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超聲波器件、超聲波組件、電子設(shè)備以及超聲波測(cè)定裝置的制作方法

文檔序號(hào):11115589閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種超聲波器件,其特征在于,具備:

元件基板,具備將多個(gè)超聲波換能器配置為陣列狀的超聲波換能器陣列,并具有第一面以及與所述第一面相反側(cè)的第二面;

端子部,設(shè)置于所述元件基板的所述第一面并且在從所述第一面的法線方向觀察的俯視下比所述超聲波換能器陣列靠外側(cè)處,并與所述超聲波換能器進(jìn)行電連接;以及

加固板,設(shè)置于所述元件基板的所述第二面并在所述俯視下與所述端子部重疊的區(qū)域,并且彎曲剛性比所述元件基板大。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波器件,其特征在于,

所述超聲波器件具備設(shè)置于所述元件基板的所述第一面?zhèn)鹊拿芊獍澹?/p>

在所述密封板上,在所述俯視下與所述端子部重疊的區(qū)域設(shè)置有在厚度方向上貫穿所述密封板的通孔,

所述加固板設(shè)置于在所述俯視下與所述通孔重疊的區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超聲波器件,其特征在于,

所述元件基板具有基準(zhǔn)厚度部和薄厚度部,所述基準(zhǔn)厚度部具有預(yù)定的基準(zhǔn)厚度尺寸,所述薄厚度部的厚度尺寸比所述基準(zhǔn)厚度部小,

所述元件基板中的被設(shè)置所述加固板的區(qū)域是所述薄厚度部,并且所述元件基板中的被設(shè)置所述加固板的區(qū)域處的所述第二面位于比所述基準(zhǔn)厚度部處的所述第二面靠所述第一面?zhèn)忍帯?/p>

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超聲波器件,其特征在于,

所述元件基板具備:開(kāi)口部,與多個(gè)所述超聲波換能器分別對(duì)應(yīng);以及振動(dòng)部,堵塞所述開(kāi)口部的所述第一面?zhèn)龋?/p>

所述元件基板的被設(shè)置所述加固板的區(qū)域處的所述第二面與所述振動(dòng)部的面對(duì)所述開(kāi)口部的面是同一平面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的超聲波器件,其特征在于,

所述超聲波換能器陣列具有沿相對(duì)于第一方向交叉的第二方向配置多個(gè)超聲波換能器組的陣列構(gòu)造,所述超聲波換能器組由沿所述第一方向排列并且通過(guò)同一信號(hào)線連接的多個(gè)所述超聲波換能器構(gòu)成,

所述端子部配置于各所述超聲波換能器組的所述第一方向的兩端之中的至少一端側(cè),

所述加固板在所述超聲波換能器陣列的所述第一方向的兩端之中的至少所述一端側(cè)沿所述第二方向配置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的超聲波器件,其特征在于,

所述加固板在所述俯視下形成為框狀,并且包圍所述超聲波換能器陣列。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的超聲波器件,其特征在于,

所述超聲波換能器陣列具有沿相對(duì)于第一方向交叉的第二方向配置多個(gè)超聲波換能器組的陣列構(gòu)造,所述超聲波換能器組由沿所述第一方向排列并且通過(guò)同一信號(hào)線連接的多個(gè)所述超聲波換能器構(gòu)成,

在所述元件基板上,在所述超聲波換能器陣列的所述第二方向的兩端側(cè)設(shè)置有沿所述第一方向排列的多個(gè)評(píng)價(jià)用超聲波換能器,

所述端子部分別配置于各所述超聲波換能器組的所述第一方向的兩端側(cè),

所述加固板具備端子區(qū)域加固部和評(píng)價(jià)元件區(qū)域加固部,所述端子區(qū)域加固部在所述超聲波換能器陣列中的所述第一方向的兩端側(cè)沿所述第二方向配置,所述評(píng)價(jià)元件區(qū)域加固部在所述超聲波換能器陣列中的所述第二方向的兩端側(cè)且在所述俯視下與多個(gè)所述評(píng)價(jià)用超聲波換能器重疊的區(qū)域沿所述第一方向配置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的超聲波器件,其特征在于,

所述元件基板具備:開(kāi)口部,與多個(gè)所述超聲波換能器的分別對(duì)應(yīng);振動(dòng)部,堵塞所述開(kāi)口部的所述第一面?zhèn)龋?/p>

所述加固板中的未與所述元件基板接合的面位于與所述開(kāi)口部的開(kāi)口面同一平面,或者位于相對(duì)于所述開(kāi)口面更遠(yuǎn)離所述第一面的方向處。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的超聲波器件,其特征在于,

所述加固板具備:端子區(qū)域加固部,設(shè)置于在所述俯視下與所述端子部重疊的區(qū)域;以及元件間區(qū)域加固部,配置于在所述俯視下所述超聲波換能器之間。

10.一種超聲波組件,其特征在于,具備:

元件基板,具備將多個(gè)超聲波換能器配置為陣列狀的超聲波換能器陣列,并具有第一面以及與所述第一面相反側(cè)的第二面;

端子部,設(shè)置于所述元件基板的所述第一面并且在從所述第一面的法線方向觀察的俯視下比所述超聲波換能器陣列靠外側(cè)處,并與所述超聲波換能器進(jìn)行電連接;

加固板,設(shè)置于所述元件基板的所述第二面并在所述俯視下與所述端子部重疊的區(qū)域,并且彎曲剛性比所述元件基板大;

連接部件,連接于所述端子部;

保護(hù)部件,覆蓋所述端子部;以及

布線基板,連接于所述連接部件。

11.一種電子設(shè)備,其特征在于,具備:

元件基板,具備將多個(gè)超聲波換能器配置為陣列狀的超聲波換能器陣列,并具有第一面以及與所述第一面相反側(cè)的第二面;

端子部,設(shè)置于所述元件基板的所述第一面并且在從所述第一面的法線方向觀察的俯視下比所述超聲波換能器陣列靠外側(cè)處,并與所述超聲波換能器進(jìn)行電連接;

加固板,設(shè)置在所述元件基板的所述第二面并在所述俯視下與所述端子部重疊的區(qū)域,并且彎曲剛性比所述元件基板大;

連接部件,連接于所述端子部;

保護(hù)部件,覆蓋所述端子部;

布線基板,連接于所述連接部件;以及

控制部,控制所述超聲波換能器。

12.一種超聲波測(cè)定裝置,其特征在于,具備:

元件基板,具備將多個(gè)超聲波換能器配置為陣列狀的超聲波換能器陣列,并具有第一面以及與所述第一面相反側(cè)的第二面;

端子部,設(shè)置于所述元件基板的所述第一面并且在從所述第一面的法線方向觀察的俯視下比所述超聲波換能器陣列靠外側(cè)處,并與所述超聲波換能器進(jìn)行電連接;

加固板,設(shè)置于所述元件基板的所述第二面并在所述俯視下與所述端子部重疊的區(qū)域,并且彎曲剛性比所述元件基板大;

連接部件,連接于所述端子部;

保護(hù)部件,覆蓋所述端子部;

布線基板,連接于所述連接部件;以及

測(cè)定控制部,控制來(lái)自所述超聲波換能器陣列的超聲波的發(fā)送以及被反射的超聲波的接收,根據(jù)超聲波的收發(fā)定時(shí)來(lái)測(cè)定被測(cè)定物。

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