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高可靠性的蝕刻小面光子器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9454981

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半導(dǎo)體激光器典型地通過(guò)在基板上以金屬有機(jī)化學(xué)蒸鍍沉積(MOCVD)或分子束外延生長(zhǎng)(MBE)方式生長(zhǎng)適當(dāng)?shù)姆謱影雽?dǎo)體材料以形成具有平行于基板表面的有源層的外延生長(zhǎng)結(jié)構(gòu)而制造于晶片上。然后用各種半導(dǎo)體加工工具加工晶片以制造出含有源層和連接于半導(dǎo)體材料的金屬觸點(diǎn)的激光器光諧振腔。激光鏡面典型地通過(guò)沿晶質(zhì)結(jié)構(gòu)切割半導(dǎo)體金屬而形成在激光器諧振腔的端部以界定激光器光學(xué)諧振腔的邊或端部,從而當(dāng)偏置電壓被施加于觸點(diǎn)兩側(cè)時(shí),所產(chǎn)生的流過(guò)有源層的電流使光子沿垂直于電流的方向...
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