專利名稱：一種加工玻璃微通路的新方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種加工玻璃微通路的新方法，主要應(yīng)用在玻璃微流控芯片和玻璃工藝品生產(chǎn)方面。
背景技術(shù)：
玻璃具有良好的光學(xué)活性，廣泛應(yīng)用在玻璃微流控芯片和玻璃工藝品生產(chǎn)方面，但因玻璃具有質(zhì)脆、熔點范圍高和化學(xué)活性差的特點，玻璃微通路加工需要生產(chǎn)設(shè)備昂貴，加工工藝十分復(fù)雜，投資成本很高。玻璃微流控芯片廣泛應(yīng)用于基因片段分離、蛋白質(zhì)分析、病毒分離等微分析領(lǐng)域，但由于以玻璃為基片加工微通路，現(xiàn)有的加工工藝十分復(fù)雜，僅限于科研院所和高校的研究領(lǐng)域，限制了玻璃芯片生產(chǎn)的規(guī)?；?br>
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是針對現(xiàn)有玻璃微通路加工技術(shù)的不足，而提供一種工藝簡單、投資少的加工玻璃微通路的新方法。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案一種加工玻璃微通路的新方法，它是以普通玻璃為基片，以凡士林油、羊毛脂復(fù)合物做掩膜來保護玻璃，用惰性細針尖部按要求圖案對附著在玻璃上的掩膜進行劃痕而露出玻璃細縫，用水、氫氟酸、氟化氨和羧甲基纖維素混合體系按比例配成腐蝕液，對玻璃露痕進行腐蝕，在玻璃表面腐蝕出微細溝痕即玻璃微通路。本發(fā)明中掩膜、腐蝕液由下述各組分并按重量份額制得(1)掩膜凡士林油75-95；羊毛脂5-25。(2)腐蝕液氫氟酸5-30；氟化氨3-20；羧甲基纖維素2-18；水30-60。
其制備方法按下述工藝步驟(1)將玻璃基片用蒸餾水洗凈、在真空干燥箱中干燥，在120℃用凡士林油、羊毛脂液態(tài)復(fù)合物在玻璃表面均勻潤濕，150℃倒放1小時后冷卻至室溫自然成膜。
(2)用不銹鋼細針尖部按要求圖案，對附著在玻璃上的掩膜進行劃痕而露出玻璃細縫。
(3)將水、羧甲基纖維素、氫氟酸和氟化氨按比例依次混合、攪拌配成腐蝕液，對玻璃露痕進行腐蝕，腐蝕時間5分鐘至60分鐘，具體時間視要求而定，在玻璃表面腐蝕出微細溝痕即玻璃微通路。
本發(fā)明解決了玻璃微通路加工需要生產(chǎn)設(shè)備昂貴，加工工藝十分復(fù)雜，投資成本很高的問題。與現(xiàn)有的加工方法相比，具有采用原料易得，加工工藝簡單，投資成本低，所用設(shè)備簡單的特點。由于其應(yīng)用范圍廣，拓寬了玻璃微流控芯片的生產(chǎn)加工領(lǐng)域，推進了玻璃芯片生產(chǎn)的規(guī)模化。
具體實施例方式實施例一本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油75g；羊毛脂5g。(2)腐蝕液氫氟酸5g；氟化氨3g；羧甲基纖維素2g；水30g。
其制備方法按下述工藝步驟(1)玻璃基片用蒸餾水洗凈、在真空干燥箱中干燥，在120℃用凡士林油、羊毛脂液態(tài)復(fù)合物在玻璃表面均勻潤濕，150℃倒放1小時后冷卻至室溫自然成膜。
(2)用不銹鋼細針尖部(直徑10μm至50μm)按要求圖案對附著在玻璃上的掩膜進行劃痕而露出玻璃細縫。
(3)將水、羧甲基纖維素、氫氟酸和氟化氨按比例依次混合、攪拌配成腐蝕液，對玻璃露痕進行腐蝕，腐蝕時間5分鐘至60分鐘，具體時間視要求而定，在玻璃表面腐蝕出微細溝痕即玻璃微通路。
實施例二本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油95g；羊毛脂25g。(2)腐蝕液氫氟酸30g；氟化氨20g；羧甲基纖維素18g；水60g。
其制備方法與實施例一相同。
實施例三本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油85g；羊毛脂15g。(2)腐蝕液氫氟酸20g；氟化氨12g；羧甲基纖維素10g；水45g。
其制備方法與實施例一相同。
實施例四本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油75g；羊毛脂25g。(2)腐蝕液氫氟酸5g；氟化氨3g；羧甲基纖維素18g；水60g。
其制備方法與實施例一相同。
實施例五本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油80g；羊毛脂22g。(2)腐蝕液氫氟酸18g；氟化氨15g；羧甲基纖維素8g；水40g。
其制備方法與實施例一相同。
實施例六本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油90g；羊毛脂20g。(2)腐蝕液氫氟酸6g；氟化氨4g；羧甲基纖維素16g；水55g。
其制備方法與實施例一相同。
實施例七本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油80g；羊毛脂16g。(2)腐蝕液氫氟酸16g；氟化氨11g；羧甲基纖維素10g；水45g。
其制備方法與實施例一相同。
實施例八本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油88g；羊毛脂12g。(2)腐蝕液氫氟酸25g；氟化氨16g；羧甲基纖維素12g；水55g。
