技術(shù)編號(hào)：9577864
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 納米測(cè)量是先進(jìn)制造業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)，也是整個(gè)納米科技領(lǐng)域的先導(dǎo)和基礎(chǔ)。 隨著超精密加工和超微細(xì)加工技術(shù)的發(fā)展，行程達(dá)100毫米量級(jí)、運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí) 的超精密和超微細(xì)加工設(shè)備，對(duì)大量程、納米級(jí)高分辨率的位移測(cè)量提出了迫切需求。 傳統(tǒng)的干涉測(cè)試結(jié)構(gòu)，如Agilent公司5529A雙頻干涉儀雖然可以達(dá)到較高的位 移測(cè)量精度，但普遍結(jié)構(gòu)龐大，光路復(fù)雜，敏感于準(zhǔn)直，而且價(jià)格昂貴。激光反饋干涉技術(shù) 是近年來興起的一種具有很高應(yīng)用價(jià)值的新型干涉計(jì)量技術(shù)，當(dāng)激光器...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。