專利名稱：固體攝像裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種固體攝像裝置。
背景技術(shù)：
作為固體攝像裝置眾所周知是使用了 CMOS技術(shù)的固體攝像裝置，其中已知有被動(dòng)像素傳感器(PPS =Passive Pixel Sensor)方式的固體攝像裝置。PPS方式的固體攝像裝置具備PPS型的像素二維排列成M行N列的受光部，該P(yáng)PS型像素包含對(duì)應(yīng)于入射光強(qiáng)度的量而產(chǎn)生電荷的光電二極管，是一種在積分電路中將在各個(gè)像素中對(duì)應(yīng)于光的入射而由光電二極管所產(chǎn)生的電荷存儲(chǔ)于電容元件中并輸出對(duì)應(yīng)于其存儲(chǔ)電荷量的電壓值的固體攝像裝置。一般各列M個(gè)像素各自的輸出端，經(jīng)由對(duì)應(yīng)其列而設(shè)置的讀出用配線，與對(duì)應(yīng)于其列而設(shè)置的積分電路輸入端相連接。于是，從第1行到第M行依次在每行中，在像素的光電二極管中產(chǎn)生的電荷經(jīng)由所對(duì)應(yīng)的讀出用配線被輸入到所對(duì)應(yīng)的積分電路，從而從該積分電路輸出對(duì)應(yīng)于電荷量的電壓值。PPS方式的固體攝像裝置被用于各種各樣的用途。例如，像這樣的固體攝像裝置與閃爍器部相組合后作為X射線平板而可以被用于醫(yī)療用途和工業(yè)用途，更為具體的是可以被用于X射線CT裝置和微焦(micro focus)X射線檢測(cè)裝置等。由專利文獻(xiàn)1所公開的X 射線檢測(cè)系統(tǒng)是一種由固體攝像裝置對(duì)從X射線發(fā)生裝置輸出并透過檢測(cè)對(duì)象物的X射線進(jìn)行攝像而檢測(cè)該檢測(cè)對(duì)象的系統(tǒng)，其能夠由固體攝像裝置并以多種類的攝像模式對(duì)透過檢測(cè)對(duì)象物的X射線進(jìn)行攝像。在這些多種類的攝像模式中，受光部上的攝像區(qū)域是互不相同的。專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 國(guó)際公開第2006/109808號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題一直以來，上述固體攝像裝置的受光部的大小受限于成為原材料的半導(dǎo)體晶圓的大小。即，在從大致圓形的半導(dǎo)體晶圓來制作長(zhǎng)方形的固體攝像裝置的情況下，內(nèi)接于半導(dǎo)體晶圓的長(zhǎng)方形將成為該固體攝像裝置的最大形狀。然而，根據(jù)固體攝像裝置的用途會(huì)有要求更加大面積的受光部的情況。例如在齒科用的X射線攝像系統(tǒng)中，固體攝像裝置所要求的攝像區(qū)域的形狀根據(jù)所謂全景(panorama)或者CT等的各種攝像模式而有所不同，為了由一個(gè)固體攝像裝置來實(shí)現(xiàn)這些攝像模式而要求將這些攝像模式中的各個(gè)攝像區(qū)域容納于一個(gè)受光部?jī)?nèi)。本發(fā)明就是在由于成為原材料的半導(dǎo)體晶圓的大小所引起的限制的情況下，其目的在于提供一種能夠獲得更加大面積的受光部的固體攝像裝置。解決課題的手段
本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置，具備受光部、N根讀出用配線、信號(hào)輸出部以及垂直移位寄存器。受光部通過分別包含光電二極管的多個(gè)像素二維排列成M 行N列而成。即，受光部以該受光部具有M個(gè)行以及N個(gè)列的形式具有二維排列的多個(gè)像素。N根讀出用配線在每列進(jìn)行配置，并且經(jīng)由讀出用開關(guān)與包含于所對(duì)應(yīng)的列的像素中的光電二極管相連接。信號(hào)輸出部輸出對(duì)應(yīng)于經(jīng)讀出用配線而被輸入的電荷的量的電壓值。 垂直移位寄存器對(duì)每行控制讀出用開關(guān)的開閉動(dòng)作。在本固體攝像裝置中，沿著受光部行方向的一邊與沿著列方向的一對(duì)邊之間的輪廓呈現(xiàn)階梯狀。即，受光部在沿著行方向的一個(gè)邊緣與沿著列方向的一對(duì)邊緣之間具有階梯狀的輪廓。另外，本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置，其特征在于進(jìn)一步具備沿著受光部的階梯狀輪廓而形成的虛設(shè)用光電二極管區(qū)域。在上述固體攝像裝置中，通過將沿著受光部的行方向的一邊與沿著列方向的一對(duì)邊之間的輪廓(典型地來說是相當(dāng)于受光部角落的部分的輪廓)設(shè)為階梯狀，從而在從大致圓形的半導(dǎo)體晶圓來制作該固體攝像裝置的時(shí)候，就能夠以比內(nèi)接于該圓形的長(zhǎng)方形更大的面積制作固體攝像裝置。因此，根據(jù)上述固體攝像裝置，由于成為原材料的半導(dǎo)體晶圓的大小所引起的限制的情況下，能夠獲得更為大面積的受光部。另外，如上述那樣將受光部輪廓的一部分作為階梯狀的情況下，即使是在從半導(dǎo)體晶圓切出該固體攝像裝置之后，比較大的空間仍然會(huì)殘留于該階梯狀部分與半導(dǎo)體晶圓邊緣之間。如果光入射到這樣的空間并且產(chǎn)生不需要的載流子從而流入到受光部的話，那么噪聲就會(huì)被重疊于與階梯狀輪廓部分接近的受光部的各個(gè)像素上。另外，這樣的載流子的移動(dòng)方向因?yàn)槭嵌鄻拥模詫?duì)于與階梯狀輪廓部分接近的受光部的各個(gè)像素特性來說容易產(chǎn)生不均勻，并且會(huì)關(guān)系到受光部特性的均勻性(uniformity)降低。相對(duì)于這樣的問題點(diǎn)，在上述固體攝像裝置中沿著受光部階梯狀的輪廓形成虛設(shè)用光電二極管區(qū)域。由此， 以這個(gè)虛設(shè)用光電二極管區(qū)域來排除在階梯狀的受光部的周邊所產(chǎn)生的不需要的載流子。 因此，根據(jù)上述固體攝像裝置，能夠防止不需要的載流子流入到受光部，并且在減少噪聲的同時(shí)能夠抑制受光部的均勻性降低。另外，在一個(gè)實(shí)施方式中，受光部可以通過由相同列數(shù)的多行所構(gòu)成的L個(gè) (L^ 2)行群在列方向上進(jìn)行排列而構(gòu)成。即，在一個(gè)實(shí)施方式中，受光部包含在列方向上排列的L個(gè)行群，即含有多行的L個(gè)行群。在多個(gè)行群的各個(gè)中，包含于該行群中的多行可以具有相同數(shù)量的像素。