技術(shù)編號(hào)：9900324
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 硅片的安全存取和運(yùn)輸是集成電路大生產(chǎn)線一個(gè)非常重要的技術(shù)指標(biāo);在生產(chǎn)過 程中通常要求運(yùn)輸設(shè)備自身導(dǎo)致的硅片破片率應(yīng)小于十萬分之一。作為批量式硅片熱處理 系統(tǒng)，相對(duì)于單片式工藝系統(tǒng)，每個(gè)生產(chǎn)工藝所需的硅片傳輸、硅片放置和取片次數(shù)更多， 因而對(duì)硅片傳輸、硅片放置和取片的安全性和可靠性要求更高。 目前，機(jī)械手被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造中，機(jī)械手是硅片傳輸 系統(tǒng)中的重要設(shè)備，用于存取和運(yùn)輸工藝處理前和工藝處理后的硅片，其能夠接受指令，精 確地定位到三維或二維...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。