專利名稱：用于鋼絲鋸裝置的安裝板、包括該安裝板的鋼絲鋸裝置以及由該裝置實(shí)施的鋼絲鋸過程的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于鋼絲鋸裝置的安裝板。本發(fā)明還涉及包括如此安裝板的鋼絲鋸裝 置，該裝置設(shè)計(jì)成鋸開要被鋸的至少一個(gè)物件，該裝置包括至少一層鋼絲，它們伸展在至少 兩個(gè)鋼絲導(dǎo)向柱之間，所述鋼絲層通過設(shè)置在鋼絲導(dǎo)向柱表面上的槽固定就位，所述鋼絲 適于在抵靠在固定在至少一個(gè)支承臺(tái)上的要被鋸開的至少一個(gè)物件上時(shí)作往復(fù)運(yùn)動(dòng)或連 續(xù)運(yùn)動(dòng)，，而設(shè)置位移裝置來實(shí)現(xiàn)要被鋸開物件和所述鋼絲層之間的向前的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。本發(fā) 明還涉及由如此鋼絲鋸裝置實(shí)施的鋼絲鋸過程。
背景技術(shù)：
鋼絲鋸裝置和剛才列舉的實(shí)施鋼絲層中鋼絲位移或要被鋸開物件位移的這種類 型過程已經(jīng)是眾所周知的，尤其是在鐵素體、石英和硅石的電子部件的業(yè)界內(nèi)，以及在光電 器件業(yè)界內(nèi)，用來獲得諸如多晶硅或單晶硅的薄片材料，或獲得諸如GaAs、hP、GGG之類的 材料，或還獲得石英、合成藍(lán)寶石和陶瓷材料。在諸如半導(dǎo)體技術(shù)的工藝技術(shù)上，所述薄片 被稱為晶片。在已知的裝置中，鋸子部分包括一組至少兩個(gè)平行放置的圓柱。這些圓柱被稱為 鋼絲導(dǎo)向件，它們具有刻入到其表面內(nèi)的多個(gè)槽，多槽限定了鋼絲層之間的間距，因此限定 薄片的厚度。要被鋸開的物件稱其為錠子。錠子固定到支承臺(tái)上，該支承臺(tái)垂直于鋼絲層移動(dòng)。 支承臺(tái)移動(dòng)速度定義了切割速度。鋼絲的更新及其張力控制都發(fā)生在一個(gè)被稱之為鋼絲管 理部分的局部內(nèi)，其位于適當(dāng)?shù)匿徢胁糠种?。鋸切借助于研磨劑來完成，即，固定在鋼絲 上的研磨劑或呈漿料形式引入的自由研磨劑。鋼絲僅起作運(yùn)輸?shù)拿浇椤Ｒ讳忛_的物件常 呈柱狀的形狀，其有四邊形、準(zhǔn)四邊形或圓形的底部。在如圖13所示的已知鋼絲鋸裝置中，要被鋸開的物件110以間接方式固定到支承 臺(tái)120上。要被鋸開的物件110粘結(jié)到一通常稱為“梁”的臨時(shí)板112上，該臨時(shí)板112又 粘結(jié)到一通常稱為“膠合板”的組裝板114上。該組裝板114又用組裝螺釘116固定到錠 子夾具上，例如，嚙合在支承臺(tái)120的導(dǎo)軌內(nèi)的滑架118，并固定到該支承臺(tái)120。臨時(shí)板112是用后可丟棄的零件。它由玻璃或合成材料制成，諸如熱塑性材料或 熱固性材料或復(fù)合材料，在切割通過要被鋸開的物件110之后，鋸切鋼絲穿透到這些材料 內(nèi)。由玻璃制成的臨時(shí)板提供了非常良好的穩(wěn)定性，并消除了所獲得晶片發(fā)生翹曲的 風(fēng)險(xiǎn)。通常玻璃板以低成本制造。然而，一旦玻璃板需要設(shè)有凹坑，則它們就變成高成本的 產(chǎn)品，這樣的凹坑諸如孔和/或槽和/或通道，因?yàn)槿绱说陌伎又荒芡ㄟ^玻璃板的加工才能 獲得，這是昂貴的生產(chǎn)過程。由合成材料制成的臨時(shí)板具有這樣的優(yōu)點(diǎn)由于有多種制造選擇，所以可很容易 地獲得板的各種設(shè)計(jì)，但卻可能有令獲得的晶片發(fā)生翹曲變形的缺點(diǎn)。