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除塵輸送裝置的制作方法

文檔序號:1557115閱讀:228來源:國知局
專利名稱:除塵輸送裝置的制作方法
技術領域
本發(fā)明涉及一種除塵輸送裝置,特別是一種供液晶顯示器玻璃基板使用 的除塵輸送裝置。
背景技術
液晶顯示器(Liquid Crystal Display, LCD)廣泛應用在電腦、電視及行 動電話等各種電子產(chǎn)品上。液晶顯示器的玻璃基板是液晶顯示器重要組成組 件之一。除了平整度外,液晶顯示器玻璃基板的潔凈度亦直接影響液晶顯示 器制造的成本與合格率。
制造液晶顯示器會經(jīng)過如氣相薄膜沉積、曝光、顯影、蝕刻等多道工藝, 各個工藝通常在個別獨立的區(qū)間中進行。因此,玻璃基板需要在各個工藝的 區(qū)間之間進行輸送作業(yè)。
如圖1所示,在現(xiàn)有技術中,基板200由滾輪101組成的輸送帶100輸 送。在輸送的過程中,大多會以氣體吹拂基板200的表面,以此將附著于基 板200表面的塵屑揚起,并帶離基板200表面。然而,離開基板200表面的 塵屑并未真正被移除,而是散布在空氣當中,有可能落下而再度附著于基板 200表面。以上所述現(xiàn)有輸送基板200的設計有改進的空間。

發(fā)明內容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種除塵輸送裝置,可在液晶顯示器玻璃基 板于工藝間的輸送過程中,減少附著于基板表面的塵屑,以提高整體的生產(chǎn) 效率。
本發(fā)明的除塵輸送裝置包含輸送帶、上蓋板、上氣體吹氣裝置以及下蓋 板。輸送帶可沿輸送方向輸送基板。上蓋板設置于輸送帶上方,且具有上蓋 板內表面。上蓋板內表面設置于上蓋板相對于輸送帶的一側,上蓋板內表面 設置有上黏著層。上氣體吹氣裝置設置于上蓋板相對于輸送帶的一側。下蓋板設置于輸送帶下方,且具有下蓋板內表面,下蓋板內表面設置于下蓋板相 對于輸送帶的一側,下蓋板內表面設置有下黏著層。
本發(fā)明的實施例中,輸送帶包含多個滾輪,所述滾輪以可主動轉動的方 式沿輸送方向輸送基板。滾輪還具有除塵滾輪,除塵滾輪的表面具有滾輪黏 種層。滾輪還包含第一滾輪組及第二滾輪組。其中,第一滾輪組及第二滾輪 組以垂直于輸送方向具有第一高度差的方式設置。
上氣體吹氣裝置包含吹氣槍,吹氣槍的吹氣角度可進一步隨基板于輸送 帶上的移動而改變。除塵輸送裝置還包含上氣體抽氣裝置,上氣體抽氣裝置 設置于上氣體吹氣裝置的兩側。除塵輸送裝置還包含下氣體吹氣裝置,下氣 體吹氣裝置設置于下蓋板相對于輸送帶的一側。下氣體吹氣裝置包含吹氣 孔。除塵輸送裝置還包含下氣體抽氣裝置,下氣體抽氣裝置設置于下蓋板相 對于輸送帶的一側。下氣體抽氣裝置包含抽氣孔。
除塵輸送裝置還包含除塵裝置,除塵裝置相對于除塵滾輪設置,用以去 除黏著于滾輪黏著層的塵屑。除塵裝置包含毛刷,其設置于除塵滾輪下方, 且與滾輪黏著層接觸。
下蓋板還具有第一下蓋板部及第二下蓋板部。第一下蓋板部及第二下蓋 板部以垂直于輸送方向具有第二高度差的方式設置,用以改變上吹氣裝置吹 出的氣體于上蓋板與該下蓋板間形成的氣體流場。第一下蓋板部包含設置于 第二下蓋板部兩側,且以第二高度差高于第二下蓋板。
本發(fā)明的有益技術效果在于,本發(fā)明的除塵輸送裝置可在液晶顯示器玻 璃基板于工藝間的輸送過程中,減少附著于基板表面的塵屑,以提高整體的 生產(chǎn)效率。


