技術(shù)編號：9842701
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及MEMS傳感器，尤其涉及一種集成納米結(jié)構(gòu)的薄膜型MOS氣體傳感器及其制作方法。背景技術(shù)隨著社會的飛速發(fā)展和科技的突飛猛進，人們的生活呈現(xiàn)出與以往截然不同的變化，這種變化一方面極大地提高了人們的生活水平和質(zhì)量;但另一方面也給自己的生活空間和環(huán)境造成了不可估量的影響，以VOC(voIatiIe organic compounds，揮發(fā)性有機化合物)、氮氧化物、硫化物等有毒有害氣體為代表的環(huán)境污染日趨嚴重，極大影響人們的生活質(zhì)量甚至壽命。工業(yè)生產(chǎn)規(guī)模逐...
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