受光部的階梯狀的輪廓的特征在于通過在L個(gè)行群中包含位于列方向一端的行群(列數(shù)隊(duì))的連續(xù)的LA個(gè)O彡LA < L)行群各自的列數(shù)Nwjw 隊(duì)滿足隊(duì)< Nl^1 <……< 來實(shí)現(xiàn)。如以上所述，通過越接近于受光部的端部，越減少行群的列數(shù)，從而就能夠適當(dāng)?shù)匦纬墒芄獠康碾A梯狀輪廓。另外，在一個(gè)實(shí)施方式中，固體攝像裝置的特征在于垂直移位寄存器沿著L個(gè)行群各自的端列被配置，虛設(shè)用光電二極管區(qū)域的至少一部分形成于對(duì)應(yīng)于受光部的各個(gè)行群的垂直移位寄存器的各個(gè)部分與該行群之間。上述不需要的載流子在垂直移位寄存器中也會(huì)產(chǎn)生，所以就這樣通過將虛設(shè)用光電二極管區(qū)域的至少一部分設(shè)置于垂直移位寄存器與受光部的各個(gè)行群之間，從而就能夠更加切實(shí)地排除流入到受光部的不需要的載流子。另外，在一個(gè)實(shí)施方式中，固體攝像裝置的特征在于進(jìn)一步具備沿著受光部的列方向延伸的主干配線，用于將信號(hào)以及電力提供給對(duì)應(yīng)于受光部的各個(gè)行群的垂直移位寄存器的各個(gè)部分，虛設(shè)用光電二極管區(qū)域的至少一部分沿著主干配線的兩側(cè)而形成。或者，在一個(gè)實(shí)施方式中，固體攝像裝置的特征在于進(jìn)一步具備沿著受光部的列方向延伸設(shè)置的主干配線，用于將信號(hào)以及電力提供給對(duì)應(yīng)于受光部各個(gè)行群的垂直移位寄存器的各個(gè)部分；虛設(shè)用光電二極管區(qū)域形成于除了主干配線的正下方的區(qū)域。如以上所述，為了將信號(hào)·電力提供給垂直移位寄存器，將虛設(shè)用光電二極管區(qū)域形成于在列方向上進(jìn)行延伸設(shè)置的主干配線兩側(cè)或者除了該主干配線的正下方的區(qū)域，并且不將虛設(shè)用光電二極管區(qū)域形成于主干配線與基板之間，從而就能夠充分確保主干配線與虛設(shè)用光電二極管區(qū)域之間的間隔，因而也就能夠抑制配線的寄生容量的增加。特別是在大面積的固體攝像裝置中，由于為大面積，主干配線的配線長(zhǎng)度變長(zhǎng)且變得容易發(fā)生信號(hào)延遲，所以可以適用這樣的想法。而且，在受光部輪廓成為階梯狀的地方，因?yàn)閷?duì)應(yīng)于受光部的各個(gè)行群的垂直移位寄存器的各個(gè)部分互相分離且主干配線也變長(zhǎng)，所以像這樣的效果會(huì)變得顯著。還有，本發(fā)明中的主干配線是指在，用于將信號(hào)和電力提供給垂直移位寄存器的配線中與包含于垂直移位寄存器的多個(gè)部分共通的配線(或者配線群)，不包含從共通的配線進(jìn)行分支并向垂直移位寄存器的各個(gè)部分延伸的配線。另外，在一個(gè)實(shí)施方式中，固體攝像裝置的特征在于進(jìn)一步具備對(duì)應(yīng)于受光部的各個(gè)行群的多個(gè)緩沖放大器，主干配線與垂直移位寄存器的各個(gè)部分經(jīng)由緩沖放大器而連接。正如以上所述的那樣，在受光部的輪廓成為階梯狀的地方主干配線變長(zhǎng)了。變長(zhǎng)了的主干配線成為電容負(fù)荷并且變得容易發(fā)生信號(hào)延遲。而且，如果從主干配線直接對(duì)所有的垂直移位寄存器進(jìn)行配線的話，那么將會(huì)變成對(duì)于非常多的柵極開關(guān)從一根主干配線來進(jìn)行配線，但是這會(huì)牽涉到電容負(fù)荷的增加，甚至還會(huì)變得容易發(fā)生信號(hào)延遲。在像這樣的情況下，由經(jīng)由緩沖放大器來連接對(duì)應(yīng)于受光部的各個(gè)行群的垂直移位寄存器的各個(gè)部分和主干配線，從而在有效地抑制由于寄生電容所引起的影響的同時(shí)，通過減少?gòu)闹鞲膳渚€進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)的柵極數(shù)從而就能夠減少相對(duì)于主干配線的電容負(fù)荷，因而也就難以發(fā)生信號(hào)延遲。另外，一個(gè)實(shí)施方式中，固體攝像裝置的特征在于虛設(shè)用光電二極管區(qū)域具有與光電二極管相同的半導(dǎo)體層構(gòu)造。由此，在制作固體攝像裝置的時(shí)候不用追加特別的工序就能夠容易地形成虛設(shè)用光電二極管區(qū)域。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的固體攝像裝置，在由成為原材料的半導(dǎo)體晶圓的大小所引起的限制條件下，能夠獲得更加大面積的受光部。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置1的概略結(jié)構(gòu)圖。圖2是表示固體攝像裝置1所具備的受光部10的結(jié)構(gòu)的圖。此外，在同圖中擴(kuò)大表示受光部10的一部分區(qū)域D。圖3是表示受光部10的階梯狀輪廓部分周邊結(jié)構(gòu)的平面圖。圖4是表示沿著圖3的IV-IV線的截面主要部分的側(cè)截面圖。圖5是進(jìn)一步詳細(xì)地表示包含于受光部10某個(gè)行群中的2個(gè)像素群IOa的結(jié)構(gòu)、 對(duì)應(yīng)于該行群的移位寄存器部分30a的結(jié)構(gòu)的電路圖。
圖6是表示在信號(hào)輸出部20的輸出部分20a中被連接于各個(gè)讀出用配線12的電路的具體結(jié)構(gòu)的電路圖。圖7是表示在大致圓形的半導(dǎo)體晶圓200中對(duì)固體攝像裝置實(shí)行拼版的情況的圖，(a)是表示對(duì)具有以往的矩形狀的受光部90的固體攝像裝置80實(shí)行拼版的情況，(b) 是表示對(duì)本本實(shí)施方式的固體攝像裝置1實(shí)行拼版的情況。圖8是一個(gè)實(shí)施方式所涉及的X射線CT裝置100的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式以下是一邊參照附圖一邊詳細(xì)地說明取決于本發(fā)明的固體攝像裝置的實(shí)施方式。 還有，在對(duì)附面進(jìn)行說明過程中將相同的符號(hào)標(biāo)注于相同的要素上以免重復(fù)說明。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置1是一種被用于所謂被動(dòng)型CMOS 圖像傳感器的固體攝像裝置，且是一種多個(gè)像素以二維狀態(tài)被配置的半導(dǎo)體元件。