圖1為現(xiàn)有技術示意圖2a為本發(fā)明較佳實施例示意圖2b為本發(fā)明具有不同設置的輸送帶的實施例示意圖3a至圖3i為本發(fā)明中吹氣槍調整角度的實施例動作示意圖4為本發(fā)明具有不同設置的下蓋板的實施例示意圖5a為本發(fā)明還具有上抽氣裝置及下抽氣裝置的實施例示意圖;圖5b為本發(fā)明還具有上抽氣裝置及下抽氣裝置的氣體流場的實施例示 總閣;
其中,附圖標記說明如下 100輸送帶 101a第一滾輪組 102履帶
1011a滾輪黏著層 201塵屑
310上蓋板內表面 400輸送方向 500上氣體吹氣裝 502第二吹氣槍 520下氣體吹氣裝 620下氣體抽氣裝 710下蓋板內表面 720第一下蓋板部 800除塵輸送裝置 山第一高度差 L基板長度
e,第一吹氣角度
03第三吹氣角度
具體實施例方式
本發(fā)明提供一種除塵輸送裝置。以較佳實施例而言,此除塵輸送裝置供 輸送液晶顯示器玻璃基板使用??稍谝壕э@示器玻璃基板于工藝間的輸送過 程中,減少附著于基板表面的塵屑,以提高整體的生產(chǎn)效率。然而在不同實 施例中,此除塵輸送裝置亦可供輸送其它需避免塵屑附著的電子產(chǎn)品的基板 使用。
如圖2a所示的較佳實施例,本發(fā)明的除塵輸送裝置800包含輸送帶100、 上蓋板300、上氣體吹氣裝置500以及下蓋板700。輸送帶100可沿輸送方
101滾輪 101b第二滾輪組 1011除塵滾輪 200基板 300上蓋板 311上黏著層 402轉動方向 501第一吹氣槍 503第三吹氣槍 610上氣體抽氣裝置 700下蓋板 711下黏著層 740第二下蓋板部 900除塵裝置 <12第二高度差
e吹氣角度
02第二吹氣角度向400輸送基板200。在此較佳實施例中,輸送帶100包含多個滾輪101, 滾輪101以可主動轉動的方式沿輸送方向400輸送基板200。具體而言,輸 送帶100如圖2a所示由多個滾輪101所組成。其中,各個滾輪101沿轉動 方向402主動轉動,進而帶動基板200往輸送方向400前進。然而在如圖2b 所示的不同實施例中,輸送帶100可以為履帶裝置,并通過履帶102帶動基 板200往輸送方向400前進。
如圖2a所示的較佳實施例,上蓋板300設置于輸送帶100上方,其具 有上蓋板內表面310。上蓋板內表面310設置于上蓋板300相對于輸送帶100 的一側。上蓋板內表面310設置有上黏著層311。下蓋板700設置于輸送帶 100下方,其具有卞蓋板內表面710。下蓋板內表面710設置于下蓋板700 相對于輸送帶100的一側。下蓋板內表面710設置有下黏著層711,上黏著 層311及下黏著層711較佳的分別為氰酸脂基化合物等感壓黏著物,可以通 過黏性黏附塵屑。然而在不同實施例中,上黏著層311及下黏著層711分別 可帶有靜電,并通過靜電吸附塵屑。
如圖2a所示的較佳實施例,上氣體吹氣裝置500設置于上蓋板300相 對于輸送帶100的一側。在此較佳實施例中,上氣體吹氣裝置500為吹氣槍。 其中,吹出的氣體流速較佳但不限為2000±300mm/min。然而在如圖2b所 示的不同實施例中,上氣體吹氣裝置500包含吹氣孔。
.進一步說明本發(fā)明除塵輸送裝置800的作用方式。如圖2a所示的較佳 實施例,當基板200由左方進入除塵輸送裝置800后,會通過構成輸送帶100 的滾輪101沿轉動方向402的主動轉動帶動而往輸送方向400移動。在基板 200的移動過程當中,上氣體吹氣裝置500吹出的氣體可將塵屑201帶離基 板200的表面,并游移于上蓋板300與下蓋板700之間。當游移的塵屑201 碰觸到上蓋板300的上黏著層311或下蓋板700的下黏著層711時,會受到 黏力或靜電力等的作用而黏附在上黏著層311或下黏著層711上。以此,可 在基板200于工藝間的輸送過程中,減少附著于基板200表面的塵屑,進一 步增加產(chǎn)品合格率,提髙整體的生產(chǎn)效率。