還有，諸料或熱固性材料或復(fù)合材料之類由合成材料制成的板，顯示出比玻璃板高的單位價(jià)格。組裝板114由金屬材料制成，例如，用鋼或鋁材。它被設(shè)計(jì)成可重復(fù)使用，這樣，每 次鋸切操作之后，其表面必須加以清潔，因?yàn)樵谇懊娴牟僮鬟^程中臨時(shí)板112已經(jīng)被粘結(jié) 到表面上。在通常的鋸切過程中，當(dāng)鋸切完成時(shí)，從鋼絲鋸裝置中取出要被鋸開的物件。它顯 現(xiàn)為一組平行的薄片，它們彼此分開為鋸路或鋸隙，在其底部處這些薄片附連到一突耳，突 耳是玻璃或合成材料制的臨時(shí)板的部分，鋼絲層中的鋼絲已經(jīng)部分地穿過其中。因?yàn)榇嬖谥T如漿料那樣的研磨劑，所以薄片由于毛細(xì)管效應(yīng)而趨于彼此粘住， 在切片過程還在進(jìn)行時(shí)，該效應(yīng)就開始了，但一旦切片過程完成時(shí)該現(xiàn)象尤為嚴(yán)重，薄片仍 懸掛在突耳上。然后，從鋼絲鋸裝置中取下全部的夾持套件，該套件包括錠子夾具、膠合板、梁和 附連到突耳上鋸切成薄片的塊件。這意味著，將薄片提交給清潔操作，該操作發(fā)生在鋼絲鋸 區(qū)域之外。首先，在作進(jìn)一步清洗或沖洗之前，將仍安裝在夾持套件上的薄片浸沒到一清洗 缸或沖洗缸內(nèi)。清洗、沖洗和分離該薄片的各種步驟發(fā)生在該鋸切裝置之外。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目標(biāo)是提供克服上述缺點(diǎn)的安裝板、鋼絲鋸裝置以及鋼絲鋸過程。根據(jù)第一方面，本發(fā)明涉及用于鋼絲鋸裝置的安裝板，其通過擠壓陶瓷材料而獲 得并在其一個(gè)表面上包括至少一個(gè)槽。根據(jù)安裝板的一特別的結(jié)構(gòu)，它包括至少一個(gè)延伸在兩個(gè)相對(duì)側(cè)之間的通道。安裝板其它的特征在附后的權(quán)利要求2、4和5中限定。根據(jù)第二方面，本發(fā)明涉及鋼絲鋸裝置，其設(shè)計(jì)成鋸切至少一個(gè)要被鋸開的物件， 并包括伸展在至少兩個(gè)鋼絲導(dǎo)向柱之間的至少一個(gè)鋼絲層，所述鋼絲層通過設(shè)置在鋼絲導(dǎo) 向柱表面上的槽固定就位，所述鋼絲適于在抵靠在固定在至少一個(gè)支承臺(tái)上的至少一個(gè)要 被鋸開的物件上時(shí)作往復(fù)運(yùn)動(dòng)或連續(xù)運(yùn)動(dòng)，設(shè)置位移裝置來完成要被鋸開的物件和所述鋼 絲層之間的向前的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，該鋼絲鋸裝置還包括用來將所述要被鋸開的物件固定到滑架 上的固定裝置，所述滑架與所述支承臺(tái)的導(dǎo)軌合作，所述固定裝置包括根據(jù)本發(fā)明第一方 面的安裝板和錨固裝置，所述要被鋸開的物件粘結(jié)到該安裝板上，而所述錨固裝置用來將 所述安裝板直接錨固在所述滑架上。所述支承臺(tái)是附連到鋼絲鋸裝置的切割頭內(nèi)夾緊臺(tái)的板。如此裝置有利地包括用于將要被鋸開的物件固定到支承臺(tái)上的單個(gè)安裝板，而不 是現(xiàn)有技術(shù)中的兩個(gè)相鄰板，即，組裝板和臨時(shí)板。該安裝板不能反復(fù)使用，因?yàn)殇徢袖摻z 通過要被鋸開的物件之后，鋸切鋼絲就切入到安裝板內(nèi)。通過使用僅一個(gè)安裝板來代替原 先的兩個(gè)板，就去除了使臨時(shí)板與組裝板分離的操作，這可節(jié)省時(shí)間和成本。根據(jù)鋼絲鋸裝置的一特殊結(jié)構(gòu)，安裝板包括至少一個(gè)與用來供應(yīng)流體的至少一個(gè) 裝置連接的通道。鋼絲鋸裝置其它的特征可見附后的權(quán)利要求7至11。