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碳納米管三維互連的形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9377861

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本發(fā)明涉及微電子集成封裝,特別涉及一種。背景技術(shù)三維集成是一個(gè)具有廣闊發(fā)展前景的技術(shù)。通過(guò)在不同的芯片上制造不同的器件,然后利用鍵合技術(shù)將多層芯片三維集成,可以實(shí)現(xiàn)包括處理器、存儲(chǔ)器、模擬電路、RF模塊,以及微電子機(jī)械系統(tǒng)和傳感器的異質(zhì)芯片集成,獲得多功能的復(fù)雜系統(tǒng)。隨著集成電路特征尺寸減小越來(lái)越困難、成本越來(lái)越高,甚至有觀點(diǎn)認(rèn)為三維集成技術(shù)是集成電路領(lǐng)域在不需要特征尺寸不斷減小而仍舊能夠保持摩爾定律發(fā)展的最可行技術(shù)。三維互連用于三維集成的多層芯片之間的電...
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