如圖2a所示的較佳實施例,構成輸送帶100的滾輪101還具有除塵滾 輪IOII,除塵滾輪1011.的表面具有滾輪黏著層1011a。其中,經(jīng)由上氣體 吹氣裝置500吹出的氣體帶離基板200表面的塵屑201,除了可以黏附于上黏著層311或下黏著層711夕卜,若觸碰至滾輪黏著層1011a,亦可黏附于滾 輪黏著層1011a。以此,可增加本發(fā)明除塵輸送裝顰800的除塵效果。在較 佳實施例中,除塵輸送裝置800還包含除塵裝置900,其相對于除塵滾輪1011 設置,用以去除黏著于滾輪黏著層1011a的塵屑201。除塵裝置卯O較佳為 毛刷,設置于除塵滾輪1011的下方,且與滾輪黏著層.1011a接觸。
如圖3a至圖3i所示,作為上氣體吹氣裝置500的吹氣槍的吹氣角度可 進--步隨基板200于輸送帶IOO上的移動而改變。其中,第一吹氣槍501、 第二吹氣槍502及第三吹氣槍503的吹氣角度0的改變范圍較佳但不限分別 為0至卯。、0至180°及0至90°。第一吹氣槍501、第二吹氣槍502及第三 吹氣槍503間的距離較佳但不限為基板200的基板長度L的1.5倍。
以下進一步說明在較佳實施例中,吹氣槍的吹氣角度隨基板200于輸送 帶100上的移動而改變的狀況。如圖3a所示,當基板200距離第一吹氣槍 501正下方2倍于基板長度L時,第一吹氣槍501、第二吹氣槍502及第三 吹氣槍503均在吹氣角度e為-180。的位置,且均為無吹氣狀態(tài)。如圖3b所 示,當基板200移動至距離第一吹氣槍501正下方1倍于基板長度L時,第 二吹氣槍502及第三吹氣槍503維持位置在吹氣角度0為-180°且均為無吹氣 的狀態(tài)。第一吹氣槍501則調整其第一吹氣角度e,成-135。土10。,以此使吹 出的氣體較直接地吹向基板200的表面。其中,第一吹氣槍501吹出的氣體 流速較佳為2000±300mm/min。
如圖3c所示,當基板200移動至其右側邊緣接近第一吹氣槍501的下 方時,第二吹氣槍502及第三吹氣槍503維持位置在吹氣角度6為-180°且 均為無吹氣的狀態(tài)。第一吹氣槍501則調整其第一吹氣角度6,成-90。土10。。 其中,第一吹氣槍501吹出的氣體流速較佳為2000±300mm/min。
如圖3d所示,當基板200移動至位于第一吹氣槍501的下方時,第三 吹氣槍503維持位置在吹氣角度0為-180°且為無吹氣的狀態(tài)。第一吹氣槍 501將其第一吹氣角度e,自-90°±10°調整回到-135°±10。,而第二吹氣槍502 則調整其第二吹氣角度02成-135°±10°。其中,第一吹氣槍501及第二吹氣 槍502吹出的氣體流速較佳為2000±300mm/min。
如圖3e所示,當基板200移動至其右側接近第二吹氣槍502的下方時, 第三吹氣槍503維持位置在吹氣角度0為-180°且為無吹氣的狀態(tài)。第一吹氣槍501將其第一吹氣角度et自-135°±10°調整回到-180°,并且在下一片基板 200進入前,保持無吹氣狀態(tài)。第二吹氣槍502則調整其第二吹氣角度02成 -90°±10°。其中,第二吹氣槍502吹出的氣體流速較佳為2000士300mm/min。
