專利名稱:一種用于沖掃激光傳輸光學(xué)系統(tǒng)中微小顆粒的進(jìn)氣節(jié)流板裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種用于沖掃激光傳輸光學(xué)組件中顆粒物的進(jìn)氣節(jié)流板裝置,具體涉及一種用于沖掃激光傳輸光學(xué)系統(tǒng)中微小顆粒的進(jìn)氣節(jié)流板裝置。
背景技術(shù):
在激光傳輸光學(xué)組件的內(nèi)部安裝有許多具有不同功能的各種口徑的光學(xué)兀件,在激光通過(guò)的過(guò)程中,無(wú)論是小口徑的光學(xué)元件還是大口徑的光學(xué)元件,在這些光學(xué)元件的表面上的微小顆粒污染和有機(jī)物污染對(duì)激光的傳輸都會(huì)產(chǎn)生巨大的影響。僅僅通過(guò)提高光學(xué)組件內(nèi)光學(xué)元件以及這些光學(xué)元件附近的其他機(jī)械部件表面的潔凈度要求來(lái)減少組件內(nèi)部的污染,不能從根本上解決組件內(nèi)部潔凈度的問(wèn)題。目前還沒有合適的方法和裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)保持激光傳輸光學(xué)組件內(nèi)部的空氣潔凈度。綜上所述,亟需研制一種技術(shù)及時(shí)置換出光學(xué)組件內(nèi)部的微小顆粒,進(jìn)而保持光學(xué)組件內(nèi)部的空氣潔凈度。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了解決激光傳輸光學(xué)組件中微小顆粒污染和有機(jī)物污染對(duì)激光的傳輸質(zhì)量以及對(duì)光學(xué)元件損傷問(wèn)題,進(jìn)而提供一種用于沖掃激光傳輸光學(xué)系統(tǒng)中微小顆粒的進(jìn)氣節(jié)流板裝置。本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種用于沖掃激光傳輸光學(xué)系統(tǒng)中微小顆粒的進(jìn)氣節(jié)流板裝置包括沖掃進(jìn)氣口法蘭、進(jìn)氣板和沖掃進(jìn)氣節(jié)流板,所述沖掃進(jìn)氣口法蘭連接在進(jìn)氣板的中心位置上,沖掃進(jìn)氣節(jié)流板連接在進(jìn)氣板上,沖掃進(jìn)氣口法蘭和沖掃進(jìn)氣節(jié)流板分列在進(jìn)氣板的兩側(cè),沖掃進(jìn)氣節(jié)流板與進(jìn)氣 板之間形成沖掃進(jìn)氣室,沖掃進(jìn)氣節(jié)流板上開有多個(gè)節(jié)流孔,節(jié)流孔與進(jìn)氣室連通,沖掃進(jìn)氣口法蘭的進(jìn)氣口與進(jìn)氣室連通,沖掃進(jìn)氣節(jié)流板的厚度為5mm。優(yōu)選方案:沖掃進(jìn)氣節(jié)流板上的多個(gè)節(jié)流孔的排布形式為矩形陣列,在沖掃進(jìn)氣節(jié)流板的長(zhǎng)度方向上設(shè)置22列,在沖掃進(jìn)氣節(jié)流板的寬度方向上設(shè)置5行,相鄰的兩個(gè)節(jié)流孔之間的距離為20mm。優(yōu)選方案:節(jié)流孔為漏斗形,漏斗形節(jié)流孔的節(jié)流小孔直徑為0.5mm,漏斗形節(jié)流孔的漏斗狀開口角為90°,大孔直徑為9mm。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下效果:本發(fā)明提出一種用于沖掃激光傳輸光學(xué)系統(tǒng)中微小顆粒的進(jìn)氣節(jié)流板裝置氣體沖掃過(guò)程中,潔凈氣體按照特定進(jìn)氣量由沖掃進(jìn)氣口法蘭進(jìn)入,經(jīng)過(guò)進(jìn)氣板、沖掃進(jìn)氣節(jié)流板進(jìn)入沖掃進(jìn)氣室,對(duì)光學(xué)組件內(nèi)部光學(xué)元件進(jìn)行潔凈沖掃,消除了激光傳輸光學(xué)組件中微小顆粒污染和有機(jī)物污染對(duì)激光的傳輸質(zhì)量以及對(duì)光學(xué)元件損傷。