根據(jù)第三方面，本發(fā)明涉及用鋼絲鋸切至少一個(gè)要被鋸開的物件的過程，其借助 于伸展在至少兩個(gè)鋼絲導(dǎo)向柱之間的至少一個(gè)鋼絲層，所述鋼絲層通過設(shè)置在鋼絲導(dǎo)向柱表面上的槽固定就位，所述鋼絲適于在抵靠在固定在至少一個(gè)支承臺(tái)上的至少一個(gè)要被鋸 開的物件上時(shí)作往復(fù)運(yùn)動(dòng)或連續(xù)運(yùn)動(dòng)，鋸切通過所述要被鋸開的物件和所述鋼絲層之間的 向前的相對(duì)運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)。此外，鋼絲鋸過程用根據(jù)本發(fā)明第二方面的鋼絲鋸裝置來實(shí)現(xiàn)，所 述鋼絲鋸裝置具有設(shè)置有至少一個(gè)通道的安裝板，所述鋼絲層中的鋼絲通過要被鋸開的物 件，同時(shí)形成被鋸槽分開的多個(gè)薄片。安裝板的通道可用于鋸切過程的不同步驟中的不同目的?？捎脕碜屒逑匆后w或沖 洗液體在安裝板內(nèi)循環(huán)。還可用來讓冷卻介質(zhì)或加熱介質(zhì)在安裝板內(nèi)循環(huán)。


閱讀以下對(duì)安裝板和鋼絲鋸裝置特殊實(shí)施例的詳細(xì)描述，并參照附圖，將會(huì)更好 地理解本發(fā)明，給出實(shí)施例僅是為了說明而決不是要加以限制，附圖中圖1是根據(jù)本發(fā)明的鋼絲鋸裝置的前視圖；圖2示出錨固在滑架上的安裝板的第一實(shí)施例，其為通過一平行于鋼絲鋸而垂直 于鋼絲層的平面剖切的剖視圖；圖3類似于圖2，顯示安裝板第二實(shí)施例的局部圖；圖4類似于圖2，顯示安裝板的第三實(shí)施例；圖5示出鋸切操作之前的圖2的安裝板，其為通過一平行于鋼絲鋸而垂直于鋼絲 層的平面剖切的剖視圖；圖6示出鋸切操作之后的圖5的安裝板，其為沿鋸槽的橫截面圖；圖7示出安裝板的第四實(shí)施例的第一實(shí)施方案，其為通過圖5平面A-A剖切的剖 視圖；圖8、9、10、11和12類似于圖7，分別為安裝板的第四實(shí)施例的第二、第三、第四、第
五和第六實(shí)施方案；圖13已經(jīng)描述過，其示出要被鋸開的物件如何通過現(xiàn)有技術(shù)的臨時(shí)板和組裝板 固定到支承臺(tái)上。
具體實(shí)施例方式參照?qǐng)D1，鋼絲鋸裝置1包括框架2和鋼絲導(dǎo)向柱3、4，這里是兩個(gè)導(dǎo)向柱，它們安 裝在框架2上而使其軸線互相平行，應(yīng)該理解到，本裝置可具有兩個(gè)以上的導(dǎo)向柱，例如， 四個(gè)。鋼絲6從供應(yīng)卷筒(未示出)取出，然后卷繞在鋼絲導(dǎo)向柱3、4上以在鋸切部分 內(nèi)形成至少一個(gè)平行鋼絲層7。鋼絲6然后回收在合適的裝置(未示出)內(nèi)，例如接受卷筒 或回收容器。一個(gè)或兩個(gè)要被鋸開的物件10，或者更多個(gè)物件，諸如包括硬材料的錠子等安裝 在切割頭內(nèi)的支承臺(tái)20上。由于柱8和電動(dòng)機(jī)9的緣故，支承臺(tái)20可沿Z方向垂直地移位，以使要被鋸開的 物件10壓靠在鋼絲層7上。鋼絲導(dǎo)向柱3、4的外圍刻有多個(gè)槽，它們限定鋼絲層7的相鄰鋼絲之間的間距，因 此，限定鋸開薄片的厚度。這些薄片通過鋸槽彼此分開。
