技術(shù)編號：9809347
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。隨著光通訊領(lǐng)域的發(fā)展，高集成度、高可靠性、低功耗和低成本的光集成器件制備技術(shù)的研發(fā)顯得愈來愈重要。波導(dǎo)是光集成器件的最基本單元之一，其制備技術(shù)的優(yōu)良至關(guān)重要。目前波導(dǎo)的制備技術(shù)主要有離子注入技術(shù)，離子交換技術(shù)，硅基波導(dǎo)技術(shù)和飛秒激光直與技術(shù)等。離子注入技術(shù)主要是通過將被電場加速了的高能離子直接注入到光學(xué)材料中以改變材料的原有結(jié)構(gòu)，產(chǎn)生低折射率損傷層，進而材料表層成為了相對高折射率的波導(dǎo)芯層，這種技術(shù)往往需要退火等后續(xù)處理工藝以去除波導(dǎo)制備過程中產(chǎn)生的缺陷，...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。