技術(shù)編號(hào)：9923258
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。用于半導(dǎo)體集成電路與平面面板顯示器的傳統(tǒng)制造技術(shù)通常包括通過(guò)全自動(dòng)組合設(shè)備工具處理硅晶片與通常稱(chēng)作為基板的玻璃面板。通常的組合設(shè)備工具可以包括具有載荷鎖定件與處理單元的真空室。此工具通常通過(guò)機(jī)器人操控器(機(jī)器人或基板傳送裝置)服務(wù)，機(jī)器人操控器從載荷鎖定件通過(guò)處理單元并且返回到載荷鎖定件來(lái)循環(huán)基板。另一個(gè)機(jī)器人可以定位在用作真空室的載荷鎖定件與通過(guò)外部傳送系統(tǒng)服務(wù)的標(biāo)準(zhǔn)加載端口之間的接口的大氣傳送單元中。發(fā)明內(nèi)容下面的發(fā)明內(nèi)容僅旨在是示例性的。發(fā)明內(nèi)容不是...
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