在所示實(shí)施例中，鋼絲6被鋼絲導(dǎo)向柱3、4伸展開并還被導(dǎo)向和曳拉，從而作連續(xù) 運(yùn)動(dòng)或往復(fù)運(yùn)動(dòng)。鋼絲6較佳地由直徑在0. 08和0. 3mm之間的彈簧鋼構(gòu)成，特別是直徑 在0. 1和0. 2mm之間，以便鋸開硬材料塊或特別用于某些工業(yè)的更加特殊成分的材料塊，這 樣的行業(yè)如半導(dǎo)體、光電和太陽能裝置、或陶瓷的行業(yè)，這些材料諸如硅、陶瓷、III-V族和 II-VI族元素的化合物、GGG (釓-鎵石榴石)、藍(lán)寶石等，將它們鋸成厚度至少約為0. 08至 0. Imm且至多為8至15mm的薄片，例如，IOmm或12mm。研磨劑是市場產(chǎn)品，可以是金剛石、 碳化硅、氧化鋁等，它們固定在鋼絲上或自由懸浮在用作為研磨顆粒運(yùn)輸媒介的液體中。每個(gè)要被鋸開的物件10借助于膠水或水泥或任何其它粘結(jié)劑，粘結(jié)到安裝在支 承臺(tái)20上的安裝板15的粘結(jié)面152上(見圖2)?，F(xiàn)將參照?qǐng)D2描述安裝板15如何安裝到支承臺(tái)20上。這是借助于錠子夾具來實(shí) 現(xiàn)的，在所示實(shí)例中該夾具是滑架18。為此，滑架18包括側(cè)向槽22，側(cè)向槽能夠與支承臺(tái) 20的滑動(dòng)導(dǎo)軌(未示出)合作，以使所述滑架18可安裝在所述支承臺(tái)20上?；?8具 有至少兩個(gè)通孔M，它們?cè)O(shè)計(jì)成接納錨固螺釘16，如圖2右手側(cè)上所示。在一變體中，螺釘 16可具有安裝在錨固槽沈內(nèi)的錐形頭，螺母可被旋入到通孔24中的所述螺釘上。有利地 是，采用的滑架18可類似于圖13中所示的現(xiàn)有技術(shù)的滑架118。在與粘結(jié)面152相對(duì)的表面巧4上，安裝板15具有彼此平行延伸的錨固槽26，當(dāng) 安裝板15借助于滑架18安裝在支承臺(tái)20上時(shí)，所述延伸方向垂直于方向Y和Z。這些錨 固槽沈最好具有如圖2左手側(cè)上所示的梯形的剖面?；蛘撸^固槽沈具有如圖3所示的 矩形剖面。所述錨固槽沈設(shè)計(jì)成與滑塊40合作，如圖2右手側(cè)上所示?；瑝K40較佳地具有 與錨固槽沈的剖面形狀互補(bǔ)的梯形剖面。當(dāng)剖面是梯形時(shí)，實(shí)現(xiàn)了一燕尾組件?；瑝K40 可滑動(dòng)地引入到所述錨固槽沈內(nèi)，滑塊40具有螺紋孔42，螺紋孔在其面向滑架18的一側(cè) 上接納錨固螺釘16，以便將滑架18和安裝板15固定在一起?；瑝K40可重復(fù)使用。錨固槽沈在其制造過程中較佳地在安裝板15內(nèi)形成，該制造包括擠壓過程。為 此，安裝板15由可被擠壓的材料構(gòu)成。根據(jù)本發(fā)明，安裝板15由諸如陶瓷材料那樣硬而脆的材料制成。具體來說，所述 陶瓷材料可以是硅酸鹽陶瓷。更具體講它可以是陶器。這樣的材料特別地有利。由該材料制造的安裝板15實(shí)際上具有類似于現(xiàn)有技術(shù) 的臨時(shí)板的穩(wěn)定性的穩(wěn)定特性，這保證了要被鋸開的物件在鋸切之后所獲得的薄片不翹曲。此外，與玻璃相反，該材料具有這樣的優(yōu)點(diǎn)可制造出具有諸如梯形剖面的復(fù)雜剖 面的錨固槽26，同時(shí)，可用擠壓工藝過程來制造安裝板15。此外，與用諸如熱塑性材料、熱固性材料或復(fù)合材料之類的合成材料制成的現(xiàn)有 技術(shù)的臨時(shí)板相比，陶瓷材料制成的安裝板15具有價(jià)格低廉的優(yōu)點(diǎn)。而且，陶瓷材料提供 遠(yuǎn)比所述合成材料好的穩(wěn)定特性。因此，它呈現(xiàn)出能在成本有效的方式下進(jìn)行制造，更加經(jīng) 濟(jì)，并因此對(duì)最終用戶提供更佳的所有權(quán)成本的優(yōu)點(diǎn)。使用根據(jù)本發(fā)明的安裝板15，易于將要被鋸開的物件10固定到支承臺(tái)20，并易于 再從支承臺(tái)中取下。使用單個(gè)安裝板15來代替現(xiàn)有技術(shù)中的臨時(shí)板和組裝板。可取消從 組裝板上脫開臨時(shí)板的操作以及清洗組裝板的附連面的操作。