如圖1 所示，本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置1具備受光部10、包含多個(gè)輸出部分20a的信號(hào)輸出部20以及包含多個(gè)移位寄存器部分30a的垂直移位寄存器30。受光部10和信號(hào)輸出部 20以及垂直移位寄存器30被制入到例如硅基板的半導(dǎo)體基板14的主面。此外，該半導(dǎo)體基板14可以被貼附于用于維持機(jī)械強(qiáng)度的平板狀的基材上。參考圖2，受光部10其多個(gè)像素11被二維排列成M行N列(M和N分別為2以上的整數(shù))。即，受光部10以該受光部10具有M個(gè)行和N個(gè)列的形式具備被二維排列的多個(gè)像素11。本實(shí)施方式的受光部10是由列數(shù)互為相等的多個(gè)行構(gòu)成的L個(gè)(L ^ 2)行群 A1 ~在列方向上排列構(gòu)成的。即，受光部10包含在列方向上排列的L個(gè)行群A1 4，即含有多個(gè)像素行的L個(gè)行群A1 Alo在行群A1 ~的各個(gè)中，包含于該行群的多個(gè)行具有相同數(shù)量的像素。各個(gè)行群A1 ~，例如在圖2中以點(diǎn)劃線表示行群Am的范圍那樣， 由在行方向上排列的多個(gè)像素群IOa所構(gòu)成，各個(gè)像素群IOa是由二維排列成Ma行Na列 (2 ^ Ma < M, 2 ^ Na < N)的多個(gè)像素11所構(gòu)成。像素群IOa例如是由光刻技術(shù)來制作受光部10的時(shí)候的曝光單位。另外，在本實(shí)施方式的受光部10中，通過包含在L個(gè)行群A1 kL中位于列方向一端的行群AJ列數(shù)NJ的連續(xù)的LA個(gè)O彡LA < L)行群 慫各自的列數(shù) 隊(duì)滿足隊(duì)< Nl^1 <……< ，從而受光部10的沿著行方向的一邊IOb和沿著列方向的一對(duì)邊10c，IOd之間的輪廓呈現(xiàn)階梯狀。具體就有關(guān)LA = 3的情況作如下說明。在圖2中，包含于L個(gè)行群A1 A^中位于列方向一端的行群4中的像素群IOa的個(gè)數(shù)被作為η。此時(shí)，包含于行群慫中的像素 11的列數(shù)隊(duì)成為隊(duì)=nXNa。接著，包含于與行群慫鄰接的行群Am的像素群IOa的個(gè)數(shù)與行群~相比較，在兩端上各增加一個(gè)，并成為(n+2)。因此，包含于行群Am中的像素 11的列數(shù)I1成為I1 = (n+2) XNa。同樣，包含于行群^2中的像素群IOa的個(gè)數(shù)被作為 (n+4)，包含于行群&_2中的像素11的列數(shù)隊(duì)_2成為隊(duì)_2= (n+4) XNa0此外，包含于從行群Ap2到另一端行群A1為止的各個(gè)行群kL_2 A1中的像素群IOa的個(gè)數(shù)為一定，包含于這些行群Al_2 A1中的像素11的列數(shù)隊(duì)_2 N1所有都相同地成為(n+4) XNa。如以上所述，在由圖2所表示的受光部10中，包含位于列方向一端的行群慫的連續(xù)的3個(gè)行群Al_2 Al各自的列數(shù)Nl_2 Nl從行群Al側(cè)按順序增加并滿足Nl < Nh< Nl_2的關(guān)系。然后，在本實(shí)施方式的固體攝像裝置1中，通過以這樣的形式設(shè)定包含于行群Al-2 AL的像素11的列數(shù)，從而由AL_2 AL規(guī)定的受光部10的輪廓，即受光部10的邊 IOb與邊10c，IOd之間的輪廓呈現(xiàn)階梯狀。受光部10的各個(gè)像素11是PPS方式的像素，具有彼此相同的結(jié)構(gòu)。即，各個(gè)像素 11包含光電二極管PD以及讀出用開關(guān)SWa。光電二極管PD的正極(anode)端子接地，光電二極管PD的負(fù)極(cathode)端子經(jīng)由讀出用開關(guān)SWa而與讀出用配線12相連接。光電二極管PD產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于入射光強(qiáng)度的量的電荷并將該所產(chǎn)生的電荷存儲(chǔ)到接合電容部。經(jīng)由行選擇用配線13將行選擇控制信號(hào)提供給讀出用開關(guān)SWa。行選擇控制信號(hào)是指示被包含于受光部10各行的像素11的讀出用開關(guān)SWa的開閉動(dòng)作的控制信號(hào)。關(guān)于像素11，在行選擇控制信號(hào)為低(L)電平時(shí)讀出用開關(guān)SWa被開啟，由光電二極管PD所產(chǎn)生的電荷不是被輸出到讀出用配線12而是被存儲(chǔ)于接合電容部。另外，在行選擇控制信號(hào)為高(H)電平時(shí)讀出用開關(guān)SWa被關(guān)閉，到此為止由光電二極管PD所產(chǎn)生并被存儲(chǔ)于接合電容部的電荷經(jīng)讀出用開關(guān)SWa被輸出到讀出用配線12?；剡^來參照?qǐng)D1，垂直移位寄存器30被配置于行方向上的受光部10的兩端。垂直移位寄存器30是用于在每行控制來自于由圖2所表示的像素11的電荷輸出而設(shè)置的，經(jīng)由行選擇用配線13將行選擇控制信號(hào)提供給各個(gè)像素11。垂直移位寄存器30是由對(duì)應(yīng)于上述L個(gè)行群A1 Ai而設(shè)置的多個(gè)移位寄存器部分30a所構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，在行方向上的行群A1 ~的一端側(cè)配置有L個(gè)移位寄存器部分30a，在另一端側(cè)進(jìn)一步配置有 L個(gè)移位寄存器部分30a。各個(gè)移位寄存器部分30a沿著各自所對(duì)應(yīng)的行群的端列而配設(shè)， 并連接于該行群的Ma根行選擇用配線13。信號(hào)輸出部20鄰接于沿著行方向的受光部10的一邊(具體是由行群A1規(guī)定的一邊)而配置。信號(hào)輸出部20與對(duì)應(yīng)于受光部10各列而配置的讀出用配線12相連接，輸出對(duì)應(yīng)于經(jīng)由讀出用配線12輸入的電荷的量的電壓值(模擬值或者數(shù)字值)。信號(hào)輸出部 20由對(duì)應(yīng)于構(gòu)成上述行群A1的多個(gè)像素群IOa而設(shè)置的多個(gè)輸出部分20a所構(gòu)成。各個(gè)輸出部分20a連接于各自所對(duì)應(yīng)的像素群IOa的Na根讀出用配線12。本實(shí)施方式的固體攝像裝置1如圖1所示進(jìn)一步具備多個(gè)端子電極40。多個(gè)端子電極40例如是排列于沿著信號(hào)輸出部20的半導(dǎo)體基板14的邊緣部而設(shè)置的。