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高靈敏硅二維熱式風(fēng)速計(jì)及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9909368

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氣象監(jiān)測(cè)對(duì)于人們的日常生活、工業(yè)生產(chǎn)、航空航天等都具有重要的意義。風(fēng)速和風(fēng)向作為兩項(xiàng)基本的氣象信息,是環(huán)境監(jiān)測(cè)中必不可少的氣象要素。早期風(fēng)速風(fēng)向的檢測(cè)主要由機(jī)械裝置來(lái)完成,比如采用風(fēng)杯來(lái)測(cè)量風(fēng)速,風(fēng)向標(biāo)來(lái)測(cè)量風(fēng)向,雖然這些裝置有著良好的測(cè)量效果,但由于含有可動(dòng)部件,因而容易發(fā)生磨損,而且體積大,價(jià)格昂貴,需要經(jīng)常維護(hù);后來(lái)出現(xiàn)的超聲風(fēng)速傳感器雖然測(cè)量精度高,沒(méi)有量程的限制,但由于死區(qū)的存在,發(fā)射和接收頭位置較遠(yuǎn),因此結(jié)構(gòu)相對(duì)較大。而基于MEMS工藝的熱式風(fēng)...
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