圖4示出安裝板15的第三實(shí)施例，其與圖2的第一實(shí)施例不同之處在于，它包括 單個(gè)錨固槽260，該錨固槽大于圖2的錨固槽沈，以便覆蓋基本上等同于所有這些槽所覆蓋 的區(qū)域的一個(gè)區(qū)域。所述單個(gè)錨固槽260設(shè)計(jì)成與設(shè)置有接納錨固螺釘16的螺紋孔42的 單個(gè)滑塊400合作。在圖4中，錨固槽沈0和滑塊400具有互補(bǔ)的梯形剖面，以便實(shí)現(xiàn)一個(gè) 燕尾型組件。安裝板15的設(shè)計(jì)以這樣的方式進(jìn)行該板可因錨固槽沈而顯現(xiàn)多用途。滑塊40 可簡單地適用于各種類型的滑架18。滑塊40容易地被引入安裝板15的槽沈內(nèi)，然后，安 裝板15通過錨固螺釘16固定到滑架18。現(xiàn)將參照?qǐng)D5和6來描述根據(jù)本發(fā)明的安裝板15的另一實(shí)施例。根據(jù)該實(shí)施例， 安裝板15設(shè)置有至少一個(gè)實(shí)現(xiàn)在安裝板15塊體內(nèi)的通道30。所述通道30最好在制造安 裝板15時(shí)通過擠壓工藝過程形成。在圖5所示的實(shí)例中，安裝板設(shè)置有六個(gè)具有圓形橫截面的通道30，但它們也可 以不同數(shù)量存在，并具有不同形狀的橫截面，例如，方形、橢圓形等。通道30沿基本上平行 于安裝板15的面152、154的方向延伸并對(duì)齊，這樣，當(dāng)安裝板15安裝到鋼絲鋸裝置1的支 承臺(tái)20上時(shí)，可垂直于鋼絲層7的諸鋼絲。較佳地，通道30更靠近粘結(jié)面152而不是設(shè)計(jì) 成用于將安裝板15錨固在滑架18上的表面154，所述粘結(jié)面152和所述通道30之間距離 用附圖標(biāo)記32表示。該距離32定義為粘結(jié)面152和最遠(yuǎn)離該粘結(jié)面152的通道30外圍 之間的最短距離。較佳地，所有通道30離所述粘結(jié)面距離相等。通道30允許直接地清洗和/或沖洗薄片，其作為鋼絲鋸過程的一個(gè)步驟。所述清 洗和/或沖洗步驟可以被后來的經(jīng)典的清洗所補(bǔ)充，它在鋼絲鋸裝置之外完成。它們適于 允許清洗液體和/或沖洗液體循環(huán)，這可以是從現(xiàn)有技術(shù)中知道的產(chǎn)品。沖洗液體可以簡 單地是水。根據(jù)用作為研磨劑的產(chǎn)品特性油、乙二醇…，可足以借助于沖洗液體來執(zhí)行沖洗 薄片的單一操作，或執(zhí)行兩種操作的順序首先，借助于清洗液體來清洗薄片，其次，借助于 沖洗液體來沖洗薄片。圖6示出在根據(jù)本發(fā)明的鋼絲鋸工藝過程中，在實(shí)際鋸切操作結(jié)束時(shí)的圖5的安 裝板15。在通過要被鋸開的物件10之后，這形成了被鋸槽分開的薄片，鋼絲層7的鋼絲穿 透到安裝板15內(nèi)。支承臺(tái)20和鋼絲層7之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)可調(diào)整成使鋸絲到達(dá)其中有清洗 或沖洗液體循環(huán)的通道30，并穿入到所述通道30內(nèi)。鋸絲在通道30內(nèi)形成開口 35，所述 開口 35朝向新鋸開的物件10定向。圖6示出安裝板15沿鋸槽的橫截面，揭示出安裝板15已經(jīng)被進(jìn)入到通道30內(nèi)的 間隙區(qū)域33的鋸切鋼絲切開。因此，在通道30內(nèi)循環(huán)的清洗或沖洗液體可通過開口 35流 出而流入鋸槽內(nèi)。