多個(gè)端子電極40的一部分連接于信號(hào)輸出部20，從固體攝像裝置1的外部輸入例如對(duì)包含于信號(hào)輸出部20的積分電路進(jìn)行復(fù)位的復(fù)位信號(hào)、控制向包含于信號(hào)輸出部20的保持電路的信號(hào)輸入的保持信號(hào)、開始包含于信號(hào)輸出部20的水平移位寄存器的動(dòng)作的水平開始信號(hào)、規(guī)定水平移位寄存器的時(shí)鐘的水平時(shí)鐘信號(hào)、以及用于驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出部20的電源電壓，另外將從信號(hào)輸出部20輸出的電壓信號(hào)輸出到固體攝像裝置1的外部。另外，多個(gè)端子電極40的另一部分經(jīng)由主干配線50而與垂直移位寄存器30的各個(gè)移位寄存器部分30a相連接。這些端子電極40分別輸入例如在垂直移位寄存器30中所使用的柵信號(hào)、垂直開始信號(hào)、垂直時(shí)鐘信號(hào)、以及用于驅(qū)動(dòng)各個(gè)移位寄存器部分30a的電源電壓。主干配線50是，為了將信號(hào)以及電壓提供給對(duì)應(yīng)于受光部10各個(gè)行群A1 kL 的各個(gè)移位寄存器部分30a，而由沿著受光部10的列方向延伸設(shè)置的多個(gè)配線構(gòu)成的配線群。本實(shí)施方式中的主干配線50是指在用于將信號(hào)和電力提供給垂直移位寄存器30的配
7線中，與包含于垂直移位寄存器30的多個(gè)部分共通的配線(或者配線群)，不包含從共通配線分支出來并向垂直移位寄存器30的各個(gè)移位寄存器部分30a延伸的配線。此外，固體攝像裝置1具備對(duì)應(yīng)于各個(gè)行群A1 ~進(jìn)行設(shè)置的多個(gè)緩沖放大器61，主干配線50和各個(gè)移位寄存器部分30a可以經(jīng)由各自所對(duì)應(yīng)的緩沖放大器61作互相連接。另外，端子電極 40與主干配線50之間還可以連接有緩沖放大器62。在此，進(jìn)一步就有關(guān)在受光部10中輪廓成為階梯狀的部分的周邊結(jié)構(gòu)作如下說明。圖3是表示該部分的周邊結(jié)構(gòu)的平面圖。圖4是表示沿著圖3的IV-IV線的截面主要部分的側(cè)截面圖。如圖3以及圖4所示，固體攝像裝置1除了上述結(jié)構(gòu)之外進(jìn)一步具備虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70。虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70是用于吸收入射到受光部10外部的光并且排除所產(chǎn)生的載流子的區(qū)域，主要沿著受光部10的階梯狀輪廓而形成。虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70具有與各個(gè)像素11的光電二極管PD相同的半導(dǎo)體層構(gòu)造。具體如圖4所示各個(gè)像素11的光電二極管PD具有形成于成為第1導(dǎo)電類型(例如 P型)半導(dǎo)體基板14的基體的第1導(dǎo)電類型半導(dǎo)體區(qū)域15表面?zhèn)鹊碾x子注入層的第2導(dǎo)電類型(例如η型)的半導(dǎo)體層16。第2導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層16和第1導(dǎo)電類型半導(dǎo)體區(qū)域15互相構(gòu)成了 ρη結(jié)，第2導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層16成為射入光的圖像從而生成電荷(載流子)的光檢測(cè)區(qū)域。各個(gè)像素11的第2導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層16通過氧化膜(LOCOS =Local Oxidation of Silicon) 17 互相分離(isolation)。虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70的結(jié)構(gòu)也與光電二極管PD相同，具有形成于第1導(dǎo)電類型半導(dǎo)體區(qū)域15表面?zhèn)鹊碾x子注入層的第2導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層71。第2導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層71與第1導(dǎo)電類型半導(dǎo)體區(qū)域15互相構(gòu)成了 ρη結(jié)，入射到受光部10周圍的光或者放射線如果入射到第2導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層71的話，就會(huì)產(chǎn)生電荷。第2導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層 71例如經(jīng)由包含于多個(gè)端子電極40的電極而連接于基準(zhǔn)電位(接地電位)，所產(chǎn)生的電荷通過該電極作為不需要的電荷被排出至外部。此外，受光部10的各個(gè)像素11以及虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70、還有由圖1所表示的信號(hào)輸出部20、垂直移位寄存器30以及主干配線50等除了端子電極40的半導(dǎo)體基板 14上的各個(gè)構(gòu)成物由圖4所表示的鈍化膜80覆蓋并得到保護(hù)。具有像這樣的結(jié)構(gòu)的虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70如圖3所示分別包含多個(gè)部分區(qū)域70a 70d。多個(gè)部分區(qū)域70a分別形成于對(duì)應(yīng)于受光部10各個(gè)行群A1 A^的各個(gè)移位寄存器部分30a與該行群A1 Ai之間，各個(gè)部分區(qū)域70a沿著各個(gè)行群A1 Ai的端列進(jìn)行延伸。如圖4所示，各個(gè)行群A1 Ai的端列的光電二極管PD與部分區(qū)域70a之間、以及移位寄存器部分30a與部分區(qū)域70a之間分別被氧化膜17互相隔離。多個(gè)部分區(qū)域70b主要是分別被形成于各個(gè)移位寄存器部分30a與主干配線50 之間，各個(gè)部分區(qū)域70b從垂直于半導(dǎo)體基板14的板面的方向看是沿著主干配線50的內(nèi)側(cè)邊緣進(jìn)行延伸設(shè)置的。