技術(shù)編號：9862925
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 本發(fā)明屬于超精密加工中振動測量領(lǐng)域，具體設(shè)及一種空氣主軸振動精密測量裝 置及其方法，用于高速旋轉(zhuǎn)空氣主軸振動的測量。背景技術(shù) 在加工精度為100納米W下，表面粗糖度優(yōu)于10納米的超精密加工過程中，空氣主 軸是超精密加工機床中十分重要的部件，空氣主軸轉(zhuǎn)子的振動直接影響刀具的振動，從而 降低被加工零件的表面質(zhì)量，增加了工件的粗糖度，因此，對于振動量在100納米W內(nèi)的空 氣主軸精密測量的研究是十分迫切的。 空氣主軸由殼體、轉(zhuǎn)子、空氣軸承、驅(qū)動電機、主軸冷卻系統(tǒng)...
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