就在合適鋸切操作結(jié)束時(shí)，清洗或沖洗液體因此流出而流入從要被鋸開 的物件10獲得的諸薄片之間的間隙內(nèi)，此時(shí)所述薄片仍彼此平行地保持在突耳上。因此， 在研磨劑毛細(xì)管效應(yīng)作用下，由鋸切過程獲得的薄片沒時(shí)間粘結(jié)在一起。通道30還可在鋸切過程的前階段時(shí)使用，以便讓冷卻流體在安裝板15內(nèi)循環(huán)。一 旦鋼絲層內(nèi)的鋼絲到達(dá)確定的鋸切深度，冷卻流體就在通道30內(nèi)循環(huán)，對(duì)要被鋸開的物件 的仍超越所述確定的鋸切深度的部分提供冷卻。冷卻流體的循環(huán)增加了通過安裝板15的 熱通量，因此，降低安裝板15和要被鋸開的物件10之間的溫度梯度。然后，減小了要被鋸開的物件10內(nèi)的熱應(yīng)力，因此限制了所述要被鋸開的物件10內(nèi)的變形和缺陷風(fēng)險(xiǎn)。所述 確定的鋸切深度取決于要被鋸開的物件10的特性和/或用于鋸切操作的研磨劑。在某些 情形中，冷卻劑的循環(huán)可在鋸切操作開始時(shí)就開始。在其它某些情形中，則可稍后才開始。通道30還可用在鋸切過程的其它階段，在清洗/沖洗仍懸掛在滑架18上的薄片 之后，以便于薄片與安裝板15的脫離。加熱流體諸如熱液體、熱空氣或氣流，可在安裝板15 的通道30內(nèi)循環(huán)，這可提高安裝板15的溫度，具體來說，提高安裝板15和其上懸掛薄片的 突耳之間接口的溫度。這又增加安裝板15的粘結(jié)面152的溫度，有助于削弱粘結(jié)劑的粘結(jié) 效果。還有可使用酸代替加熱流體，以便削弱粘結(jié)劑的粘結(jié)效果。在晶片脫離操作過程中， 脫離開的薄片被收集在接納容器11內(nèi)(見圖1)。圖7、8、9、10、11和12示出通過圖5中平面A-A的安裝板15的剖視圖，并示出所 述安裝板15內(nèi)四個(gè)通道30的結(jié)構(gòu)的六個(gè)實(shí)施方式。在圖7中，諸通道30平行，在其端部之一處與垂直于端部延伸的集管34連通，并 基本上在同一平面內(nèi)。在圖8中，諸通道30平行，在其端部的每個(gè)端部處與垂直于端部延 伸的集管34連通，并基本上在同一平面內(nèi)。每個(gè)集管34與供應(yīng)導(dǎo)管36相連，以供應(yīng)所要 求的流體。在圖9中，諸通道30平行并通向安裝板15的一側(cè)。在其端部之一處與供應(yīng)所需 要流體的集管38連通。在圖10中，諸通道30平行并通向安裝板15的相對(duì)兩側(cè)。在其端 部之每個(gè)端部處，通道與供應(yīng)所需要流體的集管38連通。每個(gè)集管38具有一個(gè)入口和四 個(gè)出口 39，各通道30的各端通過這些出口 39之一供應(yīng)以要求的流體。在圖11中，諸通道30平行。每個(gè)通道在其端部之一處與平行于它延伸的供應(yīng)導(dǎo) 管36連通，并基本上在同一平面內(nèi)。在圖12中，諸通道30平行。每個(gè)通道在其端部之每 個(gè)處與平行于它延伸的供應(yīng)導(dǎo)管36連通，并基本上在同一平面內(nèi)。根據(jù)如本發(fā)明所述的實(shí)施例，如果安裝板15不設(shè)置有通道30，則安裝板15具有 15mm或不到15mm的厚度，或如果安裝板15設(shè)置有通道30，則安裝板厚度為18mm。在后一 情形中，粘結(jié)面152和通道30之間的距離32較佳地小于6mm。在各種變體中，安裝板15可 以厚些，即為20mm或更大。應(yīng)該理解到，本發(fā)明不局限于圖中所示實(shí)施例和實(shí)施方式，而涵蓋了本技術(shù)領(lǐng)域 內(nèi)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)的各種變體。