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技術(shù)編號：6176572

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本發(fā)明涉及一種CCD攝像機(jī)校準(zhǔn)對位方法。該方法使用到對位平臺和兩個(gè)CCD攝像機(jī)，校準(zhǔn)時(shí)標(biāo)準(zhǔn)樣品固定于對位平臺上，對位平臺在水平面上做定量的偏移和旋轉(zhuǎn)，兩個(gè)CCD攝像機(jī)記錄每次運(yùn)動后Mark點(diǎn)所在坐標(biāo)，通過計(jì)算Mark點(diǎn)的變化，得出CCD攝像機(jī)的坐標(biāo)系與對位平臺坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換關(guān)系；兩個(gè)CCD攝像機(jī)校準(zhǔn)完成之后，即可以利用轉(zhuǎn)換關(guān)系對待加工的產(chǎn)品進(jìn)行對位。本方法在校準(zhǔn)時(shí)控制對位平臺平移、旋轉(zhuǎn)，并使用兩個(gè)CCD攝像機(jī)分別捕捉Mark點(diǎn)的變化，計(jì)算得出坐標(biāo)轉(zhuǎn)換關(guān)系；對...
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