專利名稱：等離子清潔機(jī)及等離子清潔方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于一種等離子清潔機(jī)及等離子清潔方法，特別是有關(guān)于一種可確 認(rèn)清潔路徑的等離子清潔機(jī)及等離子清潔方法。
背景技術(shù)：
在制造顯示器(如液晶顯示器或等離子顯示器)的過(guò)程中，常使用等離子清
潔(Plasma clean)方式來(lái)進(jìn)行各種端子部或接合面的清洗，例如氧化銦錫(ITO) 電極與驅(qū)動(dòng)芯片的接合面、電路板端子以及電極部的清洗等。
目前等離子清潔機(jī)的清潔路徑?jīng)]有量化的方法，只能通過(guò)目測(cè)觀察清潔的 路徑，這存在很大誤差；且清潔設(shè)備內(nèi)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，目測(cè)觀察不易，造成清潔路 徑確認(rèn)更加困難，從而導(dǎo)致清潔調(diào)整時(shí)間過(guò)長(zhǎng)、清潔效果不佳。
請(qǐng)參見(jiàn)圖1，圖1為理想情況下的清潔機(jī)工作示意圖。以清潔液晶面板12 為例，液晶面板12包括上基板121、液晶層122和下基板123，在理想情況下， 等離子噴槍11發(fā)出的等離子火焰112需要落在下基板123的待清潔區(qū)域124 內(nèi)。請(qǐng)結(jié)合參見(jiàn)圖2A和圖2B,圖2A和圖2B分別為故障情況下的清潔機(jī)工作 示意圖。如圖2A所示，等離子火焰112太靠近液晶面板12的內(nèi)側(cè)，部分火焰 甚至落到上基板121上，導(dǎo)致清潔工作故障。如圖2B所示，等離子火焰112 落在了液晶面板12的外側(cè)，并脫離了待清潔區(qū)域124，因此將起不到應(yīng)有的 清潔功效。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明利用等離子清潔時(shí)產(chǎn)生高溫，使貼附在待清潔 物體上的感溫單元受到溫度影響而顏色發(fā)生變化，來(lái)確認(rèn)清潔路徑。
本發(fā)明的目的之一在于提供一種等離子清潔機(jī)，其包括載具、等離子噴槍、 感溫單元和調(diào)整單元。等離子噴槍籍由等離子火焰清潔由載具送達(dá)的待清潔物 體。感溫單元貼附于待清潔物體，該感溫單元沿第一方向經(jīng)過(guò)等離子噴槍時(shí)顏 色發(fā)生變化，并發(fā)出調(diào)整信號(hào)。調(diào)整單元分別連接于載具和等離子噴槍，根據(jù) 調(diào)整信號(hào)調(diào)整該等離子噴槍與該載具于第二方向的相對(duì)位置。
根據(jù)本發(fā)明，感溫單元包括帶有刻度的感溫試紙，該感溫試紙?jiān)谑艿酱笥?0攝氏度的溫度影響下顏色發(fā)生變化。調(diào)整信號(hào)是利用該感溫試紙上的刻度
而得到。等離子噴槍產(chǎn)生等離子火焰，該等離子火焰溫度大于IOO攝氏度。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種等離子清潔方法，利用等離子噴槍清潔待
清潔物體，其包含以下步驟
將感溫單元貼附在該待清潔物體上；
該感溫單元沿第 一方向經(jīng)過(guò)該等離子噴沖全時(shí)顏色發(fā)生變化，才艮據(jù)顏色變化 確認(rèn)清潔路徑；
若該清潔路徑不合格，調(diào)整該等離子噴槍與該待清潔物體于第二方向的相 對(duì)位置。