其制備方法與實施例一相同。
實施例九本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油82g；羊毛脂23g。(2)腐蝕液氫氟酸26g；氟化氨13g；羧甲基纖維素14g；水58g。
其制備方法與實施例一相同。
權(quán)利要求
1.一種加工玻璃微通路的新方法，其特征在于它是以普通玻璃為基片，以凡士林油、羊毛脂復(fù)合物做掩膜來保護玻璃，用惰性細針尖部按要求圖案對附著在玻璃上的掩膜進行劃痕而露出玻璃細縫，用水、氫氟酸、氟化氨和羧甲基纖維素混合體系按比例配成腐蝕液，對玻璃露痕進行腐蝕，在玻璃表面腐蝕出微細溝痕即玻璃微通路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加工玻璃微通路的新方法，其特征在于所述的掩膜、腐蝕液由下述各組分并按重量份額制得，(1)掩膜凡士林油75-95、羊毛脂5-25；(2)腐蝕液氫氟酸5-30、氟化氨3-20、羧甲基纖維素2-18、水30-60。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法，其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量，(1)掩膜凡士林油75g、羊毛脂5g；(2)腐蝕液氫氟酸5g、氟化氨3g、羧甲基纖維素2g、水30g。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法，其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量，(1)掩膜凡士林油95g、羊毛脂25g；(2)腐蝕液氫氟酸30g、氟化氨20g、羧甲基纖維素18g、水60g。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法，其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量，(1)掩膜凡士林油85g、羊毛脂15g；(2)腐蝕液氫氟酸20g、氟化氨12g、羧甲基纖維素10g、水45g。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法，其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量，(1)掩膜凡士林油75g、羊毛脂25g；(2)腐蝕液氫氟酸5g、氟化氨3g、羧甲基纖維素18g、水60g。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法，其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量，(1)掩膜凡士林油80g、羊毛脂22g；(2)腐蝕液氫氟酸18g、氟化氨15g、羧甲基纖維素8g、水40g。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法，其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量，(1)掩膜凡士林油90g、羊毛脂20g；(2)腐蝕液氫氟酸6g、氟化氨4g、羧甲基纖維素16g、水55g。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法，其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量，(1)掩膜凡士林油88g、羊毛脂12g；(2)腐蝕液氫氟酸25g、氟化氨16g、羧甲基纖維素12g、水55g。
10.如權(quán)利要求1或2或3或4或5或6或7或8或9，所述的一種加工玻璃微通路的新方法，其制備方法按下述工藝步驟(1)將玻璃基片用蒸餾水洗凈，在真空干燥箱中干燥，在120℃用凡士林油、羊毛脂液態(tài)復(fù)合物在玻璃表面均勻潤濕，150℃倒放1小時后冷卻至室溫自然成膜；(2)用不銹鋼細針尖部按要求圖案，對附著在玻璃上的掩膜進行劃痕而露出玻璃細縫；(3)將水、羧甲基纖維素、氫氟酸和氟化氨按比例依次混合、攪拌配成腐蝕液，對玻璃露痕進行腐蝕，腐蝕時間5分鐘至60分鐘，具體時間視要求而定，在玻璃表面腐蝕出微細溝痕即玻璃微通路。
全文摘要
一種加工玻璃微通路的新方法，其特征在于它是以普通玻璃為基片，以凡士林油、羊毛脂復(fù)合物做掩膜來保護玻璃，用惰性細針尖部按要求圖案對附著在玻璃上的掩膜進行劃痕而露出玻璃細縫，用水、氫氟酸、氟化氨和羧甲基纖維素混合體系按比例配成腐蝕液，對玻璃露痕進行腐蝕，在玻璃表面腐蝕出微細溝痕即玻璃微通路。本發(fā)明解決了玻璃微通路加工需要生產(chǎn)設(shè)備昂貴，加工工藝十分復(fù)雜，投資成本很高的問題。與現(xiàn)有的加工方法相比，具有采用原料易得，加工工藝簡單，投資成本低，所用設(shè)備簡單的特點。由于其應(yīng)用范圍廣，拓寬了玻璃微流控芯片的生產(chǎn)加工領(lǐng)域，推進了玻璃芯片生產(chǎn)的規(guī)?；?br> 文檔編號C03C15/00GK1778748SQ20051004740
公開日2006年5月31日 申請日期2005年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月14日
發(fā)明者宋學(xué)君, 武士威, 孫挺 申請人:宋學(xué)君, 武士威, 孫挺