技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
提供一種用紫外輻射處理表面的方案??梢苿幼贤庠从糜诎l(fā)射具有比待處理的表面的區(qū)域小的特征剖面區(qū)域的紫外輻射光束。可移動紫外源可根據(jù)需要移動,以用紫外輻射光束的特征剖面區(qū)域內(nèi)的輻射來直接照射所述表面的任意部分。運(yùn)動可包括例如旋轉(zhuǎn)運(yùn)動和/或相對于表面重新定位可移動紫外源。
技術(shù)研發(fā)人員:A·杜博爾因斯基;M·舒爾;R·格斯卡
受保護(hù)的技術(shù)使用者:首爾偉傲世有限公司;傳感器電子技術(shù)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2015.09.30
技術(shù)公布日:2017.08.18