根據(jù)本發(fā)明，該感溫單元包括感溫試紙，該感溫試紙于第二方向具有刻度。 感溫試紙?jiān)谑艿酱笥?0攝氏度的溫度影響下顏色發(fā)生變化。根據(jù)感溫試紙上 的刻度調(diào)整該等離子噴槍與該待清潔物體的相對(duì)位置。待清潔物體上具有待清 潔區(qū)域，該清潔路徑不合格是指該清潔路徑不在該待清潔區(qū)域內(nèi)。將待清潔物 體放置于載具上，該待清潔物體隨該載具移動(dòng)而調(diào)整該待清潔物體與該等離子 噴槍于第二方向的相對(duì)位置。若清潔路徑合格，保持此時(shí)待清潔物體與等離子 噴槍于第二方向的相對(duì)位置，并讓該待清潔物體與該等離子噴槍沿第一方向相 向移動(dòng)，完成清潔作業(yè)。
通過(guò)本發(fā)明，可量化等離子清潔機(jī)的清潔路徑，減少調(diào)試確認(rèn)清潔路徑時(shí) 間，保證了等離子清潔的清潔效果。


圖1為為理想情況下的清潔機(jī)工作示意圖2A與圖2B分別為故障情況下的清潔機(jī)工作示意圖3為本發(fā)明的等離子清潔機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖4為本發(fā)明一實(shí)施例的感溫試紙示意圖5、圖6與圖7分別為本發(fā)明一實(shí)施例的工作原理圖8為本發(fā)明的等離子清潔方法流程圖。
具體實(shí)施例方式
為使對(duì)本發(fā)明的目的、構(gòu)造、特征、及其功能有進(jìn)一步的了解，茲配合實(shí) 施例詳細(xì)i兌明如下。
本發(fā)明提供一種等離子清潔機(jī)及等離子清潔方法，下述實(shí)施例主要針對(duì)液 晶面板端子部的清潔，但需要說(shuō)明的是，本發(fā)明并非僅限于此。請(qǐng)參見(jiàn)圖3，
5圖3為本發(fā)明的等離子清潔機(jī)30的結(jié)構(gòu)示意圖。等離子清潔機(jī)30包括載具 33和等離子噴槍31,等離子噴槍31籍由等離子清潔方式清潔由載具33送達(dá) 的待清潔物體32。等離子噴槍31產(chǎn)生等離子火焰312,在實(shí)際應(yīng)用中，等離 子火焰312溫度大于IOO攝氏度。等離子清潔機(jī)30還包括感溫單元34和調(diào)整 單元35。
感溫單元34貼附于待清潔物體32,該感溫單元34在經(jīng)過(guò)等離子噴槍31 時(shí)顏色發(fā)生變化，并發(fā)出調(diào)整信號(hào)。請(qǐng)結(jié)合圖4，圖4為本發(fā)明一實(shí)施例的感 溫試紙341示意圖。感溫單元34包括帶有刻度的感溫試紙341。在一實(shí)施例 中，感溫試紙341在受到大于80攝氏度的溫度影響下顏色發(fā)生變化。該調(diào)整 信號(hào)可以利用感溫試紙341上的刻度得到，具體原理容后詳述。需要說(shuō)明的是， 感溫單元34還可以是包括其它感溫元件，只要其在等離子火焰影響下顏色會(huì) 發(fā)生變化既可。
調(diào)整單元35分別連接于載具33和等離子噴槍31,根據(jù)該調(diào)整信號(hào)調(diào)整 等離子噴槍31與載具33的相對(duì)位置。在實(shí)際應(yīng)用中，調(diào)節(jié)單元可以于第二方 向A僅調(diào)節(jié)載具33或僅調(diào)節(jié)等離子噴槍31,也可以對(duì)二者同時(shí)調(diào)節(jié)。
請(qǐng)參見(jiàn)圖5、圖6與圖7，其分別為本發(fā)明一實(shí)施例的工作原理圖。如圖 5所示，待清潔物體為包括上基板321和下基板323的液晶面板，下基板323 上具有待清潔區(qū)域324，將帶有刻度的感溫試紙341貼附在待清潔區(qū)域324處。 在實(shí)際應(yīng)用中，可將感溫試紙341的某一刻度對(duì)應(yīng)于待清潔區(qū)域324的某一參 考位置，感溫試紙341的數(shù)量和大小并無(wú)限制。
