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一種硅料的清洗液及其清洗方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9389917

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在硅材料加工成硅片的生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,產(chǎn)生的邊角料是可以進(jìn)行處理后再次合理利用的。但因在各加工環(huán)節(jié)時(shí)都會(huì)與金屬接觸,在一些不確定因素下,或多或少會(huì)混入少量金屬物或金屬離子(如小螺絲、銅絲、細(xì)鋼線、細(xì)小金屬碎肩等)。將這些混有金屬物的硅料在進(jìn)行表面清洗處理過(guò)程中,如果不能有效將金屬物、金屬離子全部處理干凈,使用這些硅料,將會(huì)出現(xiàn)嚴(yán)重后果。如果有金屬及離子溶入硅中,對(duì)硅的物理性質(zhì)將產(chǎn)生嚴(yán)重的破壞性,硅料多項(xiàng)指標(biāo)都將嚴(yán)重不符合后續(xù)產(chǎn)品的需求,會(huì)導(dǎo)致此硅料作報(bào)廢處理。目...
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