如圖3f所示,當基板200移動至其右側邊緣位于第二吹氣槍502及第三 吹氣槍503的兩個吹氣槍下方的中間時,第一吹氣槍501維持位置在吹氣角 度0為-180°且為無吹氣的狀態(tài)。第二吹氣槍502將其第二吹氣角度02調整 至-45°±10°,而第三吹氣槍503則調整其第三吹氣角度03成-135°±10°。其中, 第二吹氣槍502及第三吹氣槍503吹出的氣體流速較佳為2000±300mm/min。
如圖3g所示,當基板200移動至其右側邊緣位于第三吹氣槍503的正 下方時,第一吹氣槍501維持位置在吹氣角度0為-180°且為無吹氣的狀態(tài)。 第二吹氣槍502將其第二吹氣角度02調整至0°,第三吹氣槍503則調整其第 三吹氣角度03成-卯°±10°。其中,第二吹氣槍502及第三吹氣槍503吹出的 氣體流速較佳為2000 ± 300mm/min。
如圖3h所示,當基板200移動至其左側位于第三吹氣槍503的下方時, 第一吹氣槍501維持位置在吹氣角度0為-180°且為無吹氣的狀態(tài)。第二吹氣 槍502維持位置在其第二吹氣角度02為0。。第三吹氣槍503則將其第三吹氣 角度03自-卯°±10。調整回到-135°±10°。其中,第二吹氣槍502及第三吹氣槍 503吹出的氣體流速較佳為2000±300mm/min。
如圖3i所示,當基板200持續(xù)往右移動離開第三吹氣槍503的下方時, 第一吹氣槍501維持位置在吹氣角度9為-180°,第二吹氣槍502將其第二吹 氣角度62自0調整回到-180°,第三吹氣槍503則將及第三吹氣角度93自 -135°±10。調整回到-180?!?0°。在下一片基板200進入前,第一吹氣槍501、 第二吹氣槍502及第三吹氣槍503均保持無吹氣狀態(tài)。通過以上第一吹氣槍 501、第二吹氣槍502及第三吹氣槍503的吹氣角度隨基板200移動位置的 調整,可使吹出的氣體較直接地吹向基板200的表面,以此提高將塵屑201 自基板200表面帶離的效果。
在此特別聲明,上述所述的方向以附圖所示為方便說明,實際方向應參 考基板與吹氣槍的相對位置。
如圖4所示,在不同實施例中,滾輪101還包含第一滾輪組101a及第 二滾輪組101b。其中,第一滾輪組101a及第二滾輪組101b以垂直于輸送方向400具有第一高度差d,的方式設置。通過此第一高度差d,,可使基板200 在輸送過程中產(chǎn)生震動,令塵屑20.1更易自基板200的表面脫離。具體而言, 如圖4所示,基板200沿輸送方向400往右方移動,當基板通過第一滾輪組 101a與第二滾輪組101b的交界處時;會因為第一高度差d,的落差而使得基 板200自然產(chǎn)生震動,進而利用慣性作用使表面的塵屑201脫離。
如圖4所示,在不同實施例中,下蓋板700還具有第一下蓋板部720及 第二下蓋板部740。第一下蓋板部720及第二下蓋板部740以垂直于輸送方 向400具有第二高度差d2的方式設置,用以改變上吹氣裝置500吹出的氣體 在上蓋板300與該下蓋板700間形成的氣體流場。具體而言,如圖4所示, 第—'下蓋板部720包含設置于第二下蓋板部740兩側,且以第二高度差d2 高于第二下蓋板。由于氣體流場會因空間變動而改變,通過調整第一下蓋板 部720的寬度及第二高度差d2,即可改變上吹氣裝置500吹出的氣體在上蓋 板300與該下蓋板700間形成的氣體流場。
如圖5a及圖5b所示,在不同實施例中,除塵輸送裝置800還包含上氣 體抽氣裝置610。其中,上氣體抽氣裝置610較佳但不限設置于上氣體吹氣 裝置500的兩側。上氣體抽氣裝置610包含抽氣孔。通過上氣體抽氣裝置610 于兩側的設置,可使由上氣體吹氣裝置500吹出的氣體如圖5b所示往兩側 前進,進一步形成特定的氣體流場。.
