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技術(shù)編號(hào)：9634569

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專利說明 本發(fā)明設(shè)及借助激光從平坦基板（更具體地從玻璃基板或晶體基板）切割輪廓 的設(shè)備和方法。 DE10 2011 00768A1描述了如何在激光的幫助下，半導(dǎo)體片、玻璃元件和其他基 板可通過激光的波長(zhǎng)被材料極大地吸收而被分成多個(gè)部分。因此，實(shí)現(xiàn)了最終導(dǎo)致基板分 成多個(gè)部分的材料去除。然而，此方法在很多材料的情況下具有缺點(diǎn)，產(chǎn)生了諸如例如在消 融（油lation)期間由于粒子形成引起的雜質(zhì)或具有不期望的微裂縫或烙化邊緣的切割邊 緣使得切割間隙在材料的厚度上...
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