結(jié)合圖3與圖6所示，當(dāng)待清潔物體32沿第一方向X朝等離子噴槍31 作直線移動(dòng)，等離子火焰312沿清潔路徑311經(jīng)過(guò)待清潔區(qū)域324時(shí)，感溫試 紙341上與清潔路徑311重疊的區(qū)域342會(huì)因?yàn)楦邷囟l(fā)生顏色變化。如圖6 中的斜紋陰影區(qū)域，該區(qū)域342正好與待清潔區(qū)域324重合，則說(shuō)明此時(shí)等離 子火焰312的清潔路徑311是合格的。保持此時(shí)待清潔物體32于第二方向A 相對(duì)等離子噴槍31的位置，使待清潔物體32沿第一方向X直線移動(dòng)，即可完 成清潔作業(yè)。在另一實(shí)施例中，也可以是僅沿第一方向X移動(dòng)等離子噴槍31 而固定待清潔物體32,或者是兩者同時(shí)相向移動(dòng)，其原理與上相同，在此不 再贅述。
結(jié)合圖3與圖7所示，當(dāng)?shù)入x子火焰312沿清潔路徑311，經(jīng)過(guò)待清潔區(qū) 域324時(shí)，感溫試紙341上與清潔路徑311，重疊的區(qū)域342'會(huì)因?yàn)楦邷囟l(fā)生顏色變化。如圖7中的斜紋陰影區(qū)域，該區(qū)域342與待清潔區(qū)域324不重 合，則說(shuō)明此時(shí)等離子火焰312的清潔路徑311，是不合格的。清潔路徑311， 在第二方向A上與待清潔區(qū)域324的距離參數(shù)可通過(guò)感溫試紙341上的刻度觀 測(cè)得到，并作為調(diào)整信號(hào)輸送給調(diào)整單元35。在一實(shí)施例中，調(diào)整信號(hào)可基 于攝像機(jī)抓取感溫試紙341上的刻度值來(lái)得到。
請(qǐng)參見(jiàn)圖8,圖8為本發(fā)明的等離子清潔方法流程圖。該等離子清潔方法 利用等離子噴槍31清潔待清潔物體32，其包含以下步驟
S801,將感溫單元34貼附在待清潔物體32上。感溫單元34包括感溫試 紙341,感溫試紙341于第二方向A具有刻度。感溫試紙341在受到大于80 攝氏度的溫度影響下顏色發(fā)生變化。
S803,該感溫單元34沿第一方向X經(jīng)過(guò)等離子噴槍31時(shí)顏色發(fā)生變化， 根據(jù)顏色變化確認(rèn)清潔路徑。
S805，判別該清潔路徑是否合格？
S807，若清潔路徑不合格，調(diào)整該等離子噴槍31與該待清潔物體32于第 二方向A的相對(duì)位置。待清潔物體32上具有待清潔區(qū)域324，清潔路徑不合 格是指該清潔路徑不在該待清潔區(qū)域324內(nèi)。
該等離子清潔方法還包括根據(jù)感溫試紙341上的刻度來(lái)調(diào)整等離子噴槍 31與待清潔物體32于第二方向A的相對(duì)位置。待清潔物體32可以放置于載 具33上，該待清潔物體32隨該載具33移動(dòng)而調(diào)整該待清潔物體32與該等離 子噴槍31于第二方向A的相對(duì)位置。在實(shí)際應(yīng)用中，第一方向X和第二方向 A可以一目互垂直。
S809，若清潔路徑合格，也即該清潔路徑與該待清潔區(qū)域324重合，則正 式開始等離子清潔作業(yè)。
利用本發(fā)明，可量化等離子清潔機(jī)的清潔路徑，減少調(diào)試確認(rèn)清潔路徑時(shí) 間，保證了等離子清潔的清潔效果。與傳統(tǒng)的目測(cè)方式相比，還可杜絕目測(cè)時(shí) 等離子火焰對(duì)人體眼睛的傷害。
