專(zhuān)利名稱(chēng)：紫外線(xiàn)表面處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是關(guān)于一種紫外線(xiàn)表面處理裝置，尤其是指一種具有循環(huán)冷卻系統(tǒng)的紫外線(xiàn)表面處理裝置。
背景技術(shù)：
一般地，需要提高成品率的半導(dǎo)體器件、液晶顯示元件、光學(xué)制品的制造中，需要對(duì)其表面進(jìn)行清洗以去除工件表面的污漬及改善其表面的接著性、附著性。傳統(tǒng)的技術(shù)使用濕法清洗，在工作的表面施以藥液使其與工作表面的污漬發(fā)生反應(yīng)，在這樣的傳統(tǒng)工藝下，在其反應(yīng)后需要對(duì)工作表面的藥液殘留物進(jìn)行清洗。在清洗的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生新的污染。在此基礎(chǔ)上產(chǎn)生了干法光表面的處理技術(shù)。近年來(lái)由于大功率超高出力低氣壓UV放電管開(kāi)發(fā)的進(jìn)展，以及隨著微電子等產(chǎn)品的超微細(xì)化，在微電子、超精密器件等產(chǎn)品的制造過(guò)程中，由短波長(zhǎng)紫外線(xiàn)及其產(chǎn)生的臭氧對(duì)其產(chǎn)品的表面進(jìn)行超精密清洗或改善其表面的接著性、附著性的干式光表面處理技術(shù)的實(shí)用化進(jìn)展得很快。作為氟里昂的替代技術(shù)，光表面清洗技術(shù)將逐漸代替濕法的清洗技術(shù)。
然而，在現(xiàn)有的干法清洗中，依然存在以下問(wèn)題l、UV的照度小，不能集中大量的紫外線(xiàn)進(jìn)行表面清洗。
2、臭氧濃度低，無(wú)法充分發(fā)揮臭氧的超強(qiáng)氧化作用。
3、臭氧分布不均，對(duì)表面清洗的效果不均勻。
4、發(fā)熱溫度高對(duì)處理對(duì)象產(chǎn)生影響。
5、臭氧排出量大，排出后要考慮對(duì)周?chē)藛T環(huán)境產(chǎn)生的不利影響，有時(shí)甚至需要用活性碳等措施來(lái)消除。
因此，需要研制一種能夠克服以上缺點(diǎn)，有效對(duì)物品表面進(jìn)行清洗同時(shí)也能改善其表面接著性、附著性的清洗設(shè)置為當(dāng)前業(yè)界所急需。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種紫外線(xiàn)表面處理裝置，由于該裝置具備紫外線(xiàn)表面處理基本特性，故可用在廣泛的紫外線(xiàn)表面處理中。
為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種紫外線(xiàn)表面處理裝置，其包括有主殼體、照射室、設(shè)于照射室內(nèi)用以發(fā)射紫外線(xiàn)的放電管、放電管下方具有放置需要處理的物品的工作臺(tái)，其特征在于主殼體上開(kāi)設(shè)有出氣口和進(jìn)氣口，且出氣口與進(jìn)氣口之間通過(guò)導(dǎo)管串接抽氣泵和冷卻裝置，從而將照射室內(nèi)空氣抽出冷卻并重新導(dǎo)入主殼體內(nèi)。該放電管可以發(fā)出波長(zhǎng)低于280NM的紫外線(xiàn)。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于采用冷卻裝置，進(jìn)而使得臭氧可在冷卻后再進(jìn)入照射室，可以降低放電管及照射室內(nèi)空氣的溫度，使得放電管的輸出量最大化；同時(shí)配合主殼體上的出氣口、導(dǎo)管及進(jìn)氣口等設(shè)置，會(huì)使空氣循環(huán)進(jìn)入主殼體，從而臭氣濃度增加，使處理效果增加，并減少向外排出臭氧的量。

圖1為本實(shí)用新型立體示意圖。
圖2為本實(shí)用新型的主殼體自另一角度的示意圖。
圖3為本實(shí)用新型圖1所示的A-A向剖視圖。
圖4為本實(shí)用新型反射板示意圖。
圖5為本實(shí)用新型另一實(shí)施例的示意圖。
圖6為本實(shí)用新型流程示意圖。
