技術(shù)編號(hào)：9544752
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及一種光學(xué)位置測(cè)量裝置，該光學(xué)位置測(cè)量裝置適用于高精度地確定兩 個(gè)相互移動(dòng)的物體的相對(duì)位置。背景技術(shù) 在已知的高精度光學(xué)位置測(cè)量裝置中，除了關(guān)于強(qiáng)度的評(píng)估方法以外，還應(yīng)用了 偏振光學(xué)方法來(lái)產(chǎn)生三個(gè)或更多相位偏移的、由移動(dòng)決定的用于位置確定的掃描信號(hào)。關(guān) 于偏振光學(xué)地產(chǎn)生掃描信號(hào)例如可參閱申請(qǐng)人的EP 0 481 356 A2。 圖1在入射的掃描光路的示意圖中示出了根據(jù)EP 0 481 356 A2的信號(hào)產(chǎn)生的基 礎(chǔ)性原理。光柵A，M在此沿著所給出...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。