在此，在主干配線50中，列群A1 Ap2的一端即沿著受光部10的直線狀輪廓進(jìn)行延伸的部分沿著列方向筆直延伸。相對(duì)于此，列群Am 慫的一端即沿著受光部10的階梯狀輪廓進(jìn)行延伸的部分與在行方向上進(jìn)行延伸的部分和在列方向上進(jìn)行延伸的部分作互相連接，主干配線50也呈階梯狀。部分區(qū)域70b不僅僅形成為主干配線50 中沿著在列方向上進(jìn)行延伸的部分的區(qū)域，也被形成為沿著在行方向上進(jìn)行延伸的部分的區(qū)域。多個(gè)部分區(qū)域70c是沿著主干配線50的外側(cè)(即，形成部分區(qū)域70b的相反側(cè)) 的邊緣被分別形成的。部分區(qū)域70c根據(jù)所對(duì)應(yīng)的行群其形狀以及面積有著較大的不同。 即，對(duì)應(yīng)于形成受光部10直線狀輪廓的行群A1 Ap2的部分區(qū)域70c沿著在列方向上進(jìn)行延伸的主干配線50進(jìn)行延伸，并呈現(xiàn)出在半導(dǎo)體基板14的邊緣與主干配線50之間的比較狹小區(qū)域中將列方向作為長(zhǎng)邊方向的細(xì)長(zhǎng)形狀。相對(duì)于此，對(duì)應(yīng)于形成受光部10階梯狀輪廓的行群Am Ai的部分區(qū)域70c是沿著在主干配線50的行方向上進(jìn)行延伸的部分以及在列方向上進(jìn)行延伸的部分這兩個(gè)部分加以形成的，并呈現(xiàn)出在半導(dǎo)體基板14的邊緣與主干配線50之間的比較寬的區(qū)域中將行方向作為長(zhǎng)邊方向的寬幅形狀。此外，上述部分區(qū)域70b以及70c是沿著主干配線50的兩側(cè)加以形成的，不是形成于主干配線50的正下方。在主干配線50的正下方如圖4所示形成有氧化膜17，主干配線50與第1導(dǎo)電類型半導(dǎo)體區(qū)域15由氧化膜17而被互相絕緣。氧化膜17被形成為比虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70的第2導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層71更厚，通過充分確保主干配線50與第 1導(dǎo)電類型半導(dǎo)體區(qū)域15之間的間隔，從而就能夠降低主干配線50的寄生電容。但是，關(guān)于從主干配線50經(jīng)由緩沖放大器61延伸至移位寄存器部分30a的支路配線的一部分，因?yàn)橛捎诩纳娙荻斐傻挠绊懴鄬?duì)輕微，所以被形成于構(gòu)成部分區(qū)域70b的第2導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層71上。多個(gè)部分區(qū)域70d在沿著行方向的受光部10的一對(duì)邊中是沿著與設(shè)置了信號(hào)輸出部20的邊相反側(cè)的一邊加以排列而形成的，并且是鄰接于構(gòu)成行群慫的多個(gè)像素群IOa 被分別設(shè)置。此外，上述部分區(qū)域70a 70d的配置在由光刻技術(shù)將移位寄存器部分30a等形成于各個(gè)行群A1 ~的兩端的時(shí)候，通過分別在曝光的單位區(qū)域合并形成各一個(gè)部分區(qū)域 70a 70d，從而就能夠簡(jiǎn)易地加以實(shí)現(xiàn)。接著，就有關(guān)受光部10和信號(hào)輸出部20以及垂直移位寄存器30的詳細(xì)結(jié)構(gòu)作如下說明。圖5是進(jìn)一步詳細(xì)地表示包含于受光部10某個(gè)行群中的2個(gè)像素群IOa的結(jié)構(gòu)、 對(duì)應(yīng)于該行群的移位寄存器部分30a的結(jié)構(gòu)的電路圖。移位寄存器部分30a包含互相串聯(lián)連接的多個(gè)移位寄存器31、對(duì)應(yīng)于包含于受光部10的該行群的各行進(jìn)行設(shè)置的或非電路(NOR門)32以及緩沖器33而構(gòu)成。經(jīng)由主干配線50 (參照?qǐng)D1)將規(guī)定各個(gè)移位寄存器31動(dòng)作時(shí)鐘的垂直時(shí)鐘信號(hào)Ckv分別賦予多個(gè)移位寄存器31。另外，經(jīng)由主干配線50將使垂直移位寄存器30動(dòng)作開始的垂直開始信號(hào) Spv賦予由多個(gè)移位寄存器31構(gòu)成的串聯(lián)電路的一端。如果將垂直開始信號(hào)Spv輸入到位于初級(jí)的移位寄存器31的話，那么多個(gè)移位寄存器31的輸出電壓Shift就會(huì)對(duì)準(zhǔn)垂直時(shí)鐘信號(hào)Ckv的時(shí)機(jī)只在一定期間內(nèi)按順序下降。然后，各個(gè)移位寄存器31的輸出電壓Siift按順序被輸入到每行所設(shè)置的NOR門32， 且與柵信號(hào)fete的或非值被輸出到緩沖器33。從緩沖器33輸出的信號(hào)作為行選擇控制信號(hào)Vsel被提供給行選擇用配線13。此外，柵信號(hào)fete是用于縮短包含于行選擇控制信號(hào) Vsel的脈沖的時(shí)間寬度的信號(hào)。另外，如圖5所示，構(gòu)成像素群IOa各列的Ma個(gè)像素11各自的輸出端，經(jīng)由讀出用配線12分別與對(duì)應(yīng)于該像素群IOa的輸出部分20a(具體是在該輸出部分20a中每列設(shè)置的積分電路21)相連接。圖6是表示在信號(hào)輸出部20的輸出部分20a上被連接于各個(gè)讀出用配線12的電路的具體結(jié)構(gòu)的電路圖。此外，在圖6中顯示了對(duì)應(yīng)于一根讀出用配線12的輸出部分20a 的電路結(jié)構(gòu)。如圖6所示，輸出部分20a具有被設(shè)置于每根讀出用配線12的積分電路21以及保持電路22。積分電路21包含放大器AM、積分用電容元件C1以及放電用開關(guān)SW115積分用電容元件C1以及放電用開關(guān)SW1被互相并聯(lián)連接，并且被設(shè)置于放大器AM的輸入端子與輸出端子之間。放大器AM的輸入端子與所對(duì)應(yīng)的讀出用配線12相連接。從沒有圖示的控制電路將放電控制信號(hào)Reset給予放電用開關(guān)SW115放電控制信號(hào)Reset是將包含于輸出部分20a的多個(gè)積分電路21各自的放電用開關(guān)SW1的開閉動(dòng)作總括起來進(jìn)行控制的信號(hào)。在該積分電路21中，在放電控制信號(hào)Reset為高電平的時(shí)候放電用開關(guān)SW1關(guān)閉， 積分用電容元件C1被放電，并且從積分電路21輸出的電壓值被初始化。