具體實(shí)施方式如圖1及圖2所示，本實(shí)用新型紫外線(xiàn)表面處理裝置包括有主殼體1、主殼體1內(nèi)設(shè)置照射室19，照射室19上方設(shè)置一反射板4，反射板4上裝有用以發(fā)射紫外線(xiàn)的多個(gè)放電管2、放電管2下方具有放置需要處理的物品的工作臺(tái)3，反射板4上開(kāi)設(shè)若干透氣孔41。主殼體1上部開(kāi)設(shè)有出氣口11，其一側(cè)方具有另一開(kāi)口，即進(jìn)氣口13，在出氣口11與進(jìn)氣口13之間由一導(dǎo)管5、抽氣泵12和冷卻裝置14相連，在主殼體1內(nèi)產(chǎn)生的臭氧經(jīng)使用后，自出氣口11抽出，并經(jīng)過(guò)抽氣泵12和導(dǎo)管5部分送至冷卻裝置14，冷卻后再經(jīng)進(jìn)氣口13重新進(jìn)入照射室19內(nèi)。所述工作臺(tái)3為一個(gè)通過(guò)兩端的帶輪驅(qū)動(dòng)的傳送帶，主殼體1兩端面具有開(kāi)口可以使需要處理的物品進(jìn)入主殼體1。
請(qǐng)參閱圖2及圖3所示，上述主殼體1內(nèi)的放電管2緊密排列，而且上述放電管2還可以發(fā)出波長(zhǎng)低于280NM的紫外線(xiàn)。
請(qǐng)參閱圖3所示，在主殼體1的兩個(gè)端面上具有柔性的擋板6。當(dāng)需要處理的物品隨著工作臺(tái)3(參閱圖1)進(jìn)入主殼體1時(shí)，可以自動(dòng)將擋板6推開(kāi)從而物品進(jìn)入主殼體1內(nèi)進(jìn)行表面處理，而當(dāng)物品進(jìn)入后，柔性擋板6自動(dòng)擋住主殼體1的端部，防止產(chǎn)生的臭氧和紫外線(xiàn)泄露。
參照?qǐng)D5，所述工作臺(tái)3也可為一個(gè)抽屜式16的傳送裝置，被處理的物品可隨抽屜進(jìn)出照射室。抽氣泵12還接有一第二排氣口15，部分從照射室19被抽出的氣體可被排放。
本實(shí)用新型的主殼體1具有導(dǎo)管5將混合有臭氧的空氣再度導(dǎo)入主殼體1再次使用紫外線(xiàn)進(jìn)行照射，這樣臭氧的濃度會(huì)增加很大。放電管2緊密排列，所以其照度增加，且照射室和放電管溫度可以降低，使得放電管2的輸出量最大化。
權(quán)利要求1.一種紫外線(xiàn)表面處理裝置，其包括有主殼體、照射室、設(shè)于照射室內(nèi)用以發(fā)射紫外線(xiàn)的放電管、放電管下方具有放置需要處理的物品的工作臺(tái)，其特征在于主殼體上開(kāi)設(shè)有出氣口和進(jìn)氣口，且出氣口與進(jìn)氣口之間通過(guò)導(dǎo)管串接抽氣泵和冷卻裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外線(xiàn)表面處理裝置，其特征在于所述放電管可以發(fā)出波長(zhǎng)低于280NM的紫外線(xiàn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的紫外線(xiàn)表面處理裝置，其特征在于所述放電管上方設(shè)置反射板。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紫外線(xiàn)表面處理裝置，其特征在于所述放電管上方的反射板上開(kāi)設(shè)有若干透氣孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外線(xiàn)表面處理裝置，其特征在于抽氣泵接有一第二排氣口。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外線(xiàn)表面處理裝置，其特征在于所述主殼體兩側(cè)面具有柔性擋板。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種紫外線(xiàn)表面處理裝置，其可應(yīng)用于食品、電子、化工、醫(yī)學(xué)、保健、飲料、農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域的殺菌、表面清洗、表面改性，其包括有主殼體、設(shè)于主殼體內(nèi)部用以發(fā)射紫外線(xiàn)的放電管、放電管下方具有放置需要處理的物品的工作臺(tái)，且主殼體上開(kāi)設(shè)有出氣口，出氣口與導(dǎo)管相連從而將空氣冷卻后自另一開(kāi)設(shè)于主殼體上的進(jìn)氣口重新導(dǎo)入。本實(shí)用新型能夠殺菌、除異味、去污染，而且能夠提供較佳的處理效果。
文檔編號(hào)B08B7/00GK2741681SQ200420023569
公開(kāi)日2005年11月23日 申請(qǐng)日期2004年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月9日
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