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一種刻蝕裝置及其使用方法與流程

文檔序號:12612319閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種刻蝕裝置,其特征在于,所述刻蝕裝置包括1個或多個刻蝕槽和過濾槽;所述過濾槽中設有過濾裝置;所述過濾槽分別與每個刻蝕槽通過管路相連;所述過濾槽與循環(huán)裝置通過管路相連,所述循環(huán)裝置分別與每個刻蝕槽通過管路相連。

2.根據權利要求1所述的一種刻蝕裝置,其特征在于,所述過濾裝置為濾網裝置,所述濾網裝置包括一層或多層濾網,所述濾網裝置將過濾槽分為濾前槽和濾后槽,其中濾前槽分別與每個刻蝕槽通過管路相連,濾后槽與循環(huán)裝置通過管路相連。

3.根據權利要求1所述的一種刻蝕裝置,其特征在于,任一刻蝕槽位置高于過濾槽頂部位置。

4.根據權利要求1所述的一種刻蝕裝置,其特征在于,所述過濾槽分別與每個刻蝕槽底部通過管路相連。

5.根據權利要求1所述的一種刻蝕裝置,其特征在于,所述循環(huán)裝置高于任一刻蝕槽頂部。

6.根據權利要求1所述的一種刻蝕裝置,其特征在于,所述循環(huán)裝置分別與每個刻蝕槽上部通過管路相連。

7.根據權利要求1所述的一種刻蝕裝置,其特征在于,每個刻蝕槽分別與進液管相連。

8.根據權利要求1所述的一種刻蝕裝置,其特征在于,每個刻蝕槽上分別設置蓋板。

9.根據權利要求1所述的一種刻蝕裝置,其特征在于,過濾槽上設置過濾槽蓋板。

10.如權利要求1所述的一種刻蝕裝置的使用方法,其特征在于,包括如下步驟:

向刻蝕槽中加入刻蝕液,打開循環(huán)裝置,使刻蝕液依次沿刻蝕槽、過濾槽、循環(huán)裝置、刻蝕槽的方向進行循環(huán)流動,在刻蝕槽中進行刻蝕工藝,根據實際情況,對過濾槽中的廢渣進行清理。

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