技術編號：9689377
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發(fā)明涉及高密度存儲器裝置，特別是涉及存儲器裝置，其中多個平面的存儲單 元被配置以提供一種三維3D陣列。背景技術 圖1為一種具有數(shù)個具有固定間距的垂直柵極的3D垂直柵極存儲器陣列的一部分 的布局視圖。以后續(xù)附圖的觀點而言，可更進一步理解此布局視圖。字線2、4及6延伸橫越過 3D垂直柵極存儲器陣列的上表面。字線2、4及6電性耦接至延伸進入頁面的垂直柵極柱（例 如垂直柵極柱8、10、12、14及16)。耦接至相同的字線的垂直柵極柱，通過介電柱 (dielec...
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