如圖5a及圖5b所示,在不同實施例中,除塵輸送裝置800還包含下氣 體吹氣裝置520,其設置于下蓋板700相對于輸送帶100的一側。下氣體吹 氣裝置520包含吹氣孔。除塵輸送裝置800還包含下氣體抽氣裝置620,其 設置于下蓋板700相對于輸送帶100的一側。其中,下氣體抽氣裝置620較 佳但不限設置于下氣體吹氣裝置520的兩側。下氣體抽氣裝置620包含抽氣 孔。通過下氣體吹氣裝置520的設置,可提高對附著在基板200的下表面的 塵屑201的移除效果。
雖然本發(fā)明已以較佳賣施例披露如上,然而其并非用以限定本發(fā)明;任 何熟悉此項技術的人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內,可作各種更動與 潤飾,因此本發(fā)明的保護范圍應視所附的權利要求書所界定的范圍為準。
權利要求
1. 一種除塵輸送裝置包含一輸送帶,可沿一輸送方向輸送一基板;一上蓋板,設置于該輸送帶上方,且具有一上蓋板內表面,該上蓋板內表面沒置于該上蓋板相對于該輸送帶的一側,該上蓋板內表面設置有一上黏著層;一上氣體吹氣裝置,該上氣體吹氣裝置設置于該上蓋板相對于該輸送帶的一側;以及一下蓋板,設置于該輸送帶下方,且具有一下蓋板內表面,該下蓋板內表面設置于該下蓋板相對于該輸送帶的一側,該下蓋板內表面設置有一下黏著層。
2. 如權利要求1所述的除塵輸送裝置,其中該輸送帶包含多個滾輪,所 述滾輪以可主動轉動的方式沿該輸送方向輸送該基板。
3. 如權利要求2所述的除塵輸送裝置,其中該滾輪還具有除塵滾輪,該 除塵滾輪的表面具有滾輪黏著層。
4. 如權利要求2所述的除塵輸送裝置,其中所述多個滾輪還包含一第一 滾輪組及一第二滾輪組,其中該第一滾輪組及該第二滾輪組以垂直于該輸送 方向具有一第一高度差的方式設置。
5. 如權利要求1所述的除塵輸送裝置,其中該上氣體吹氣裝置包含吹氣 槍,其中該吹氣槍的吹氣角度可進一步隨該基板于該輸送帶上的移動而改 變。
6. 如權利要求1所述的除塵輸送裝置,該除塵輸送裝置還包含一上氣體 抽氣裝置,該上氣體抽氣裝置設置于該上氣體吹氣裝置的兩側。
7. 如權利要求1所述的除塵輸送裝置,該除塵輸送裝置還包含一下氣體 吹氣裝置,.該下氣體吹氣裝置設置于該下蓋板相對于該輸送帶的一側,其中 該下氣體吹氣裝置包含吹氣孔。
8. 如權利要求1所述的除塵輸送裝置,該除塵輸送裝置還包含一下氣體 抽氣裝置,該下氣體抽氣裝置設置于該下蓋板相對于該輸送帶的一側,其中 該下氣體抽氣裝置包含抽氣孔。
9. 如權利要求3所述的除塵輸送裝置,該除塵輸送裝置還包含一除塵裝 置,該除塵裝置相對于該除塵滾輪設置,用以去除黏著于該滾輪黏著層的塵 屑。
10. 如權利要求9所述的除塵輸送裝置,其中該除塵裝置包含毛刷,且設 置于該除塵滾輪下方,且與該滾輪黏著層接觸。
11. 如權利要求1所述的除塵輸送裝置,其中該下蓋板還具有一第一下蓋 板部及一第二下蓋板部,其中該第一下蓋板部及該第二下蓋板部以垂直于該 輸送方向具有一第二高度差的方式設置,用以改變該上吹氣裝置吹出的氣體 于該上蓋板與該下蓋板間形成的氣體流場。
12. 如權利要求11所述的除塵輸送裝置,其中該第一下蓋板部包含設置 于該第二下蓋板部兩側,且以該第二高度差髙于該第二下蓋板。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種除塵輸送裝置,其包含輸送帶、上蓋板、上氣體吹氣裝置以及下蓋板。輸送帶可沿輸送方向輸送基板。上蓋板設置于輸送帶上方,且具有上蓋板內表面,上蓋板內表面設置于上蓋板相對于輸送帶的一側,上蓋板內表面設置有上黏著層。上氣體吹氣裝置設置于上蓋板相對于輸送帶的一側。下蓋板設置于輸送帶下方,且具有下蓋板內表面,下蓋板內表面設置于下蓋板相對于輸送帶的一側,下蓋板內表面設置有下黏著層。本發(fā)明的除塵輸送裝置可在液晶顯示器玻璃基板于工藝間的輸送過程中,減少附著于基板表面的塵屑,以提高整體的生產(chǎn)效率。
文檔編號B08B7/00GK101284604SQ20081010790
公開日2008年10月15日 申請日期2008年5月21日 優(yōu)先權日2008年5月21日
發(fā)明者施宏偉, 蕭鴻裕 申請人:友達光電股份有限公司
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