在放電控制信號(hào) Reset為低電平的時(shí)候放電用開關(guān)SW1開啟，輸入到輸入端的電荷被存儲(chǔ)于積分用電容元件 C1，并且對(duì)應(yīng)于該存儲(chǔ)電荷量的電壓值從積分電路21輸出。保持電路22包含輸入用開關(guān)SW21、輸出用開關(guān)SW22以及保持用電容元件C2。保持用電容元件C2的一端接地。保持用電容元件C2的另一端經(jīng)由輸入用開關(guān)SW21與積分電路 21的輸出端相連接，并且經(jīng)由輸出用開關(guān)SW22與電壓輸出用配線18相連接。從沒有圖示的控制電路將保持控制信號(hào)Hold賦予輸入用開關(guān)SW21。保持控制信號(hào)Hold是將包含于輸出部分20a的多個(gè)保持電路22各自的輸入用開關(guān)SW21的開閉動(dòng)作總括起來進(jìn)行控制的信號(hào)。 另外，從沒有圖示的控制電路將第η列選擇控制信號(hào)Hsel (η)賦予輸出用開關(guān)SW22。第η列選擇控制信號(hào)Hsel (η)是在每列控制包含于保持電路22的輸出用開關(guān)SW22開閉動(dòng)作的信號(hào)。在該保持電路22中，如果保持控制信號(hào)Hold從高電平向低電平轉(zhuǎn)變的話，那么輸入用開關(guān)SW21則從關(guān)閉狀態(tài)向開啟狀態(tài)轉(zhuǎn)變，在那時(shí)輸入到輸入端的電壓值被保持用電容元件C2保持。另外，在第η列選擇控制信號(hào)Hsel (η)為高電平的時(shí)候輸出用開關(guān)SW22關(guān)閉， 被保持于保持用電容元件C2的電壓值被輸出到電壓輸出用配線18。接著，就有關(guān)由以上進(jìn)行說明的本實(shí)施方式的固體攝像裝置1所獲得的作用效果作如下說明。關(guān)于固體攝像裝置1，通過對(duì)包含于受光部10的像素群IOa的配置下一些功夫，從而沿著受光部10行方向的一邊IOb與沿著列方向的一對(duì)邊10c，IOd之間的輪廓(即， 相當(dāng)于矩形狀受光部10的兩個(gè)角的部分的輪廓)就成為了階梯狀。在此，圖7是表示在大致圓形的半導(dǎo)體晶圓200中對(duì)固體攝像裝置實(shí)行拼版的情況的圖，圖7(a)是表示對(duì)具有以往的矩形狀受光部90的固體攝像裝置80實(shí)行拼版的情況，圖7(b)是表示對(duì)本實(shí)施方式的固體攝像裝置1實(shí)行拼版的情況。固體攝像裝置一般是從圖7所表示的那樣的大致圓形的半導(dǎo)體晶圓200被切割出來的，但是如圖7(a)所示具有矩形狀受光部90的固體攝像裝置80的情況，如果是打算盡可能大地獲得元件面積的話，那么固體攝像裝置80的外形則變成內(nèi)接于大致圓形的半導(dǎo)體晶圓200外緣的長(zhǎng)方形(行方向的寬度W1，列方向的寬度W2)。相對(duì)于此，如圖7(b)所示在本實(shí)施方式的固體攝像裝置1 中，通過將受光部10的兩個(gè)角的輪廓作為階梯狀，從而固體攝像裝置1的所對(duì)應(yīng)的部分的輪廓也就變成了階梯狀，且能夠分別比寬度^2更長(zhǎng)地加長(zhǎng)固體攝像裝置1的行方向的寬度化以及列方向的寬度W4，即使是考慮了被切割成階梯狀的缺損部分的面積，也能夠進(jìn)一步擴(kuò)大受光部10的面積。如以上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的固體攝像裝置1，在由于成為原材料的半導(dǎo)體晶圓 200的大小所造成的限制下，仍然能夠獲得更加大面積的受光部10。另外，在如上述那樣將受光部10的輪廓的一部分作為階梯狀的情況下，即使是在從半導(dǎo)體晶圓200切割出固體攝像裝置1之后，也會(huì)在其階梯狀部分與半導(dǎo)體基板14的邊緣之間留出比較寬的間隔。如果光入射到像這樣的間隔并且產(chǎn)生不需要的載流子從而流入到受光部10的話，那么噪聲就會(huì)被重疊于接近于階梯狀輪廓部分的受光部10的各個(gè)像素 11上。另外，因?yàn)橄襁@樣的載流子的移動(dòng)方向是多樣的并且所鄰接的間隔的大小也是每個(gè)像素彼此并不均勻，所以對(duì)于接近于階梯狀輪廓部分的受光部10的各個(gè)像素11特性來說變得容易產(chǎn)生不均勻，并且涉及到受光部10特性的均勻性(uniformity—致性)會(huì)發(fā)生降低。相對(duì)于這樣的問題點(diǎn)，在本實(shí)施方式的固體攝像裝置1中，沿著受光部10階梯狀的輪廓形成虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70。由此，就能夠以這個(gè)虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70來排除在階梯狀的受光部10的周邊所產(chǎn)生的不需要的載流子。因此，根據(jù)本實(shí)施方式的固體攝像裝置1，能夠防止不需要的載流子流入到受光部10，并且在減少噪聲的同時(shí)能夠抑制受光部10的均勻性發(fā)生降低。另外，如本實(shí)施方式那樣，受光部10由多個(gè)像素行構(gòu)成的L個(gè)(L ^ 2)行群A1 慫在列方向上進(jìn)行排列而構(gòu)成，受光部10階梯狀的輪廓可以通過包含在L個(gè)行群A1 ~ 中位于列方向一端的行群AJ列數(shù)NJ的連續(xù)的LA個(gè)O彡LA < L)行群 慫各自的列數(shù)NhA+1 隊(duì)滿足隊(duì)< Nl^1 <……< NHA+1來實(shí)現(xiàn)。如以上所述，通過越接近于受光部10的端部越減少行群的列數(shù)，從而就能夠適當(dāng)?shù)匦纬墒芄獠?0的階梯狀輪廓。另外，如本實(shí)施方式那樣，垂直移位寄存器30在沿著L個(gè)行群A1 ~各自的端列被配置的情況下，虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70的部分區(qū)域70a可以被形成于垂直移位寄存器 30的各個(gè)移位寄存器部分30a與所對(duì)應(yīng)的各個(gè)行群A1 Ai之間。上述不需要的載流子在垂直移位寄存器30中也會(huì)產(chǎn)生，所以就這樣通過配置虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70的部分區(qū)域70a，從而就能夠更加切實(shí)地排除流入到受光部10的不需要的載流子。