圖1是本發(fā)明的用于沖掃激光傳輸光學(xué)組件中微小顆粒的進(jìn)氣節(jié)流板裝置的總體結(jié)構(gòu)主視圖;圖2是圖1的俯視圖;圖3是圖1的后視圖;圖4是圖3的A-A剖視圖;圖5是沖掃進(jìn)氣節(jié)流板3的整體結(jié)構(gòu)主視圖;圖6是圖5的左視圖;圖7是節(jié)流孔3-1局部放大圖。
具體實(shí)施例方式具體實(shí)施方式
一:結(jié)合圖1至6說(shuō)明本實(shí)施方式,本實(shí)施方式的一種用于沖掃激光傳輸光學(xué)系統(tǒng)中微小顆粒的進(jìn)氣節(jié)流板裝置包括沖掃進(jìn)氣口法蘭1、進(jìn)氣板2和沖掃進(jìn)氣節(jié)流板3,所述沖掃進(jìn)氣口法蘭I連接在進(jìn)氣板2的中心位置上,沖掃進(jìn)氣節(jié)流板3連接在進(jìn)氣板2上,沖掃進(jìn)氣口法蘭I和沖掃進(jìn)氣節(jié)流板3分列在進(jìn)氣板2的兩側(cè),沖掃進(jìn)氣節(jié)流板3與進(jìn)氣板2之間形成沖掃進(jìn)氣室4,沖掃進(jìn)氣節(jié)流板3上開有多個(gè)節(jié)流孔3-1,節(jié)流孔3-1與進(jìn)氣室4連通,沖掃進(jìn)氣口法蘭I的進(jìn)氣口與進(jìn)氣室4連通,沖掃進(jìn)氣節(jié)流板3的厚度為5mm。
具體實(shí)施方式
二:結(jié)合圖5說(shuō)明本實(shí)施方式,本實(shí)施方式的沖掃進(jìn)氣節(jié)流板3上的多個(gè)節(jié)流孔3-1的排布形式為矩形陣列,在沖掃進(jìn)氣節(jié)流板3的長(zhǎng)度方向上設(shè)置22列,在沖掃進(jìn)氣節(jié)流板3的寬度方向上設(shè)置5行,相鄰的兩個(gè)節(jié)流孔3-1之間的距離為20mm。如此設(shè)置。潔凈氣體經(jīng)過(guò)沖掃進(jìn)氣節(jié)流板時(shí),由于節(jié)流孔具有特定形狀以及排布方式,氣體得到有效整流,有效避免了紊流,使污染物隨沖掃氣體盡快排出光學(xué)組件內(nèi)部,實(shí)現(xiàn)最優(yōu)化的沖掃效果。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
一相同。
具體實(shí)施方式
三:結(jié)合圖7說(shuō)明本實(shí)施方式,本實(shí)施方式的節(jié)流孔3-1為漏斗形,漏斗形節(jié)流孔的節(jié)流小孔直徑Φ2為0.5mm,漏斗形節(jié)流孔的漏斗狀開口角為90°,大孔直徑Φ1為9_。如此設(shè)置,如此設(shè)置。潔凈氣體經(jīng)過(guò)沖掃進(jìn)氣節(jié)流板時(shí),由于節(jié)流孔具有特定形狀以及排布方式,氣體得到有效整 流,有效避免了紊流,使污染物隨沖掃氣體盡快排出光學(xué)組件內(nèi)部,實(shí)現(xiàn)最優(yōu)化的沖掃效果。其它組成和連接關(guān)系與具體實(shí)施方式
二相同。
權(quán)利要求
