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五氟化磷的處理方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9582770

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五氟化磷(PF5)在半導體領(lǐng)域、電池領(lǐng)域中為工業(yè)上有用的材料。然而,已知PF5的毒性高。制造或使用PFJ#,有時剩余(過剩)地產(chǎn)生或打算大量制造或使用,因此必須防止PF5向大氣中釋放、包含在廢水中而排出。因此,要求除害PF5、減輕對環(huán)境的負荷。?匕的濃度高的情況下,可以通過深冷分離法進行直接回收。另一方面,關(guān)于低濃度的PF5,提出了如下方法分解為氟化物離子、氟化合物離子、磷離子、磷化合物離子等而作為氟源和磷源回收,或分解后進行固定化。?匕氣體在水、堿的存在...
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