另外，如本實(shí)施方式那樣，在用于將信號(hào)以及電力提供給對(duì)應(yīng)于受光部10各個(gè)行群的垂直移位寄存器30的各個(gè)部分的主干配線50，沿著受光部10的列方向延伸設(shè)置的情況下，虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70的部分區(qū)域70b以及70c沿著主干配線50的兩側(cè)而形成， 即，也可以被形成為除去了主干配線50正下方的區(qū)域。如以上所述，通過在主干配線50的兩側(cè)或者在除去了主干配線50正下方的區(qū)域形成虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70，并且通過不將虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70形成于主干配線50正下方的半導(dǎo)體基板14的區(qū)域，從而就能夠充分確保主干配線50與半導(dǎo)體基板14之間的間隔，因而也就能夠抑制主干配線50的寄生電容的增加以及伴隨于此的信號(hào)的延遲。特別是在大面積的固體攝像裝置1中，雖然為大面積但是因?yàn)橹鞲膳渚€50的配線長(zhǎng)度變長(zhǎng)且變得容易發(fā)生信號(hào)延遲，所以可以適當(dāng)用一些這樣的設(shè)想。而且，在受光部10輪廓成為階梯狀的地方，因?yàn)閷?duì)應(yīng)于受光部10各個(gè)行群(在本實(shí)施方式中為~、Ah以及Α")的垂直移位寄存器30的各個(gè)移位寄存器部分30a 互相分離且主干配線50也變長(zhǎng)，所以像這樣的效果會(huì)變得顯著。
另外，如本實(shí)施方式那樣，優(yōu)選經(jīng)由對(duì)應(yīng)于受光部10各個(gè)行群A1 kL的多個(gè)緩沖放大器61來連接主干配線50和各個(gè)移位寄存器部分30a。正如先前所述那樣，在受光部 10的輪廓成為階梯狀的地方主干配線50會(huì)變長(zhǎng)。變長(zhǎng)了的主干配線50變成了電容負(fù)荷， 因而也就變得容易產(chǎn)生信號(hào)延遲。而且，如果從主干配線50直接對(duì)垂直移位寄存器30的所有移位寄存器部分30a進(jìn)行排線的話，那么成為相對(duì)于非常多的柵開關(guān)從一根主干配線 50實(shí)施配線，但是該做法會(huì)涉及到電容負(fù)荷的增加并且變得更加容易產(chǎn)生信號(hào)延遲。在如此情況下，通過經(jīng)由緩沖放大器61來連接對(duì)應(yīng)于受光部10各個(gè)行群A1 ~的垂直移位寄存器30的各個(gè)移位寄存器部分30a和主干配線50，能有效地抑制由于寄生電容所造成的影響，并且通過減少?gòu)闹鞲膳渚€50被直接驅(qū)動(dòng)的柵極數(shù)從而降低相對(duì)于主干配線50的電容負(fù)荷，從而難以產(chǎn)生信號(hào)延遲。另外，如本實(shí)施方式那樣，虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70也可以具有與構(gòu)成各個(gè)像素 11的光電二極管PD相同的半導(dǎo)體層構(gòu)造。由此，在制作固體攝像裝置1的時(shí)候不需要追加特別的工序就能夠容易地形成虛設(shè)用光電二極管區(qū)域70。本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置1通過將閃爍器設(shè)置于受光部10的前面從而就能夠在例如X射線CT裝置中得到合適的運(yùn)用。因此，就有關(guān)具備本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置1的X射線CT裝置的實(shí)施方式作如下說明。圖8是本實(shí)施方式所涉及的X射線CT裝置100的結(jié)構(gòu)圖。在由該圖所表示的X 射線CT裝置100中，其X射線源106朝著被拍攝物體產(chǎn)生X射線。從X射線源106發(fā)生的 X射線的照射區(qū)域是由一次狹縫板106b加以控制的。X射線源106內(nèi)藏有X射線管，通過調(diào)整該X射線管的管電壓和管電流以及通電時(shí)間等條件，從而就能夠控制照射到被拍攝物體的X射線照射量。X射線攝像器107相當(dāng)于本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置1，閃爍器面板被設(shè)置于受光部10的前面，對(duì)通過被拍攝物體的X射線圖象進(jìn)行攝像。在X射線攝像器107的前方設(shè)置有限制X射線入射區(qū)域的二次狹縫板107a?；匦?04以使X射線源106以及X射線攝像器107相對(duì)的形式保持，在全景斷層攝像的時(shí)候圍繞著被拍攝物體使它們進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。另外，設(shè)置有在線性斷層攝像的時(shí)候?yàn)榱讼鄬?duì)于被拍攝物體使X射線攝像器107直線移位的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)113?；匦?04由構(gòu)成旋轉(zhuǎn)臺(tái)的回旋臂馬達(dá)110驅(qū)動(dòng)，其旋轉(zhuǎn)角度由角度傳感器112檢測(cè)。另外，回旋臂馬達(dá)110被搭載于XY臺(tái)114的可動(dòng)部，旋轉(zhuǎn)中心在水平面內(nèi)可作任意調(diào)整。從X射線攝像器107輸出的圖像信號(hào)由AD變換器120轉(zhuǎn)換成例如IObit ( = 1024 電平)的數(shù)字化數(shù)據(jù)，在一旦被讀取到CPU(中央處理裝置)121之后則被存儲(chǔ)于幀存儲(chǔ)器 122中。根據(jù)存儲(chǔ)于幀存儲(chǔ)器122的圖像數(shù)據(jù)通過規(guī)定的運(yùn)算處理從而重現(xiàn)出沿著任意斷層面的斷層圖像。被重現(xiàn)的斷層圖像被輸出至視頻儲(chǔ)存器124，并在被DA變換器125變換成模擬信號(hào)之后被CRT(陰極線管)等圖像顯示部1 顯示，由此，被提供給各種診斷。在CPU121上連接有對(duì)于信號(hào)處理來說是必要的工作存儲(chǔ)器123，還連接有具備面板開關(guān)和X射線照射開關(guān)等的操作面板119。另外，CPU121被分別連接于驅(qū)動(dòng)回旋臂馬達(dá) 110的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路111、控制一次狹縫板106b以及二次狹縫板107a的開口范圍的狹縫控制電路115，116、控制X射線源106的X射線控制電路118，而且，還要輸出用于驅(qū)動(dòng)X射線攝像器107的時(shí)鐘信號(hào)。