1.一種用于沖掃激光傳輸光學(xué)系統(tǒng)中微小顆粒的進(jìn)氣節(jié)流板裝置,其特征在于:用于沖掃激光傳輸光學(xué)組件中微小顆粒的進(jìn)氣節(jié)流板裝置包括沖掃進(jìn)氣口法蘭(I)、進(jìn)氣板(2 )和沖掃進(jìn)氣節(jié)流板(3 ),所述沖掃進(jìn)氣口法蘭(I)連接在進(jìn)氣板(2 )的中心位置上,沖掃進(jìn)氣節(jié)流板(3)連接在進(jìn)氣板(2)上,沖掃進(jìn)氣口法蘭(I)和沖掃進(jìn)氣節(jié)流板(3)分列在進(jìn)氣板(2)的兩側(cè),沖掃進(jìn)氣節(jié)流板(3)與進(jìn)氣板(2)之間形成沖掃進(jìn)氣室(4),沖掃進(jìn)氣節(jié)流板(3)上開有多個(gè)節(jié)流孔(3-1 ),節(jié)流孔(3-1)與進(jìn)氣室(4)連通,沖掃進(jìn)氣口法蘭(I)的進(jìn)氣口與進(jìn)氣室(4)連通,沖掃進(jìn)氣節(jié)流板(3)的厚度為5mm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于沖掃激光傳輸光學(xué)系統(tǒng)中微小顆粒的進(jìn)氣節(jié)流板裝置,其特征在于:沖掃進(jìn)氣節(jié)流板(3)上的多個(gè)節(jié)流孔(3-1)的排布形式為矩形陣列,在沖掃進(jìn)氣節(jié)流板(3)的長(zhǎng)度方向上設(shè)置22列,在沖掃進(jìn)氣節(jié)流板(3)的寬度方向上設(shè)置5行,相鄰的兩個(gè)節(jié)流孔(3-1)之間的距離為20mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于沖掃激光傳輸光學(xué)系統(tǒng)中微小顆粒的進(jìn)氣節(jié)流板裝置,其特征在 于:節(jié)流孔(3-1)為漏斗形,漏斗形節(jié)流孔的節(jié)流小孔直徑Φ2為0.5mm,漏斗形節(jié)流孔的漏斗狀開口角為90°,大孔直徑Φ1為9mm。
全文摘要
一種用于沖掃激光傳輸光學(xué)系統(tǒng)中微小顆粒的進(jìn)氣節(jié)流板裝置,它涉及一種用于沖掃激光傳輸光學(xué)組件中顆粒物的進(jìn)氣節(jié)流板裝置。本發(fā)明為了解決現(xiàn)有的激光傳輸光學(xué)組件中微小顆粒污染和有機(jī)物污染對(duì)激光的傳輸質(zhì)量以及對(duì)光學(xué)元件損傷問(wèn)題。沖掃進(jìn)氣口法蘭連接在進(jìn)氣板的中心位置上,沖掃進(jìn)氣節(jié)流板連接在進(jìn)氣板上,沖掃進(jìn)氣口法蘭和沖掃進(jìn)氣節(jié)流板分列在進(jìn)氣板的兩側(cè),沖掃進(jìn)氣節(jié)流板與進(jìn)氣板之間形成沖掃進(jìn)氣室,沖掃進(jìn)氣節(jié)流板上開有多個(gè)節(jié)流孔,節(jié)流孔與進(jìn)氣室連通,沖掃進(jìn)氣口法蘭的進(jìn)氣口與進(jìn)氣室連通,沖掃進(jìn)氣節(jié)流板的厚度為5mm。本發(fā)明用于防止沖掃氣體形成紊流,保持激光傳輸光學(xué)組件內(nèi)部的空氣潔凈度。
文檔編號(hào)B08B5/02GK103230899SQ201310155809
公開日2013年8月7日 申請(qǐng)日期2013年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月28日
發(fā)明者梁迎春, 曹永智, 于福利, 盧禮華, 張慶春 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)