技術編號：9889849
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 定位校準裝置（也稱校準儀，英文Aligner)是一種應用于晶圓加工中的預對準裝 置，主要功能為偏必校正與凹口（notch)對準。在工作流程中，與其配合的機械手將晶圓放 置到Ali即er上，Ali即er檢測晶圓的偏必程度W及notch 口所在位置，并將notch 口對準 到設定角度，通知機械手將晶圓取走。保證在下一級加工時，所有晶圓都是處于同樣的位 置。 當前Aligner主要有吸附式和卡爪式兩種。采用吸附式的Aligner使用真空吸附 的原理來固定晶圓，...
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