本發(fā)明已由上述相關(guān)實(shí)施例加以描述，然而上述實(shí)施例-f義為實(shí)施本發(fā)明的 范例。必需指出的是，已揭露的實(shí)施例并未限制本發(fā)明的范圍。相反地，在 不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)所作的更動(dòng)與潤(rùn)飾，均屬本發(fā)明的專利保 護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1. 一種等離子清潔機(jī)，包括載具和等離子噴槍，該等離子噴槍籍由等離子火焰清潔由該載具送達(dá)的待清潔物體，其特征在于該等離子清潔機(jī)還包括感溫單元，貼附于該待清潔物體，該感溫單元沿第一方向經(jīng)過(guò)該等離子噴槍時(shí)顏色發(fā)生變化，并發(fā)出調(diào)整信號(hào)；調(diào)整單元，分別連接于該載具和該等離子噴槍，根據(jù)該調(diào)整信號(hào)調(diào)整該等離子噴槍與該載具于第二方向的相對(duì)位置。
2. 如權(quán)利要求1所述的等離子清潔機(jī)，其特征在于該感溫單元包括帶有刻 度的感溫試紙，該感溫試紙?jiān)谑艿酱笥?0攝氏度的溫度影響下顏色發(fā)生 變化。
3. 如權(quán)利要求2所述的等離子清潔機(jī)，其特征在于該調(diào)整信號(hào)是利用該感 溫試紙上的刻度而得到。
4. 如權(quán)利要求1所述的等離子清潔機(jī)，其特征在于該等離子火焰溫度大于 IOO攝氏度。
5. —種等離子清潔方法，利用等離子噴槍清潔待清潔物體，其特征在于包含 以下步驟將感溫單元貼附于該待清潔物體；該感溫單元沿第 一方向經(jīng)過(guò)該等離子噴槍時(shí)顏色發(fā)生變化，根據(jù)顏色 變化確認(rèn)清潔路徑；若該清潔路徑不合格,調(diào)整該等離子噴槍與該待清潔物體于第二方向 的相對(duì)位置。
6. 如權(quán)利要求5所述的等離子清潔方法，其特征在于該感溫單元包括感溫 試紙，該感溫試紙于該第二方向具有刻度。
7. 如權(quán)利要求6所述的等離子清潔方法，其特征在于還包括才艮據(jù)該刻度調(diào) 整該等離子噴槍與該待清潔物體于該第二方向的相對(duì)位置。
8. 如權(quán)利要求5所述的等離子清潔方法，其特征在于還包括若清潔路徑合 格，保持此時(shí)該待清潔物體與該等離子噴槍于該第二方向的相對(duì)位置，并 讓該待清潔物體與該等離子噴槍沿該第一方向相向移動(dòng)，完成清潔作業(yè)。
9. 如權(quán)利要求5所述的等離子清潔方法，其特征在于該待清潔物體上具有 待清潔區(qū)域，該清潔路徑不合格是指該清潔路徑不在該待清潔區(qū)域內(nèi)。
10. 如權(quán)利要求5所述的等離子清潔方法，其特征在于還包括將該待清 潔物體放置于載具上，該待清潔物體隨該載具移動(dòng)而調(diào)整該待清潔物體與 該等離子噴槍于該第二方向的相對(duì)位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種等離子清潔機(jī)及等離子清潔方法，該等離子清潔機(jī)包括載具、等離子噴槍、感溫單元和調(diào)整單元。等離子噴槍籍由等離子火焰清潔由載具送達(dá)的待清潔物體。感溫單元貼附于該待清潔物體，該感溫單元沿第一方向經(jīng)過(guò)等離子噴槍時(shí)顏色發(fā)生變化，并發(fā)出調(diào)整信號(hào)。調(diào)整單元分別連接于載具和等離子噴槍，根據(jù)該調(diào)整信號(hào)調(diào)整該等離子噴槍與該載具于第二方向的相對(duì)位置。本發(fā)明可量化清潔路徑，減少調(diào)試確認(rèn)清潔路徑時(shí)間，保證了等離子清潔的清潔效果。
文檔編號(hào)B08B7/00GK101474627SQ20091000286
公開日2009年7月8日 申請(qǐng)日期2009年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月20日
發(fā)明者趙卿敏 申請(qǐng)人:友達(dá)光電(廈門)有限公司;友達(dá)光電股份有限公司