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技術(shù)編號：9572093

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本發(fā)明涉及軟性流體表面研磨/拋光領(lǐng)域，更具體的說，涉及一種氣-液-固三相磨粒流旋流流場在線觀測方法及裝置。背景技術(shù)在現(xiàn)代光學(xué)、電子信息及薄膜科學(xué)等高新，需要在精密光學(xué)零件和功能晶體材料表面實(shí)現(xiàn)超光滑表面加工(Ultrasmooth Surface Manufacturing)，例如軟X射線光學(xué)系統(tǒng)、激光陀螺反射鏡、高密度波分復(fù)用器、高能激光反射鏡、功能光學(xué)器件、光學(xué)窗口等。氣-液-固三相磨粒流拋光加工新方法，利用多向注入方法在拋光加工工具和工件表面之間形成...
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