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退膜后ito薄膜方阻值的控制方法

文檔序號(hào):2014901閱讀:426來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:退膜后ito薄膜方阻值的控制方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種退膜后ITO薄膜方阻值的控制方法。
背景技術(shù)
IT0 (Indium Tin Oxides)作為納米銦錫金屬氧化物,具有很好的導(dǎo)電性和透明性, 可以切斷對(duì)人體有害的電子輻射,紫外線及遠(yuǎn)紅外線。因此,噴涂在玻璃,塑料及電子顯示 屏上后,在增強(qiáng)導(dǎo)電性和透明性的同時(shí)切斷對(duì)人體有害的電子輻射及紫外、紅外。
在ITO的退膜工藝過(guò)程中,用目前的退膜方式,固定一個(gè)參數(shù),退膜后方阻比退膜前要 增加50歐姆左右。由于原材料進(jìn)料有上下限標(biāo)準(zhǔn),如果材料在上限的話,再經(jīng)過(guò)退膜處理最 終的方阻值可能就會(huì)超差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了解決退膜后最終方阻的超差問(wèn)題以及利用退膜來(lái)控制其方阻的增 長(zhǎng)率,使原材料能通過(guò)兩次加工達(dá)到所需的預(yù)定值。
本發(fā)明的方法具體包括如下步驟 步驟一、封堵部分退膜段的噴淋; 步驟二、調(diào)節(jié)退膜段的滾輪速度; 步驟三、設(shè)定退膜藥水溫度; 步驟四、對(duì)耐酸油墨進(jìn)行沖洗退膜。
本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于使退膜從時(shí)間上進(jìn)行縮短,盡量保證在最短的時(shí)間里能使 IT0 FILM (IT0薄膜)退膜干凈,所以加快了退膜的速度并且縮短了退膜的行程。


圖l是本發(fā)明描述的退膜過(guò)程示意圖
具體實(shí)施例方式
3下面結(jié)合圖l具體描述本發(fā)明的實(shí)施方式。 實(shí)施例l
用堵頭4堵去前3排噴淋5 ,把退膜段滾輪1速度調(diào)至1819,退膜藥水溫度設(shè)定至30度, 對(duì)耐酸油墨3進(jìn)行沖洗退膜,退膜前ITO FILM 2方阻為350 Q \口,該條件下退膜后方阻升為370 ^n口,升高了20Q。
實(shí)施例2
堵去前3排噴淋,把退膜段滾輪1速度調(diào)至1819,退膜藥水溫度設(shè)定至37度,對(duì)耐酸油 墨3進(jìn)行沖洗退膜,退膜前ITO FILM 2方阻為350 0\口,該條件下退膜后方阻升為385 0\口, 升高了35Q。
實(shí)施例3
堵去前3排噴淋,把退膜段滾輪1速度調(diào)至1819,退膜藥水溫度設(shè)定至45度,對(duì)耐酸油 墨3進(jìn)行沖洗退膜,退膜前ITO FILM 2方阻為350 0\口,該條件下退膜后方阻升為400 0\口, 升高了50Q。
權(quán)利要求
1、一種退膜后ITO薄膜方阻值的控制方法,其特征在于,包括如下步驟步驟一、封堵部分退膜段的噴淋;步驟二、調(diào)節(jié)退膜段的滾輪速度;步驟三、設(shè)定退膜藥水溫度;步驟四、對(duì)耐酸油墨進(jìn)行沖洗退膜。
全文摘要
本發(fā)明的目的是為了解決退膜后最終方阻的超差問(wèn)題以及利用退膜來(lái)控制其方阻的增長(zhǎng)率,使原材料能通過(guò)兩次加工達(dá)到所需的預(yù)定值。本發(fā)明具體包括如下步驟步驟一、封堵部分退膜段的噴淋;步驟二、調(diào)節(jié)退膜段的滾輪速度;步驟三、設(shè)定退膜藥水溫度;步驟四、對(duì)耐酸油墨進(jìn)行沖洗退膜。本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于加快了退膜的速度并且縮短了退膜的行程。
文檔編號(hào)C03C17/23GK101462833SQ200710172470
公開(kāi)日2009年6月24日 申請(qǐng)日期2007年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月18日
發(fā)明者唐民超 申請(qǐng)人:上海晨興電子科技有限公司
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