X射線控制電路118根據(jù)由X射線攝像器107進(jìn)行攝像的信號(hào)來反饋控制照射到被拍攝物體的X射線照射量是可能的。X射線CT裝置100通過具備本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置1從而就能夠進(jìn)一步擴(kuò)大受光部的面積。另外，能夠防止不需要的載流子流入到受光部，并且在減少噪聲的同時(shí)能夠抑制受光部的均勻性發(fā)生降低。本發(fā)明的固體攝像裝置并不限定于以上所述實(shí)施方式，其它各種各樣的變形都是可能的。例如，在上述實(shí)施方式中雖然例示了將垂直移位寄存器配置于行方向上的受光部的兩端的結(jié)構(gòu)，但是即使是將垂直移位寄存器配置于一方端的結(jié)構(gòu)也能夠適用本發(fā)明。另外，雖然已就有關(guān)在上述實(shí)施方式中虛設(shè)用光電二極管區(qū)域包含4個(gè)種類的部分區(qū)域的情況作了說明，但是在本發(fā)明中如果虛設(shè)用光電二極管區(qū)域是沿著受光部的階梯狀輪廓而形成的話，那么即使與上述方式有所不同也能夠恰好地獲得以上所述的效果。
0082]符號(hào)說明0083]1.固體攝像裝置0084]10.受光部0085]IOa 像素群0086]11.像素0087]12.讀出用配線0088]13.行選擇用配線0089]14.半導(dǎo)體基板0090]15.第1導(dǎo)電類型半導(dǎo)體區(qū)域0091]16.第2導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層0092]17.氧化膜0093]18.電壓輸出用配線0094]20.信號(hào)輸出部0095]20a 輸出部分0096]21.積分電路0097]22.保持電路0098]30.垂直移位寄存器0099]30a.移位寄存器部分0100]31.移位寄存器0101]32.門0102]33.緩沖器0103]40.端子電極0104]50.主干配線0105]61,62.緩沖放大器0106]70.虛設(shè)用光電二極管區(qū)域0107]70a 70b.部分區(qū)域0108]71.第2導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層0109]80.鈍化膜0110]200.半導(dǎo)體晶圓
A1 Al.行群
權(quán)利要求
1.一種固體攝像裝置，其特征在于， 具備分別包含光電二極管的多個(gè)像素以M行N列進(jìn)行二維排列而形成的受光部； 在每列配置并且經(jīng)由讀出用開關(guān)與包含于所對(duì)應(yīng)的列的所述像素中的所述光電二極管相連接的N根讀出用配線；輸出對(duì)應(yīng)于經(jīng)所述讀出用配線輸入的電荷的量的電壓值的信號(hào)輸出部；以及對(duì)每行控制所述讀出用開關(guān)的開閉動(dòng)作的垂直移位寄存器，沿所述受光部的行方向的一邊與沿所述受光部的列方向的一對(duì)邊之間的輪廓呈階梯狀，進(jìn)一步具備沿所述受光部的階梯狀輪廓而形成的虛設(shè)用光電二極管區(qū)域。
2.如權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其特征在于，所述受光部通過由相同列數(shù)的多行所構(gòu)成的L個(gè)行群在列方向上進(jìn)行排列而構(gòu)成，其中，L彡2，所述受光部的階梯狀的輪廓通過在所述L個(gè)行群中包含位于列方向的一端的行群的連續(xù)的LA個(gè)行群各自的列數(shù)NhA+1 隊(duì)滿足隊(duì)< Nl^1 <……< NHA+1而實(shí)現(xiàn)，其中，2彡LA < L，所述位于列方向一端的行群的列數(shù)為隊(duì)。
3.如權(quán)利要求2所述的固體攝像裝置，其特征在于， 所述垂直移位寄存器沿所述L個(gè)行群各自的端列配置，所述虛設(shè)用光電二極管區(qū)域的至少一部分形成于與所述受光部的各個(gè)行群對(duì)應(yīng)的所述垂直移位寄存器的各個(gè)部分與該行群之間。
4.如權(quán)利要求2所述的固體攝像裝置，其特征在于，進(jìn)一步具備沿所述受光部的列方向延伸設(shè)置的主干配線，用于將信號(hào)以及電力提供給對(duì)應(yīng)于所述受光部的各個(gè)行群的所述垂直移位寄存器的各個(gè)部分，所述虛設(shè)用光電二極管區(qū)域的至少一部分沿所述主干配線的兩側(cè)形成。
5.如權(quán)利要求2所述的固體攝像裝置，其特征在于，進(jìn)一步具備沿所述受光部的列方向延伸設(shè)置的主干配線，用于將信號(hào)以及電力提供給對(duì)應(yīng)于所述受光部的各個(gè)行群的所述垂直移位寄存器的各個(gè)部分，所述虛設(shè)用光電二極管區(qū)域形成于除了所述主干配線的正下方的區(qū)域。
6.如權(quán)利要求4所述的固體攝像裝置，其特征在于，進(jìn)一步具備對(duì)應(yīng)于所述受光部的各個(gè)行群的多個(gè)緩沖放大器； 所述主干配線與所述垂直移位寄存器的各個(gè)部分經(jīng)由所述緩沖放大器而連接。
7.如權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其特征在于，所述虛設(shè)用光電二極管區(qū)域具有與所述光電二極管相同的半導(dǎo)體層構(gòu)造。
全文摘要
本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置，具備分別包含光電二極管的多個(gè)像素(11)以M行N列進(jìn)行二維排列而形成的受光部；在每列進(jìn)行配置并且通過讀出用開關(guān)與包含于所對(duì)應(yīng)的列的像素中的光電二極管(PD)相連接的N根讀出用配線；輸出對(duì)應(yīng)于經(jīng)讀出用配線而被輸入的電荷的量的電壓值的信號(hào)輸出部；在每行控制讀出用開關(guān)開閉動(dòng)作的垂直移位寄存器。沿著受光部的行方向的一邊與沿著列方向的一對(duì)邊之間的輪廓呈現(xiàn)階梯狀。虛設(shè)用光電二極管區(qū)域沿著受光部的階梯狀輪廓而形成。
文檔編號(hào)A61B6/00GK102356464SQ201080012808
公開日2012年2月15日 申請(qǐng)日期2010年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月1日
發(fā)明者久嶋龍次, 森治通, 藤田一樹 申請(qǐng)人:浜松光子學(xué)株式會(huì)社