件分別位于 與硅塊4兩端外側(cè),擋件與硅塊4外側(cè)之間的距離為9mm。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例11、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的兩塊擋件分別位于 與硅塊4兩端外側(cè),擋件與硅塊4外側(cè)之間的距離為10mm。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例12、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的擋件是擋板2。其余 同實(shí)施例1。實(shí)施例13、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的擋件是擋桿8。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例14、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中所述的擋件通過焊接的方 式與切割室7進(jìn)行固定連接。其余同實(shí)施例1-實(shí)施例11中的任意一種實(shí)施例。實(shí)施例15、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中兩塊擋板2的側(cè)面設(shè)有側(cè)面 護(hù)板1,側(cè)面護(hù)板1安裝在切割室7內(nèi),擋板2分別安裝在側(cè)面護(hù)板1上,側(cè)面護(hù)板1與擋板 2垂直。其余同實(shí)施例12。實(shí)施例16、一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其中擋板2通過螺釘安裝連接在 側(cè)面護(hù)板1上。其余同實(shí)施例15。結(jié)合實(shí)施例15解釋本實(shí)用新型的工作原理本實(shí)用新型在切割室7中的切割線 網(wǎng)3下面IOmm處安裝有側(cè)面護(hù)板1和兩塊擋板2,側(cè)面護(hù)板1安裝在切割室7內(nèi),兩塊擋 板2分別安裝在側(cè)面護(hù)板1上,在線切割機(jī)對與玻璃5以及托盤6粘接在一起的硅塊4進(jìn) 行線切割的時(shí)候,擋板2可以通過螺釘與側(cè)面護(hù)板1活動(dòng)連接,用來調(diào)節(jié)兩塊擋板2之間的 距離,控制兩塊擋板2分別與硅塊4兩端的距離為1-lOmm,在硅塊4在被進(jìn)行線切割的時(shí) 候,該擋板2均能有效防止由于砂漿對硅塊形成沖擊或其他原因?qū)е鹿鑹K頭尾部分的硅片 發(fā)生位移擺動(dòng),確保硅片的切割精度,減少硅片崩邊缺角率,提高硅片切割良品率;側(cè)面護(hù) 板1還可以防止切割線網(wǎng)3上的砂漿掉落對硅塊4造成沖擊;同時(shí)本實(shí)用新型提供的裝置 結(jié)構(gòu)簡易,制作成本低。
權(quán)利要求1.一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),包括切割室(7),其特征在于在切割室(7)內(nèi) 安裝有兩塊擋件,擋件位于切割室(7)中的切割線網(wǎng)(3)下方。
2.如權(quán)利要求1所述的一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其特征在于所述的兩塊 擋件分別位于與硅塊(4)兩端外側(cè),擋件與硅塊(4)外側(cè)之間的距離為l-10mm。
3.如權(quán)利要求1或2所述的一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其特征在于所述的 擋件可以是擋板O),也可以是擋桿(8)。
4.如權(quán)利要求1或2所述的一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其特征在于所述的 擋件通過焊接的方式與切割室(7)進(jìn)行固定連接。
5.如權(quán)利要求3所述的一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其特征在于兩塊擋板(2) 的側(cè)面設(shè)有側(cè)面護(hù)板(1),側(cè)面護(hù)板(1)安裝在切割室(7)內(nèi),擋板(2)分別安裝在側(cè)面護(hù) 板⑴上,側(cè)面護(hù)板⑴與擋板(2)垂直。
6.如權(quán)利要求5所述的一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),其特征在于擋板(2)通 過螺釘安裝連接在側(cè)面護(hù)板(1)上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及光伏或半導(dǎo)體領(lǐng)域中的一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī);本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī),包括切割室7,其中在切割室7內(nèi)安裝有兩塊擋件,擋件位于切割室7中的切割線網(wǎng)3下方;采用本實(shí)用新型提供的帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī)可以有效方式防止因砂漿的沖擊而引起硅塊頭尾部分的硅片受力發(fā)生位移擺動(dòng),確保硅片的切割精度,降低硅片崩邊缺角率,同時(shí)還可以有效防止對硅塊切割完畢后對玻璃進(jìn)行切割時(shí)由于材料的不同而引起硅塊頭尾部分的硅片發(fā)生位移擺動(dòng),降低硅片的碎片率,采用本實(shí)用新型提供的帶有擋板裝置的硅塊線切割機(jī)對硅塊進(jìn)行切割可以提高3-6%的硅片切割良品率。
文檔編號B28D5/04GK201833493SQ20102026136
公開日2011年5月18日 申請日期2010年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月16日
發(fā)明者中野研吾, 史劍飛, 李松林, 陳志軍 申請人:江西賽維Ldk太陽能高科技有限公司