例如，支承臺(tái)20和鋼絲層7之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，可通過移動(dòng)鋼絲層7和通過所有合 適的機(jī)械、氣動(dòng)和液壓裝置，同樣很好地得以實(shí)現(xiàn)。同樣地，代替采用一個(gè)支承臺(tái)20，鋼絲鋸裝置1可具有兩個(gè)或更多個(gè)支承臺(tái)，每個(gè) 支承臺(tái)固定預(yù)定數(shù)量的錠子夾具。同樣地，安裝板15可具有不同于圖7至12中所示的通道30的網(wǎng)絡(luò)，可有不為四 個(gè)的多個(gè)通道30，但仍以所示方式定向。
權(quán)利要求
1.用于鋼絲鋸裝置(1)的安裝板(15)，其特征在于，所述安裝板通過擠壓陶瓷材料而 獲得，并在其一個(gè)表面上包括至少一個(gè)槽。
2.如權(quán)利要求1所述的安裝板(15)，其特征在于，所述槽06)具有梯形的剖面。
3.如權(quán)利要求1或2所述的安裝板(15)，其特征在于，所述安裝板包括在其兩個(gè)相對(duì) 側(cè)之間延伸的至少一個(gè)通道(30)。
4.如權(quán)利要求3所述的安裝板(15)，其特征在于，所述通道(30)形成在所述安裝板 (15)的塊體內(nèi)。
5.如權(quán)利要求3或4所述的安裝板(15)，其特征在于，所述安裝板設(shè)置有多個(gè)基本上 彼此平行的通道(30)。
6.鋼絲鋸裝置(1)，所述鋼絲鋸裝置設(shè)計(jì)成鋸切至少一個(gè)要被鋸開的物件(10)，并包 括伸展在至少兩個(gè)鋼絲導(dǎo)向柱(3、4)之間的至少一個(gè)鋼絲層(7)，所述鋼絲層(7)通過設(shè)置 在所述鋼絲導(dǎo)向柱(3、4)的表面上的槽固定就位，所述鋼絲適于在抵靠在固定在至少一個(gè) 支承臺(tái)00)上的所述至少一個(gè)要被鋸開的物件(10)上時(shí)作往復(fù)運(yùn)動(dòng)或連續(xù)運(yùn)動(dòng)，設(shè)置位 移裝置(8、9)來完成所述要被鋸開的物件(10)和所述鋼絲層(7)之間的向前的相對(duì)運(yùn)動(dòng)， 其特征在于，所述鋼絲鋸裝置包括用來將所述要被鋸開的物件(10)固定到滑架(18)上的 固定裝置(15、26、40)，所述滑架(18)適于與所述支承臺(tái)00)的導(dǎo)軌合作，所述固定裝置 (15,26,40)包括如權(quán)利要求1至5中一項(xiàng)所述的安裝板(15)和錨固裝置(洸、40)，所述要 被鋸開的物件(10)粘結(jié)到所述安裝板上，而所述錨固裝置用來將所述安裝板(15)直接錨 固在所述滑架(18)上。
7.如權(quán)利要求6所述的鋼絲鋸裝置(1)，其特征在于，所述錨固裝置(沈、40)包括至 少一個(gè)槽06)和至少一個(gè)滑塊(40)，所述槽06)形成在所述安裝板(1 內(nèi)，而所述滑塊 (40)設(shè)計(jì)成在所述槽06)內(nèi)滑動(dòng)，所述槽06)和所述滑塊00)具有互補(bǔ)的剖面。
8.如權(quán)利要求7所述的鋼絲鋸裝置(1)，其特征在于，所述滑塊GO)包括至少一個(gè)螺 紋孔(42)，所述螺紋孔設(shè)計(jì)成接納穿過所述滑架(18)的錨固螺釘(16)。
9.如權(quán)利要求6至8中任一項(xiàng)所述的鋼絲鋸裝置(1)，其特征在于，所述安裝板(15) 包括至少一個(gè)通道(30)，所述通道形成在所述安裝板塊體內(nèi)并延伸在其兩個(gè)相對(duì)側(cè)之間， 沿著垂直于所述鋼絲層(7)的鋼絲的方向延伸。
