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一種基于硅基槽式波導(dǎo)耦合的偏振旋轉(zhuǎn)器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9809346

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近年來,光子集成技術(shù)迅猛發(fā)展。為了縮小光子器件的尺寸,成本低廉、技術(shù)成熟 的CMOS工藝被廣泛應(yīng)用到光子集成領(lǐng)域中。利用高折射率差的材料如絕緣層上硅,可以大 大提高集成度,但同時(shí)會(huì)產(chǎn)生明顯的雙折射現(xiàn)象,導(dǎo)致偏振相關(guān)損耗、偏振相關(guān)增益的產(chǎn) 生。因此研制光偏振控制器件來消除雙折射的負(fù)面影響就顯得十分必要。光偏振控制器件 包括偏振旋轉(zhuǎn)器和偏振分離器。目前,研究人員提出了多種實(shí)現(xiàn)偏振旋轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì)方案,如利 用光子晶體結(jié)構(gòu),采用電光或磁光材料等。但是這些方案都或多或...
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