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技術(shù)編號：9745713

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本發(fā)明設(shè)及一種低氧含量單晶娃的生長技術(shù)，具體設(shè)及娃烙融液中氧含量的控制，特 別設(shè)及采用高頻振蕩技術(shù)，對娃烙融液進行振蕩，降低氧在娃烙融液中的溶解度。背景技術(shù) 在單晶娃的制造工藝中，最常使用的是直拉法(Czoc虹alski，縮與CZ)，在直拉法中，多 晶娃是填充在石英玻璃相蝸(也稱石英相蝸）中，然后加熱烙融形成娃烙液，在娃烙液中浸 入巧晶后向上旋轉(zhuǎn)提拉，娃在巧晶與烙溶液的界面處凝固結(jié)晶，形成單晶娃棒(錠）。 氧是CZ法娃單晶中含量最高，行為最復(fù)雜的一種...
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