10.如權(quán)利要求9所述的鋼絲鋸裝置(1)，其特征在于，所述至少一個(gè)通道(30)靠近于 所述要被鋸開的物件(10)所粘結(jié)的所述安裝板(15)的粘結(jié)面(152)定位，以在鋼絲通過 所述要被鋸開的物件(10)之后，使鋸切鋼絲穿過所述安裝板(15)直到所述至少一個(gè)通道 (30)。
11.如權(quán)利要求9或10所述的鋼絲鋸裝置(1)，其特征在于，所述通道(30)與至少一 個(gè)用于供應(yīng)流體的供應(yīng)裝置(34、36、38、39)連接。
12.用鋼絲鋸切至少一個(gè)要被鋸開的物件(10)的過程，所述過程借助于伸展在至少兩 個(gè)鋼絲導(dǎo)向柱(3、4)之間的至少一個(gè)鋼絲層(7)，所述鋼絲層(7)通過設(shè)置在所述鋼絲導(dǎo)向 柱(3、4)的表面上的槽固定就位，所述鋼絲適于在抵靠在固定于至少一個(gè)支承臺(tái)00)上的 所述至少一個(gè)要被鋸開的物件(10)上時(shí)作往復(fù)運(yùn)動(dòng)或連續(xù)運(yùn)動(dòng)，所述鋸切通過所述要被 鋸開的物件(10)和所述鋼絲層(7)之間的向前的相對(duì)運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)，其特征在于，所述過程 用如權(quán)利要求6至11中任何一項(xiàng)所述的鋼絲鋸裝置(1)來實(shí)現(xiàn)，所述鋼絲鋸裝置具有設(shè)置有至少一個(gè)通道(30)的安裝板(15)，所述鋼絲層(7)中的鋼絲通過要被鋸開的物件(10)， 同時(shí)形成被鋸槽分開的多個(gè)薄片。
13.如權(quán)利要求12所述的過程，其特征在于，一旦所述鋼絲層(7)的鋼絲到達(dá)確定的 鋸切深度，冷卻流體就在所述至少一個(gè)通道(30)內(nèi)循環(huán)，從而對(duì)所述要被鋸開的物件(10) 的仍在所述確定鋸切深度之外的部分提供冷卻。
14.如權(quán)利要求12或13所述的過程，其特征在于，一旦所述鋼絲層(7)的鋼絲到達(dá)所 述安裝板(15)，清洗或沖洗液體就在所述至少一個(gè)通道(30)內(nèi)循環(huán)，然后，所述鋼絲層(7) 的鋼絲穿入所述安裝板(15)內(nèi)直到所述至少一個(gè)通道(30)，以使在所述通道(30)內(nèi)循環(huán) 的清洗或沖洗液體流出而進(jìn)入所述鋸槽內(nèi)。
15.如權(quán)利要求12至14中任何一項(xiàng)所述的過程，其特征在于，一旦鋸切操作完成，加熱 流體就在所述至少一個(gè)通道(30)內(nèi)循環(huán)，從而對(duì)所述安裝板(15)提供加熱，并便于所述薄 片從所述安裝板(15)脫開。
全文摘要
裝置(1)用鋼絲鋸切安裝在支承臺(tái)(20)上的要被鋸開的物件(10)，該裝置包括用來將所述要被鋸開的物件(10)固定到滑架(18)上的固定裝置(15、26、40)，滑架適于與所述支承臺(tái)(20)上的導(dǎo)軌合作，所述固定裝置(15、26、40)包括安裝板(15)和錨固裝置(26、40)，安裝板(15)適于被制造成讓所述要被鋸開的物件(10)粘結(jié)上，而錨固裝置(26、40)用于將所述安裝板(15)直接錨固到所述滑架(18)上。
文檔編號(hào)B28D5/00GK102099168SQ200980114879
公開日2011年6月15日 申請(qǐng)日期2009年2月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月23日
發(fā)明者大衛(wèi)·巴洛尼斯, 尼可拉斯·約翰·布查, 菲利普·那斯卡 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料瑞士股份有限公司